CN101408527B - 氧气传感器检查方法和设备以及氧气传感器生产方法 - Google Patents

Abstract

提供一种氧气传感器检查方法，该氧气传感器包括感测部分，该感测部分具有参考电极、感测电极和布置在参考电极和感测电极之间的氧离子传导实心电解质层。该检查方法包含下面的步骤：在氧气传感器的感测部分经受第一检查气体的条件下读取氧气传感器的第一输出值，然后在氧气传感器的感测部分经受第二检查气体的条件下读取氧气传感器的第二输出值，该第二检查气体的氧气浓度不同于第一检查气体，以及基于第一和第二输出值判断氧气传感器是有缺陷的或合格的；还提供了氧气传感器检查设备以及氧气传感器生产方法。

Description

氧气传感器检查方法和设备以及氧气传感器生产方法

技术领域

本发明涉及一种检测所测量气体(如汽车排气)中氧气浓度的氧气传感器，更特别地，涉及一种检查氧气传感器的质量的方法和设备以及一种生产氧气传感器的方法。 

背景技术

日本公开专利申请No.2005-201840公开了一种氧气传感器，其包括：衬底部分；感测部分，该感测部分布置在衬底部分上，并且具有氧离子传导实心电解质层和一对位于该实心电解质层的相对侧上的内、外电极；以及保护装置，该保护装置固定于衬底部分，以在其中环绕感测部分。感测部分通常如下地制备：在衬底部分上印刷内电极，在内电极上印刷实心电解质层，在实心电解质层上印刷外电极，然后，在1400至1500℃的温度下烧结实心电解质层和内、外电极的印刷叠层。 

发明内容

在实心电解质层和电极之间的边界区域中存在异物或气泡的情况下，在高温烧结工艺期间，由于实心电解质层的收缩会在边界区域出现应力集中，因而感测部分产生裂纹，从而造成传感器性能的下降。为此，在将保护装置固定到传感器衬底部分之前，感测部分通过液体渗透剂测试(所谓的红色检验测试)可视地检查，以便使用符合要求的(合格的)感测部分，而淘汰有缺陷的感测部分。然而，在这种可视检查测试中，可能会错过感测部分中的小裂纹。 

因此，本发明的目的是提供一种用于实心电解质类型的氧气传感器的质量检查精度改进技术。 

根据本发明的第一个方面，提供一种氧气传感器的检查方法，该氧气传感器包括感测部分，该感测部分具有参考电极、感测电极和布  置在参考电极和感测电极之间的氧离子传导实心电解质层，该检查方法包括：在氧气传感器的感测部分经受第一检查气体的条件下读取氧气传感器的第一输出值，然后在氧气传感器的感测部分经受第二检查气体的条件下读取氧气传感器的第二输出值，第一和第二检查气体彼此具有不同的氧气浓度；以及基于该第一和第二输出值判断氧气传感器是有缺陷的还是合格的。 

根据本发明的第二个方面，提供一种氧气传感器的生产方法，该氧气传感器包括衬底部分、感测部分和在其中覆盖该感测部分的保护装置，该感测部分布置在衬底部分上，并且具有参考电极、感测电极和布置在该参考电极和感测电极之间的氧离子传导实心电解质层，该生产方法包括：在该衬底部分上依次印刷参考电极、实心电解质层和感测电极；烧结该印刷的参考电极、实心电解质层和感测电极以在衬底部分上形成感测部分；在烧结之后，固定保护装置以通过该保护装置覆盖感测部分；在固定之后，在氧气传感器的感测部分经受第一检查气体的条件下读取氧气传感器的第一输出值，然后在氧气传感器的感测部分经受第二检查气体的条件下读取氧气传感器的第二输出值，该第一和第二检查气体具有彼此不同的氧气浓度；以及基于该第一和第二输出值判断该氧气传感器是有缺陷的还是合格的。 

根据本发明的第三个方面，提供一种氧气传感器的检查设备，该氧气传感器包括感测部分，该感测部分具有参考电极、感测电极和布置在参考电极和感测电极之间的氧离子传导实心电解质层，该检查设备包括：气体供给单元，该气体供给单元选择性地将第一和第二检查气体供给到感测部分，该第一和第二检查气体具有彼此不同的氧气浓度；以及控制单元，该控制单元在氧气传感器的感测部分经受第一检查气体的条件下读取氧气传感器的第一输出值，然后在氧气传感器的感测部分经受第二检查气体的条件下读取氧气传感器的第二输出值，并且基于第一和第二输出值判断该氧气传感器是有缺陷的还是合格的。 

也可以从下面的描述理解本发明的其它目的和特征。

附图说明

图1是根据本发明的一个实施方式的氧气传感器检查设备的示意图。 

图2是根据本发明的一个实施方式的氧气传感器的截面图。 

图3是根据本发明的一个实施方式的氧气传感器的感测部分的截面图。 

图4是根据本发明的一个实施方式的、当暴露于两种检查气体时氧气传感器的输出特性的曲线图。 

图5是根据本发明的一个实施方式的氧气传感器检查设备的传感器检查程序的流程图。 

具体实施方式

下面参照附图详细地描述本发明。 

下面的实施方式提供一种用于检查氧气传感器50的质量的氧气传感器检查设备1。 

如图1所示，氧气传感器检查设备1包括：供气单元2，其选择性地将两种检查气体提供到氧气传感器50；电源单元3，其使氧气传感器50通电；以及控制单元4，其控制供气单元2和电源单元3的操作。 

供气单元2具有用于支承氧气传感器50的传感器支架10、分别存储第一和第二检查气体的第一气瓶11和第二气瓶12以及用于切换从气瓶11和12到氧气传感器50的气体连通的切换阀13。 

传感器支架10形成圆筒形，以在其中限定气室10a。在氧气支架10的圆柱壁中切出螺纹孔10b。氧气传感器50经由衬垫62气密地固定在螺纹孔10b中，且氧气传感器50的感测部分120位于气室10a中，氧气传感器50的其它部分暴露于传感器支架10的外侧。传感器支架10的相对两端分别经由第一接头14和第二接头16连接于第一导管15和第二导管17，以便第一导管15和第二导管17与气室10a连通。 

第一气瓶11和第二气瓶12填充有第一和第二检查气体，并且装  配有阀11a和12a，以便喷射或切断分别来自于第一气瓶11和第二气瓶12的第一和第二检查气体。 

第一和第二检查气体具有不同的氧气浓度，并且压缩在第一气瓶11和第二气瓶12中。优选地，第二检查气体具有比第一检查气体的氧气浓度更低的氧气浓度，并且对氧气是惰性的。特别优选地，第二检查气体由单个气体成分如氮气，或者惰性气体如高惰性氩、氖或氦气组成。在这种情况下，第二检查气体的氧气浓度是零，并且小于第一检查气体的氧气浓度。例如，在本实施方式中，第一和第二检查气体分别是环境空气(包含氧气和氮气作为主要成分的混合气体，具有少量的二氧化碳、氢等)和氮气。 

切换阀13例如由电磁阀形成。切换阀13的上游侧分别经由第三导管18和第四导管19连接到第一气瓶11和第二气瓶12，而切换阀13的下游侧经由第一导管15连接到气室10a。 

电源单元13连接到氧气传感器50，并且具有将电压施加于氧气传感器50的供电电路以及用于检测通过氧气传感器50的电流的电流检测电路。 

控制单元4具有计算机系统，该计算机系统由执行不同的控制和操作程序的CPU、包括ROM和RAM的存储部分以及通讯部分组成，该通讯部分分别经由配线20和21连接到电源单元3和切换阀13，以便控制单元4控制电源单元3和切换阀13的操作，并且能够通过电源单元3实现从/到氧气传感器50的信号传输。 

如图2所示，氧气传感器50通常包括传感器部件51、支架52、定位构件53、端子54、陶瓷绝缘装置55、壳体56、保护装置57、密封构件63和配线64。例如，在本实施方式中，将氧气传感器50设计成安装在车辆内燃机的排气管上，以便输出响应于来自发动机的排气中的氧气浓度的电信号。 

如图3所示，传感器部件51具有柱形衬底部分101、布置在衬底部分101的前端侧上的感测部分120、在衬底部分101的后端侧上形成的电极垫100以及导线113，该导线在衬底部分101上形成，并且  连接在感测部分120和电极垫100之间。 

衬底部分101具有圆柱实心芯杆110、在芯杆110的外圆周侧上形成的加热器图案111(作为加热器)以及加热器隔离层112，该加热器隔离层112形成在芯杆110的外圆周侧上，以便通过加热器隔离层112覆盖加热器图案111。 

感测部分120位于氧气传感器50的前端、与加热器图案111对应的位置，并且具有实心电解质层102、多孔层103、参考电极104、感测电极105、密集层106和保护层107。 

实心电解质层102由氧离子传导实心电解质材料形成，并且布置在加热器隔离层112上。 

多孔层103由透气材料形成，并且也布置在加热器隔离层112上。 

参考电极104和感测电极105由导电的、可透过氧气的材料形成，并且分别布置在实心电解质层102的内、外侧上。换句话说，实心电解质层102夹在参考电极104和感测电极105之间。参考电极104和感测电极中的每一个与对应的导线113集成制造(在附图3中，为了简化，省略了与电极104集成的导线113)。 

密集层106由可透过氧气的材料形成，并且布置在整个实心电解质层102和感测电极105之上。在密集层106中制造氧气入口106a，以便感测电极105的中心有效区域通过氧气入口106a暴露。 

保护层107由可透过氧气的、不允许测量气体中的任何毒气通过的材料形成，并且布置在密集层106和感测电极105上。 

由于密集层106和保护层107暴露于测量气体，因而测量气体中的氧气通过保护层107和氧气入口16a引入感测电极105。相反，参考电极104由实心电解质层102覆盖，因而不直接暴露于测量气体。 

支架52具有：在其中保持传感器部件51的插入孔52a，且传感器部件51的电极垫100在支架52的后端(图2中的上端)暴露，传感器部件51的感测部分120从支架52的前端(附图2中的底端)突出；以及拧到传感器支架10的螺纹孔10b中的螺纹52b。 

定位部件53具有：围绕传感器插入孔52a的整个圆周限定的容纳  空间58，以在其中容纳陶瓷填充物60和弹簧垫片61；以及在容纳空间58的开口边缘处形成的锻模部分59。在本实施方式中，陶瓷填充物60和垫片61分别是绿滑石粉和环形垫圈。通过锻造形成锻模部分59，将垫片61压在陶瓷粉60上，由此压紧陶瓷粉60。由此，定位部件53将传感器部件51放置在支架52中的适当位置，并且保持传感器部件51和支架52之间的气密。 

端子54通过压焊固定到传感器部件51的电极垫100，以便从传感器部件51获得输出信号。 

陶瓷绝缘装置55固定到支架52的后端，以便在其中保持端子54。 

壳体56固定到支架52的后端，以便环绕陶瓷绝缘装置55。 

保护装置57通过任何适当的工艺如装配、螺纹连接、粘结以及激光焊接固定到支架52的前端，以便利用其围绕和覆盖感测部分120。在本实施方式中，如图2所示，保护装置57具有带底的圆筒形双壁结构。在保护装置57中形成多个通气孔57a，以便将测量气体通过通气孔57a引至感测部分120。 

密封部件63装配在壳体56的后开口端，以便通过密封部件63关闭壳体56的后端。 

配线64通过端子54连接到传感器部件51的电极垫100，并且穿过密封部件63拉出壳体56。 

通过上面的结构，氧气传感器50进行如下的氧气浓度测量。 

当加热器图案111通过通电产生热时，通过加热器隔离层112将产生的热传递到感测部分120，以便激活实心电解质层102。测量气体中的氧气通过保护层107、氧气入口106a以及感测电极105引到实心电解质层102的外侧。另一方面，环境空气作为参考气体通过多孔层103和参考电极104从氧气传感器50的后端引至实心电解质层102的内侧。在这种状态下，实心电解质层102允许氧离子响应于实心电解质层102的内、外侧之间的氧气浓度差而传导。由于通过实心电解质层102的氧离子传导，在参考电极105和感测电极105之间产生电动势。这种电动势作为传感器输出信号(电压或电流信号)通过导线113、  电极垫100、端子54以及配线64输出，以便根据传感器输出信号确定测量气体的氧气浓度。 

可以通过下面的工序生产氧气传感器50。 

首先，通过注模陶瓷材料如氧化铝形成圆柱形实心芯杆110。 

其次，通过在旋转芯杆110的同时在芯杆110的外圆周侧上曲面丝网印刷生热材料如铂或钨而形成加热器图案111。 

然后，在芯杆110的外圆周侧上曲面丝网印刷例如氧化铝而形成加热器隔离层112，以便利用加热器隔离层112覆盖加热器图案111。 

在芯杆110的外圆周侧上曲面丝网印刷而形成多孔层103，以便利用多孔层103覆盖加热器隔离层112。 

通过在多孔层103上丝网印刷例如铂的导电糊状物而整体地形成参考电极104和导线113。 

通过在参考电极104和导线113上曲面丝网印刷例如氧化锆和氧化钇糊状物而形成实心电解质层102。 

通过在实心电解质层102上丝网印刷例如铂的导电糊状物而整体地形成感测电极105和导线113。 

在感测电极105和实心电解质层102上曲面丝网印刷例如氧化铝而形成密集层106，以便通过氧气入口106a暴露感测电极105的有效区域。 

随后，围绕芯杆110的整个圆周、在感测电极105、实心电解质层102和加热器隔离层112上曲面丝网印刷例如氧化铝和氧化镁的糊状物而形成保护层107。 

在完成上面的印刷工艺之后，在高温下烧结由此获得的、包括实心电解质层102、电极104和105的圆柱形工件，由此集成到传感器部件51中。 

通过下面的方式将传感器部件51和其它传感器组件装配在一起：通过电极垫100和端子54将配线64与导线113连接，将传感器部件51附连到传感器支架52，将壳体56固定到支架52，然后将保护装置57固定到支架52。由此，完成氧气传感器50。

可能有这样的情况：在烧结和装配工艺期间，在传感器部件51中出现裂纹121(作为缺陷)，如图3双虚线所示，尽管裂纹121出现的频率较低。 

在最终装配之后，借助氧气传感器检查设备1检查氧气传感器50中这种裂纹121的出现。为了对氧气传感器50进行质量检查测试，通过将螺纹52b拧到螺纹孔10b中将氧气传感器50安装在氧气传感器检查设备1的传感器支架10上，并且连接到氧气传感器检查设备1的电源单元3。在下面的条件下进行质量检查：使氧气传感器50通电以通过加热器图案111的生热而激活传感器部件51(实心电解质层102)；以及打开气瓶11和12的阀11a和12a。 

氧气传感器检查设备1的质量检查测试基于下面的原理。 

在参考电极104和感测电极105之间施加检查电压，以允许氧离子通过实心电解质层102从参考电极104传导到感测电极105，从参考电极104传导到感测电极105的氧离子的数量取决于参考电极104的氧气浓度。更具体地，从参考电极104传导到感测电极105的氧离子的数量随着参考电极104的氧气浓度而降低。 

在氧气传感器50的感测部分102中未出现裂纹的情况下，参考电极104的氧气浓度以及延伸而言从参考电极104传导到感测电极105的氧离子的数量在感测电极102暴露于第一检查气体(环境空气)和感测电极102暴露于第二检查气体(氮气)的条件之间是没有差异的。如图4所示，第一检查气体环境中的氧气传感器50的输出电流值(如线a所示)与第二检查气体环境中的氧气传感器50的输出电流值(如线b所示)是相同的。 

相反，在传感器部件51的感测部分120中出现裂纹121的情况下，测量气体通过裂纹121进入感测部分120，并且到达参考电极104，使得参考电极104的氧气浓度随测量气体的氧气浓度而变化。由于在本实施方式中将环境空气用作第一检查气体和参考气体，因而即使在出现裂纹121(第一检查气体通过该裂纹到达参考电极104)的情况下，参考电极104的氧气浓度也不会变化。不管裂纹121出现与否，处在  第一检查气体氛围中的氧气传感器50的输出电流值保持在相同的水平(如线a所示)。然而，由于第二检查气体的氧气浓度低于第一检查气体和参考气体的浓度，因而在出现裂纹121(第二检查气体通过该裂纹到达参考电极104)的情况下，参考电极104的氧气浓度降低。氧离子传导数量随着参考电极104的氧气浓度而降低。结果，如图4所示，处于第二检查气体氛围中的氧气传感器50的输出电流值(如线c所示)小于处于第一检查气体氛围中的氧气传感器50的输出电流值(如线a所示)。 

在本实施方式中，通过附图5的传感器检查程序执行质量检查测试。 

在步骤S1，控制单元4使供气单元2将第一检查气体供给到气室10a，并且在感测部分120经受气室10a中的第一检查气体的情况下，读取氧气传感器50的第一输出值D1。更特别地，控制单元4控制切换阀13以在第一气瓶11和气室10a之间建立连通，由此通过第一气体导管15和第三气体导管18将第一检查气体从第一气瓶11供给到气室10a，并且通过第二气体导管17将现有的气体排出气室10a。在从切换阀13控制开始(即第一检查气体供给开始)经过预定时间之后，气室10a的内部填充第一检查气体，使得包括感测部分120的传感器部件51在气室10a中经受第一检查气体。在这种状态下，控制单元4使电源单元3施加并且增加参考电极104和感测电极105之间的检查电压，由此允许氧离子从参考电极104传导到感测电极105。随着检查电压的增加，从多孔层103到参考电极104的参考气体的氧气供给达到上限，使得参考电极104和感测电极105之间的电流在恒定限制的电流值下变得饱和。控制单元4通过电源单元3读取该限制电流作为第一输出值D1，并且在RAM中存储该第一输出值D1。 

在步骤S2，控制单元4使供气单元2将第二检查气体供给到气室10a，并且在感测部分120在气室10a中经受第二检查气体的条件下，读取氧气传感器50的第二输出值D2。更特别地，控制单元4控制切换阀13以在第二气瓶12和气室10a之间建立连通，由此通过第一气  体导管15和第四气体导管19将第二检查气体从第二气瓶12供给到气室10a，并且通过第二气体导管17将现有的气体(第一检查气体)排出气室10a。在从切换阀13控制开始(即第二检查气体供给开始)经过预定时间之后，气室10a的内部填充第二检查气体，使得包括感测部分120的传感器部件51在气室10a中经受第二检查气体。在这种状态下，控制单元4使电源单元3施加并且增加参考电极104和感测电极105之间的检查电压，由此允许氧离子从参考电极104传导到感测电极105。当检查电压增加使得参考电极104和感测电极105之间的电流在恒定限制的电流值下变得饱和时，控制单元4通过电源单元3读取该限制电流作为第二输出值D2，并且在RAM中存储第二输出值D2。 

在步骤S3，控制单元4从RAM检索第一传感器输出值D1和第二传感器输出值D2，并且确定第一传感器输出值D1是否等于第二传感器输出值D2。可替换地，控制单元4可以以第一输出值D1和第二输出值D2之间的差落入给定范围的方式确定第一传感器输出值D1是否基本上等于第二传感器输出值D2。如果在步骤S3为是(D1＝D2)，则程序进入步骤S4。如果在步骤S3为否(D1≠D2)，则程序进入步骤S5。 

在步骤S4，控制单元4将氧气传感器50判断为合格的(符合要求的)产品。 

在步骤S5，控制单元4确定第一传感器输出值D1是否大于第二传感器输出值D2。如果在步骤S5为是(D1>D2)，则程序进入步骤S6。如果在步骤S5为否(D1<D2)，则程序进入步骤S7。 

在步骤S6，控制单元4将氧气传感器50判断为有缺陷的(不符合要求的)产品。 

在步骤S7，控制单元4进行其它的工艺操作如误差处理。 

这样，氧气传感器检查设备1检查氧气传感器50中裂纹121的存在与否，并且通过比较氧气传感器50的第一输出值D1和第二输出值D2判断氧气传感器50为合格的产品还是有缺陷的产品。

传统上，通过称作“红色检验测试”的可视检查检查氧气传感器50中缺陷的存在。红色检验测试经过下面的步骤：将液体渗透剂粘着到感测部分120，去除过量的液体，施加显影剂将渗透剂拉出缺陷，由此表示缺陷的位置、形状和尺寸。如上所述，具有下面的可能性：在这种可视检查测试中不能检测小的裂纹。而且，当氧气传感器50判断为合格的产品时，检验测试需要后处理工序，以从感测部分120烧除并且去除液体渗透剂。然而，后处理工序需要非常多的时间和精力去除液体渗透剂。此外，红色检验测试是在固定保护装置57之前实施的。如果传感器部件51由于保护装置57固定期间传感器部件51和保护装置57的接触而产生裂纹，则这种随后发展的裂纹不能被红色检验测试所检查。 

相反，在本实施方式中，如上所述，基于氧气传感器50的第一输出值D1和第二输出值D2判断氧气传感器50中缺陷的出现。不需要使用液体渗透剂，也不需要实施后处理工序去除液体渗透剂。因此，在本实施方式中，可以获得比传统的可视检查(红色检验)测试更高的质量检查精度，并且可以减少氧气传感器50质量检查所需的时间和精力。而且，由于在本实施方式中在保护装置固定工序之后实施质量检查测试，因而甚至可以检查保护装置57固定期间出现的缺陷。 

而且，通过施加增加的电压将参考电极104和感测电极105之间的限制电流测量作为第一传感器输出值D1和第二传感器输出值D2中的每一个。参考电极104和感测电极105之间的限制电流与传感器电极104和105的氧气浓度成正比。当第二传感器输出值D2小于第一传感器输出值D1时判断氧气传感器50是有缺陷的。因而，在不需要拆卸氧气传感器50的情况下，可以通过这种基于限制电流测量的电检查测量容易且精确地检查氧气传感器50。 

优选地，在质量检查测试期间，第一检查气体的氧气数量和环境空气的氧气数量在第二检查气体的影响下不会改变。如果第二检查气体与第一检查气体或环境空气反应，则参考电极104和感测电极105之间的限制电流响应于第一检查气体或环境空气的氧气浓度的变化而  改变。这会降低检查测试精度。然而，在本实施方式中，可以通过从由氮气和惰性气体(如氦气、氖气和氩气)组成的组中选择第二检查气体容易且精确地检查氧气传感器50，这些气体容易处理，并且对氧气是惰性的，并且不会与第一检查气体或环境空气中的氧气反应。 

将日本专利申请No.2007-266462(2007年10月12日申请)的全部内容合并在此作为参考。 

虽然已经参照本发明的上面特定的实施方式描述了本发明，但是本发明不限于这种示范性的实施方式。本领域技术人员根据上面的教导会想到不同的对上述实施方式的修改和变型。例如，氧气传感器50可以是任何其它类型的如限制电流类型的(平面形式的等等)。参照下面的权利要求限定本发明的范围。

Claims (7)

1.一种氧气传感器的检查方法，所述氧气传感器包括感测部分，所述感测部分具有参考电极、感测电极和布置在所述参考电极和感测电极之间的氧离子传导实心电解质层，所述检查方法包括：

在氧气传感器的感测部分经受第一检查气体的条件下读取氧气传感器的第一输出值，然后在氧气传感器的感测部分经受第二检查气体的条件下读取氧气传感器的第二输出值，所述第一和第二检查气体彼此具有不同的氧气浓度；以及

基于所述第一和第二输出值判断所述氧气传感器是有缺陷的还是合格的。

2.根据权利要求1所述的检查方法，其中所述第一和第二输出值中的每一个是所述参考电极和感测电极之间的限制电流，所述限制电流通过在所述参考电极和感测电极之间施加增加的电压以允许氧离子从所述参考电极传导到所述感测电极而测量。

3.根据权利要求2所述的检查方法，其中所述第二检查气体的氧气浓度低于所述第一检查气体的氧气浓度；并且当所述第二输出值小于所述第一输出值时判断所述氧气传感器是有缺陷的。

4.根据权利要求1所述的检查方法，其中所述第一检查气体是环境空气，所述第二检查气体是对氧气惰性的气体。

5.根据权利要求4所述的检查方法，其中所述第二检查气体是氮气、氩气和氦气中的任意一种。

6.一种氧气传感器的生产方法，所述氧气传感器包括衬底部分、感测部分和利用其覆盖感测部分的保护装置，所述感测部分布置在所述衬底部分上，并且具有参考电极、感测电极和布置在所述参考电极和感测电极之间的氧离子传导实心电解质层，所述生产方法包括：

在所述衬底部分上依次印刷所述参考电极、实心电解质层和感测电极；

烧结所述印刷的参考电极、实心电解质层和感测电极以在所述衬底部分上形成所述感测部分；

在所述烧结之后，固定所述保护装置以通过所述保护装置覆盖所述感测部分；

在所述固定之后，在所述氧气传感器的感测部分经受第一检查气体的条件下读取所述氧气传感器的第一输出值，然后在所述氧气传感器的感测部分经受第二检查气体的条件下读取所述氧气传感器的第二输出值，所述第一和第二检查气体彼此具有不同的氧气浓度；以及

基于所述第一和第二输出值判断所述氧气传感器是有缺陷的还是合格的。

7.一种氧气传感器的检查设备，所述氧气传感器包括感测部分，所述感测部分具有参考电极、感测电极和布置在所述参考电极和感测电极之间的氧离子传导实心电解质层，所述检查设备包括：

供气单元，所述供气单元选择性地将第一和第二检查气体供给到所述感测部分，所述第一和第二检查气体彼此具有不同的氧气浓度；以及

控制单元，所述控制单元在所述氧气传感器的感测部分经受第一检查气体的条件下读取所述氧气传感器的第一输出值，然后在所述氧气传感器的感测部分经受第二检查气体的条件下读取所述氧气传感器的第二输出值，并且基于所述第一和第二输出值判断所述氧气传感器是有缺陷的还是合格的。

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