CN101410711A - 接触燃烧式气体传感器及其探测元件以及补偿元件 - Google Patents
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Abstract
一种接触燃烧式气体传感器用探测元件,在热传导层(12)中埋设加热线圈(13),在该热传导层(12)的表面覆盖或承载通过接触使探测对象气体燃烧的燃烧催化剂层(11),燃烧催化剂层(11)和热传导层(12)都是由以氧化锡为主要成分的烧制材料构成。优选为该热传导层(12)的烧制材料由与燃烧催化剂层(11)的烧制材料相比通过更高温度烧制并变为微粉末的材料形成。由此,能够提高气体传感器自身的耐久性以及防水性能,即使不采取设定特殊环境等对策也能够装载到FCV中。
Description
技术领域
本发明涉及一种检测各种气体泄漏的接触燃烧式气体传感器用探测元件和补偿元件、以及具备它们的接触燃烧式气体传感器。
背景技术
在以往,作为检测氢气、甲烷气体等可燃性气体的传感器,众所周知接触燃烧式气体传感器。例如如图13所示,接触燃烧式气体传感器使用在将通过接触使探测对象气体燃烧的燃烧催化剂层21覆盖或者承载在表面的热传导层(催化剂载体)22中埋设有加热线圈23的探测元件20,事先对该探测元件20的加热线圈23通电并加热至规定的温度,当可燃性气体接触到燃烧催化剂层21并进行燃烧时,由该燃烧引起温度上升而使加热线圈23的电阻值发生变化,因此将该电阻值的变化检测为电压来检测燃烧气体的存在(例如,参照专利文献1)。
另外,在该专利文献1中也记载了一种气体探测装置,该气体探测装置为了补偿周围温度的变化产生的影响,如图14所示,在传感器主体25的内部将探测元件20(电阻值RD)与补偿元件26(电阻值RC)串联连接、并与将两个固定的电阻元件27(电阻值R1)和28(电阻值R2)串联连接得到的串联电路并联连接从而构成惠斯登电桥(Wheatstone Bridge)电路,在该并联电路的两端之间由电源29施加直流电压,对探测元件20和补偿元件26的连接点a与两个电阻元件27、28的连接点b之间的输出电压Vout进行检测。作为这种情况下的补偿元件26使用如下补偿元件,该补偿元件将具有与探测元件20相同的电气特性的加热线圈埋设在代替燃烧催化剂层而覆盖了补偿材料层的热传导层中。
上述惠斯登电桥电路的输出电压Vout表示与探测元件20和补偿元件26的导通电阻(RD与RC)的差值(balance)相应的电压。在洁净的大气中,在探测元件20与补偿元件26各自内置的加热线圈的发热量与散发到大气中的放热量的平衡状态下决定电阻值RD和电阻值RC,输出电压Vout生成零点值。当探测对象气体接触到探测元件20时,由于接触燃烧,探测元件20的温度上升,仅上升其电阻值RD,因此,输出电压Vout上升,根据其上升的部分来检测对象气体。
另外,近年来,不使用如汽油那样的化石燃料,不需要担心废气造成的大气污染的燃料电池汽车(以下简称为“FCV”)开始实用化,但是,在该FCV中必须设置用于以高灵敏度检测氢的泄漏的气体传感器。
但是,对汽车部件进行使部件结露而冻结、或者暴露在90℃的蒸汽中的同时重复进行接通-切断(ON-OFF)动作等的苛刻试验。这些试验都是对汽车部件施加水分来测试其耐久性的试验,对装载在FCV中的部件也要求相同的耐久性。
接触燃烧式气体传感器作为FCV用氢传感器是具有较高综合适应性的动作原理的传感器之一,但是,结构上不能说防水性能高。
因此,简单说明其理由。以往的接触燃烧式气体传感器中的探测元件与补偿元件具有如图13所示的截面结构,在探测元件20中,为了在燃烧催化剂层21的厚度方向上也得到氢的燃烧活性而具有可渗透氢的海绵状的截面结构,从而水蒸气、细小的水滴等容易进入燃烧催化剂层21。
另外,该燃烧催化剂层21的构成材料为“氧化锡+氧化铁+铂微粉末+钯微粉末+其他”,从这些材料的亲水特性也示出保持水滴等的能力高的特性。
补偿元件的补偿材料层不具有海绵状的截面结构,而其构成材料为“氧化锡+氧化铜+其他”,亲水特性本身与探测元件相同。
另一方面,位于探测元件和补偿元件的燃烧催化剂层、补偿材料层的内侧的热传导层结构致密,另外其构成材料为“氧化铝+二氧化钛+氮化硼+氧化铋玻璃+其他”等,从这些主要因素表现出疏水性。
因此,通过其结构层间的含水特性的差异,在高湿度环境中发生其结构层间的分离。特别是,在探测元件、补偿元件中产生结露并将其冻结的情况下,发生燃烧催化剂层、补偿材料层从热传导层的表面脱落的情形。由此,探测元件与补偿元件的导通电阻值从初始值起发生变化,惠斯登电桥电路的输出电压的零点输出值发生较大变化,从而导致发生错误检测。
因此,FCV制造商采取设定专用环境使得水不会溅到氢传感器上等包含高成本要素的对策,今后为了FCV的普及而需要提高氢传感器自身的防水性能。
作为提高上述以往的气体传感器的耐久性的技术,例如专利文献2所示,提出如下方案:与被检测气体流过的流道中的气体传感器安装位置相比在上游侧相邻设置对被检测气体进行加热的加热器,防止气体传感器的结露。
专利文献1:日本特开平3-162658号公报
专利文献2:日本特开2004-69436号公报
发明内容
发明要解决的问题
然而,在这样利用加热器加热被检测气体来防止气体传感器结露的情况下,即使将上述技术应用于接触燃烧式气体传感器也不过是应对问题的方法,而无法提高接触燃烧式气体传感器自身的耐久性以及防水性能。
本发明是鉴于上述背景而完成的,其目的在于提高接触燃烧式气体传感器自身的耐久性以及防水性能,即使不采取设定特殊环境等对策也能够装载到FCV上。因此,提供耐久性以及防水性能较高的接触燃烧式气体传感器用探测元件和补偿元件,并且,还提供具备该探测元件和补偿元件的接触燃烧式气体传感器。
用于解决问题的方案
本发明的接触燃烧式气体传感器用探测元件是在热传导层中埋设加热线圈、并在该热传导层的表面覆盖或承载通过接触使探测对象气体燃烧的燃烧催化剂层的探测元件,为了达到上述目的,其特征在于,上述燃烧催化剂层和上述热传导层都由以氧化锡为主要成分的烧制材料构成。
优选为该热传导层由与上述燃烧催化剂层的烧制材料相比通过更高温度烧制得到的以氧化锡为主要成分的烧制材料的微粉末形成。
并且,优选为在该热传导层的烧制材料中添加铂和钯中的至少一个。
另外,希望通过氧化铋系低熔点玻璃来粘结形成上述热传导层的烧制材料的微粉末。
本发明的接触燃烧式气体传感器用补偿元件是在热传导层中埋设加热线圈、并在该热传导层的表面覆盖或承载补偿材料层的补偿元件,为了达到上述目的,其特征在于,上述补偿材料层和上述热传导层都由以氧化锡为主要成分的烧制材料构成。
优选为上述热传导层由与上述补偿材料层的烧制材料相比通过更高温度烧制得到的以氧化锡为主要成分的烧制材料的微粉末形成。
并且,希望通过氧化铋系低熔点玻璃来粘结形成上述热传导层的烧制材料的微粉末。
本发明的接触燃烧式气体传感器为了达到上述目的,具备上述本发明的接触燃烧式气体传感器用探测元件和补偿元件,将第一串联电路与第二串联电路并联连接来构成惠斯登电桥电路,其中,将该探测元件的加热线圈与补偿元件的加热线圈串联连接得到上述第一串联电路,将第一电阻元件与第二电阻元件串联连接得到上述第二串联电路。
并且,在上述第一串联电路与第二串联电路的连接点之间施加直流电压,将上述探测元件和补偿元件的连接点与上述第一电阻元件和第二电阻元件的连接点之间的电压作为探测对象气体的检测信号而输出。
虽然可以将各种燃烧性气体作为上述探测对象气体,但是对氢气的检测特别有效。
发明的效果
由于本发明的接触燃烧式气体传感器可提高探测元件和补偿元件的耐久性以及防水性能,因此能够提高传感器自身的耐久性以及防水性能,即使不采取设定特殊环境等对策也能够装载到FCV中。
附图说明
图1是表示本发明的接触燃烧式气体传感器用探测元件的一个实施例的沿着长度方向得到的截面图。
图2是表示本发明的接触燃烧式气体传感器用补偿元件的一个实施例的沿着长度方向得到的截面图。
图3是沿着图1的A-A线得到的探测元件的放大截面图。
图4是将由图4中的虚线B包围的部分放大来表示烧结活性度的图。
图5是本发明的其他实施例的与图5相同的图。
图6是用于说明制造在本发明中使用的热传导层的材料的工序的流程图。
图7是表示本发明的接触燃烧式气体传感器中的探测元件的安装状态的传感器主体的主视图。
图8是表示本发明的接触燃烧式气体传感器的基本电路结构的图。
图9是表示使用了本发明的热传导层制法的探测元件和补偿元件的接触燃烧式气体传感器的冻结试验的结果的线图。
图10是表示使用了以往的热传导层制法的探测元件和补偿元件的接触燃烧式气体传感器的冻结试验的结果的线图。
图11是表示使用了本发明的热传导层制法的探测元件和补偿元件的接触燃烧式气体传感器的结露过程中电源接通-切断试验结果的线图。
图12是表示使用了以往的热传导层制法的探测元件和补偿元件的接触燃烧式气体传感器的结露过程中电源接通-切断试验结果的线图。
图13是表示以往的接触燃烧式气体传感器用探测元件的一例的沿着长度方向得到的截面图。
图14是表示以往的接触燃烧式气体传感器的基本电路结构的图。
附图标记说明
1:接触燃烧式气体传感器的传感器主体;3:底座;4、5:电极栓;7:第一电阻元件;8:第二电阻元件;9:电源;10:探测元件;11:燃烧催化剂层;12、12’:探测元件的热传导层;13:探测元件的加热线圈;30:补偿元件;31:补偿材料层;32:补偿元件的热传导层;33:补偿元件的加热线圈。
具体实施方式
下面,根据附图具体说明用于实施本发明的较佳的方式。
首先,使用图1~图6说明本发明的接触燃烧式气体传感器用探测元件和补偿元件的实施例。
图1是沿着该探测元件的长度方向得到的截面图,图3是沿着图1的A-A线得到的横截面图。该探测元件10将加热线圈13的磁环(bead)部埋设在热传导层12中,在该热传导层12的表面覆盖有作为通过接触使探测对象气体氧化燃烧的催化剂层的燃烧催化剂层(也称为氧化催化剂层)11。
加热线圈13由铂线、铂-铑合金等铂系合金线制成。例如,优选为将线直径为10μm~50μm、更理想的是20μm~30μm左右的原线缠绕在芯骨上来制成一层环绕线圈,将原线再次缠绕在芯骨上从而使成为磁环部的部分变为二层环绕。这样,加热线圈13与热传导层12的接触面积变大并且电阻值变高,因此能够得到较高的气体灵敏度。另外,由于引线部13a、13b也变为一层环绕线圈,因此能够吸收来自外部的冲击,成为耐冲击的传感器。但是,并不限于此,也可以使用以往的普通的加热线圈、即磁环部是一层环绕线圈、引线部是直线状的加热线圈。
热传导层12和燃烧催化剂层11通过缩小含水特性的差异来实现物理亲和性,由此能够提高在高湿度环境中的耐水特性。其中,从气体灵敏度特性的观点出发,对燃烧催化剂层11不进行变更,而将热传导层12变更为燃烧催化剂层11的材料来实现物理亲和性。
因此,该探测元件10的热传导层12与燃烧催化剂层11都由以氧化锡为主要成分的烧制材料构成。
更为理想的是,燃烧催化剂层11与以往的探测元件的情况同样地将烧制材料覆盖在热传导层12的表面,该烧制材料以氧化锡(SnO2)为主要成分,根据需要添加氧化铁,作为催化剂而使微粉末状的铂(Pt)与钯(Pd)分散,在大气中在600℃左右的温度下烧制得到。
热传导层12使用氧化锡来代替以往的氧化铝和二氧化钛。可是,热传导层用的氧化锡与燃烧催化剂层用的氧化锡不同,在1100~1200℃的大气中进行高温烧制,与燃烧催化剂层用的600℃烧制得到的氧化锡相比,使结晶水的含有率下降,并且优选为使用该烧制材料的微粉末形成。
另外,对热传导层用氧化锡添加铂与钯中的至少一个,优选为添加两个。由此,不需要在以往的探测元件的热传导层与燃烧催化剂层之间的界面上设定的铂-钯的中间层,也能够实现气体探测灵敏度的提高。在以往,关于该中间层的设定,在探测元件的制造工序中,在氧化铝-二氧化钛系的热传导层的表面涂敷铂-钯溶液,通过热处理而形成在该热传导层的表面。根据本实施例可省略该中间层形成工序。
并且,在本实施例中,在上述热传导层用的氧化锡系烧制材料粉末中混合氧化铋系低熔点玻璃进行粘结。由此,在内部分布微小的细孔并允许探测对象气体进入到热传导层12。
利用图6所示的流程图来说明制造这种在本发明的探测元件中使用的、较佳的热传导层用材料的工序。
首先,将锡盐和铁盐水溶液化并混合进行烧制。在这样生成的由氧化锡和氧化铁构成的烧制材料中添加铂盐和钯盐并在再次烧制得到的微粉末中混合氧化铋系低熔点玻璃而作为热传导层用材料。
此外,之所以将热传导层用材料制成超细小的微粉末,是为了避免热传导层中的空隙层的生成,并防止热传导性能钝化。
这样变更热传导层的结果,即使在探测元件10上产生结露并发生冻结的情况下,也不会发生以往发生的如燃烧催化剂层从热传导层的表面脱落那样的情形,可大幅度地提高接触燃烧式气体传感器用探测元件的耐久性以及防水性能。
另外,在热传导层12的材料中不添加铂和钯的情况下,如图4所示,燃烧活性度在燃烧催化剂层11内较高但是在热传导层12内较低,在热传导层12内不发生可燃性气体的接触燃烧。与此相对,当在热传导层12的材料中添加铂与钯中的至少一个时,如图5所示,燃烧活性度即使在热传导层12内也变高。由此,从燃烧催化剂层11的整个区域直到热传导层12的内部都发生可燃性气体的接触燃烧,从而可燃性气体的探测灵敏度提高。
图2是表示本发明的接触燃烧式气体传感器用补偿元件的一个实施例的沿着长度方向得到的截面图。
该补偿元件30将加热线圈33的磁环部埋设在热传导层32中,并在该热传导层32的表面覆盖补偿材料层31。
该补偿元件30的加热线圈33和热传导层32构成为与探测元件10的加热线圈13和热传导层12的材料相同、并且热容量相同。因而,由铂线或者铂-铑合金等铂系合金线制作加热线圈33。
热传导层32由以氧化锡为主要成分的烧制材料形成,来代替以往的氧化铝和二氧化钛。
补偿材料层31也与探测元件10的燃烧催化剂层11相同地、通过在以氧化锡为主要成分的烧制材料中添加氧化铜等而形成,使得热容量与燃烧催化剂层11相同。但是,不添加成为氧化催化剂的铂、钯。
热传导层32的以氧化锡为主要成分的烧制材料优选为由与补偿材料层31的烧制材料相比通过更高温度烧制得到的以氧化锡为主要成分的烧制材料的微粉末形成。并且,优选为通过氧化铋系低熔点玻璃来粘结形成该热传导层的烧制材料的微粉末。关于这些内容,由于与上述探测元件10的热传导层12的情况相同,因此省略详细说明。
该补偿元件30也变更热传导层的材料来实现与补偿材料层的物理亲和性,因此,即使在补偿元件30中产生结露并发生冻结的情况下,也不会发生如以往发生的补偿材料层从热传导层的表面脱落的情形,可大幅度提高接触燃烧式气体传感器用补偿元件的耐久性以及防水性能。
接着,利用图7和图8说明本发明的接触燃烧式气体传感器的实施例。图7是该传感器主体的主视图。
该图7所示的传感器主体1具有由陶瓷、树脂构成的板状的底座3,上述本发明的接触燃烧式气体传感器用探测元件10将从其两端伸出的加热线圈13的引线部13a、13b卡在贯穿该底座3的外部连接用的电极栓4、5上而被固定。
另外,虽然在该图中没有出现,但是与该探测元件10并列,上述本发明的接触燃烧式气体传感器用补偿元件30同样将其加热线圈33的两端的引线部卡在另外一对电极栓上而被固定。
该探测元件10和补偿元件30由底座3、和由具有透气性的金属网或者金属粉末或陶瓷粉末的烧结体构成的未图示的防爆结构体包围。
图8表示本发明的接触燃烧式气体传感器的基本电路结构,是由惠斯登电桥电路与对其施加直流电压的电源构成的电路图。
将第一串联电路与第二串联电路并联连接来构成惠斯登电桥电路,其中,上述第一串联电路将传感器主体1的上述探测元件(D元件)10与补偿元件(C元件)30串联连接得到,上述第二串联电路将第一电阻元件7和第二电阻元件8串联连接得到。并且,由电源9在第一串联电路与第二串联电路的连接点之间施加直流电压,将探测元件10和补偿元件30的连接点a与第一电阻元件7和第二电阻元件8的连接点b之间的电压Vout作为探测对象气体的检测信号而输出。
在此,如果将探测元件10、补偿元件30、第一电阻元件7、以及第二电阻元件8的各导通电阻值分别设为RD、RC、R1、R2,则在R1×R2=RD×RC时,惠斯登电桥电路的输出电压Vout变为零伏(0mV)。此外,希望第一电阻元件7和第二电阻元件8使用电阻值相同并且温度特性也相同的电阻元件。
当由可改变输出电压的电源9对探测元件10的加热线圈与补偿元件30的加热线圈的串联电路施加额定电压时,在探测元件10和补偿元件30中生成其动作温度,在洁净的大气中,能够得到输出电压Vout,该输出电压Vout与来自各元件内置的加热线圈的热供给成分与散发到大气中的放热成分的平衡状态下的各导通电阻值RD、RC有关。将此时的输出电压称为“零点值”。如果存在探测对象气体,则当其接触到探测元件10的图1示出的燃烧催化剂层11并进行燃烧时,加热线圈13的温度上升,仅其导通电阻值RD增加,因此输出电压Vout在正(+)侧上升与气体灵敏度相应的量,能够对外部进行检测。
作为探测对象气体,例如可以举出甲烷气体、氢气、LP气体(液化石油气)、丙烷气体、丁烷气体、乙烯气体、一氧化碳气体、或者乙醇、丙酮等有机成分气体。
如果在燃料电池汽车(FCV)中装载该接触燃烧式气体传感器,则能够高灵敏度地检测氢气的泄漏。
并且,该接触燃烧式气体传感器由于使用本发明的探测元件10和补偿元件30,因此耐久性以及防水性能显著提高,因此在对汽车部件进行的苛刻试验中也能够合格。
在表1、表2以及图9、图10中示出其冷冻试验结果,在表3、表4以及图11、图12中示出结露过程中电源接通-切断试验结果。使用氢(H2)气作为探测对象气体,传感器输出变化的单位是[H2/ppm]。
表1和图9是表示使用了本发明的热传导层制法的探测元件和补偿元件的接触燃烧式气体传感器的冻结试验的结果的数据,即使冷冻次数为600次,传感器输出变化最大的采样也在±500[H2/ppm]以内。
与此相对地,表2和图10是表示使用了以往的热传导层制法的探测元件和补偿元件的接触燃烧式气体传感器的冻结试验的结果的数据,当冷冻次数超过400次时,传感器输出变化急剧增加并超过±500[H2/ppm],可知探测元件与补偿元件中的任一个或两者开始破损。
表3和图11是表示使用了本发明的热传导层制法的探测元件和补偿元件的接触燃烧式气体传感器在结露过程中电源接通-切断试验结果的数据,即使结露过程中电源接通次数为6000次,传感器输出变化最大采样也在±500[H2/ppm]以内。
表4和图12是表示使用了以往的热传导层制法的探测元件和补偿元件的接触燃烧式气体传感器在结露过程中电源接通-切断试验结果的数据,当结露过程中电源接通次数超过4000次时,传感器输出变化急剧增加并超过±500[H2/ppm],可知探测元件与补偿元件中的任一个或两者开始破损。
此外,本发明的接触燃烧式气体传感器及其探测元件和补偿元件的结构、形状、材料或者其制造方法等并不限于上述实施例,当然在权利要求书中记载的事项以外可以进行适当的变更。
[表1]
[表2]
单位(H2/ppm)
[表3]
[表4]
单位(H2/ppm)
产业上的可利用性
本发明的探测元件和补偿元件以及接触燃烧式气体传感器可广泛地应用为使用各种可燃性气体的设备、系统或者设置有它们的室内等气体泄漏探测装置。特别是,今后有望快速实用化的燃料电池使用可燃性的氢气作为燃料,因此必须装备检测氢泄漏的传感器,在燃料电池汽车中,必须对内部的每一个分区设置氢传感器。另外,在作为产业用或者家庭用的辅助电源而使用的燃料电池系统等中也必须设置氢气传感器,在这些氢传感器中应用本发明也非常有效。
Claims (14)
1.一种接触燃烧式气体传感器用探测元件,在热传导层中埋设加热线圈,并在该热传导层的表面覆盖或承载通过接触使探测对象气体燃烧的燃烧催化剂层,其特征在于,
上述燃烧催化剂层和上述热传导层都由以氧化锡为主要成分的烧制材料构成。
2.根据权利要求1所述的接触燃烧式气体传感器用探测元件,其特征在于,
上述热传导层由与上述燃烧催化剂层的烧制材料相比通过更高温度烧制得到的以氧化锡为主要成分的烧制材料的微粉末形成。
3.根据权利要求1或2所述的接触燃烧式气体传感器用探测元件,其特征在于,
在上述热传导层的烧制材料中添加铂与钯中的至少一个。
4.根据权利要求2所述的接触燃烧式气体传感器用探测元件,其特征在于,
通过氧化铋系低熔点玻璃来粘结形成上述热传导层的烧制材料的微粉末。
5.根据权利要求4所述的接触燃烧式气体传感器用探测元件,其特征在于,
在上述热传导层的烧制材料中添加铂与钯中的至少一个。
6.一种接触燃烧式气体传感器用补偿元件,在热传导层中埋设加热线圈,并在该热传导层的表面覆盖或承载补偿材料层,其特征在于,
上述补偿材料层和上述热传导层都由以氧化锡为主要成分的烧制材料构成。
7.根据权利要求6所述的接触燃烧式气体传感器用补偿元件,其特征在于,
上述热传导层由与上述补偿材料层的烧制材料相比通过更高温度烧制得到的以氧化锡为主要成分的烧制材料的微粉末形成。
8.根据权利要求7所述的接触燃烧式气体传感器用补偿元件,其特征在于,
通过氧化铋系低熔点玻璃来粘结形成上述热传导层的烧制材料的微粉末。
9.一种接触燃烧式气体传感器,其特征在于,
具备接触燃烧式气体传感器用探测元件和接触燃烧式气体传感器用补偿元件,
上述探测元件在热传导层中埋设加热线圈,并在该热传导层的表面覆盖或承载通过接触使探测对象气体燃烧的燃烧催化剂层,上述燃烧催化剂层和上述热传导层都由以氧化锡为主要成分的烧制材料构成,
上述补偿元件在热传导层中埋设加热线圈,并在该热传导层的表面覆盖或承载补偿材料层,上述补偿材料层和上述热传导层都由以氧化锡为主要成分的烧制材料构成,
将第一串联电路与第二串联电路并联连接来构成惠斯登电桥电路,其中,将上述探测元件的加热线圈与上述补偿元件的加热线圈串联连接得到上述第一串联电路,将第一电阻元件与第二电阻元件串联连接得到上述第二串联电路,
在上述第一串联电路与上述第二串联电路的连接点之间施加直流电压,将上述探测元件和上述补偿元件的连接点与上述第一电阻元件和上述第二电阻元件的连接点之间的电压作为探测对象气体的检测信号而输出。
10.根据权利要求9所述的接触燃烧式气体传感器,其特征在于,
上述探测元件的热传导层由与上述燃烧催化剂层的烧制材料相比通过更高温度烧制得到的以氧化锡为主要成分的烧制材料的微粉末形成,
上述补偿元件的热传导层由与上述补偿材料层的烧制材料相比通过更高温度烧制得到的以氧化锡为主要成分的烧制材料的微粉末形成。
11.根据权利要求10所述的接触燃烧式气体传感器,其特征在于,
通过氧化铋系低熔点玻璃来粘结分别形成上述探测元件的热传导层和上述补偿元件的热传导层的上述烧制材料的微粉末。
12.根据权利要求9至11中的任一项所述的接触燃烧式气体传感器,其特征在于,
在上述探测元件的热传导层的烧制材料中添加铂与钯中的至少一个。
13.根据权利要求9至11中的任一项所述的接触燃烧式气体传感器,其特征在于,
上述探测对象气体是氢气。
14.根据权利要求12所述的接触燃烧式气体传感器,其特征在于,
上述探测对象气体是氢气。
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: Tokyo, Japan, Japan Patentee after: Citizen Watch Co., Ltd. Address before: Tokyo, Japan, Japan Patentee before: Citizen Watch Co., Ltd. |
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CP01 | Change in the name or title of a patent holder | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20121121 Termination date: 20200329 |
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CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |