JP2510492Y2 - 小形単動プロセスポンプ - Google Patents

小形単動プロセスポンプ

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JP2510492Y2
JP2510492Y2 JP6754092U JP6754092U JP2510492Y2 JP 2510492 Y2 JP2510492 Y2 JP 2510492Y2 JP 6754092 U JP6754092 U JP 6754092U JP 6754092 U JP6754092 U JP 6754092U JP 2510492 Y2 JP2510492 Y2 JP 2510492Y2
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JP
Japan
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diaphragm
spring
chamber
port
pump chamber
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正明 小野
弘之 三木
嘉宏 正野
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エスエムシー株式会社
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Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は、洗剤、塗料等の各種流
体にエネルギーを与えてその位置や圧力を高め、各種流
体を所望の箇所へ送るためのダイヤフラム式の小形単動
プロセスポンプに関する。
【0002】
【従来の技術】従来の小形単動プロセスポンプは、ポン
プ室と駆動室との間にダイヤフラムが配設され、駆動室
にエアが給排され、ポンプ室と吸入ポート及び吐出ポー
トとの間はそれぞれチェック弁を介して連通されてい
る。そして、ポンプ室内にスプリング受けが固定され、
ダイヤフラムに連結されたフランジ付スプリングガイド
がポンプ室内に配設され、スプリング受けとスプリング
ガイドのフランジ部との間に、リターンスプリングが配
設されている。
【0003】スプリング受け、フランジ付スプリングガ
イド及びリターンスプリングが、ポンプ室内に配設され
ているので、吸入され吐出され輸送される各種流体に晒
される。従って、スプリング受け、フランジ付スプリン
グガイド及びリターンスプリングが、各種流体の通過の
妨げとなり、また使用後の洗浄が困難であった。また、
リターンスプリングとしてコイルスプリングを用いてい
たので、ポンプ室の厚みが大きかった。
【0004】
【考案が解決しようとする課題】本考案は、従来の前記
欠点を解消するものであって、スプリング受け、フラン
ジ付スプリングガイド及びリターンスプリングをポンプ
室から排除して、各種流体の通過を容易にし、またコイ
ルスプリングを偏平な形状のスプリングに変更してポン
プのコンパクト化を図ることを課題とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本考案は、前記課題を達
成するために、小形単動プロセスポンプにおいて、ボデ
ィとカバーとによってダイヤフラムの周辺が挟持され、
カバー内のダイヤフラムに面する箇所に駆動室が形成さ
れ、ボディ内のダイヤフラムに面する箇所にポンプ室が
形成され、ダイヤフラムに連結されたフランジ付スプリ
ングガイドが駆動室内に配設され、駆動室内に固定され
たスプリング受けとフランジ付スプリングガイドのフラ
ンジ部との間に、皿形のリターンスプリングが配設さ
れ、ポンプ室と吸入ポート及び吐出ポートとの間がそれ
ぞれチェック弁を介して連通されるようにした。
【0006】
【作用】駆動室にエアを供給すると、ダイヤフラムがリ
ターンスプリングの弾発力に抗してポンプ室側に移動
し、ポンプ室内の流体が加圧され、チェック弁を開いて
吐出ポートから流出する。駆動室内のエアを排気する
と、リターンスプリングの弾発力によってダイヤフラム
が駆動室側に移動し、流体が吸入ポートを通りチェック
弁を開いてポンプ室に吸入される。こうした動作を反復
することにより、流体が所望の箇所へ流出される。
【0007】
【実施例】図1は本考案の実施例の小形単動プロセスポ
ンプの縦断側面図である。小形単動プロセスポンプにお
いては、ボディ1の段付き凹所にカバー2が嵌合され、
ボディ1の段部10とカバー2の先端部11との間で、ダイ
ヤフラム3の周辺部が挟持される。カバー2内のダイヤ
フラム3に面する部分には截頭円錐形の駆動室5が形成
され、ボディ1内のダイヤフラム3に面する部分には截
頭円錐形のポンプ室4が形成され、ダイヤフラム3の位
置は図示の中央位置から前後の位置に移動し、ポンプ室
4及び駆動室5の容積は変化する。ボディ1の一端側
(図1では左側)の下端面に吸入ポート12が開口され、
同じく一端側の上端面に吐出ポート13が開口される。吸
入ポート12と吐出ポート13との間の中央軸線上には、短
い小径部14、截頭円錐形の吸入側弁座15、中径部16、段
部17及び長い大径部18が連設される。
【0008】吸入側チェックボール6が吐出ポート13か
ら挿入されて、吸入側弁座15上に載置され(吸入側チェ
ック弁となる。)、弁座体19が吐出ポート13から大径部
18に挿入され、弁座体19の下端には吸入側L字型通路23
の入口側が開口され、弁座体19の上端には大径内孔24が
開口される。弁座体19の大径内孔24の下側には截頭円錐
形の吐出側弁座25及び吐出側L字型通路26が連設され、
吐出側L字型通路26近傍の弁座体19外周の環状凹溝には
Oリング27が嵌合され、弁座体19の表面と大径部18との
間を密封する。図1に示すとおり、弁座体19の下端が段
部17に当接され、弁座体19の吐出側弁座25上に吐出側の
チェックボール7が載置され(吐出側チェック弁とな
る。)、弁座体19上端部の孔がボディ1のピン挿通孔22
及び盲孔21と同一軸線上に配置され、そこに平行ピン20
が挿通され、弁座体19が固定される。このとき、吸入側
L字型通路23の出口側が、ボディ1の吸入側連通孔28を
通してポンプ室4に連通され、吐出側L字型通路26の入
口側がボディ1の吐出側連通孔29を通してポンプ室4に
連通される。
【0009】ダイヤフラム3の中央部には、ポンプ室4
側から金属製の第1シェル30、第1フラットシート32が
当接され、駆動室5側から金属製の第2シェル31、第2
フラットシート33が当接され、これらの5部材の中央孔
が同一軸線上に配列される。これらの5部材の中央孔に
固定ボルト35がポンプ室4側から挿通され、駆動室5内
で固定ボルト35先端の雄ねじ部とフランジ付スプリング
ガイド34の雌ねじ部とが螺合される。ダイヤフラム3、
第1フラットシート32及び第2フラットシート33は何れ
もふっそ樹脂(商品名テフロン)によって作られてお
り、それらによって、ダイヤフラム3の中央孔の部分で
固定ボルト35のボルト頭、第1シェル30、第2シェル3
1、スプリングガイド34の相互間が密封される。駆動室
5内にスプリング受け36が配設され、スプリング受け36
には略截頭円錐形の外方部分と、平面状の内方部分とが
あり、スプリング受け36の外方部分の周縁部は、截頭円
錐形の駆動室5の最外周部に形成された、段付環状溝37
に嵌合され固定される。スプリング受け36の内方部分と
スプリングガイド34のフランジ部との間に、皿形のリタ
ーンスプリング9が配設され、リターンスプリング9に
よってダイヤフラム3の中央部が駆動室5側に付勢され
る。ダイヤフラム3が前進位置(図1で左端位置)にあ
るときには固定ボルト35のボルト頭がポンプ室4の側壁
(図1で左端壁)に接近し、ダイヤフラム3が後退位置
(図1で右端位置)にあるときにはスプリングガイド34
のフランジが駆動室5の側壁(図1で右端壁)に接近す
る。皿形のリターンスプリング9の採用により、スプリ
ング受け36の平面状の内方部分とスプリングガイド34の
フランジとの間隔を短くすることができ、駆動室5の厚
みを小さくすることが可能となった。
【0010】ボディ1内にエア切換用の3ポート電磁切
換弁40が配設され、電磁切換弁40のAポートは通路を介
して駆動室5に連通され、また電磁切換弁40のPポート
及びRポートはボディ1の下端面に開口するエア供給ポ
ート41及び排気ポート42にそれぞれ連通される。電磁切
換弁40が位置IにあるときはAポートとRポートとが連
通し、位置IIにあるときはPポートとAポートとが連通
し、位置Iと位置IIとの切り換えは電磁弁(図示せず)
によって連続的に行われる。ボディ1及びカバー2は、
耐薬品性の高いポリプロピレンで造られ、金属部分は耐
食性の高いステンレスで造られる。駆動室5、電磁切換
弁40には外部からの水分の侵入を防ぐよう液密構造とさ
れ、また全体として構造が簡単でコンパクトな形状とな
っている。
【0011】本考案の実施例の小形単動プロセスポンプ
の作用について説明する。吸入ポート12を配管を介して
吸入すべき液体に連通させ、吐出ポート13に連結した配
管を供給すべき箇所に延ばす。エア供給ポート41にエア
を供給し、電磁切換弁40を位置IIに切り換えると、エア
がPポート、Aポートを通って駆動室5に供給され、ダ
イヤフラム3がリターンスプリング9の弾発力に抗して
前進位置へ移動する。ダイヤフラム3の前進位置への移
動により、ポンプ室4が加圧され吐出側チェックボール
7が開き(吸入側チェックボール6は閉鎖を継続)、ポ
ンプ室4内の流体(液体)は吐出側連通孔29、吐出側L
字型通路26、大径内孔24、吐出ポート13を通って吐出さ
れる。次に、電磁切換弁40を位置Iに切り換えると、駆
動室5がAポート、Rポート、排気ポート42を介して大
気に連通され、リターンスプリング9の弾発力によって
ダイヤフラム3が後退位置へ移動する。ダイヤフラム3
の後退位置への移動により、駆動室5内のエアが排出さ
れ、ポンプ室4が減圧され吸入側チェックボール6が開
き(吐出側チェックボール7は閉鎖を継続)、液体が吸
入ポート12、中径部16、吸入側L字型通路23、吸入側連
通孔28を通してポンプ室4内に吸入される。電磁弁の作
用により電磁切換弁40が連続的に切り換えられるので、
ダイヤフラム3が前進位置及び後退位置への移動を繰り
返し、液体の吸入、吐出が繰り返される。
【0012】本考案の実施例においては、リターンスプ
リング9及びスプリング受け36が駆動室5内に配置さ
れ、作動用のエアに晒されるだけであるので、リターン
スプリング9及びスプリング受け36には腐食の心配がな
い。そして、ポンプ室4内にはリターンスプリング9及
びスプリング受け36が存在せず、ダイヤフラム3の表面
には第1シェル30、第1フラットシート32、固定ボルト
35のボルト頭が露出しているのみである。従って、ポン
プ室4内には凹凸が殆ど存在せず、小形単動プロセスポ
ンプ使用後の洗浄が極めて容易である。
【0013】
【考案の効果】本考案は、スプリング受け、フランジ付
スプリングガイド及びリターンスプリングの配置をポン
プ室から駆動室に変えたので、ポンプ室内に流体通過の
障害がなくなり、またポンプ使用後の洗浄も容易となっ
た。また、駆動室内に固定されたスプリング受けとスプ
リングガイドのフランジ部との間に、皿形のリターンス
プリングが配設されるので、ポンプ室の厚みが小さく、
小形単動プロセスポンプの小形化、コンパクト化が実現
する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の実施例の小形単動プロセスポンプの縦
断側面図である。
【符号の説明】
1 ボディ 2 カバー 3 ダイヤフラム 4 ポンプ室 5 駆動室 6 吸入側チェックボール 7 吐出側チェックボール 9 リターンスプリング 12 吸入ポート 13 吐出ポート 34 スプリングガイド 36 スプリング受け
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 正野 嘉宏 茨城県筑波郡谷和原村絹の台4−2−2 エスエムシー株式会社 筑波技術セン ター内 (56)参考文献 特開 昭52−1708(JP,A) 特公 昭41−6420(JP,B1) 特公 昭55−3552(JP,B2)

Claims (1)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ボディとカバーとによってダイヤフラム
    の周辺が挟持され、カバー内のダイヤフラムに面する箇
    所に駆動室が形成され、ボディ内のダイヤフラムに面す
    る箇所にポンプ室が形成され、ダイヤフラムに連結され
    たフランジ付スプリングガイドが駆動室内に配設され、
    駆動室内に固定されたスプリング受けとフランジ付スプ
    リングガイドのフランジ部との間に、皿形のリターンス
    プリングが配設され、ポンプ室と吸入ポート及び吐出ポ
    ートとの間がそれぞれチェック弁を介して連通された小
    形単動プロセスポンプ。
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ATE373172T1 (de) * 2002-10-09 2007-09-15 Tacmina Corp Hubkolbenpumpe und rückschlagventil
JP2005344672A (ja) * 2004-06-07 2005-12-15 Ckd Corp 電磁弁切換方式ポンプ
JP6966260B2 (ja) * 2017-08-30 2021-11-10 株式会社Screenホールディングス ポンプ装置、処理液供給装置および基板処理装置

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