JP5365825B2 - 流量制御空気駆動ポンプ - Google Patents

Description

本発明は、正確な流量を吐出する空気駆動ポンプに関するものであり、更に詳しくは、エアモータと流体ポンプで構成される空気駆動ポンプにおいて、空気流量調整器によりエアモータの駆動空気流量を変えて、流体ポンプの吐出流量を変えることが可能な流量制御空気駆動ポンプに関するものである。本発明は、空気駆動ポンプにおける吐出流量の変動を制御すると共に、吐出流量を、任意に、正確に設定することができる流量制御空気ポンプを提供するものである。

近年、空気駆動ポンプは、高圧容器への液体注入などに広く使用されている。従来、エアモータのような流体作動型モータによって駆動される種々の流体ポンプ装置が開発されている。例えば、流体ポンプを駆動する流体作動型モータと、これに互換可能に取り付けることのできる第一及び第二の流体ポンプとを有するモジュラー式ポンプ組立体が提案されている（特許文献１）。

従来の空気駆動ポンプは、エアモータと流体ポンプで構成されており、駆動空気によりエアモータのモータピストンを往復運動させ、該モータピストンに同軸に流体ポンプのポンプピストンを装着し、該ポンプピストンの往復運動により流体の吸入、吐出を繰り返す機構を有している。そして、駆動空気の吸入、吐出の方式の違いにより幾つかのタイプの空気駆動ポンプが開発されている。

このような、従来の空気駆動ポンプは、流体ポンプから高い吐出流量で流体を吐出させることが可能である。しかし、この種の空気駆動ポンプは、流体ポンプの吐出流量を一定のレベルに保持することが難しく、流体ポンプからの吐出流量を正確に制御することができないという問題点を有していた。このような流体ポンプは、流体を吐出させることで、流体を一定程度の高圧状態に保持するには大きな問題はないが、例えば、５０〜２００ＭＰａ程度の高圧を得ようとすると、吐出流量を正確に制御することが必要とされることから、従来型の空気駆動ポンプは、そのような吐出流量の制御は困難であった。

特表２０００−５０６５８１号公報

このような状況の中で、本発明者らは、上記従来技術に鑑みて、吐出流量を正確に制御できる空気駆動ポンプを開発することを目標として鋭意研究を積み重ねた結果、空気流量調整器により、エアモータの駆動空気流量を調節することで、流体ポンプの吐出流量を制御できることを見出し、本発明を完成するに至った。本発明は、高圧容器への液体注入などに使用される空気駆動ポンプにおいて、流体の吐出流量を正確に制御することが可能な新しいタイプの流量制御空気駆動ポンプを提供することを目的とするものである。

上記課題を解決するための本発明は、以下の技術的手段から構成される。
（１）エアモータと流体ポンプで構成される空気駆動ポンプにおいて、
空気入口とエアモータの間に、吸入側駆動空気圧力調整弁、吐出側駆動空気圧力調整弁、その下流に、エアモータの駆動空気量を調整する空気流量調整器のマスフローコントローラー、エアモータへ入る空気の方向を切換える吐出側空気方向切換弁を配設した回路と、吸入側駆動空気圧力調整弁と吐出側駆動空気圧力調整弁の間に吸入側空気方向切換弁を配設した回路とを有し、エアモータの駆動空気流量を変えて、流体ポンプの吐出流量を制御するようにしたことを特徴とする流量制御空気駆動ポンプ。
（２）エアモータのモータピストンの位置を検知して吐出側空気方向切換弁又は吸入側空気方向切換弁へ方向切換の信号を出す検知センサーを有する、前記（１）記載の流量制御空気駆動ポンプ。
（３）空気流量調整器のマスフローコントローラーで、駆動空気の流量を所定の値に設定することにより、エアモータのモータピストンの往復運動速度及び流体ポンプの吐出流量を所定の値に変えるようにした、前記（１）記載の流量制御空気駆動ポンプ。
（４）空気流量調整器のマスフローコントローラーで、駆動空気の流量を所定の値に設定することにより、空気駆動ポンプの吐出流量を所定の値に制御するようにした、前記（１）記載の流量制御空気駆動ポンプ。

次に、本発明について更に詳細に説明する。
本発明は、流量制御空気駆動ポンプで構成される空気駆動ポンプにおいて、エアモータの駆動空気量を調節する空気流量調整器を設置したこと、当該空気流量調整器は、空気圧力調整弁とエアモータの間に配設されること、及び上記空気流量調整器として、マスフローコントローラーが使用されること、それにより、エアモータの駆動空気量を変えて、流体ポンプの吐出流量を制御するようにしたこと、を特徴とするものである。

以下、図面の記載を参照して、本発明を具体的に説明する。まず、図１、図２により、従来の空気駆動ポンプ（第１の形式）について説明する。図１及び２において、空気駆動ポンプは、エアモータ８及び流体ポンプ９で構成されており、該エアモータは、フロントエンドプレート１８と、リアエンドプレート１９と、この間に保持されたモータシリンダ１４と、該モータシリンダ内にあるモータピストン１５を備えている。また、流体ポンプは、ポンプヘッド２２と、入口チェッキ弁２３と、出口チェッキ弁２４を備えている。

空気入口１、エアフィルタ２、吸入側駆動空気圧力調整弁３、吐出側駆動空気圧力調整弁４、吐出側空気方向切換電磁弁７を経由して、吐出側空気出入口１７から駆動空気がエアモータに入ると、空気はモータピストン１５を押して、該モータピストンは、図面の右方向へ移動する。

該モータピストンが吸入側近接スイッチ１１の検知可能な位置に達すると、該吸入側近接スイッチからの信号によって、吸入側空気方向切換電磁弁６が開き、駆動空気がモータピストン１５の吸入側に吸入側空気出入口１６から入る。同時に吸入側近接スイッチ１１の信号によって、吐出側空気方向切換電磁弁７が排気側に流路を形成し、図の右方向へ移動してきたモータピストン１５は、図の左方向に移動を開始する。

モータピストン１５が、図の左方向に移動し、吐出側近接スイッチ１０の感知し得る位置に達すると、該吐出側近接スイッチの信号により、吐出側空気方向切換電磁弁７が開き、駆動空気がモータピストン１５の反対側に供給され、同時に吸入側空気方向切換電磁弁６が排気側に流路を形成し、モータピストン１５は、再び図の右方向に移動し、往復運動を行う。

モータピストン１５には、ポンプピストン２１が同軸上に装着されており、該モータピストンの往復運動により該ポンプピストンが往復運動を行い、ポンプピストン２１が図の左方向に移動するとき、入り口チェッキ弁２３を通って液体がポンプヘッド２２内に形成された空間に流入し、ポンプピストン２１が図の右方向に移動するとき、出口チェッキ弁２４を通ってポンプヘッド２２内の液体を吐出する。

次に、従来の技術を使用した他の空気駆動ポンプ（第２の形式）を、図３により説明する。図３において、空気入口１から入った駆動空気が空気方向切換弁２に形成された流路を通ってモータピストン３の右側に供給されると、該モータピストンは、図の左方向へ移動し、該モータピストンに装着されたポンプピストン４も、左方向に移動し、入り口チェッキ弁５を通って液体がポンプヘッド６内に形成された空間に吸入される。

モータピストン３が吐出側エアパイロット弁７の位置に達して、該エアパイロット弁の弁棒を押すと、パイロットエア排気口１４への流路が開き、パイロットエア圧が低下するので、空気方向切換弁２を図の下方向へ押していた力が低下して、空気方向切換弁２は、図の上方向へ動き、駆動空気をモータピストン３の左側の空間に導入する位置に停止する。同時に、この位置では、モータピストン３の右側の空気が空気方向切換弁２の内部に形成された流路を通って排気マフラー１０から排出される流路が形成される。

モータピストン３の左側に導入された駆動空気は、モータピストン３を押して、該モータピストン３を右方向へ移動させ、モータピストン３に装着されたポンプピストン４が右方向に移動し、ポンプヘッド６内に形成された空間内の液体を出口チェッキ弁１２を通して吐出する。かくして、ポンプピストン４が往復運動を繰り返し、空気駆動ポンプは液体を吸入、吐出を繰り返す。

以上に述べた第１の形式及び第２の形式の空気駆動ポンプには、ポンプの吐出流量を任意に、正確に設定できないという問題点があった。これに対して、本発明は、このような従来の空気駆動ポンプが有していた問題点を解決しようとするものであり、吐出流量を任意に、正確に設定、制御できる流量制御空気駆動ポンプを実現することを目的として開発されたものである。

まず、図４、図２により、第１の形式の本発明の流量制御空気駆動ポンプについて説明する。図において、空気駆動ポンプの基本構成は、従来の空気駆動ポンプ（第１の形式）の構成と基本的に同じであり、エアモータ８及び流体ポンプ９で構成されており、該エアモータは、フロントエンドプレート１８と、リアエンドプレート１９と、この間に保持されたモータシリンダ１４と、該モータシリンダ内にあるモータピストン１５を備えている。

空気入口１、エアフィルタ２、吸入側駆動空気圧力調整弁３、吐出側駆動空気圧力調整弁４、空気流量調整器５、吐出側空気方向切換電磁弁７を経由して、吐出側空気出入口１７から駆動空気が入ると、空気はモータピストン１５を押して、該モータピストンは、図面の右方向へ移動する。

該モータピストンが吸入側近接スイッチ１１の検知可能な位置に達すると、該吸入側近接スイッチからの信号によって、吸入側空気方向切換電磁弁６が開き、駆動空気がモータピストン１５の吸入側に吸入側空気出入口１６から入る。同時に吸入側近接スイッチ１１の信号によって、吐出側空気方向切換電磁弁７が排気側に流路を形成し、図の右方向へ移動してきたモータピストン１５は、図の左方向に移動を開始する。

モータピストン１５が、図の左方向に移動し、吐出側近接スイッチ１０の感知し得る位置に達すると、該吐出側近接スイッチの信号により、吐出側空気方向切換電磁弁７が開き、駆動空気がモータピストン１５の反対側に供給され、同時に吸入側空気方向切換電磁弁６が排気側に流路を形成し、モータピストン１５は、再び図の右方向に移動し、往復運動を行う。

モータピストン１５には、ポンプピストン２１が同軸上に装着されており、該モータピストンの往復運動により該ポンプピストンが往復運動を行い、ポンプピストン２１が図の左方向に移動するとき、入り口チェッキ弁２３を通って液体がポンプヘッド２２内に形成された空間に流入し、ポンプピストン２１が図の右方向に移動するとき、出口チェッキ弁２４を通ってポンプヘッド２２内の液体を吐出する。

次に、図５により、第２の形式の本発明の流量制御空気駆動ポンプについて説明する。図において、空気入口１、吐出側空気圧力調整弁１５、空気流量調整器１６を経由して、エアモータに入った駆動空気が、空気方向切換弁２に形成された流路を通ってモータピストン３の右側に供給されると、該モータピストンは、図の左方向へ移動し、モータピストンに装着されたポンプピストン４も左方向に移動し、入り口チェッキ弁５を通って液体がポンプヘッド６内に形成された空間に吸入される。

モータピストン３が吐出側エアパイロット弁７の位置に達して、該エアパイロット弁の弁棒を押すと、パイロットエア排気口１４への流路が開き、パイロットエア圧が低下するので、空気方向切換弁２を図の下方向へ押していた力が低下して、空気方向切換弁２は、図の上方向へ動き、駆動空気をモータピストン３の左側の空間に導入する位置に停止する。同時に、この位置では、モータピストン３の右側の空気が空気方向切換弁２の内部に形成された流路を通って排気マフラー１０から排出される流路が形成される。

モータピストン３の左側に導入された駆動空気は、モータピストン３を押して、該モータピストン３を右方向へ移動させ、モータピストン３に装着されたポンプピストン４が右方向に移動し、ポンプヘッド６内に形成された空間内の液体を出口チェッキ弁１２を通して吐出する。かくして、ポンプピストン４が往復運動を繰り返し、空気駆動ポンプは液体を吸入、吐出を繰り返す。

本発明では、上記エアモータと流体ポンプで構成される空気駆動ポンプにおいて、空気入口とエアモータの間に、吐出側空気圧力調整弁を設置し、その下流に、空気流量調整器を設置することにより、エアモータの駆動空気流量を変えて、流体ポンプの吐出流量を任意に変えることができる流量制御空気駆動ポンプを構築するものである。

本発明に係る流量制御空気駆動ポンプにおいて、空気流量調整器とそれによる作用は、次の通りである。すなわち、本発明では、図４に示すように、吐出側駆動空気圧力調整弁４と吐出側空気方向切換電磁弁７の間に、空気流量調整器５を設けることにより、駆動空気の流量を任意に、正確に設定することが可能となる。この空気流量調整器５として、マスフローコントローラーが使用される。

本発明では、上記空気流量調整器として、上述のように、マスフローコントローラーを使用するが、マスフローコントローラーの入口から導入された空気は、センサー部とバイパス部に分流され、再度合流し、流量コントロールバルブで設定流量に制御される。上記センサー部に流れる空気量が実際の流量として検出される。上記コントロールバルブとして、例えば、サーマルバルブ方式、電磁バルブ方式、ピエゾバルブ方式が例示される。これ以外にも、例えば、熱式質量流量計（熱式流量計）で、同等又は類似の機能を有するものであれば同様に使用することができる。

吐出側駆動空気圧力調整弁４で精密に駆動圧力が調整された状態で、上記空気流量調整器５によって駆動空気の流量を調整することで、エアモータ８へ流入する駆動空気の圧力及び流量を正確に設定することが可能となり、それにより、モータピストン１５の往復運動速度が一定になる。モータピストン１５には、ポンプピストン２１が装着されているので、ポンプピストン２１の往復運動速度が一定になる。

本発明では、空気入口から導入された空気の駆動圧力が調整された状態で、駆動空気の流量を調整して、駆動空気の圧力及び流量を所定のレベルに設定すること、それにより、モータピストンの往復運動速度を一定にすること、が重要である。流体ポンプ９の吐出流量、すなわち、単位時間当たりの吐出量は、ポンプピストン２１の往復運動速度に比例するので、空気流量調整器５によって、ポンプ流量を任意に、正確に設定することが可能となる。また、吸入側と吐出側の空気圧力調整弁及び方向切り換え弁をそれぞれ兼用するため、図７に示すように、空気圧力調整弁を１個とし、方向切り換え弁は二方切り換え弁２個の代わりに、四方切り換え弁１個を設置した場合も同様の効果が期待できる。

また、図５に示されるように、第２の形式の本発明の流量制御空気駆動ポンプでは、従来の第２の形式の空気駆動ポンプ（図３）において、空気入口１の次に、吐出側空気圧力調整弁１５及び空気流量調整器１６が設置される。エアモータへ供給される駆動空気の圧力は、吐出側空気圧力調整弁１５で精密に調整されているので、駆動圧力が調整された状態で、上記空気流量調整器１６によって駆動空気の流量を調整することで、エアモータへ流入する駆動空気の圧力及び流量が正確に設定することが可能となり、それにより、モータピストン３の往復運動速度を任意に変えること、そして、液体ポンプの吐出流量を任意に変えることが可能となる。

本発明では、上記空気流量調整器は、駆動空気に対して、吐出側駆動空気圧力調整弁による精密な駆動圧力の調整と協働して、精密な駆動流量の調整、すなわち、流量制御が可能な空気流量調整器を用いることが重要であるが、それらの条件を満たすものであれば、空気流量調整器の設置位置、駆動方式、性能及び種類等についての具体的構成は、流量制御空気駆動ポンプの種類、使用目的等に応じて任意に設計することができる。

従来の空気駆動ポンプでは、エアモータのモータピストを駆動するために、エアモータに導入する駆動空気の圧力を調整することが行われていたが、駆動空気の流量を調整することは行われていなかったので、流体ポンプから吐出される液体の流量を一定にすることは困難であった。これに対して、本発明では、エアモータと流体ポンプで構成される空気駆動ポンプにおいて、エアモータに導入する駆動空気の圧力を吐出側駆動空気圧力調整弁で精密に調整し、また、その流量を空気流量調整器で精密に調整することにより、駆動空気の圧力及び流量を正確に設定、制御し、それにより、エアモータのモータピストの駆動、及び流体ポンプの駆動を一定に保つことで、流体ポンプからの液体の吐出量を一定にすることが可能である。

従来技術の一般的な空気駆動ポンプは、例えば、流体ポンプから一定圧の液体を吐出できる機器構成に設計されており、一定の流量に制御して高圧吐出へ対応できる機器の開発は想定されていなかったのが実情である。一方、本発明は、亜臨界流体や超臨界流体を媒体として利用する高温高圧条件の反応器に、これらの媒体を、例えば、５０〜２００ＭＰａの高圧吐出で、一定の流量に制御して導入することを可能とする新しい空気駆動ポンプを開発し、提供するものであり、本発明の流体制御空気駆動ポンプは、上述のような５０〜２００ＭＰａの高圧吐出及び流量制御が求められる新しい亜臨界流体や超臨界流体の利用技術の開発があって、はじめて必要となるに至ったものである。

本発明により、次のような効果が奏される。
（１）エアモータと流体ポンプで構成される空気駆動ポンプに、エアモータの駆動空気量を調整する空気流量調整器を配設して、駆動空気量を設定することにより、エアモータの往復運動速度及び液体ポンプの吐出流量を任意に変えることができる。
（２）上記空気流量調整器で、駆動空気の流量を設定することにより、任意に、液体ポンプの吐出流量を設定することができる。
（３）エアモータと流体ポンプで構成される従来の空気駆動ポンプでは、液体ポンプの吐出流量を一定に設定することは困難であったが、本発明の空気駆動ポンプでは、空気流量調整器により、エアモータの駆動空気流量を変えて、流体ポンプの吐出流量を任意に、設定することができる。
（４）本発明により、例えば、５０〜２００ＭＰａの液体の高圧吐出を流量を制御して行うことが可能な新しい流量制御空気駆動ポンプを提供することができる。
（５）本発明の流体制御空気駆動ポンプは、亜臨界、超臨界流体の高圧及び流量を制御して吐出することを可能とする新しい空気駆動ポンプとして好適に使用することができる。

次に、本発明の好適な実施例を示して本発明を具体的に説明するが、本発明は、以下の実施例によって何ら限定されるものではない。

以下、本発明の好適な実施例として、第１の形式の流体制御空気駆動ポンプ及び第２の形式の流体制御空気駆動ポンプの例を、図４、図５に基づいて具体的に説明する。尚、空気流量調整器５の構成の他は、従来の空気駆動ポンプの構成に従って、任意に設計することができる。

図４は、第１の形式の空気駆動ポンプを使用した例であり、図４において、本発明の流体制御空気駆動ポンプは、空気入口１、エアフィルタ２、吸入側駆動空気圧力調整弁３を有し、吐出側駆動空気圧力調整弁４の下流に設置された、空気流量調整器５を有し、更に、吸入側空気方向切換電磁弁６、吐出側空気方向切換電磁弁７、エアモータ８、流体ポンプ９、吐出側近接スイッチ１０を有しており、モータピストン１５が検知し得る位置に達すると、吸入側空気方向切換電磁弁６及び吐出側空気方向切換電磁弁７に方向切換の電気信号を出す。

また、吸入側近接スイッチ１１は、モータピストン１５が検知しうる位置に達すると、吸入側及び吐出側空気方向切換電磁弁へ方向切換えの電気信号を出す。空気流量調節器５で、駆動空気の流量を設定することにより、流体ポンプの流量を設定することができる。

図５は、第２の形式の空気駆動ポンプ使用した例であり、図５において、本発明の流体制御空気駆動ポンプは、空気入口１の下流に設置された、吐出側空気圧力調整弁１５、及び空気流量調整器１６を有し、更に、空気方向切換弁２、モータピストン３、ポンプピストン４、入口チェッキ弁５、出口チェッキ弁１２、吐出側空気圧力調整弁１５、空気流量調整器１６を有している。モータピストン３が図の左方向へ移動すると、ポンプピストン４も左方向に移動し、入口チェッキ弁５を通って、液体がポンプヘッド６内に形成された空間に吸入される。

モータピストン３が吐出側エアパイロット弁７の位置に達し、弁棒を押して弁が開くと、パイロットエア排気口１４を通って、パイロットエアは排気されるので、空気方向切換弁２を図の下側方向に押していたパイロットエアの空気圧が低下し、空気方向切換弁２は図の上方に移動し、空気方向切換弁２を、駆動空気がモータピストン３の左側に供給する位置に移動させる。同時に、モータピストン３の右側の駆動空気が排気マフラー１０を通って、排気される回路が形成される。

モータピストン３の左側に駆動空気が供給されると、モータピストン３は、駆動空気に押されて、図の右方向に移動を始め、モータピストン３が吸入側エアパイロット弁１１の位置に達して、弁棒を押して、弁が開くと、空気方向切換弁２のパイロットエア圧力が上昇するので、空気方向切換弁２を図の下方向へ押し、駆動空気がモータピストン３の右側に供給され、往復運動が繰り返される。

図６は、図４に示す機器構成のポンプの性能を示す図であり、横軸に空気流量調整器（マスフローコントローラー）で調整した駆動空気流量を、縦軸に液体ポンプの吐出圧力を５０ＭＰａ、１００ＭＰａ、１５０ＭＰａ、２００ＭＰａに変えたときの吐出流量を示す。図で明らかなように、空気流量調節器による駆動空気流量の設定により、任意に、正確に空気駆動ポンプの吐出流量を制御できることが分かる。

以上詳述したように、本発明は、流量制御空気駆動ポンプに係るものであり、本発明により、エアモータと流体ポンプで構成される空気駆動ポンプにおいて、空気流量調整器で駆動空気の流量を設定することにより、任意に、正確に、液体ポンプの吐出流量を設定することができる。本発明により、例えば、高圧容器への液体注入を一定の吐出流量で行うことができる流量制御空気駆動ポンプを提供することを実現することができる。本発明は、空気駆動ポンプの吐出流量を任意に制御することが可能な、新しい流量制御空気駆動ポンプを提供するものであり、それにより、５０〜２００ＭＰａの高圧吐出を一定の流量に制御して行うことが可能な高圧流体の制御に好適な新技術を提供するものである。

第１の型式の従来の技術を使用した空気駆動ポンプを示す。 第１の型式の従来の技術を使用した空気駆動ポンプを示す。 第２の型式の従来の技術を使用した空気駆動ポンプを示す。 実施例１の、空気流量調整器を備えた空気駆動ポンプを示す。 実施例２の、空気流量調整器を備えた空気駆動ポンプを示す。 図４に示す機器構成のポンプの性能を示す。横軸は駆動空気流量、縦軸は吐出流量である。 吸入側及び吐出側を兼用して使用する場合の、空気流量調整器を備えた空気駆動ポンプを示す。

符号の説明

（図１、２、４の符号）
１ 空気入口
２ エアフィルタ
３ 吸入側駆動空気圧力調整弁
４ 吐出側駆動空気圧力調整弁
５ 空気流量調整器
６ 吸入側空気方向切換電磁弁
７ 吐出側空気方向切換電磁弁
８ エアモータ
９ 流体ポンプ
１０ 吐出側近接スイッチ
１１ 吸入側近接スイッチ
１２ 液入口
１３ 液出口
１４ モータシリンダ
１５ モータピストン
１６ 吸入側空気出入口
１７ 吐出側空気出入口
１８ フロントエンドプレート
１９ リアエンドプレート
２０ モータピストンシール
２１ ポンプピストン
２２ ポンプヘッド
２３ 入口チェッキ弁
２４ 出口チェッキ弁
２５ ポンプパッキング
２６ Ｏリング
（図３、５の符号）
１ 空気入口
２ 空気方向切換弁
３ モータピストン
４ ポンプピストン
５ 入口チェッキ弁
６ ポンプヘッド
７ 吐出側エアパイロット弁
８ リアエンドプレート
９ モータシリンダ
１０ 排気マフラー
１１ 吸入側エアパイロット弁
１２ 出口チェッキ弁
１３ フロントエンドプレート
１４ パイロットエア排気口
１５ 吐出側空気圧力調整弁
１６ 空気流量調整器
（図７の符号）
１ 空気入口
２ エアフィルタ
４ 空気圧力調整弁
５ 空気流量調整器
６ 四方電磁切換弁
８ エアモータ
９ 流体ポンプ
１０ 吐出側近接スイッチ
１１ 吸入側近接スイッチ
１２ 液入口
１３ 液出口
１４ モータピストン
１５ ポンプピストン

Claims (4)

1. エアモータと流体ポンプで構成される空気駆動ポンプにおいて、
   空気入口とエアモータの間に、吸入側駆動空気圧力調整弁、吐出側駆動空気圧力調整弁、その下流に、エアモータの駆動空気量を調整する空気流量調整器のマスフローコントローラー、エアモータへ入る空気の方向を切換える吐出側空気方向切換弁を配設した回路と、吸入側駆動空気圧力調整弁と吐出側駆動空気圧力調整弁の間に吸入側空気方向切換弁を配設した回路とを有し、エアモータの駆動空気流量を変えて、流体ポンプの吐出流量を制御するようにしたことを特徴とする流量制御空気駆動ポンプ。
2. エアモータのモータピストンの位置を検知して吐出側空気方向切換弁又は吸入側空気方向切換弁へ方向切換の信号を出す検知センサーを有する、請求項１記載の流量制御空気駆動ポンプ。
3. 空気流量調整器のマスフローコントローラーで、駆動空気の流量を所定の値に設定することにより、エアモータのモータピストンの往復運動速度及び流体ポンプの吐出流量を所定の値に変えるようにした、請求項１記載の流量制御空気駆動ポンプ。
4. 空気流量調整器のマスフローコントローラーで、駆動空気の流量を所定の値に設定することにより、空気駆動ポンプの吐出流量を所定の値に制御するようにした、請求項１記載の流量制御空気駆動ポンプ。

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