CN101430362B - 检查电路的方法以及检查电路的系统 - Google Patents

Abstract

一种检查电路的方法和系统。该系统包括：第一表面，第二表面，第三表面，以及多目标传送器；其中该多目标传送器适于抓住放置在该第一表面上的预检查电路，抓住放置在该第二表面上的在前检查的电路，并且同时将该预检查电路传送到该第二表面以及将该在前检查的电路传送到该第三表面；其中该系统适于检查放置在该第二表面上的电路。

Description

检查电路的方法以及检查电路的系统

相关申请

本申请要求2005年12月17日申请的序列号为60/749,052的美国临时专利的优先权。

技术领域

本发明涉及检查电路的系统和方法领域。

背景技术

如印刷电路板和晶片的电路是通过非常复杂的制造过程制造的。在这些制造过程期间会出现不同类型的缺陷，典型地要检查该电路，甚至要经历检验过程，以便保证它们的质量。

该检查过程通常包括将电路载入检查系统，检查该电路，然后从该检查系统卸载该电路。

在许多检查系统中，需要操作者手动地装载和卸载电路，因而显著地减慢了该检查过程。另一方面，完全自动的检查系统很复杂，并且非常昂贵。

存在用于缩短上述操作所需的时间的增长的需要。

发明内容

一种系统，包括：第一表面，第二表面，第三表面，以及多目标传送器；其中该多目标传送器适于抓住放置在该第一表面上的预检查电路，适于抓住放置在第二表面上的在前检查的电路，并且适于同时将该预检查电路传送到该第二表面以及将该在前检查的电路传送到该第三表面；其中该系统适于检查放置在该第二表面上的电路。

一种用于检查电路的方法，该方法包括：在第一表面接收预检查电路；通过多目标传送器抓住该预检查电路以及放置在第二表面上的在前检查的电路；同时将该预检查电路传送到该第二表面和将该在前检查的电路传送到第三表面；以及检查该预检查电路。

一种系统，包括：第一检验站，第二检验站，在该第一和第二检验站之间定位的第二表面，以及多目标传送器；其中该多目标传送器适于抓住放置在该第二表面上的预检查电路，同时保持在该预检查电路之前就检查的在前检查的电路；其中该多目标传送器适于在第一方向上移动，以便将该预检查电路提供到该第一检验站，并且适于在与该第一方向相反的第二方向上移动，以便将该在前检查的电路提供到该第二检验站。

附图说明

在此参照附图，仅通过举例的方式描述本发明。现在在细节上具体参照附图，需要强调的是：通过举例的方式表示该细节，仅是为了本发明优选实施方式的说明性论述，并且表示其是为了提供相信是对本发明的原理和概念方面最有用且容易理解的描述。在这点上，除了对本发明基本理解所必须的，未尝试更详细地表示本发明的结构细节，该结合附图的描述使得如何在实践中具体化本发明几种不同的形式对本领域的技术人员来说是显而易见的。

在该附图中：

附图1-8表示根据本发明不同实施方式的系统；以及

附图9-10是根据本发明不同实施方式的检查电路的流程图。

具体实施方式

根据本发明的不同实施方式，提供一种系统。该系统包括一组设备，其适于载入如电路的目标，并且适于卸载该检查的目标。该组设备包括扫描系统的检查台。将该检查系统方便地包括在该系统中。

下面的描述涉及多目标传送器，该多目标传送器沿第一轴执行线性运动。可以注意到，根据本发明的另一实施方式，该多目标传送器可以沿多个轴移动，并且可以执行非线性运动。该多目标传送器例如可以沿假想的x轴和假想的y轴移动。这种运动可以提供不必要的第一和/或第三表面的y轴运动。

参照附图和伴随的描述可以更好地理解该组设备的原理和操作。

附图1表示根据本发明实施方式的系统8。系统8包括检查系统12以及不同的元件(也称作设备)，其将电路载入检查系统12，并且从检查系统12卸载电路。

系统10包括：(i)第一表面，如第一台10的上表面10′(或搁板)；(ii)第二表面，如扫描台12a的上表面12′；(iii)第三表面，第二台11的上表面11′(或搁板)；以及(iv)多目标传送器，如双夹具14。

方便地，第二表面12a属于光学检查系统12，其适于检查放置在第二表面12a上的电路，以便定位可能的缺陷，并且确定它们的位置。光学检查系统12通常包括放置在第二表面12a之下的照明模块，以及放置在第二表面12a之上的检测模块。这种构造适合如印刷电路板、掩模等的透明电路的检查。可以注意到，该检查系统还可以在反射和/或散射光的基础上执行检查。这种检查适合于如晶片的不透明的电路。

方便地，该多目标传送器适于抓住放置在第一表面10′上的预检查电路(如电路16c)，抓住放置在第二表面12a上的在前检查的电路(如电路16d)，并且同时将该预检查电路传送到第二表面12a，以及将该在前检查的电路传送到第三表面11′。

多目标传送器14通常抓住该电路，将该抓住的电路提升到该第一至第三表面10′、12a和11′之上，执行基本上水平的运动，以将该预检查电路放置在第二表面12a之上，并且将该在前检查的电路放置在第三表面11′之上。然后，多目标传送器14放下抓住的电路，以将它们分别放置在第二和第三表面上12a和11′上。

注意到，多目标传送器14可以执行线性水平运动，但这不是必须的。

进一步注意到，多目标传送器可以保持一个或多个电路，直到按指示释放该一个或多个电路。因此，可以将预检查电路提供到第二表面12a，而该在前被检查的电路仍然被多目标传送器14抓住，反之亦然。因此，多目标传送器14可以充当缓冲器。方便地，多目标传送器14可以保持一个或多个电路，同时释放一个或多个电路。

进一步注意到，虽然附图1-7表示的是适于抓住两个电路的多目标传送器14，但是本领域的技术人员可以理解，该系统8包括可以抓住两个以上电路的多目标传送器，并且由该多目标传送器抓住的电路的数量不同于系统8的不同于第二表面12a的表面(如第一和第三表面10′和11′)的数量。

可以将第一表面10′从第一位置13a′(由支承电路16c表示)移动至第二位置13a(由虚线和电路16b表示)。当将第一表面10′定位在第一位置13a′时，其与第二表面12a对准。当将第一表面10′定位在第二表面13a′时，其未与第二表面12a对准。在第四位置处，第三表面11′向着系统8的操作者延伸。

第三表面11′在第三位置13b和第四位置13b′之间可移动。当将第三表面11′定位在第三位置13b时，其与第二表面12b对准。当将第三表面11′定位在第四位置13b′时，其未与第二表面11′对准。在第四位置处，第三表面11′向着系统8的操作者延伸。

根据本发明的实施方式，第一表面10′在该第一和第二位置13a和13a′之间的运动由系统8的操作者触发。

根据本发明的另一个实施方式，第一表面10′在该第一和第二位置13a和13a′之间的运动与放置在该第二表面上的电路的检查进程同步。例如，当完成在前的检查顺序时(或稍微之前)第一表面10′可以移动到第一位置13a，而一旦多目标传送器14将在前检查的电路放置在第三表面11′上，第三表面11′就可以从第三位置13b移动到第四位置13b′。第一表面10′可以移动，在多目标传送器14将特定的由第一表面10′支撑的电路抓到第二位置13a′，以便允许操作者在第一表面10′上放置新的电路之后，同时检查系统检查该特定的电路。操作者也可以从第三表面11′卸载在前检查的电路，同时检查系统12检查该特定的电路。

系统8操作的流水线方式能够执行电路检查，同时将其它电路装载和/或卸载。

可以将第一和第二表面10′和11′看作搁板，可以将其从它们相应的台拉出。

操作者站在(或坐在)检查系统12之前，并且将电路(或多个彼此连接的电路)从台车15a载入第一表面10′，该台车运载多个16a表示的电路。这些电路也可以称作一批目标。

操作者可以将电路(或多个彼此连接的电路)从第三表面11′卸载到台车15b，该台车支撑或运载在前检查的电路。

注意到，可以将台车15a和15b替换成其它运输组件。

附图2表示根据本发明另一个实施方式的系统8′。

附图2的系统8′不同于附图1的系统8，其包括四个运输机17、19、18和20，并且不包括可移动的表面。注意到，系统8′还可以包括两个运输机17和19，以及两个固定表面(代替该第三和第四运输机18和20)。

因此，第一和第三表面10′和11′可以由运输机的上表面形成。根据本发明的另一个实施方式，该第一和第三表面10′和11′适于从运输机接收电路(在第一表面10′的情况下)，或将电路提供到该运输机(在第三表面11′的情况下)。

根据本发明不同的实施方式，操作者可以将电路放置在第一运输机17上，从第二运输机19移去电路，甚至促使将运输的电路放置在第一表面10′上，和/或促使将电路从第三表面11′移到第二运输机19。

该第一和第二运输机可以符合SMEMA，但这不是必须的。

方便地，由第三运输机18的上表面形成第一表面10′，而由第四运输机20的上表面形成第三表面11′，但这不是必须的。

方便地，当检查系统12检查放置在第二表面12a上的特定电路时，将预扫描的电路(在共同表示为16a的多个电路之外)从第一运输机17(也称作供应运输机)载入第三运输机18(也称作第一台的运输机)，并且在表面10′上对准。在由检查系统12检查电路(例如，通过扫描电路)之后，多目标传送器14在一个动作中立即(i)将在前检查的电路从第二表面12a输送到第三表面11′(由第四运输机20的上表面形成)，以及(ii)将预扫描的电路从第三运输机18输送到第二表面12a，以便检查。第一运输机20卸载在前检查的电路16f以接收运输机19。继续该顺序处理，只要从供应运输机17提供目标。

附图3表示根据本发明的又一个实施方式的系统8″。

系统8″的特征在于具有比附图1的系统8更高的集成度(在检查系统12、多目标传送器14，以及第一和第三表面10′和11′之间)。

在系统8″′中，将检查系统12、多目标传送器14，以及第一和第三表面10′和11′装配成单一机组。

将第一台10和第二台11装配成在结构上包括空间21，其中可以放置扫描台(未示出)。将扫描台放置在第一和第三台10和11之间。

系统8″包括可移动的第一和第三表面10′和11′，该第一和第三表面可以在多个位置之间移动。

附图4表示根据本发明进一步实施方式的系统8″′。

系统8″′的特征在于具有比附图2的系统8″更高的集成度(在检查系统12、多目标传送器14，第一和第二运输机17和19之间)。

在系统8″′中，将检查系统12，多目标传送器14，第一和第二运输机17和19装配成单一机组。

注意到，可以将系统8-8″′中的每一个放置在一个或多个检验站附近。检验站通常从该检查系统接收可能的缺陷位置。可以将该信息与电路标识符关联，该标识符使该检验站当检验该电路的缺陷时使用适当的位置信息。可以由操作者输入该电路标识符，但这不是必须的。根据本发明的实施方式，通过跟踪电路的位置(该检查和检验程序的进程)，该检验站可以检索适当的检查信息，而不用接收操作者的任何输入。因此，如果将特定的电路从检查系统送到检验系统，则该检验系统可以从该检查系统检索该检查信息(否则从该检查系统接收)，并且处理，而不需要来自操作者的附件识别信息。然而对另一个例子来说，可以将该检查信息与时间戳关联，这可以简化相关检查信息的恢复。

附图5表示根据本发明实施方式的系统9。

系统9包括：(i)包括第一表面10′的第一台10，(ii)包括第二表面12a的第二台12，(iii)多目标传送器14，(iv)检验运输机22，(v)第一检验站30以及(vi)第二检验站32。

操作者可以将预检查电路放置在第一表面10′上，同时检查另一个电路。同时，在前检查的电路通过检验站30和/或32经历检验过程。

在检查完成(通过包括第二表面12a的检查系统12)之后，多目标运输机14可以同时(i)将该在前检查的电路从第二表面12a传送到检验运输机22，以及(ii)将预检查电路从第一表面10′传送到第二表面12a。

该检验运输机22将在前检查的电路运输到最接近该第一和第二检验站的位置。该检验站30和32的操作者可以取出在前检查的电路，并且初始化检验过程。

检查系统12也可以将与涉嫌缺陷位置有关的信息发送到检验站30和32。因此，可以至少与该检查过程部分并行地实施该检验过程。

附图6表示根据本发明另一个实施方式的系统9′。

附图6的系统9′不同于附图5的系统9，其具有代替检验运输机22的台或托盘23。将该托盘23的上表面表示为23′，并且相当于在前附图的第三表面11′。

多目标传送器14适于抓住放置在第一表面10′上的预检查电路，抓住放置在第二表面12a上的在前检查的电路，并且同时将该预检查电路传送到第二表面12a，以及将该在前检查的电路传送到第三表面23′。

检验站30和32的操作者可以取出被检查目标，并且初始化检验过程。

附图7表示根据本发明实施方式的系统7′。

系统7′与在前系统的区别在于其检查系统和其检验站的相对位置(将检查站12放置在两个检验站30和32之间)，以及将预检查电路载入检查系统12的方式。

虽然在前表示的系统在载入过程期间使用多目标传送器14，但是在系统7′中，操作者载入该预检查电路。使用多目标传送器14将在前检查的电路从检查系统12传送到检验站30和32。

多目标传送器14适于抓住放置在第二表面12a上的预检查电路，同时保持在前检查的电路。多目标传送器14适于在第一方向上移动，以便将该预检查电路提供到第一检验站30，并且适于在与该第一方向相反的第二方向上移动，以便将该在前检查的电路提供到第二检验站32。

方便地，多目标传送器14可以沿第二表面12a、第一检验站30和第二检验站32后部之上的路径移动。因此，可以在将其定位在第二表面12a的前部(12a′)时检查电路，并且一旦将其定位在后部12″，就可以通过多目标传送器14将其抓住。

在附图7中，检查系统12的操作者以及该第一和第二检验站30和32的操作者彼此靠近地就坐，位于多目标传送器14的同侧。

根据本发明的实施方式，可以定位该检查系统的操作者，使其面对该检验站的操作者。该多目标传送器可以在检查系统32和检验站之间传送目标。

附图8表示系统7″，其与附图7的系统7′的区别在于检查系统12的操作者面对检验站30和32的操作者，以及该多目标传送器由单个目标传送器14′替换。

附图9是根据本发明实施方式的检查电路的方法100的流程图。

重复该方法100的不同阶段，以提供流水线检查和传送过程。因此，当检查特定电路时，将预检查电路放置在第一表面上，将该在前检查的电路从第三表面卸载。

方法100以在第一表面接收预检查的电路的阶段110开始。参照在前面附图中所述的例子，可以通过运输机或通过操作者提供接收的电路。该第一表面可以是固定的，或者可以在多个位置之间移动。该第一表面还可以是运输机的上表面，或者是台的滑动表面。

方便地，阶段110包括：当将该第一表面定位在第二位置时通过该第一表面接收该预检查电路；将该第一表面移动到第一位置，以便与该第二表面对准。方便地，当将该第一表面定位在该第一位置时，其与该第二表面对准；以及当将该第一表面定位在该第二位置时，其未与该第二表面对准。

阶段110后面的是通过多目标传送器抓住该预检查电路和放置在第二表面上的在前检查的电路的阶段120。该在前检查的电路是通过检查系统在前检查的，当将其定位在该第二表面上时。方便地，该多目标传送器是双夹具。

阶段120后面的是同时将该预检查的电路传送到该第二表面，以及将该在前检查的电路传送到第三表面的阶段130。方便地，将该第二电表面从该检查系统移去(卸载)，并且任选地送去检验。

方便地，阶段130包括将该预检查电路传送到该第二表面的前部，阶段140之前将该预检查电路从该前部移动到该第二表面的后部。

阶段130后面的是阶段110、140，以及任选的阶段160、170和180。

阶段140包括检查该预检查电路。

阶段160包括检验该在前检查的电路的缺陷。阶段160包括通过输送(或其它方法)将该在前检查的电路从该第三表面提供到检验站。该提供包括使用运输机，通过操作者取出该在前检查的电路等等。可以将该第三表面接近该检验站定位。进一步注意，可以将阶段170看作是阶段160的一部分，特别是将卸载的在前检查的电路提供到检验站。

阶段170包括卸载该在前检查的电路。该卸载后面的是阶段160(为了解释简单，未在附图9中说明该连接)，或者可以实际上结束该电路的测试。

方便地，阶段170包括：在从该多目标传送器接收该在前检查的电路之后将该第三表面从第三位置移动到第四位置。方便地，当将该第三表面定位在该第三位置时，其与该第二表面对准，当将该第三表面定位在该第四位置时，其未与该第二表面对准。

方便地，该第一和第三表面的移动(在阶段110和170期间)响应于来自操作者的触发器。根据本发明的另一个实施方式，该第一和第三表面的移动与放置在该第二表面上的电路的检查同步。

阶段180包括将输送到检验站的该电路中可能缺陷的位置发送给该检验站。方便地在该检验阶段出现之前执行阶段180。

方便地，可以通过附图1-4中所示的任一系统执行阶段110-140和170。注意到，可以通过这些系统的组合以及一个或多个检验站执行该阶段160。方便地，可以通过附图5和6中所示的任一系统执行方法100。

附图10表示检查电路的方法200。

重复方法200的不同阶段以提供流水线检查和传送过程。

方法200以通过第二表面接收预检查电路的阶段210开始。

阶段210后面的是检查放置在第二表面上的预检查电路的阶段220。可以将该第二表面定位在第一和第二检验站之间。注意到，可以以不同的方式定位该第二表面，以及第一和第二检验站，只要该多目标传送器可以将目标从该检查系统传送到检验站。

阶段220后面的是通过多目标传送器抓住该预检查电路，同时保持在该预检查的电路之前就检查的在前检查的电路的阶段230。

阶段230后面的是阶段210、240和250。

阶段240包括在第一方向移动该多目标传送器，以便将该预检查的电路提供到该第一检验站。

阶段250包括在与该第一方向相反的第二方向上移动该多目标传送器，以便将该在前检查的电路提供到该第二检验站。

方便地，阶段220包括检查该预检查电路，同时将其放置在该第二表面的前部上，以及将该预检查电路从该前部移动到该第二表面的后部。

注意到，上述每个方法都包括监视检查和检验过程的进程，并且响应于所述监视，通过检验站利用检查系统产生的检查信息，而不需要该检验站操作者的附加输入。

虽然连同其特定的实施方式描述了本发明，但是显然，许多替换、修改和变形对本领域的技术人员来说都是显而易见的，因此，打算包含所有这种落入附加的权利要求的精神和广阔范围内的替换、修改和变形。

Claims (32)

1.一种用于检查电路的系统，包括：第一表面，第二表面，第三表面，以及多目标传送器；其中所述多目标传送器适于抓住放置在所述第一表面上的预检查电路，适于抓住放置在所述第二表面上的在前检查的电路，并且适于同时将所述预检查电路传送到所述第二表面以及将所述在前检查的电路传送到所述第三表面；其中所述系统适于检查放置在所述第二表面上的电路。

2.根据权利要求1所述的系统，其中所述目标传送器是双夹具。

3.根据权利要求1所述的系统，其中所述第一表面在第一位置和第二位置之间可移动；其中当将所述第一表面定位在所述第一位置时，其与所述第二表面对准；以及其中当将所述第一表面定位在所述第二位置时，其未与所述第二表面对准。

4.根据权利要求3所述的系统，其中所述第三表面在第三位置和第四位置之间可移动；其中当将所述第三表面定位在所述第三位置时，其与所述第二表面对准；以及其中当将所述第三表面定位在所述第四位置时，其未与所述第二表面对准。

5.根据权利要求3所述的系统，其中所述第一表面在所述第一和第二位置之间的运动由所述系统的操作者触发。

6.根据权利要求3所述的系统，其中所述第一表面在所述第一和第二位置之间的运动与放置在所述第二表面上的电路的检查进程同步。

7.根据权利要求1所述的系统，其中定位所述第表面，以从运输机接收所述预检查电路。

8.根据权利要求1所述的系统，其中所述系统包括适于支撑多个电路的可移动的台车。

9.根据权利要求1所述的系统，进一步包括检验站，其中所述检验站包括所述第三表面。

10.根据权利要求9所述的系统，其中所述第三表面是检验运输机的上表面；其中所述检验运输机适于将在前检查的电路输送到至少一个检验站。

11.根据权利要求9所述的系统，其中所述系统将所述电路中可能缺陷的位置提供到所述检验站。

12.根据权利要求1所述的系统，进一步包括至少一个检验站；其中第三表面被定位为接近所述至少一个检验站中的每一个。

13.根据权利要求1所述的系统，其中所述第二表面包括前部和后部；其中当将所述电路放置在所述前部上时，所述系统光学检查所述电路；以及其中当将所述电路放置在所述后部上时，所述多目标传送器适于抓住所述电路。

14.根据权利要求1所述的系统，其中所述多目标传送器适于保持电路，直到被命令释放所述电路。

15.一种用于检查电路的方法，所述方法包括

在第一表面接收预检查电路；

通过多目标传送器抓住所述预检查电路以及放置在第二表面上的在前检查的电路

同时将所述预检查电路传送到所述第二表面和将所述在前检查的电路传送到第三表面；以及

检查所述预检查电路。

16.根据权利要求15所述的方法，其中所述抓住包括通过双夹具抓住所述第一和在前检查的电路。

17.根据权利要求15所述的方法，其中所述接收包括：

当将所述第一表面定位在第二位置时由所述第一表面接收所述预检查电路；

将所述第一表面移动到第一位置，以便与所述第二表面对准；

其中当将所述第一表面定位在所述第一位置时，其与所述第二表面对准；以及

其中当将所述第一表面定位在所述第二位置时，其未与所述第二表面对准。

18.根据权利要求17所述的方法，进一步包括：

在从所述多目标传送器接收所述在前检查的电路之后，将所述第三表面从第三位置移动到第四位置；

其中当将所述第三表面定位在所述第三位置时，其与所述第二表面对准；以及

其中当将所述第三表面定位在所述第四位置时，其未与所述第二表面对准。

19.根据权利要求17所述的方法，其中所述第一和第三表面的移动响应于来自操作者的触发器。

20.根据权利要求17所述的方法，其中所述第一和第三表面的移动与放置在所述第二表面上的电路的检查同步。

21.根据权利要求15所述的方法，其中所述接收包括从运输机接收所述预检查电路。

22.根据权利要求15所述的方法，进一步包括将所述预检查电路从支撑多个电路的台车提供到所述第一表面。

23.根据权利要求15所述的方法，进一步包括对提供到所述第三表面的电路执行检验操作。

24.根据权利要求23所述的方法，其中在执行前将所述电路运输到检验站。

25.根据权利要求24所述的方法，进一步包括将运输到所述检验站的电路中可能缺陷的位置发送到所述检验站。

26.根据权利要求15所述的方法，进一步包括通过检验站对提供到所述第三表面的电路执行检验操作；其中所述检验站被定位为接近所述第三表面。

27.根据权利要求15所述的方法，其中所述传送包括将所述预检查电路传送到所述第二表面的前部；以及其中在所述检查前将所述预检查电路从所述前部移动到所述第二表面的后部。

28.根据权利要求15所述的方法，进一步包括通过所述多目标传送器抓住电路，直到被命令释放所述电路。

29.一种用于检查电路的系统，包括：第一检验站，第二检验站，定位在所述第一和第二检验站之间的第二表面，以及多目标传送器；其中所述多目标传送器适于抓住放置在所述第二表面上的预检查电路，同时保持在所述预检查的电路之前就检查的在前检查的电路；其中所述多目标传送器适于在第一方向上移动，以便将所述预检查电路提供到所述第一检验站，并且适于在与所述第一方向相反的第二方向上移动，以便将所述在前检查的电路提供到所述第二检验站。

30.根据权利要求29所述的系统，其中所述第二表面包括前部和后部；其中当将所述电路放置在所述前部上时所述系统光学检查所述电路；以及其中当将所述电路放置在所述后部上时所述多目标传送器适于抓住所述电路。

31.一种用于检查电路的方法，所述方法包括：

检查放置在第二表面上的预检查电路，所述第二表面被定位在第一和第二检验站之间；

通过多目标传送器抓住所述预检查电路；同时保持在所述预检查电路之前就检查的在前检查的电路；

在第一方向上移动所述多目标传送器，以便将所述预检查电路提供到所述第一检验站；以及

在与所述第一方向相反的第二方向上移动所述多目标传送器，以便将所述在前检查的电路提供到所述第二检验站。

32.根据权利要求29所述的方法，其中所述检查包括检查所述预检查电路，同时将其放置在所述第二表面的前部上，以及将所述预检查电路从所述前部移动到所述第二表面的后部。

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