CN101413497A - 往复式泵以及止回阀 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种往复式泵以及止回阀，其中，一个具备隔膜式驱动室和驱动力供给部(40)的往复式泵，其构成是，为使驱动力供给部(40)的驱动力介于工作油传递到隔膜驱动室内的隔膜(1A)和(1B)上而构成，驱动力供给部(40)和隔膜驱动室之间被设有工作油限制室(5A)和(5B)，并具有设在工作油限制室(5A)和(5B)内上方位置上的第一气体排出部和设在隔膜驱动室内上方位置上的第二气体排出部，第一气体排出部和上述第二气体排出部连通而构成了一个气体排出机构(20A)和(20B)，气体排出机构(20A)和(20B)中，设置了为了防止流体从第一气体排出部向第二气体排出部逆流的逆流防止体。

Description

往复式泵以及止回阀

本申请为申请人“株式会社泰克米纳”提交的申请日为2003年4月23日、申请号为03823128.X、发明名称为“往复式泵以及止回阀”的申请的分案申请。

技术领域

本发明有关往复式泵以及止回阀，具体就是有关可恰好地排出泵内气体而构成的往复式泵以及用于该往复式泵的止回阀。

背景技术

驱动隔膜以运送流体的往复式泵，我们知道其构成一般是介于凸轮使利用电机等驱动装置获得的旋转运动变换成直线往复运动，用这个直线往复运动驱动隔膜。进而，众所周知，作为具体的构成，它是把基于电机等的直线往复运动介于作为工作媒体的工作油，传递到隔膜上。

在这样构成的往复式泵中，可弹性变形的隔膜使用工作油被迫往复运动，由于这个隔膜的往复运动，从而进行着运送流体的吸入以及排出。因此，这样的隔膜根据该弹性变形以及往复运动的必要性，比较薄地形成。

与现有技术相关的往复式泵，如上所述，由于是使用比较薄地形成的隔膜构成，所以隔膜发生过载时，将担心隔膜产生变形或者裂纹等。

作为具备为防止这种隔膜的变形或者裂纹等的技术的往复式泵，众所周知有例如日本国特开昭61-61990号公报(参考文献1)所公布的泵。在这个公布的往复式泵中，设有与隔膜共同工作的阀单元，过载作用于该隔膜前，通过阀单元限制隔膜的动作，同时还为控制工作油的流入状态。

此外，在与现有技术相关的流体运送路径中，为了防止运送流体逆流使用了利用圆珠等构成的止回阀。特别是运送高粘度流体(粘着性液体)时，为了确实闭塞管道，众所周知，例如，如日本国特开2000-35627号(参考文献2)所示，有使用弹簧等弹压装置使圆珠移动的构成的方法。也就是说，运送高粘度流体时，作为阀芯的圆珠等受到摩擦阻力作用，圆珠复座较慢，其间流体逆流到管道内。结果，泵的排放流量减少，对泵的定量性等产生影响。因此，利用现有技术的话，如上所示，为了使作为阀芯的圆珠加快复座，在圆珠的上部设置弹簧等弹压装置。

可是，在上述参考文献1中公布的往复式泵中，必须有控制工作油流动用的安全阀(保险阀27)和抽出工作油中混入或者发生的空气等气体用的除气部(排气阀18)，特别是存在着使用该除气部进行的除气作业非常繁杂这个问题。

与上述现有技术相关的往复式泵，由于它是利用工作油使隔膜往复动作的构成，所以泵组装时或者泵驱动时，有时工作油中会混入空气等气体。利用工作油使隔膜往复动作的构成的往复泵，最好避免混入这样的气体等。因此，与现有技术相关的往复泵，其构成是，隔膜和阀单元之间设置除气用的机构(除气部)，在往复式泵组装后的初期工作时，以及继续驱动中气体混入时，将适宜地进行除气。

使用上述机构进行的除气，是通过把设在除气部上的螺栓等的盖部取下，使吸引具等与该除气部连通进行。另外，除气时，由于考虑到工作油与气体一起从除气部溢流，所以必须在除气部周围准备油盘等。

此外，设在阀单元附近的安全阀，有时也要除去与工作油一起混入的气体，但是由于不清楚参考文献1中记载的现有技术安全阀的结构，所以尚不能正确地认识工作油的调整和除气的关系。

也就是说，现有技术，虽然设置了进行除气用的除气部，或者结果上可进行除气的安全阀，但是前者需要为除气而进行的繁杂作业，后者结构不清楚且并非积极地进行除气，所以存在着不能明确把握其效果等的问题。

另外，在与参考文献2中所记载的现有技术相关的止回阀中，为了确实地闭塞管道，使用弹簧等弹压装置使作为阀芯的圆珠移动，但是在这种构成时，阀芯和阀座之间阻力增加，吸进工序时发生气穴等，泵能力可能降低。进而，再使用强力的弹簧等的话，泵开始工作时，由于不自给流体，所以需要进行“起动注液”。此外，管道闭塞时由于圆珠被弹簧等压在阀座上，所以存在着圆珠及阀座等局部且不均匀地磨耗这个问题。

进而，使用与现在技术相关的往复式泵时，运送高粘度流体(粘着性液体)时，即使使用上述止回阀等时，也存在着不能适当定量地运送流体这个问题。具体地就是存在着，当流体粘度较高时，流体难以流动，由于只单纯地用隔膜等往复式装置驱动不能适当地吸进流体，所以难以实现定量运送这个问题。

因此，本发明是把提供不进行繁杂作业等，具有能够恰当且自动地排出气体的气体排出机构的往复式泵作为课题。

此外，本发明还以提供可以确实地进行管道闭塞，不需要进行起动注液，并且可以使圆珠及阀座等局部及不均匀磨耗减少的阀座作为课题。

进而，本发明再以提供即使运送高粘度的流体时，也可以实现定量运送的往复式泵作为课题。

发明内容

本发明提供的是，具有为运送流体而往复运动的隔膜、设有上述隔膜的隔膜驱动室、以及供给为使上述隔膜往复运动的驱动力的驱动力供给部，为使上述驱动力供给部的驱动力介于工作油传递到上述隔膜驱动室内的隔膜上而构成，上述驱动力供给部和上述隔膜驱动室之间被设有限制上述工作油的工作油限制室，具有设在上述工作油限制室内上方位置上的第一气体排出部和设在上述隔膜驱动室内上方位置上的第二气体排出部，上述第一气体排出部和上述第二气体排出部连通而构成了一个气体排出机构，上述气体排出机构中，为防止流体从上述第一气体排出部向上述第二气体排出部逆流，被设有逆流防止体的为运送流体的往复式泵。

利用这样的构成，由于多个气体排出部(第一及第二排出部)连通构成了一个气体排出机构，所以只要对一个气体排出机构进行调整，就可以把从多个气体排出部排出的气体恰当地排出。

此外，其构成最好是，在上述工作油限制室中，设置了被连接在上述隔膜上与隔膜共同驱动的阀芯，以及与上述阀芯嵌合并可限制供给到上述隔膜驱动室的上述工作油的阀座，在上述工作油限制室内的上述驱动力供给部和上述阀座之间设有上述第一气体排出部的一方端部，在上述隔膜室内的上述阀座和上述隔膜之间设有上述第二气体排出部的一方端部。

利用这个所希望的构成，通过使用上述阀芯等，可以适当地限制作用于上述隔膜的过载等，由于在这个阀芯及阀座的前后(隔膜驱动室及工作油限制室)分别设置了第一气体排出部及第二气体排出部，所以可以适当地排出隔膜周围的气体。

另外，上述第一气体排出部的他方端部和上述第二气体排出部的他方端部设置比较接近，最好是在上述第二气体排出部的他方端部上设有上述逆流防止体的构成，当流体从上述第一气体排出部被排出时，为了通过其流体压力使上述第二气体排出部的他方端部闭塞，在上述第二气体排出部的他方端部被压紧，当流体从上述第二气体排出部被排出时，为了通过其流体压力使上述第二气体排出部的他方端部开放，从上述第二气体排出部的他方端部被抬起。

利用这个所希望的构成，即使作为使两个气体排出部连通的构成，由于可以设置上述逆流防止体，所以可以防止气体及工作油向隔膜驱动侧逆流，恰当地使往复式泵驱动。

此外，上述气体排出机构由上述第一气体排出部、上述第二气体排出部、上述逆流防止体以及流体排出调整部而构成，上述流体排出调整部的构成最好是，由设在上述逆流防止体上部的圆珠体，以及可以调整上述圆珠体升降量的调整阀而构成。

利用这个所希望的构成，使用上述调整阀，可以适宜地，在必要时候排出气体。

进而，其构成最好是，把上述逆流防止体的升降量和上述圆珠体的升降量分别作为规定的间隔，以便可以自动地从上述第一气体排出部以及上述第二气体排出部进行气体排出。

而且，这时，最好是上述逆流防止体的升降量为0.5mm～2.0mm左右，上述圆珠体的升降量为0.5mm～2.0mm左右的构成。此外，作为上述逆流防止体的升降量，1.0mm～1.5mm左右则更好，进而，作为上述圆珠体的升降量，0.5mm～1.0mm左右则更好。

另外，上述逆流防止体是圆珠体，最好使用比重接近工作油比重的材料构成。作为比重接近工作油比重的材料，比如有聚丙稀等。

此外，为了补充至少从上述第一气体排出部以及上述第二气体排出部的一方排出的工作油，最好是设有工作油补充机构的构成。

作为上述工作油补充机构，可以举出有，例如，气体排出时事先想定工作油的流出以供给这部分工作油而构成的辅助滑阀机构，以及根据隔膜驱动室内的压力变动，可适宜地供给工作油的工作油补给阀(可使补充压力可变的工作油补给阀)。

利用这个所希望的构成，由于设置了上述工作油补充机构(辅助滑阀机构、工作油补给阀等)，所以可以预先考虑气体排出时工作油的流出根据其情况补给工作油，或者适当地补给隔膜驱动室变成过剩负压状态时的工作油，从而不降低泵的效率，可以在稳定的状态下维持往复式泵的运转。

根据本发明的其他的特征，可以提供以下特征的止回阀，由具有流体流通路径的主体部、为使上述流通路径开闭而设在上述主体部内的阀芯、为使弹压力作用于上述阀芯而设在上述主体部内的弹压装置而构成，上述弹压装置，为使上述阀芯能弹压在上述流通路径中的上述流体的入口侧而设置，用上述阀芯闭塞上述流通路径时，上述阀芯和上述弹压装置之间具有规定间隔。

利用这种构成的话，由于上述阀芯利用上述弹压装置对上述流体的入口侧弹压，所以可以提高上述阀芯在上述流通路径中的闭塞性。此外，利用这种构成的话，在利用上述阀芯对上述流通路径进行闭塞时，由于上述弹压装置和上述阀芯之间设有上述规定间隔，所以上述阀芯不会被上述弹压装置强制地压在阀座上。因此，利用这种构成的话，可以有效地减少上述阀芯以及阀座等的磨耗。

此外，根据本发明的其他的特征，可以提供以下特征的止回阀，由具有流体流通路径的主体部、为使上述流通路径开闭而设在上述主体部内的阀芯构成，至少在上述主体部以及上述主体部外部的一方设有电磁铁装置，上述阀芯由磁性材料构成，根据由上述阀芯进行的上述流通路径的开闭时间，可以至少决定针对上述电磁铁装置的通电时间以及极性切换时间的一方。另外，在上述构成中，把上述电磁铁装置设在上述主体部内时，并不是设在上述流通路径内，而是设在把该流通路径隔开的壁部内。另外，也可以构成为把上述阀芯主体部本身作为电磁铁装置发挥作用，以替代另设置上述电磁铁装置。

利用这种构成的话，由于上述电磁铁装置上述阀芯被迫移动，通过调节针对上述电磁铁装置的通电时间等，可以使上述阀芯适当地移动。也就是说，由于可以获得具有工作时很高响应性的止回阀，所以即使在上述流体粘性高的时候，也可以以适当的时间开闭流通路径。

此外，在这个构成中，由于上述阀芯可以利用上述电磁铁装置移动，所以可以抬起上述阀芯，打开上述流体路径。因此，利用这个构成的话，管路清洗后的管路内的清洗液或者管路内的运送流体，通过抬起上述阀芯打开流通路径，可以根据需要很容易地排出或回收等。

另外，其构成最好是在向上述电磁铁装置通电的电力供给线上设置电容器。利用这种构成的话，可以瞬间向上述电磁铁装置供给较大电功率，由于上述电磁铁装置能够发生较大电磁能，所以可以获得闭合响应性更高的止回阀。

进而，根据本发明的其他的特征，可以提供以下为运送流体的往复式泵，具有为运送流体而往复运动的第一隔膜及第二隔膜、设有上述第一及第二隔膜的隔膜驱动室、供给为使上述第一及第二隔膜往复运动的驱动力的驱动力供给部，上述驱动力供给部由一个偏心凸轮以及利用上述偏心凸轮的旋转进行往复运动的第一活塞部及第二活塞部构成，为使上述第一及第二活塞部的驱动力介于工作油传递到上述第一及第二隔膜而构成，为把上述流体运送到上述隔膜驱动室内的流体运送室设置了辅助驱动部。

上述辅助驱动部，具有为运送流体而往复运动的第一辅助隔膜及第二辅助隔膜、以及使上述第一及第二辅助隔膜往复运动的辅助偏心凸轮，在构成上最好是上述辅助偏心凸轮使用使上述偏心凸轮驱动的驱动力传输轴进行旋转驱动。还有，上述辅助偏心力凸轮也可以使用上述驱动力传输轴进行同步旋转驱动而构成。

进而，根据本发明的其他的特征，可以提供以下为运送流体的往复式泵，具有为运送流体而往复运动的隔膜、设有上述隔膜的隔膜驱动室、供给为使上述隔膜往复运动的驱动力的驱动力供给部，上述隔膜的上游侧及下游侧分别设有止回阀，上述止回阀由具有流体流通路径的主体部、为使上述流通路径开闭而设在上述主体部内的阀芯、为使弹压力作用于上述阀芯而设在上述主体部内的弹压装置而构成，上述弹压装置，为使上述阀芯能弹压在上述流通路径中的上述流体的入口侧而设置，用上述阀芯闭塞了上述流通路径时，上述阀芯和上述弹压装置之间具有规定间隔。

另外，根据本发明的其他的特征，具有为运送流体而往复运动的第一隔膜及第二隔膜、设有上述第一及第二隔膜的隔膜驱动室、以及供给为使上述第一及第二隔膜往复运动的驱动力的驱动力供给部，上述驱动力供给部由一个偏心凸轮以及利用上述偏心凸轮的旋转进行往复运动的第一活塞部及第二活塞部构成，为使上述第一及第二活塞部的驱动力介于工作油传递到上述第一及第二隔膜而构成，为把上述流体运送到上述隔膜驱动室内的流体运送室设置了辅助驱动部，上述辅助驱动部，具有为运送流体而往复运动的第一辅助隔膜及第二辅助隔膜、以及使上述第一及第二辅助隔膜往复运动的辅助偏心凸轮，上述辅助偏心凸轮使用使上述偏心凸轮驱动的驱动力传输轴进行旋转驱动。还有，上述辅助偏心力凸轮也可以构成为使用使上述偏心凸轮驱动的驱动力传输轴进行同步旋转驱动。另外，可以提供以下为运送流体的往复式泵，上述第一及第二隔膜的上游侧及下游侧分别设有止回阀，上述止回阀由具有流体流通路径的主体部、为使上述流通路径开闭而设在上述主体部内的阀芯、为使弹压力作用于上述阀芯而设在上述主体部内的弹压装置而构成，上述弹压装置，为使上述阀芯能弹压在上述流通路径中的上述流体的入口侧而设置，用上述阀芯闭塞了上述流通路径时，上述阀芯和上述弹压装置之间具有规定间隔。

进而，根据本发明的其他的特征，可以提供以下为运送流体的往复式泵，具有为运送流体而往复运动的隔膜、设有上述隔膜的隔膜驱动室、供给为使上述隔膜往复运动的驱动力的驱动力供给部，上述隔膜的上游侧及下游侧分别设有止回阀，上述止回阀由具有流体流通路径的主体部、以及为使上述流通路径开闭而设在上述主体部内的阀芯构成，至少在上述主体部以及上述主体部外部的一方设有电磁铁装置，上述阀芯由磁性材料构成，根据由上述阀芯进行的上述流通路径的开闭时间，可以至少决定针对上述电磁铁装置的通电时间以及极性切换时间的一方。另外，在上述构成中，把上述电磁铁装置设在上述主体部内时，并不是设在上述流通路径内，而是设在把该流通路径隔开的壁部内。或者，也可以构成为把上述阀芯主体部本身作为电磁铁装置发挥作用，以替代另设置上述电磁铁装置。

此外，根据本发明的其他的特征，可以提供以下为运送流体的往复式泵，具有为运送流体而往复运动的第一隔膜及第二隔膜、设有上述第一及第二隔膜的隔膜驱动室、以及供给为使上述隔膜往复运动的驱动力的驱动力供给部，上述驱动力供给部由一个偏心凸轮以及利用上述偏心凸轮的旋转进行往复运动的第一活塞部及第二活塞部构成，为使上述第一及第二活塞部的驱动力介于工作油传递到上述第一及第二隔膜而构成，为把上述流体运送到上述隔膜驱动室内的流体运送室设置了辅助驱动部，上述辅助驱动部，具有为运送流体而往复运动的第一辅助隔膜及第二辅助隔膜、以及使上述第一及第二辅助隔膜往复运动的辅助偏心凸轮，上述辅助偏心凸轮使用使上述偏心凸轮驱动的驱动力传输轴进行旋转驱动，上述第一及第二隔膜的上游侧及下游侧分别设有止回阀，上述止回阀由具有流体流通路径的主体部、以及为使上述流通路径开闭而设在上述主体部内的阀芯构成，至少在上述主体部以及上述主体部外部的一方设有电磁铁装置，上述阀芯由磁性材料构成，根据由上述阀芯进行的上述流通路径的开闭时间，可以至少决定针对上述电磁铁装置的通电时间以及极性切换时间的一方。另外，在上述构成中，把上述电磁铁装置设在上述主体部内时，并不是设在上述流通路径内，而是设在把该流通路径隔开的壁部内。另外，也可以构成为把上述阀芯主体部本身作为电磁铁装置发挥作用，以替代另设置上述电磁铁装置。

其构成最好是在向上述电磁铁装置通电的电力供给线上设置电容器。利用这种构成的话，可以获得具有闭合响应性等较高的止回阀的往复式泵，从而可以实现高精度的定量运送。

此外，根据本发明的其他的特征，可以提供以下的往复式泵，在由与运送流体接触状态下进行往复运动的第一及第二隔膜而构成的往复式泵中，第一隔膜触液面和第二隔膜触液面被设置成能够介于具有运送路径的泵的扬程略微平行地相对，使用上述第一隔膜的触液面和上述第二隔膜的触液面和上述泵的扬程以形成流体运送区域。

这里，所谓“流体运送区域”，是指由于驱动各隔膜(第一隔膜、第二隔膜)，可以妥当地对上述流体进行运送，且不会向接续在上述泵的扬程的运送路径(设在泵的扬程内的流体被运送的路径)上的配管部外泄漏的区域。

利用这种构成的话，由于介于上述泵的扬程把两个隔膜相对设置，所以与单纯具有两个独立的泵的扬程部的泵相比，可以大幅减少往复式泵构成时的零部件数。此外，随着零部件数的减少，由于可削减封止部的数，所以只是封止部的减少，就可以降低液漏的可能性。进而，由于可以减少零部件数，所以可以减少各构成要素的制作误差、组装误差的发生概率。另外，利用这种构成的话，由于在相对的隔膜间可以设置上述的泵的扬程，所以第一隔膜的运动不会对第二隔膜或者其相反产生不良影响，从而各隔膜可分别妥当地进行规定的运动。因此，利用这种构成的往复式泵的话，可以适当地保持各隔膜中的排放流量，从而可有效地防止运送流体的脉动。

进而，与本发明相关的往复式泵，其构成最好是使用上述隔膜及上述泵的扬程而构成的运送流体流通区段不会从上述流体运送区间泄漏上述流体并可分离。利用这个可分离的构成的话，可有效地进行维修处理。也就是说，利用这种往复式泵的话，由于不用分解运送流体流通区段，取下配管部等就可以对驱动力供给部进行维修(例如偏心凸轮、限位弹压装置的交换等)，所以可以像具有两个独立的泵的扬程部的现有的泵那样，不必对两个泵的扬程部进行分解和组装等，就可以进行维修处理。因此，可以得到不必预先抽出流通在上述运送流体流通区段内的运送流体，即可对上述驱动力供给部等进行维修的、维修性优异的往复式泵。

此外，根据本发明的其他的特征，可以提供以下的往复式泵，具有在具有与运送流体接触状态下进行往复运动的隔膜、以及使上述隔膜驱动的驱动力供给部的往复式泵中，上述驱动力供给部使用一个偏心凸轮、利用上述偏心凸轮的旋转进行往复运动的第一活塞部及第二活塞部、以及对上述第一及第二活塞部的位置进行调整的调整装置而构成，上述调整装置具有使上述第一及第二活塞部弹压在上述偏心凸轮的位置方向上的弹压功能，以及可以吸收以上述偏心凸轮的对角距离变化为起因的上述第一活塞部和上述第二活塞部之间产生的偏移的缓冲功能。

利用这种构成的话，由于可以用一个偏心凸轮驱动两个活塞部而构成，所以与使用两个偏心凸轮的情况相比，不存在要求偏心凸轮的形状具有同一性等的问题。因此，可以像使用两个偏心凸轮那样，不必要求高的组装精度等，可以有效地对往复式泵以及各构成要素进行制作和组装等。

进而，其构成最好是，上述第二活塞部形成为空心状，上述第二活塞部的内部设有上述偏心凸轮和上述第一活塞部，上述第一活塞部的外面部和上述第二活塞部的内面部之间设有上述调整装置，由于上述偏心凸轮的旋转上述第一活塞部和上述第二活塞部随着上述调整装置而往复运动的构成。

利用这个所希望的构成，通过上述偏心凸轮的旋转，由于在夹持上述调整装置(限位弹压装置)的状态下上述活塞部分别滑动的同时，重复往复运动，所以可以把上述调整装置的最大弯曲距离，相对上述活塞部的往复运动距离较大地减少。因此，利用这个所希望的构成的话，由于可以使用小型且低强度的弹压装置(弹簧等)可以构成上述调整装置，所以进一步可以实现往复式泵的小型化。

进而，与本发明相关的往复式泵，最好具有上述第一及第二活塞部的往复运动方向和上述调整装置的弹压方向及缓冲方向成略微平行的构成。

再有，与本发明相关的往复式泵，最好上述调整装置使用由一个弹簧等组成的弹压构件构成。

再者，与本发明相关的往复式泵，其构成最好是，上述第一活塞部的端面部和一隔膜之间形成的第一空间、以及上述第二活塞部的端面部和其他隔膜之间形成的第二空间，分别在略微密闭状态下构成，上述各空间内填充了工作油，根据上述第一及第二活塞部的往复运动，压力作用于上述工作油上，受上述压力作用上述一及其他隔膜进行往复运动。

利用这个所希望的构成，可以把从上述活塞部传来的驱动力有效地传递到上述隔膜上，使用上述各种奏效的驱动力供给部，可以得到可实现小型化等的往复式泵。

此外，根据本发明的其他的特征，其特征在于，在具有与运送流体接触状态下进行往复运动的隔膜、以及使上述隔膜驱动的驱动力供给部的往复式泵中，上述驱动力供给部使用一个偏心凸轮、利用上述偏心凸轮的旋转进行往复运动的第一活塞部及第二活塞部、以及为把上述偏心凸轮的驱动力传递到上述各活塞部而与上述偏心凸轮接触的接触转动要素(回转轴)而构成，为了抑制上述偏心凸轮和上述接触转动要素(回转轴)之间产生的压力角，上述接触转动要素(回转轴)用比上述偏心凸轮小的直径形成。也就是说，与本发明相关的往复式泵，上述接触转动要素(回转轴)最好尽量较小形成。

设成这种构成的话，由于尽量小地形成上述接触转动要素(回转轴)，所以可以减小与上述偏心凸轮之间产生的压力角，延长往复式泵的寿命，从而可以实现长期间的无脉动运送。

进而，与本发明相关的往复式泵，在上述各活塞部设有轴承，上述各个轴承最好再备有具有为支持对应的上述接触转动要素(回转轴)的多个环的内座环件。利用这个所希望的构成的话，由于上述偏心凸轮沿着轴承的内座环侧和上述接触转动要素(回转轴)接触，所以与偏心凸轮沿着轴承的外座环侧和上述接触转动要素(回转轴)接触的情况相比，可以使上述偏心凸轮和上述接触转动要素(回转轴)之间产生的压力角更小。这样，如上所示，可以期待往复式泵的寿命延长。

进而，与本发明相关的往复式泵，在上述各活塞部分别设有两个以上的轴承，在上述各活塞部，其构成最好是设置上述接触转动要素(回转轴)以由上述轴承和上述偏心凸轮支持。利用这个所希望的构成的话，如果上述接触转动要素(回转轴)具有规定的强度等的话，那么可以把上述接触转动要素设成必要最小限度的大小，而不会受轴承或者偏心凸轮等的大小左右。因此，如上所示，可以减小压力角，期待往复式泵的寿命延长。

进而，与本发明相关的往复式泵，其构成最好设有调整上述第一活塞部及上述第二活塞部位置的调整装置，上述调整装置，具有使上述第一及第二活塞部设置的上述接触转动要素弹压在上述偏心凸轮的位置方向上的弹压功能，以及可以吸收以上述偏心凸轮的对角距离变化为起因的上述第一活塞部和上述第二活塞部之间产生的间隙的缓冲功能。上述调整装置，例如使用弹簧等弹压装置构成。

此外，根据本发明的其他的特征，可以提供以下的往复式泵，在具有与运送流体接触状态下进行往复运动的隔膜、以及使上述隔膜驱动的驱动力供给部的往复式泵中，上述驱动力供给部使用一个偏心凸轮、利用上述偏心凸轮的旋转进行往复运动的第一活塞部及第二活塞部、以及为把上述偏心凸轮的驱动力传递到上述各活塞部而与上述偏心凸轮接触的接触转动要素(回转轴)而构成，并设有可调整上述隔膜驱动状态的驱动调整机构。

利用这种构成的话，通过设置上述驱动调整机构，由于可以适宜地调整上述隔膜的驱动状态，所以即使在上述往复式泵的排放侧发生脉动等，也可以驱动上述隔膜以补正其脉动部分的减少量，从而可以得到可有效防止脉动的往复式泵。

进而，与本发明相关的往复式泵，其构成最好是，上述活塞部的驱动力介于工作油被传递到上述隔膜而构成，上述驱动调整机构具有根据各活塞部的运动进行驱动的辅助滑阀和可调整上述辅助滑阀作用时间的调整用滑阀，通过上述辅助滑阀压上述工作油，可以调整上述隔膜的驱动状态。

利用这个所希望的构成的话，即使在上述往复式泵的排放侧发生脉动等，也可以通过用上述辅助滑阀压上述工作油，从而使上述隔膜驱动以补正上述脉动部分。因此，可以得到可有效防止脉动的往复式泵。

进而，与本发明相关的往复式泵，最好上述辅助滑阀和上述调整用滑阀的间隔限制上述辅助滑阀的作用时间，并且为了能任意设定上述间隔而构成上述调整用滑阀。利用这个所希望的构成，由于可以任意设定上述辅助滑阀的作用时间，所以即使由于泵的机械误差等产生各种脉动等时，由于也可以对各个泵使用上述调整用滑阀进行调整，所以可以得到可有效防止脉动的往复式泵。

进而，在与本发明相关的往复式泵中，上述驱动调整机构最好由驱动上述偏心凸轮的可变速电机、可检测上述偏心凸轮位置的旋转位置检测器、根据表示利用上述旋转位置检测器检测的上述偏心凸轮位置的信号可控制上述可变速电机的控制装置构成。

利用这个所希望的构成的话，由于使用上述位置信号及上述控制装置，可适宜地控制上述可变速电机，所以可以恰当地控制驱动上述隔膜的上述偏心凸轮的转速。因此，即使发生脉动等，根据需要，通过控制上述偏心凸轮的旋转，控制上述隔膜的驱动状态，可以得到可有效防止脉动等的往复式泵。

进而，与本发明相关的往复式泵，其构成最好是，在流体运送路径的排放侧设有脉动检测装置，用上述脉动检测装置检测的脉动信号被反馈到上述控制装置上而构成，根据上述位置信号、上述脉动信号和上述控制装置，可控制上述可变速电机。这里，作为上述脉动检测装置，最好使用可以几种形式检测运送流体脉动的流量计、压力计等检测装置。

进而，与本发明相关的往复式泵，上述可变速电机在构成上最好是步进电动机。而且，上述旋转位置检测器在构成上最好是旋转编码器或者转速表传感器。

附图简单说明

图1是与本发明实施形态相关的往复式泵的概略剖面图。

图2是图1中的II-II剖面图。

图3是组成与本实施形态相关的往复式泵的流体运送部的放大图。

图4是组成与本实施形态相关的往复式泵的气体排出机构的放大图。

图5A及图5B是组成与本实施形态相关的往复式泵的辅助滑阀机构的放大图，分别表示辅助滑阀的驱动开始时以及驱动结束时。

图6A及图6B是把组成与本实施形态相关的往复式泵的辅助滑阀的流量调整为零时的辅助滑阀机构的放大图，分别表示辅助滑阀的驱动开始时以及驱动结束时。

图7是组成与其他实施形态相关的往复式泵的气体排出机构的放大图。

图8是组成与其他实施形态相关的往复式泵的气体排出机构的放大图。

图9A及图9B是表示与本发明实施形态相关的止回阀的第一形式的概略剖面图。

图10是表示与本发明实施形态相关的止回阀的第二形式的概略剖面图。

图11是表示与本发明实施形态相关的止回阀的第三形式的概略剖面图。

图12是与本发明其他实施形态相关的往复式泵的外观正视图。

图13是图12所示的往复式泵的外观侧视图。

图14是图12的A-A剖面概略图。

图15是图13的B-B剖面概略图。

图16所示的是图12等所示的往复式泵各隔膜的压力波形。图16A所示的是隔膜上的压力波形；图16B所示的是辅助隔膜上的压力波形；图16C所示的是这些波形重叠后的波形。

图17是与本发明其他实施形态相关的往复式泵的局部剖面图。

具体实施方式

以下，根据附图说明本发明的实施形态。

图1所示的是与本发明实施形态相关的往复式泵的概略剖面图。如图1所示，与本实施形态相关的往复式泵，由通过使隔膜(第一隔膜1A及第二隔膜1B)往复运动以实现流体运送的流体运送部10A和10B、为使这些隔膜1A和1B驱动而在适当时间供给工作油的驱动力供给部40、以及使该驱动力供给部40的偏心凸轮42驱动的驱动部70等构成。

此外，组成该往复式泵的驱动部70，由产生旋转运动的电动机71、把该电动机71的转动力矩传送到驱动力传输轴41的齿轮部72等构成。进而，与本实施形态相关的往复式泵，在驱动力供给部40的左右两边分别设有辅助滑阀机构100A和B(相当与本发明的“工作油补充机构”)和工作油补给阀150A和B(相当于本发明的“工作油补充机构”)。关于这些，后面将详细说明。

再者，与本实施形态相关的往复式泵，为了防止脉动，使用两个流体运送部10A和10B构成，但是它们只是驱动时间不同，其构成基本相同。另外，由于像这样具有两个流体运送部10A和10B，所以在本实施形态中，即使对于其他要素(例如，上述的辅助滑阀机构100A、B及工作油补给阀150A、B等)，同样的构成也可对应各自的流体运送部10A和10B各设置两个。

因此，以下就同样的构成要素进行说明时，决定使用同样的符号，对各自进行区别时，根据需要附加“A”和“B”的符号。

图2所示的是图1中的II-II剖面图，具体就是表示驱动力供给部40的剖面图。在这个图中，省略了辅助滑阀的标注。

如图2所示，驱动力供给部40，由从上述的驱动部70获得驱动力的驱动力传输轴41，安装在该驱动力传输轴41上的偏心凸轮42，根据该偏心凸轮42的运动进行往复运动的活塞部(第一活塞部43及第二活塞部44)，第一活塞部43内轴承47的内座环件支持的第一回转轴45，第二活塞部44内轴承48的内座环件支持的第一回转轴46，在第二活塞部44内适当地对第一活塞部43和第二活塞部44进行弹压、然后为使设在各活塞部43和44内的各回转轴45和46接触偏心凸轮42而工作的、作为调整装置的限位弹压装置49，内含这些各要素的壳部50等构成。而且，具有以上所示要素的驱动力供给部40，在壳部50内壁和活塞部43、44之间的密闭空间内，填充了工作油。

与本实施形态相关的驱动力供给部40，第二活塞部44形成为空心状。也就是说，第二活塞部44为了能在其内部包含驱动力传输轴41、偏心凸轮42、第一活塞部43、轴承48以及限位弹压装置49等而形成。而且，第二活塞部44的内壁部(内面部)44a和第一活塞部43的外壁部(外面部)43a之间，被夹持着限位弹压装置49。即由于这个限位弹压装置49，第一及第二活塞部43和44能向偏心凸轮42的位置方向弹压。换言之，利用这个限位弹压装置49的适当的弹压力，第一活塞部43内的第一回转轴45和第二活塞部44内的第二回转轴45将被弹压，以使其一直接触在偏心凸轮42的外周面上。

此外，在壳部50上，为了与各配管部(后述)连通，形成了工作油的供给口(第一供给口51及第二供给口52)。而且，从各活塞部43和44的端面部，介于供给口51和52、配管部21和22等，在到各隔膜1和2为止之间形成的空间，构成了略微密闭状态，在这个空间内，填充了工作油。因此，在本实施形态中，根据各活塞部43和44的运动对工作油作用正压和负压，根据该压力变动，介于各供给口51和52流通工作油。而且，由于该工作油，隔膜1和1进行往复运动。

图3所示的是图1中往复式泵的局部放大图，具体就是流体运送部10的放大图。此外，与本实施形态相关的往复式泵，如上所述，虽然是使用两个流体运送部10A和10B构成，但是其构成基本相同。因此，在该图3中，省略了用于区别左右的“A”和“B”的标注。而且，在进行说明中，需要对左右区别时，如图1所示的那样，对于图上左侧的构成要素付上“A”，对于右侧的构成要素付上“B”。

如图3所示，在本实施形态中，使用泵的扬程32和左右的工作油供给部31A和31B夹持各隔膜1A和1B，构成了各流体运送部10A和10B。具体说，就是流体运送部10由隔膜1、泵的扬程32、与该泵的扬程32共同夹持隔膜1而支持的工作油供给部31、以及设在该工作油供给部31上部的气体排出机构20等构成。

而且，使用该工作油供给部31和泵的扬程32，构成具备隔膜1的隔膜驱动室2，在工作油供给部31内，构成了被连接在隔膜1上的阀芯3以及具备与之对应阀座4的工作油限制室5。此外，上述的气体排出机构20是为了适当地排出混入在隔膜驱动室2及工作油限制室5内的工作油中的气体(空气等)而设置的。进而，泵的扬程32，设有为使运送流体流动而作用的流入侧止回阀33以及为使运送流体流出而作用的流出侧止回阀34，这些分别介于流入路径33a以及流出路径34a，被连通在隔膜驱动室2的流体运送室2a中。

隔膜驱动室2，是隔膜1介于驱动力供给部40获得先前说明的驱动部70传来的驱动力，根据该驱动力而使隔膜1往复运动而构成。具体说，就是驱动力供给部40和工作油供给部31介于工作油配管部35连通，工作油配管部35以及工作油供给部31内被工作油充满，驱动力供给部40中的活塞部43和44的往复运动介于工作油配管部35及工作油供给部31内的工作油，被传递到隔膜1。还有，这里隔膜1虽然其断面形状形成为波形形状，但是本发明不限于这个构成，根据需要，可以做成各种形状。

在工作油限制室5内，如上所述，设有阀芯3及与之对应的阀座4，该阀芯3介于螺旋弹簧等弹压装置7被安装在阀芯支持部6上，进而这个阀芯3被固定在联络工作油限制室5和隔膜驱动室2之间的轴8上。轴8的一方端部8a，由于介于弹压装置7及阀芯3被弹压在隔膜1侧，所以在通常运转时，它将接触隔膜1的工作油供给部31侧。

再者，工作油限制室5，是为了限制被供给到隔膜1中的工作油，以防止隔膜1超过规定范围过度往复运动而设置的，详细内容后面说明。

还有，以下对流体运送部10A和10B中一方侧的构成构件进行说明，因而，说明只是就每个功能所设置的两个构成构件的一方侧进行。因此，只要没有特别附加解释，同一说明还可以适用于他方的流体运送部。

工作油限制室5和隔膜驱动室2之间，设有轴支持部9，这个轴支持部9形成了为使工作油流通的贯通孔9a。此外，关于阀芯支持部6，还形成了为使工作油流通的贯通孔6a。

在本实施形态中，如图3等所示，由于形成了隔膜驱动室2及工作油限制室5，所以工作油中混入空气等气体时，各室2和5的最上部容易积存气体。因此，在本实施形态中，为了适当地排出隔膜驱动室2及工作油限制室5内的气体，设置了气体排出机构20。以下，用图4说明气体排出机构20的构成。

图4所示的是与本实施形态相关的气体排出机构的放大图。与本实施形态相关的气体排出机构20，如图4所示，在工作油限制室5设有第一气体排出路径21(相当于本发明的“第一气体排出部”)，并设置了设在隔膜驱动室2中的第二气体排出路径22(相当于本发明的“第二气体排出部”)。

更具体地说，在位于工作油限制室5内的阀座4的工作油配管部35侧的上方位置上设有第一气体排出路径21的一方端部21a(参照图3)，在隔膜驱动室2内的隔膜1和阀座4之间的上方位置上设有第二气体排出路径22的一方端部22a(参照图3)。而且，各自排出路径21、22的他方端部21b和22b为与由流体排出调整部25和工作油供给部31所形成的连通部24连通而接近设置。进而，在第二气体排出路径22的他方端部22b上，设有第一圆珠体23(相当于本发明的“逆流防止体”)，这个第一圆珠体23的上部设有限制第一圆珠体23升降量(可动区域)的限制部26。

流体排出调整部25，设有对从连通部24出来的排出气体进行封止或者只排出规定量而作用的、设在第一调整部排出路径25a上的第二圆珠体28(相当于本发明的“圆珠体”)，以及限制该第二圆珠体28升降量(可动区域)同时为使介于第一调整部排出路径25a排出的排出气体流通而作用的调整阀27。

调整阀27在其内部具有阀内排出路径27a。而且，这个调整阀27的外周部为旋合在流体排出调整部25上而形成公螺纹部，第二圆珠体28的升降量由这个调整阀27的扭进量调整。此外，调整阀27的阀内排出路径27a可与形成在流体排出调整部25上的第二调整部排出路径25b连通而构成。进而，该第二调整部排出路径25b与被接续在驱动力供给部40工作油积存部(壳50内)的气体排出配管部36连通。此外，流体排出调整部25中的调整阀27的上部，覆盖该调整阀27的同时，设有在调整阀27调整时可装卸(或者可开闭)的保护罩29。

与本实施形态相关的往复式泵，如以上图1至图4所示构成，在通常运转时，发挥以下作用。

与本实施形态相关的往复式泵，首先开始使电动机71旋转，介于齿轮部72把转动力矩传到驱动力传输轴41上。

接着，利用该驱动力传输轴41使偏心凸轮42旋转，利用该偏心凸轮42的旋转，使第一及第二活塞部43和44进行往复运动。在这里，根据上述构成，第一活塞部43和第二活塞部44一体地靠一个偏心凸轮42进行往复运动。而且，通过该活塞部43和44的往复运动，规定的力及方向的压力作用于工作油，该工作油介于第一及第二供给口51和52被送排出到配管部35A和35B中。

接着，根据介于配管部35A和35B而流通的工作油，隔膜1A和1B以适当的时间进行往复运动，通过这个隔膜1A和1B的运动，流入侧止回阀33及流出侧止回阀34动作，以运送所希望的液体。

再说，通常运转时，与本发明相关的往复式泵，各构成要素如上所示发挥作用，通过使隔膜1A和1B进行反复往复运动，可定量地运送所希望液体。但是，产生某个问题，过剩的压力介于工作油从驱动力供给部40作用于隔膜1的话(大量的工作油被供给到隔膜驱动室2中的话)，隔膜1可能会发生裂纹及破损等。因此，在本实施形态中，设有工作油限制室5。以下具体进行说明。

利用介于工作油配管部35流入到工作油供给部31中的工作油，在本实施形态中，阀芯3也与隔膜1共同进行往复运动。因此，通常运转以上的工作油流入工作油供给部31中时，并不只是隔膜1驱动，而且阀芯3还由于过剩的工作油等而移动到隔膜1侧。在本实施形态中，其构成要在由于过剩的工作油等原因隔膜1产生问题(裂纹等)前，以使该阀芯3接触阀座4，并且其构成还要像这样通过阀芯3接触阀座4，以便适当地限制工作油供给隔膜驱动室2。

利用本实施形态的话，如上所述，根据工作油的供给量(压力)，阀芯3也与隔膜1一起驱动，根据需要，通过阀芯3和阀座4接触，由于介于轴支持部9的贯通孔9a可以遮断被流通到隔膜驱动室2中的工作油，所以可以适当地介于工作油控制施加于隔膜1的压力。

像这样，利用工作油限制室5(组成它的阀芯3及阀座4)适当地控制工作油的话，工作油限制室5内的工作油虽然失去了去所，但是失去了其去所的工作油，通过设在驱动力供给部40和工作油限制室5之间的释放机构(图略)适当地放泄，这些工作油将回到组成驱动力供给部40的壳50内等。

此外，像这样，使用阀芯3和阀座限制工作油时，工作油还会从设在工作油限制室5内的第一气体排出路径21溢流。这时，第二圆珠体28由调整阀27被毫无间隙地压在第一调整部排出路径上时，溢流在第一排出路径21上的工作油被积存在连通部24上。而且，在本实施形态中，由于第二气体排出路径22的上方端部(他方端部22b)设有第一圆珠体23，所以像这样，即使是工作油介于第一气体排出路径21进行了溢流的情况，工作油也不会逆流到第二气体排出路径22中。

另外，第二圆珠体28和调整阀27之间设有规定间隔时，溢流到第一气体排出路径21中的工作油，介于连通部24、第一调整部排出路径25a、阀内排出路径27a、第二调整部排除路径25b以及气体排出配管部36，回到壳50内等。此外，这时，还可以与上相同，利用设在第二气体排出路径22上方端部(他方端部22b)上的第一圆珠体23，防止向工作油第二气体排出路径22逆流。

在本实施形态中，因某个问题而可能使过载加在隔膜1上时，如上所述使阀芯3等作用以保护隔膜1。

接着，在与本实施形态相关的往复式泵中，上述的隔膜驱动室2及工作油限制室5内混入气体等时，按照以下的做法排出气体。

具体地就是在本实施形态中进行以下构成，以便能够使用具有流体排出调整部25等的气体排出机构20，通过手动或自动，对上述两室2和5进行气体排出。

首先，就手动进行气体排出的情况进行说明。

手动操作时，如图4等所示，基本上是使用调整阀27把第二圆珠体28压在第一调整部排出路径25a的上端部的状态。在这个状态下，隔膜驱动室2内的气体介于第二气体排出路径22，工作油限制室5内的气体介于第一气体排出路径21，被排出到连通部24内，成为积存在这里的状态。这时，第二气体排出路径22的上部虽设有第一圆珠体23，但是这个第一圆珠体23和限制部26之间由于设有规定间隔(例如，1mm)，所以第一圆珠体23被排出气体的压力抬起，排出气体排出并积存到连通部24。

而且，在本实施形态中，根据需要(需要进行气体排出时)，对调整阀27的扭进量进行调整(移动到上方)，在第二圆珠体28和调整阀27之间设规定间隔。只要设这个间隔的话，那么第二圆珠体28被连通部24内的排出气体压力抬起，介于第一调整部排出路径25a、阀内排出路径27a、第二调整部排除路径25b以及气体排出配管部36，隔膜驱动室2以及工作油限制室5内的气体将适当地排出。气体排出结束后，调整阀27再次扭进，第二圆珠体28和调整阀27之间的间隔(第二圆珠体28的升降量)为零。

像这样，在把第二圆珠体28的升降量(调整阀27和第二圆珠体28之间的间隔，换言之第二圆珠体28的可升降量)通常设为“零”的构成中，通常运转时，由于能够保持隔膜驱动室2及工作油限制室5的密闭状态，所以气体及工作油等不会泄漏到外部。因此，在可最大限度发挥泵的性能的状态下，可以实施往复式泵的运转。

此外，如上所述，根据需要，只要对一个的调整阀27进行操作，就可以适当地排出两处的气体，所以比现有技术更容易排出气体(除气等)。还有，这里说明的气体排出处理(调整阀27的调整处理)，基本上只要在往复式泵制造时进行的话，那么没有必要那么频繁地进行。

接着，就自动进行气体排出的情况进行说明。

自动操作时，需要把第一圆珠体23和限制部26的间隔(第一圆珠体23的可升降量)(以下称为“第一升降量”)L1，以及第二圆珠体28和调整阀27(用双点划线(假设线)表示的)的间隔(第二圆珠体28的可升降量)(以下称为“第二升降量”)L2分别设定为规定的间隔。这里所谓“规定的间隔”，是指从各自的气体排出路径21和22排出的气体适当地排出的同时，泵的排放功率没怎么降低，而且可在抑制了脉动的状态下进行运转的间隔，这还根据泵的排放量等而异。例如，第一升降量L1为0.5～2.0mm左右比较好(最好为1.0～1.5mm左右)，第二升降量L2为0.5～2.0mm左右比较好(最好为0.5～1.0mm左右)。还有，在本实施形态中，限制部26为固定式，第一升降量L1约设定为1.0mm。而且，第二升降量L2，例如可设定为1.0mm左右。但是，由于这个第二升降量L2可利用调整阀27可变，所以根据需要，可以调整为更恰当的间隔(适当地进行气体排出，并使泵的排放功率不怎么降低的间隔)。此外，为了适当地进行气体排出的同时，保持适度的密闭性，还需要适当地选择构成各圆珠体23和28的材料，例如，第一圆珠体23最好使用比重接近于工作油比重的材料而构成，例如最好使用聚丙稀等构成。

像这样，在把第一升降量L1和第二升降量L2确定在规定的间隔内的构成中，通常运转时，即使隔膜驱动室2及工作油限制事5内混入气体，由于各圆珠体23和28只可升降规定量，所以可以介于第一气体排出路径21、第二气体排出路径22、连通部24、第一调整部排出路径25a以及阀内排出路径27a，适当且自动地进行气体的排出(除气等)。

再有，如上所述，在本实施形态中，无论手动还是自动，进行气体排出时，不仅排出气体，而且还同时有排出工作油的可能性。工作油被排出的话，泵的排放效率降低，脉动可能也会变大。因此，在本实施形态中，为了补给与气体同时排出的工作油(为了防止除气时泵效率降低)，设置了辅助滑阀机构100(参照图1)。以下，使用图1、图5及图6具体说明滑阀机构100。

如图1所示，在本实施形态中，第一及第二活塞部43和44附近设有辅助滑阀机构100A和100B。设在偏心凸轮42左右上的各辅助滑阀机构100A和100B，基本上分别具有相同的构成。因此，以下在图5及图6中，以位于左侧的辅助滑阀机构100A为例进行说明。还有，图5及图6中将省略附在左侧要素上的“A”的标注。

如前面所述，与本实施形态相关的往复式泵，进行气体排出时，一些工作油还伴随气体被排出。因此，与本实施形态相关的滑阀机构100，基本上要补充这个被排出的工作油，并且为了适当地使隔膜1驱动，调整工作油的加压量。

图5A及图5B所示的是为补充规定量而构成和调整的辅助滑阀机构的放大图。图5A所示的是辅助滑阀的驱动开始时；图5B所示的是辅助滑阀的驱动结束时。这里，所谓“规定量”是指即使伴随气体排出工作油被排出，可以实现适当的泵功率及脉动状态的同时，进行往复式泵运转的量。

在图5中，与本实施形态相关的辅助滑阀机构，由工作油加压装置110和补充量调整装置120构成。工作油加压装置110，由用安装在第一活塞部43上的加压部115加压的辅助滑阀111，可滑动地保持辅助滑阀111的滑阀保持部112，固定在辅助滑阀111上的弹簧保持部113，设在滑阀保持部112和弹簧保持部113之间、把辅助滑阀111弹压在偏心凸轮42侧上的弹簧部114构成。

此外，补充量调整装置120，由调整辅助滑阀111作用时间的调整用滑阀121，可使调整用滑阀121滑动保持的调整用滑阀保持部122，固定在调整用滑阀保持部122上的弹簧保持部123，设在调整用滑阀121和弹簧保持部123之间、把调整用滑阀121弹压在工作油加压装置110侧(偏心凸轮42侧)上的弹簧部124构成。

调整用滑阀保持部122的外周面上形成公螺纹部，这个公螺纹部为与形成在调整装置插入部125的内周面上的母螺纹旋合而形成。也就是说，在本实施形态中，通过调整装置插入部125和调整用滑阀保持部122的旋合位置(旋合)状态，可以使补充量调整装置120移动到箭头X方向(参照图5A)。因此，在本实施形态中，可以很容易地对辅助滑阀111的端面和调整用滑阀121的端面的距离t进行调整。

与本实施形态相关的辅助滑阀机构，辅助滑阀111的端面在与调整用滑阀121的端面接触之前是补充工作油的过程。也就是说，辅助滑阀111的端面和调整用滑阀121的端面的距离t将规定工作油的补充量。而且，如上所述，在本实施形态中，由于可以很容易调整距离t(辅助滑阀111的作用时间)，所以也可以很容易调整工作油的补充量。

如上所述，图5A所示的是辅助滑阀的驱动开始时，辅助滑阀111，根据第一活塞部43的运动，受到滑阀加压部115所压，在箭头P方向(参照图5A)滑动。而且，如图5B所示，辅助滑阀111接触到调整用滑阀121的话，由于辅助滑阀111不会对工作油产生任何作用(不会对工作油产生压力等)，所以像这样，相互的滑阀111和121接触的状态将表示辅助滑阀111的驱动结束时。

也就是说，与本实施形态相关的往复式泵，为了弥补伴随气体排出而排出的工作油的量，规定各滑阀111和121间隔，以使驱动隔膜的工作油的排放量增加。也就是说，利用与本实施形态相关的往复式泵的话，由于通过使用上述辅助滑阀机构100，可以补充与气体一起从气体排出机构20排出的工作油，所以在通常运转时，不会使泵的效率降低，而且特别不会发生脉动等，可以通过手动或自动适当地进行气体排出。

此外，在上述的构成中，如果使从气体排出机构20排出的工作油量和由辅助滑阀机构100补给的工作油量一致的话，那么与本实施形态相关的往复式泵就可确保100％泵的效率，进而，在自动进行气体排出的构成(具有规定的第一升降量L1以及第二升降量L2的构成)中，即使泵运转中空气混入工作油限制室5内，也不会使运转效率降低，从而可以把空气迅速地排出泵外。

再有，虽然图5及图6，就辅助滑阀机构100只补充从气体排出机构20排出的工作油量的情况进行了说明，但是，本发明并限于这个构成，为了还对应其他部分的工作油的增减，也可以对辅助滑阀机构100的设定量进行调整。例如，在往复式泵中，在止回圆珠复座到吸入侧阀座的短时间内，有时有极少量液体逆流到液体的流入侧。此外，由于工作油中极少残留的空气的压缩以及超高压下工作油本身的体积变化(减少)，有时会产生工作油效率降低。因此，也可以调整辅助滑阀机构，以便还可以补充与逆流及工作油效率降低的流体量相对应的量。

另外，图6A及图6B所示的是把辅助滑阀的流量调整为零的状态的放大图。图6A所示的是辅助滑阀的驱动开始时；图6B所示的是辅助滑阀的驱动结束时。

图6所示调整的辅助滑阀111及调整用滑阀121，基本上与图5所说明的情况相同，由安装在第一活塞部43上的加压部115驱动。可是，在这个图6中，加压部115从接触辅助滑阀111前开始就被调整，以使辅助滑阀111及调整用滑阀121相互接触(参照图6A)。具体就是通过对调整用滑阀保持部122和调整装置插入部125的旋合状态进行调整，与图5A比较，使补充量调整装置120移动到箭头Y方向(参照图6A)(使补充量调整装置120(调整用滑阀保持部122)移动到辅助滑阀111和调整用滑阀121接触位置)。

因此，如果按照图6所示进行调整的话，从辅助滑阀111的驱动开始时(图6A)，到驱动结束时(图6B)，辅助滑阀111和调整用滑阀121成为接触的状态。也就是说，如果是该图6的调整状态的话，由于辅助滑阀111的端面和调整用滑阀121的端面的距离为零，所以辅助滑阀111丝毫不会作用于工作油。

如以上的图5及图6所示，与本实施形态相关的辅助滑阀机构，根据需要，可以很容易地调整辅助滑阀111的作用时间。因此，利用本实施形态的话，根据每个往复式泵的排放能力、脉动状态等，可以得到可适宜地调整补充量调整装置120，有效地防止脉动，并以高排放效率进行运转的往复式泵。

进而，与本实施形态相关的往复式泵，如图1所示，第一及第二活塞部43和44附近设有工作油补给阀150A和150B。这个工作油补给阀150A和150B，利用气体排出机构20等作用，在隔膜驱动室2内成为负压状态时，为适当地供给工作油而发挥作用，并且可变更补充压力而构成。利用本实施形态的话，由于具有该工作油补给阀150A和150B，所以即使因某个问题，隔膜驱动室2等成为过度负压状态，根据规定的压力，可以从工作油补给阀150开始补给。因此，与本实施形态相关的往复式泵可以不降低泵效率，维持稳定的性能。

此外，本发明并不限于上述实施形态，只要不超出其宗旨，可以对上述以外情况进行各种变更。例如，在上述实施形态中，虽然就与运送流体接触的触液面使用隔膜的情况进行了说明，但是本发明并不限于这个构成，例如，也可以在触液面设置活塞或者滑阀等，以构成往复式泵。

另外，图7所示的是组成与其他实施形态相关的往复式泵的气体排出机构的放大图。这里，图7所示的实施形态和使用图4等说明的上述实施形态基本具有同样的构成，但是主要是为设置调整阀27而形成在流体排出调整部25上的母螺纹部271周围的构成不同。以下，就做成这种构成的理由，与上述实施形态对比进行说明。

图4等所示的气体排除机构，在往复式泵起动中进行除气作业时，要把作为工作油补充机构之一的工作油补给阀的设定压力设定极低，以使调整阀27的升降量最大来驱动泵。这样一来，隔膜驱动室2及工作油限制室5中的气体被驱动力供给部40的驱动力压缩，从阀内排出路径27a排出。而且，气体被排除后，隔膜驱动室2及工作油限制室5的压力下降的话，那么工作油介于工作油补给阀而被补给。往复泵起动时，通过反复进行这个操作，气体排出的同时，可以使工作油填充。

但是，往复式泵1次旋转的容积移动较少时(使用小直径活塞部等时)，在所有气体排出前，往往需要相当长的时间(例如几十分钟)。此外，在图4等所示的气体排出机构中，由于可能的第二圆珠体28只有在受气压作用而接触到调整阀27端部前的期间，气体可从阀内排出路径27a排出，所以因某个原因，第二圆珠体28接触到调整阀27的话，阀内排出路径27被封止，有时不能适当地排出气体。像这样，图4等所示的实施形态，有时不能以短时间适当地进行气体排出。

因此，为了解决上述问题，图7中，安装调整阀27的母螺纹部271在构成上与图4等不同。也就是说，图7母螺纹部271的上部271a和下部271b形成了不同的尺寸(内径)。具体就是母螺纹部下部271b，通过设在调整阀27上的O环27c，形成使气体等流体不在调整阀27和母螺纹部271间流通而被密封的内径。此外，母螺纹部上部271a，在使调整阀27的升降量增多时，将形成可解除O环27c密封系合的内径。

也就是说，利用这个图7所示的实施形态的话，根据需要，可以对调整阀27进行调整，以使使气体等流体在调整阀27和母螺纹部271间流通。因此，利用本实施形态的话，如图7(实线)所示，即使变成第二圆珠体28接触到调整阀27，阀内排除路径27a被封止的状态，气体等介于调整阀27和母螺纹部271之间以及旁通管排出路径25c，从气体排出配管部36适当地排除。

此外，如果是这个图7所示的构成的话，在使用小直径的活塞部等，而排放能力(气体排出能力)较小的往复式泵的情况下，使负压从外部作用于气体排出配管部36，可以强制地抽出气体。

进而，图8所示的是组成与其他实施形态相关的往复式泵的气体排出机构的放大图。这里，图8所示的实施形态和使用图7等说明的上述实施形态基本具有同样的构成，但是在本实施形态中，在第一气体排出路径21及第二气体排出路径22的上方上分别设有圆珠体231和232，这一点是不同的。

如果做成这个图8所示的构成的话，则不必把各圆珠体231和232的形成材料限定为比重接近工作油比重的材料，可以使用陶瓷等比工作油比重大球度高的圆珠体。也就是说，通过这样在两方的气体排出路径21和22上方设置圆珠体231和232，例如，即使工作油介于第一气体排出路径21溢流时，利用圆珠体232，不会使工作油向第二排出路径22逆流。

使用前面图4及图7等说明的聚丙稀等圆珠体构成的气体排出机构，适用于构成较低压力泵的情况，使用这个图8说明的陶瓷等圆珠体构成的气体排出机构，适用于构成高压力泵的情况。也就是说，利用这个图8所示的气体排出机构的话，由于具有陶瓷等较大比重的圆珠体231和232设在各气体排出路径21和22的上方，所以也可以对高粘度的流体适当地进行止回。

图9A及图9B是表示与本发明实施形态相关的止回阀的第一形式的概略剖面图，具体说，图9A表示的是阀芯复座在阀座上而闭塞流体路径的状态；图9B表示的是阀芯离开阀座而使流体路径开放的状态。

如图9所示，与本实施形态相关的止回阀由组成阀主体部310的上部主体部311及下部主体部312，设在各主体部311和312间的密封件313、阀芯314、引导该阀芯314的上部引导部315及下部引导部316、设在上部主体部311和上部引导部315之间的弹簧等弹压装置317等构成。此外，构成这个止回阀的各主体部311和312，形成有为使流体流通的流通路径311A和312A。

在本实施形态中，下部引导部316被固定在下部主体部312上，上部引导部315介于弹压装置317安装在上部主体部311上。而且，这个止回阀，位于闭塞状态(参照图9A)时，通过上部引导部315和下部引导部316接触(参照图9A的S部)而构成，以使上部引导部315和阀芯314之间设有规定的间隔t1(参照图9A)。

如上构成的止回阀，没有流体供给时，将如图9A所示发挥作用，以使阀芯314复座在下部主体部312的阀座312B上，使流通路径311A和312A能够闭塞。这时，如上所述，由于上部引导部315被构成与阀芯314之间设有规定的间隔t1，所以阀芯314不会被压在阀座312B上。

另一方面，流体从下部主体部312侧供给到止回阀内的话，如图9B所示，构成止回阀的阀芯314根据其流体的压力而从阀座312B离开的同时，反抗弹压装置317的弹压力，把上部引导部315向上方抬起，止回阀内的流体的流通路径311A和312A成为开放状态。

止回阀的流通路径311A和312A成为开放状态后，流体的供给被停止的话，伴随流体供给停止，阀芯314依靠自重及弹压装置317的弹压力，复座在阀座312B上，然后止回阀的流通路径311A和312A再成为闭塞状态。也就是说，与本实施形态相关的止回阀(的流通路径311A和312A)，根据流体的供给状态(压力状态)，将反复以上所示的闭塞状态及开放状态。

再说，图9所示的止回阀，由于按照以上方式构成并发挥作用，所以可以得到以下的效果。

也就是说，与本实施形态相关的止回阀，即使在流通路径311A和312A闭塞时，阀芯314也并不是依靠弹压装置317强制地被压在阀座312B上，而是在被安装在弹压装置317上的上部引导部315和阀芯314之间设有规定的间隔t1。因此，利用本实施形态的话，由于通过流通的流体阀芯314(球状阀芯)本身很容易自转，所以可以使阀芯314均匀地磨耗。若是现有技术的话，例如，阀芯由于被弹压装置压在阀座上，所以可能出现阀芯偏磨耗。

此外，在本实施形态中，由于通过设置规定间隔t1可使阀芯314自转，从而弹压装置能比现有技术获得更强的弹压力，所以可以得到闭合响应性高的止回阀。这如果是现有技术的话，由于要极力抑制阀芯的偏磨耗，所以需要对弹压装置的弹压力设置规定的限制，这样闭合响应性可能降低。

进而，与本实施形态相关的止回阀，如上所述，由于闭合响应性高，所以即使运送高粘度流体时，也可以有效地实现定量运送。

图10A及图10B是表示与本发明实施形态相关的止回阀的第二形式的概略剖面图，具体说，图10A所示的是阀芯复座到阀座上闭塞流体路径的状态；图10B所示的是阀芯离开阀座开放流体路径的状态。

如图10所示，与本实施形态相关的止回阀，由阀主体部320，阀芯324，引导该阀芯324的上部引导部325，设在上部引导部325上的弹簧等弹压装置327等构成。此外，这个构成止回阀的阀主体部320，形成了为使流体流通的流通路径320A。

在本实施形态中，上部引导部325上安装了弹压装置327，该弹压装置327，在止回阀位于闭塞状态(参照图10A)时(阀芯324复座在阀座320B上时)，在弹压装置327和阀芯324之间被设有规定间隔t2(参照图10A)而构成。

对于图10所示的止回阀而言，也与前面图9说明的止回阀相同，没有流体供给时，阀芯324复座在阀座320B上，以使流通路径320A闭塞而发挥作用，弹压装置327由于与阀芯324之间具有规定间隔t2，所以阀芯324不会被压在阀座320B上。

另外，流体被供给到止回阀内的话，如图10B所示，构成止回阀的阀芯324，根据其流体的压力而从阀座320B离开的同时，反抗弹压装置327的弹压力，使弹压装置327向上方弯曲，止回阀内的流体的流通路径320A成为开放状态。

止回阀的流通路径320A成为开放状态后，流体的供给被停止的话，伴随流体供给停止，阀芯324依靠自重及弹压装置327的弹压力，复座在阀座320B上，然后止回阀的流通路径320A再成为闭塞状态。也就是说，与本实施形态相关的止回阀，与图9的止回阀相同，根据流体的供给状态(压力状态)，将反复以上所示的闭塞状态及开放状态。

这个图10所示的止回阀，虽然为使弹压装置327和阀芯324接触而构成，但是阀芯324复座在阀座320B上时，阀芯324和阀座320B之间具有规定的间隔t2，这与前面的止回阀(参照图9)相同。因此，对于这个图10所示的止回阀而言，也可以得到与图9相同的效果。

此外，在这个图10中，虽然阀主体部320的阀座320B附近没有设有阀芯324的引导部，但是本发明不限于这个构成，根据需要，也可以在阀座320B附近设置引导部。

图11是表示与本发明实施形态相关的止回阀的第三形式的概略剖面图。这里，虚线表示的阀芯334，表示的是复座在阀座330B上闭塞流通路径330A的状态；实线表示的阀芯334，表示的是从阀座330B上离开而开放流通路径330A的状态。

如图11所示，与本实施形态相关的止回阀，由阀主体部330，阀芯334，引导该阀芯334的上部引导部335，设在阀主体部330外部上的线圈部339等构成。此外，这个构成止回阀的阀主体部330，形成了为使流体流通的流通路径330A。

在按照图11构成的止回阀中，根据供给线圈部339的电功率，发生作用于阀芯334的电磁力，通过适当地切换供给电功率的极性，就可以强制性地使阀芯334移动(在本实施形态中，“上下运动”参照图11的箭头Y)。

就是说，与本实施形态相关的止回阀，阀芯334使用受磁力作用的材料构成，设在阀主体部330外部上的线圈部339的电磁力作用于阀芯334。因此，通过适宜地控制(反转等)与线圈339部通电的电流极性，在本实施形态下，可以得到响应性高的止回阀。还有，根据需要，如果在向线圈部339(电磁铁)通电的电力供给线上设置电容器的话，由于电流可在短时间内供给，所以可得到响应性更高的止回阀。

也就是说，如果利用与本实施形态相关的止回阀的话，不使用弹簧等弹压装置，就可以强制性地使阀芯334上下运动，从而在复座时，通过不向线圈部339通电，也不会有阀芯334被压在阀座330B上的情况。因此，与前面说明的图9及图10相同，对于这个图11所示的止回阀而言，可以消除阀芯334的偏磨耗，在高粘度的流体的运送时也可有效地实现定量运送。

进而，与本发明相关的往复式泵，不限于上述图1至图7所示的结构，根据需要，也可以按照图12至图15等所示进行构成。还有，以下说明的往复式泵，基本构成由于与前面图1至图7说明的往复式泵相同，所以对于相同的构成要素，决定使用相同符号说明，这里就主要不同的构成要素进行说明。

图12是与本发明其他实施形态相关的往复式泵的外观正视图；图13是图12所示的往复式泵的外观侧视图。另外，图14是图12的A-A剖面概略图；图15是图13的B-B剖面概略图。

这个图12至图15所示的往复式泵，如上所述，基本上具有与前面说明的往复式泵相同的构成，只是在为使流体运送到隔膜驱动室内的流体运送室而设有辅助驱动部这一点不同。因此，以下主要就辅助驱动部的构成进行说明。

如图14及图15所示，与本实施形态相关的往复式泵，由通过使隔膜1往复运动以运送流体的流体运送部10，为使隔膜1驱动而在适当时间供给工作油的驱动力供给部40，使该驱动力供给部40的偏心凸轮42驱动的驱动部70，以及把流体运送到流体运送部10中流体运送室2a中的辅助驱动部400等构成。

在本实施形态中，驱动部70由产生旋转运动的电动机71和把该电动机71的转动力矩传送到驱动力传输轴410的齿轮部72等构成。而且，这个驱动力传输轴410，是为使转动力矩供给到组成驱动力供给部40的偏心凸轮42，以及组成辅助驱动部400的辅助偏心凸轮402而构成。也就是说，与实施形态相关的驱动力传输轴410，如图14所示，是为了使偏心凸轮42旋转的第一轴部411和使辅助偏心凸轮402旋转的第二轴部412成为一体而构成。

辅助驱动部400，由安装在按照上述方式旋转驱动的第二轴部412上的辅助偏心凸轮402，根据该辅助偏心凸轮402的运动分别驱动的辅助隔膜401(相当于本发明的“第一辅助隔膜”及“第二辅助隔膜”)等而构成。更具体说，它是由与辅助偏心凸轮402接触、并根据该辅助偏心凸轮402的旋转左右往复运动的辅助可动体403，以及为使隔膜1随着该辅助可动体403的运动进行往复运动、且安装在辅助可动体403上的可动轴装置(第一可动轴405和第二可动轴406)等构成。

此外，各隔膜1的上游侧分别设有辅助流入侧止回阀430，根据各隔膜1的往复运动状态，控制该辅助流入侧止回阀430的开闭状态。进而，在本实施形态中，为了防止规定量(压力)以上的流体被运送到流体运送室，而设有辅助漏泄部440。这个辅助漏泄部440设在各止回阀430的下游侧，由漏泄支持部441，与该漏泄支持部441接离对流体管道进行开闭的开闭部443，为使该开闭部443与漏泄支持部441接触而弹压的弹簧等弹压装置442构成。

与本实施形态相关的往复式泵，按照以上方式构成，发挥以下作用。

就是说，图12至图15所示的往复式泵，并不只是隔膜1往复运动而运送流体的，使用辅助驱动部400，流体可以运送到流体运送室2a内。更具体说，同一流体运送路径中的隔膜1以及辅助隔膜401(例如，位于图15左侧的隔膜1及辅助隔膜401)，分别为使一方进行排放过程时，他方为吸入过程而发挥作用。

这里，图16所示的是各自隔膜1和401的排放和吸入过程的压力波形。图16A所示的是隔膜1上所获得的压力波形；图16B所示的是辅助隔膜401上所获得的压力波形；而且，图16C是这个图16A以及图16B的压力波形重叠后表示的波形。

在图16中，虚线及实线分别表示同一流体运送路径中的隔膜1及辅助隔膜401，例如，实线表示位于图15右侧的隔膜1B(右泵)以及辅助隔膜401B(右加压泵)，虚线表示位于图15左侧的隔膜1A(左泵)以及辅助隔膜401A(左加压泵)。

如上所述，在本实施形态中，隔膜1和辅助隔膜401反复交互排放和吸入，隔膜1吸入时，由于是辅助隔膜401排放时，所以流体运送室2a中，可以适当地运送必要的流体。

要运送高粘度等流体时，对于只能驱动隔膜1那样的泵而言，由于流体是高粘度，所以有时不能把必要量的流体吸入流体运送室2a，从而不能实现定量运送。但是，利用本实施形态的话，假设即使只靠隔膜1而吸入不足，但通过驱动辅助驱动部400，由于可以向流体运送室2a补充运送量，所以可以适当地定量运送流体。

此外，在本实施形态中，如上所述，为了适当地补充流体而发挥作用的辅助驱动部400，是由作为使驱动力供给部40驱动的驱动源的驱动部70而驱动的。也就是说，利用本实施形态的话，不必使用新的驱动源，就可以构成辅助驱动部400。

进而，在本实施形态中，当辅助流入侧止回阀430的下游侧的压力达到规定压力(例如0.45Mpa)以上时，辅助漏泄部440发挥作用，并使开闭部443从漏泄支持部441离开而构成。也就是说，通过调整弹压装置442的弹压力，在管道内的压力达到规定压力以上时，以使流体漏泄而构成。

因此，利用本实施形态的话，不需要把流体运送室2a内的压力提高必要值以上，从而可以期待防止隔膜1以及辅助隔膜401等破损。此外，这个辅助漏泄部440中的规定压力，由于根据隔膜1中的定量运送量决定，也就是说由于在确定时还要考虑不要有过剩供给等，所以通过设置这个辅助漏泄部440，可以实现高精度的定量运送。

还有，本发明并不限于上述实施形态，只要不超出其宗旨，可以对上述以外情况进行各种变更。

例如，图1～图7以及图12～图15所示的往复式泵，分别设有多个止回阀33、34、430，这些止回阀33、34、430所示的构成是，阀芯(圆珠体)在流体压力下离开阀座流体的流通路径开放，伴随流体压力的减少阀芯依靠自重复座到阀座上流通路径闭塞。但是，本发明不限于这个构成，根据需要，例如也可以使用图9至图11所示的止回阀构成往复式泵。这些止回阀由于都是在流通路径的闭塞开始时，阀芯被强制性地移动到阀座上，所以具有高的闭合响应性。因此，使用这种止回阀的话，就可以构成具有前面说明的止回阀的作用效果的往复式泵。具体说，就是可以得到可高精度地进行定量运送的往复式泵，以及通过消除阀芯的偏磨耗而可实现长寿命的往复式泵。

再有，如图11所示，使用线圈部339(即使用电磁力)构成往复式泵时，如图17所示，最好利用编码器500。也就是说，通过使用这个编码器500，可检测止回阀内阀芯334的复座时间，根据这个检测结果，可以控制向线圈部339供给电力的时间以及极性反转时间等。这里，复座时间，可以通过例如检测驱动力传输轴41和410的旋转位置来把握。

如以上说明，利用本发明的话，可以获得具备，不必进行繁杂的作业等，就可适当且自动地排出气体的气体排出机构的往复式泵。此外，利用本发明的话，可以确实地对管道进行闭塞，可以获得不必进行起动注液等，且能够使圆珠及阀座等的局部磨耗减少的止回阀。进而，利用本发明的话，即使运送高粘度的流体时，也能得到可实现定量运送的往复式泵。

Claims (4)

1.一种为运送流体的往复式泵，其特征在于，具有为运送流体而往复运动的第一隔膜及第二隔膜、设有上述第一及第二隔膜的隔膜驱动室、供给为使上述第一及第二隔膜往复运动的驱动力的驱动力供给部，

上述驱动力供给部由一个偏心凸轮以及利用上述偏心凸轮的旋转进行往复运动的第一活塞部及第二活塞部构成，

为使上述第一及第二活塞部的驱动力介于工作油传递到上述第一及第二隔膜而构成，

为把上述流体运送到上述隔膜驱动室内的流体运送室，设置了辅助驱动部。

2.如权利要求1所述的往复式泵，其中，上述辅助驱动部，具有为运送流体而往复运动的第一辅助隔膜及第二辅助隔膜、以及使上述第一及第二辅助隔膜往复运动的辅助偏心凸轮，

上述辅助偏心凸轮利用使上述偏心凸轮驱动的驱动力传输轴而被旋转驱动。

3.一种为运送流体的往复式泵，其特征在于，具有为运送流体而往复运动的第一隔膜及第二隔膜、设有上述第一及第二隔膜的隔膜驱动室、以及供给为使上述第一及第二隔膜往复运动的驱动力的驱动力供给部，

上述驱动力供给部由一个偏心凸轮以及利用上述偏心凸轮的旋转进行往复运动的第一活塞部及第二活塞部构成，

为使上述第一及第二活塞部的驱动力介于工作油传递到上述第一及第二隔膜而构成，

为把上述流体运送到上述隔膜驱动室内的流体运送室，设置了辅助驱动部，上述辅助驱动部，具有为运送流体而往复运动的第一辅助隔膜及第二辅助隔膜、以及使上述第一及第二辅助隔膜往复运动的辅助偏心凸轮，上述辅助偏心凸轮利用使上述偏心凸轮驱动的驱动力传输轴而被旋转驱动，

上述第一及第二隔膜的上游侧及下游侧分别设有止回阀，

上述止回阀由具有流体流通路径的主体部、为使上述流通路径开闭而设在上述主体部内的阀芯、为使弹压力作用于上述阀芯而设在上述主体部内的弹压装置而构成，上述弹压装置，为将上述阀芯向上述流通路径中的上述流体的入口侧弹压而设置，用上述阀芯闭塞了上述流通路径时，上述阀芯和上述弹压装置之间具有规定间隔。

4.一种为运送流体的往复式泵，其特征在于，具有为运送流体而往复运动的第一隔膜及第二隔膜、设有上述第一及第二隔膜的隔膜驱动室、以及供给为使上述隔膜往复运动的驱动力的驱动力供给部，

上述驱动力供给部由一个偏心凸轮以及利用上述偏心凸轮的旋转进行往复运动的第一活塞部及第二活塞部构成，

为使上述第一及第二活塞部的驱动力介于工作油传递到上述第一及第二隔膜而构成，

为把上述流体运送到上述隔膜驱动室内的流体运送室，设置了辅助驱动部，上述辅助驱动部，具有为运送流体而往复运动的第一辅助隔膜及第二辅助隔膜、以及使上述第一及第二辅助隔膜往复运动的辅助偏心凸轮，上述辅助偏心凸轮利用使上述偏心凸轮驱动的驱动力传输轴而被旋转驱动，

上述第一及第二隔膜的上游侧及下游侧分别设有止回阀，

上述止回阀由具有流体流通路径的主体部、以及为使上述流通路径开闭而设在上述主体部内的阀芯构成，至少在上述主体部以及上述主体部外部的一方设有电磁铁装置，上述阀芯由磁性材料构成，根据由上述阀芯进行的上述流通路径的开闭时间，可以至少决定针对上述电磁铁装置的通电时间以及极性切换时间的一方。

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