CN101391525A - 喷射异常检测装置、液滴喷射装置及显示装置的制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种喷射异常检测装置、液滴喷射装置及显示装置的制造方法，能够防止起因于喷射异常的成品率的降低。在喷射异常检测装置(23)中，具备：多个输入电路(23a)，分别从液滴喷射头输入多个压电元件各自的电压值，该液滴喷射头分别通过该多个压电元件从多个喷嘴喷射液滴；选择电路(23b)，从多个输入电路(23a)中依次选择一个输入电路(23a)；判定部(23e)，根据输入到所选择的输入电路(23a)的电压值，判定通过与所选择的输入电路(23a)对应的压电元件喷射液滴的喷嘴的喷射良否；和输出电路(23f)，输出喷嘴的喷射良否判定结果。

Description

喷射异常检测装置、液滴喷射装置及显示装置的制造方法
技术领域
本发明涉及一种喷射异常检测装置、液滴喷射装置及显示装置的制造方法，特别是涉及检测喷射液滴的液滴喷射头的喷射异常的喷射异常检测装置、具有该喷射异常检测装置的液滴喷射装置以及使用该液滴喷射装置的显示装置的制造方法。
背景技术
液滴喷射装置通常用于制造液晶显示装置、有机EL(场致发光)显示装置、电子放出显示装置、等离子显示装置以及电泳显示装置等各种显示装置。该液滴喷射装置具有从多个喷嘴分别向涂布对象物喷射液滴的液滴喷射头，利用该液滴喷射头使多个液滴投射到涂布对象物上，形成规定图案的点列，制造各种涂布体(例如滤色片等)。
在这样的液滴喷射装置中，不喷射的确认通常是在涂布动作前进行。作为该不喷射的原因，可以例举出气泡或灰尘等。关于气泡检测，有人提出判断检测气泡的有无的技术或判别气泡向压电元件的附着的有无的技术(例如参照专利文献1和专利文献2)。即使在涂布动作前没有确认不喷射的情况下，由于气泡或灰尘等的混入程度，在根据涂布图案数据进行涂布的涂布动作的途中也会发生不喷射或喷射量不足等喷射异常。特别是，由于涂布动作中的干扰振动或气泡成长等原因，有时会发生喷射异常。
[专利文献1]特开平4-29851号公报
[专利文献2]特开平11-334102号公报
发明内容
但是，现有技术无法检测出前述的涂布动作中的喷射异常，因此即使发生喷射异常，在通过其它工序中的检查知道发生喷射异常之前，也会继续产出涂布不良品。因此，利用液滴喷射头的涂布工序的成品率降低。
本发明鉴于上述情况而作出，其目的在于提供一种能够防止起因于喷射异常的成品率的降低的喷射异常检测装置、液滴喷射装置及显示装置的制造方法。
本发明的实施方式的第一特征是在喷射异常检测装置中具备：多个输入电路，分别从液滴喷射头输入多个压电元件各自的电压值，所述液滴喷射头分别通过所述多个压电元件从多个喷嘴喷射液滴；选择电路，从多个输入电路中依次选择一个输入电路；判定部，根据输入到所选择的输入电路的电压值，判定通过与所选择的输入电路对应的压电元件喷射液滴的喷嘴的喷射良否；和输出电路，输出喷嘴的喷射良否判定结果。
本发明的实施方式的第二特征是在液滴喷射装置中具备：液滴喷射头，分别通过多个压电元件从多个喷嘴喷射液滴；以及喷射异常检测装置，该喷射异常检测装置具备：多个输入电路，分别输入多个压电元件各自的电压值；选择电路，从多个输入电路中依次选择一个输入电路；判定部，根据输入到所选择的输入电路的电压值，判定通过与所选择的输入电路对应的压电元件喷射液滴的喷嘴的喷射良否；和输出电路，输出喷嘴的喷射良否判定结果。
本发明的实施方式的第三特征是在显示装置的制造方法中，使用上述两个特征的液滴喷射装置，向涂布对象物喷射液滴来进行涂布。
根据本发明，可以提供能够防止起因于喷射异常的成品率的降低的喷射异常检测装置、液滴喷射装置以及显示装置的制造方法。
附图说明
图1是表示本发明一个实施方式的液滴喷射装置的概略结构的斜视图。
图2是表示图1所示的液滴喷射装置所具有的液滴喷射头的概略结构的模式图。
图3是表示图1所示的液滴喷射装置所具有的控制单元以及喷射异常检测装置的概略结构的框图。
图4是表示图3所示的喷射异常检测装置的概略结构的框图。
图5是用于说明喷射异常的检测的说明图。
图6是用于说明基于电压的喷射异常检测的说明图。
图7是用于说明基于功率谱密度的喷射异常检测的说明图。
符号说明
1：液滴喷射装置、7：液滴喷射头、7c：喷嘴、23：喷射异常检测装置、23a：输入电路、23b：选择电路、23e：判定部、23f：输出电路、23h：第1存储部(存储器)、23h：第2存储部(存储器)、a1：阈值、a2：阈值、D1～Dn：压电元件。
具体实施方式
参照附图说明本发明的一个实施方式。
如图1所示，本发明的实施方式的液滴喷射装置1具有：用于将液体的墨水作为液滴涂布到涂布对象物的基板2上的墨水涂布盒3；向墨水涂布盒3供给墨水的墨水供给盒4。这些墨水涂布盒3和墨水供给盒4相互邻接地设置在架台5的上表面。
在墨水涂布盒3的内部设置有：保持基板2并使其沿X轴方向以及Y轴方向移动的基板移动机构6；分别具有喷射液滴的液滴喷射头7的多个喷墨头单元8；使这些喷墨头单元8一体地沿X轴方向移动的单元移动机构9；清扫各液滴喷射头7的头维护单元10；和收容墨水的多个墨水缓冲罐11。
基板移动机构6由Y轴方向引导板12、Y轴方向移动台13、X轴方向移动台14以及基板保持台15构成。这些Y轴方向引导板12、Y轴方向移动台13、X轴方向移动台14以及基板保持台15形成为平板状，层叠设置在架台5的上表面。
Y轴方向引导板12固定设置在架台5的上表面。在该Y轴方向引导板12的上表面，沿着Y轴方向设置有多个引导槽12a。这些引导槽12a沿着Y轴方向引导Y轴方向移动台13。
Y轴方向移动台13在下表面具有分别与各个引导槽12a配合的多个突起部(未图示)，沿Y轴方向可移动地设置在Y轴方向引导板12的上表面。在该Y轴方向移动台13的上表面，沿着X轴方向设置有多个引导槽13a。这些引导槽13a沿着X轴方向引导X轴方向移动台14。这样的Y轴方向移动台13通过使用进给螺杆或驱动马达等的移动机构(未图示)沿着各个引导槽12a在Y轴方向上移动。
X轴方向移动台14在下表面具有分别与各个引导槽13a配合的多个突起部(未图示)，沿X轴方向可移动地设置在Y轴方向移动台13的上表面。该X轴方向移动台14通过使用进给螺杆或驱动马达等的移动机构(未图示)沿着各个引导槽13a在X轴方向上移动。
基板保持台15固定设置在X轴方向移动台14的上表面。该基板保持台15具有吸附基板2的吸附机构(未图示)，通过该吸附机构将基板2固定保持在上表面上。另外，作为吸附机构，例如使用空气吸附机构等。
单元移动机构9具备：立设在架台5的上表面的一对支柱16；与这些支柱16的上端部间连接并沿X轴方向延伸的X轴方向引导板17；和沿X轴方向可移动地设置在该X轴方向引导板17上、支持各喷墨头单元8的底板18。
一对支柱16被设置成在X轴方向上夹着Y轴方向引导板12。另外，在X轴方向引导板17的前表面，沿着X轴方向设置有引导槽17a。该引导槽17a沿X轴方向引导底板18。底板18在背面具有与引导槽17a配合的突起部(未图示)，沿X轴方向可移动地设置在X轴方向引导板17上。该底板18通过使用进给螺杆或驱动马达等的移动机构(未图示)沿着引导槽17a在X轴方向上移动。在这样的底板18的前表面，安装有三个喷墨头单元8。
各个喷墨头单元8分别具有：喷射多个液滴的液滴喷射头7；和设置在底板18上、可移动地支持液滴喷射头7的支持机构19。
液滴喷射头7如图2所示，具有：收容从墨水缓冲罐11供给的墨水的多个墨水室7a；形成各个墨水室7a的壁的一部分的隔板7b；分别与各个墨水室7a对应地设置的多个压电元件(致动器)D1～Dn(n：正整数)；具有分别与各个墨水室7a连通的多个喷嘴(贯通孔)7c、并且形成各墨水室7a的壁的一部分的喷嘴板7d。
各喷嘴7c以一定的节距间隔串联地形成在喷嘴板7d上。隔板7b形成为板状。在该隔板7b上，分别粘接固定有各压电元件D1～Dn。隔板7b通过各压电元件D1～Dn的驱动而变形，因此墨水室7a的容积对应于隔板7b的变形而增减。与此相应，墨水室7a内的墨水作为液滴从喷嘴7c吐出。
具体地，各压电元件D1～Dn在被施加了电压时收缩，使隔板7b向上方移动，从而使隔板7b的形状变化。此时，墨水室7a内的压力为负，墨水从墨水缓冲罐11补充到墨水室7a内。然后，对压电元件D1～Dn的施加电压为零时，隔板7b返回到原来状态。此时，墨水室7a内受到压迫，墨水作为液滴从喷嘴7c吐出。
返回到图1，支持机构19固定设置在底板18上。该支持机构19具备：使液滴喷射头7沿Z轴方向移动的Z轴方向移动机构；使液滴喷射头7沿Y轴方向移动的Y轴方向移动机构；使液滴喷射头7沿θ方向旋转的θ方向旋转机构。由此，液滴喷射头7可以沿Z轴方向和Y轴方向移动，并且可以沿θ方向旋转。
头维护单元10位于各喷墨头单元8的移动方向的延长线上，从Y轴方向引导板12离开，并且设置在架台5的上表面。该头维护单元10清扫各喷墨头单元8的液滴喷射头7。头维护单元10在各喷墨头单元8的液滴喷射头7停止在与头维护单元10对置的待机位置上的状态下，自动地清扫各液滴喷射头7。
墨水缓冲罐11设置在架台5的上表面，利用驻留在其内部的墨水的液面与液滴喷射头7的喷嘴面的水位差，调整喷嘴前端的墨水的液面(弯液面)。由此防止墨水的漏出或吐出不良。
在墨水供给盒4的内部，可装卸地设置有多个分别收容墨水的墨水罐20。这些墨水罐20通过供给管21并经由墨水缓冲罐11分别与液滴喷射头7连接。即，液滴喷射头7经由墨水缓冲罐11从墨水罐20接受墨水的供给。这里，作为墨水，可以使用各种墨水。
在架台5的内部，设置有用于控制液滴喷射装置1的各部分的控制单元(控制装置)22和检测液滴喷射头7的喷射异常的喷射异常检测单元(喷射异常检测装置)23。
控制单元22如图3所示，具备：集中地控制各部分的CPU等控制部22a；存储用于喷射液滴的涂布信息以及各种程序等的存储器22b；控制各液滴喷射头7的头控制器22c；和外部连接用的DIO(数字I/O)端口P1。另外，喷射异常检测单元23具有外部连接用的DIO(数字I/O)端口P2。该喷射异常检测单元23上连接有由操作者进行输入操作的输入部(未图示)。另外，控制单元22和喷射异常检测单元23通过CPCI总线等总线连接，并且，各DIO端口P1、P2通过喷嘴个数(例如64条)的信号线连接。
控制部22a根据涂布信息以及各种程序来控制Y轴方向移动台13的移动、X轴方向移动台14的移动、底板18的移动等，并且还控制头控制器22c。这里，涂布信息是与利用各液滴喷射头7的液滴喷射动作进行的涂布有关的信息。该涂布信息包括涂布图案数据(涂布图案信息)、各个液滴喷射头7中的每一个的驱动波形数据(驱动电压波形信息)、各液滴喷射头7的喷射位置(Z轴方向的停止位置、Y轴方向的停止位置以及θ方向的停止位置)的设定值等。另外，控制部22a向头控制器22c以及喷射异常检测单元23发送通知涂布开始定时的涂布开始信号。
头控制器22c根据由控制部22a发送的涂布图案数据来控制各液滴喷射头7。这里，在使Y轴方向移动台13移动的移动机构或使X轴方向移动台14移动的移动机构等上，分别连接有编码器24。这些编码器24与控制单元22连接，其脉冲信号(位置信号)被输入到头控制器22c。因此，根据与使Y轴方向移动台13移动的移动机构连接的编码器24的脉冲信号(位置信号)，检测出基板保持台15向Y轴方向的移动量，同样，根据与使X轴方向移动台14移动的移动机构连接的编码器24的脉冲信号(位置信号)，检测出基板保持台15向X轴方向的移动量。头控制器22a根据这些脉冲信号来控制各液滴喷射头7的液滴喷射动作。
喷射异常检测单元23如图4所示，具备：分别输入各压电元件D1～Dn(chl～chN)各自的电压值的多个输入电路23a、切换这些输入电路23a的通道选择器等选择电路23b、放大用的增益放大器23c、A/D转换用的ADC(模拟数字转换器)23d、进行喷射良否判定的判定部23e、输出电路23f、触发电路23g和存储器23h等。该存储器23h作为存储部起作用。另外，在输入电路23a与触发电路23g之间或在ADC23d的前级等处，根据需要设置LPF(低通滤波器)。
该喷射异常检测单元23从头控制器22c依次取得喷射中的各压电元件D1～Dn各自的电压波形(例如作为喷嘴个数的64个的电压波形)。喷射异常检测单元23通过选择电路23b切换各输入电路23a，依次选择一个输入电路23a，通过所选择的输入电路23a取入作为电压波形的电压信号，通过增益放大器23c放大该电压信号，通过ADC23d数字化，并通过判定部23e进行窗函数、FFT(傅立叶变换)运算以及喷射良否判定(OK/NG判定)等处理。然后，在喷射良否判定后，喷射异常检测单元23通过输出电路23f并经由DIO端口P2，将良否判定信号作为喷射良否判定结果(OK/NG判定结果)输出到控制单元22。另外，喷射异常检测单元23具有基于触发电路23g的触发功能，可以任意地设定从电压的上升开始的数据取入开始时间。
这里，良否判定信号是表示喷射异常的发生的有无的OK/NG判定信号。该良否判定信号需要在发生喷射异常时立即发送给控制单元22，要求高速处理，本发明实施方式的喷射异常检测单元23在电压上升开始的大约230μs后，将良否判定信号经由DIO端口P2输出。对于在显示装置的制造中假定的最大涂布频率2kHz(喷射间隔500μs)，这是足够的处理速度。
具体地说，前述的喷射异常检测单元23如图5所示，检测出电压信号的上升A，从该上升A经过了数据取入开始时间Tc后，取得信息取得时间Td的电压信号(即图5中的区域B内的电压信号)。表示该电压信号的放大图是图6。然后，喷射异常检测单元23利用判定部23e对取得的电压信号执行各种处理(算法)。例如，判定部23e利用多个算法进行喷射异常的判定(第1判定以及第2判定)，对其结果进行逻辑运算，来进行最终的良否判定。
在第1判定中，判定部23e如图6所示，在所取得的电压信号中比较适当的规定时间t1的电压值和阈值a1，在电压值比阈值a1大的情况下，判定为没有发生喷射异常(OK判定)，而在电压值小于等于阈值a1的情况下，判定为发生喷射异常(NG判定)。这里，图6中的虚线波形是正常喷射(OK)时的波形，图6中的实线波形是异常喷射(NG)时的波形。如图6所示，通过在适当的规定时间t1在电压水平上设置阈值a1，可以判定正常喷射和异常喷射。该阈值a1预先设定，存储在存储器23h中。另外，由于在实际的电压波形上重叠了电源噪声或在相邻喷嘴进行吐出时产生的串扰，因此由判定部23e进行用于除去噪声的滤波处理或特定区间的遮蔽处理等。这里，由于存在压电元件D1～Dn与隔板7b的粘接状态的偏差或压电材料的偏差、为了抑制振动而根据需要附加的阻尼材料的涂布状态的偏差，因此需要针对每个喷嘴7c设定阈值a1。
在第2判定中，判定部23e如图7所示，在所取得的电压信号中对作为该电压信号的电压波形进行傅立叶变换，求出功率谱密度(例如使用汉宁窗(Hanning Window))，比较振动系统的固有振动附近的频率f1下的功率谱密度值和阈值a2，在功率谱密度值比阈值a2大的情况下，判定为未发生喷射异常(OK判定)，而在电压值小于等于阈值a1的情况下，判定为发生喷射异常(NG判定)。这里，图7中的虚线波形是正常喷射(OK)时的波形，图7中的实线波形是异常喷射(NG)时的波形。如图7所示，通过在适当的频率f1处在功率谱密度水平上设置阈值a2，可以判定正常喷射和异常喷射。该阈值a2预先设定，并存储在存储器23h中。
而且，判定部23e在接收到从控制部22a发送的涂布开始信号后，以喷嘴7c为单位数出电压波形的个数，确定涂布图案中的发生了喷射异常的异常涂布位置(NG判定的地址(点编号))，生成表示该位置的地址信息，并将该地址信息保存在存储器23h中。例如，异常涂布位置根据发生不喷射的喷嘴7c的编号和发生时刻来确定。保存在存储器23h中的地址信息响应于来自控制单元22的控制部22a的发送请求而被发送到控制单元22。另外，判定部23e根据需要将电压波形保存在存储器23h中。这样的判定部23e由FPGA(FieldProgrammable Gate Array，现场可编程门阵列)等硬件构成。
然后，对前述的液滴喷射装置1进行的液滴涂布动作(液滴涂布处理)进行说明。液滴喷射装置1的控制部22a根据各种程序执行液滴涂布处理。该液滴涂布处理还包括喷射异常检测处理，针对每个喷嘴7c检测出在涂布动作中发生的喷射异常。另外，作为喷射异常的原因，可以例举出气泡或灰尘等、压电元件D1～Dn的断线以及压电元件D1～Dn与隔板7b的粘接不良等。
控制部22a根据涂布信息，通过头控制器22c对各液滴喷射头7进行控制，向基板保持台15上的基板2喷射液滴来进行涂布。具体地说，控制部22a根据涂布信息(喷射位置的设定值等)控制各移动机构，使Y轴方向移动台13、X轴方向移动台14和底板18移动，使各液滴喷射头7从待机位置移动到与基板2对置的位置，并且，根据涂布信息控制支持机构19，使各液滴喷射头7停止在规定位置。利用该停止位置处的θ方向的角度来调整液滴的投射节距。然后，控制部22a根据涂布信息(涂布图案数据或驱动波形数据等)控制移动机构，使Y轴方向移动台13移动，并且，通过头控制器22c控制各液滴喷射头7，通过各液滴喷射头7进行向基板2喷射液滴的喷射动作。各液滴喷射头7将墨水作为液滴分别从各喷嘴7c喷射，使这些液滴投射到移动的基板2上，依次形成点列，来涂布规定的涂布图案。
此时，喷射异常检测单元23通过选择电路23b切换各输入电路23a，通过各输入电路23a从控制单元22的头控制器22c依次取得喷射动作中的各压电元件D1～Dn各自的电压波形(例如作为喷嘴个数的64个的电压波形)，通过增益放大器23c放大作为所取得的电压波形的电压信号，通过ADC23d数字化，并通过判定部23e进行窗函数、FFT(傅立叶变换)运算以及喷射良否判定(OK/NG判定)等处理。在喷射良否判定中，在各压电元件D1～Dn各自的电压波形的每一个中，通过基于电压水平的良否判定进行了NG判定，并且通过基于功率谱密度的良否判定进行了NG判定的情况下(逻辑运算)，生成表示发生了喷射异常的NG判定信号，并通过输出电路23f将所生成的NG判定信号经由DIO端口P2输出到控制单元22。而在这以外的情况下(逻辑运算)，生成表示没有发生喷射异常的OK判定信号，并通过输出电路23f将所生成的OK判定信号经由DIO端口P2输出到控制单元22。
而且，喷射异常检测单元23在接收到从控制部22a发送的涂布开始信号后，以喷嘴7c为单位数出电压波形的个数，确定涂布图案中的发生了喷射异常的异常涂布位置(NG判定的地址(点编号))，生成表示该位置的地址信息，并将该地址信息保存在存储器23h中。
然后，控制部22a经由DIO端口P1从喷射异常检测单元23依次接收良否判定信号(OK判定信号或NG判定信号)，在接收到NG判定信号的情况下(NG的情况下)停止液滴涂布动作。然后，控制部22a进行恢复动作或复原动作。恢复动作是利用头维护单元10进行的清扫动作(清洗或打扫等)或者与其它待机的液滴喷射头7的替换动作。复原动作是在发生了不喷射的部位(点部位)再次喷射液滴来涂布的动作。在进行该复原动作的情况下，控制部22a向喷射异常检测单元23请求发送地址信息。响应于此，喷射异常检测单元23向控制部22a发送存储在存储器23h中的地址信息。复原动作既可以在每次接收到NG判定信号时执行，也可以在涂布图案的涂布完成后进行。这里，在复原动作中，也可以利用在各液滴喷射头7之外另外准备的小喷嘴(例如1～5个喷嘴)的液滴喷射头，涂布作为发生了不喷射的部位的遗漏部位。
这样，从液滴喷射头7依次取得各压电元件D1～Dn各自的电压值(电压信号)，根据这些电压值，针对各个喷嘴7c中的每一个依次判定喷射异常，得到喷射良否判定结果(OK/NG判定结果)。由此，在根据涂布图案数据进行涂布的涂布动作中，能够检测出不喷射或喷射量不足等喷射异常。因此，能够在发生了喷射异常的时刻暂时中断制造，因此可以防止在喷射异常发生后在通过其它工序中的检查知道发生了喷射异常之前继续产出涂布不良品。其结果，可以防止起因于喷射异常的成品率的降低。
进而，将涂布图案中发生了喷射异常的异常涂布位置(NG判定的地址(点编号))作为地址信息保存在存储器23h中。由此，液滴喷射装置1可以根据该地址信息进行复原动作，而不会将发生了不喷射的基板2作为涂布不良品处理。因此可以防止起因于喷射异常的成品率的降低。而且，喷射异常检测单元23在检测喷射异常的情况下，利用多个算法(例如电压信号与阈值a1的比较、以及通过对电压信号进行傅立叶变换而求出的功率谱密度值与阈值a2的比较)来进行判定，对其结果进行逻辑运算，从而进行最终的喷射良否判定。由此可以正确地检测出喷射异常，因此可以进行精度高的喷射异常检测。
如以上所说明的那样，根据本发明的实施方式，通过设置从液滴喷射头7分别输入多个压电元件D1～Dn各自的电压值的多个输入电路23a、从这些输入电路23a依次选择一个输入电路23a的选择电路23b、根据输入到所选择的输入电路23a的电压值来判定通过与所选择的输入电路23a对应的压电元件D1～Dn喷射液滴的喷嘴7c的喷射良否的判定部23e、以及输出喷嘴7c的喷射良否判定结果的输出电路23f，从而依次取得各压电元件D1～Dn各自的电压值，根据所取得的各电压值，针对每个喷嘴7c依次判定喷射异常，得到喷射良否判定结果，因此可以在根据涂布图案数据进行涂布的涂布动作中检测出喷射异常，可以防止起因于喷射异常的成品率的降低。
进而，根据喷射良否判定结果，求出液滴喷射头7涂布的涂布图案中发生了喷射异常的异常涂布位置(NG判定的地址(点编号))，并将求出的异常涂布位置作为地址信息保存在存储器23h中，由此，可以根据该地址信息进行复原动作，不会将发生了不喷射的基板2作为涂布不良品处理，因此可以防止起因于喷射异常的成品率的降低。另外，对求出的异常涂布位置进行映射(形成映射)，将映射的数据取入CIM(计算机集成制造，Computer Integrated Manufacturing)，可以分析不良原因。
而且，通过进行电压值(电压信号)与阈值a1的比较以及通过对该电压值(电压信号)进行傅立叶变换而求出的功率谱密度值与阈值a2的比较，并判定喷射良否，可以正确地检测出喷射异常，因此可以进行精度高的喷射异常检测。特别是，可以正确检测出由气泡引起的喷射异常。
(其它实施方式)
本发明不限于前述的实施方式，在不脱离其要义的范围内可以进行各种变更。
例如，在前述的实施方式中，作为用于判定喷射异常的算法，使用基于电压水平的喷射良否判定以及基于功率谱密度的喷射良否判定，但不限于此，也可以使用其它的喷射良否判定方法。
另外，在前述的实施方式中，在要求高速处理的情况下使用DIO端口P1、P2，但不限于此。在不那么要求高速处理(实时性)的情况下，可以在存储器23h中存储喷射良否判定结果(OK/NG判定结果)，以某种程度汇集所存储的喷射良否判定结果而随时(例如响应于来自控制部22a的请求)发送。例如，可以通过分组通信并经由以太网(注册商标)等网络发送所存储的喷射良否判定结果。这样，针对多个喷嘴7c中的每一个向存储器23h依次存储喷射良否判定结果，汇集所存储的多个喷射良否判定结果并输出，由此，在不那么要求高速处理等情况下，不必设置喷嘴个数的DIO端口P1、P2，可以简化装置结构，并且也不需要用于监视I/O变化的控制程序等，从而可以减轻负荷。
最后，在前述的实施方式中，例举出各种数值，但这些数值是例示而不受限定。

Claims (9)

1.一种喷射异常检测装置，其特征在于，具备：
多个输入电路，分别从液滴喷射头输入多个压电元件各自的电压值，所述液滴喷射头分别通过所述多个压电元件从多个喷嘴喷射液滴；
选择电路，从所述多个输入电路中依次选择一个输入电路；
判定部，根据输入到所选择的所述输入电路的所述电压值，判定通过与所选择的所述输入电路对应的所述压电元件喷射所述液滴的所述喷嘴的喷射良否；和
输出电路，输出所述喷嘴的喷射良否判定结果。
2.如权利要求1所述的喷射异常检测装置，其特征在于，具备：
根据所述喷射良否判定结果求出所述液滴喷射头涂布的涂布图案中发生了所述喷射异常的异常涂布位置的单元；和
存储所求出的所述异常涂布位置的第1存储部。
3.如权利要求1或2所述的喷射异常检测装置，其特征在于，
所述判定部进行所述电压值与阈值的比较以及通过对所述电压值进行傅立叶变换而求出的功率谱密度值与阈值的比较，判定所述喷嘴的喷射良否。
4.如权利要求1或2所述的喷射异常检测装置，其特征在于，
具备针对所述多个喷嘴中的每一个依次存储所述喷射良否判定结果的第2存储部，
所述输出电路汇集所存储的多个所述喷射良否判定结果并输出。
5.一种液滴喷射装置，其特征在于，具备：
液滴喷射头，分别通过多个压电元件从多个喷嘴喷射液滴；以及
喷射异常检测装置，该喷射异常检测装置具备：多个输入电路，分别输入所述多个压电元件各自的电压值；选择电路，从所述多个输入电路中依次选择一个输入电路；判定部，根据输入到所选择的所述输入电路的所述电压值，判定通过与所选择的所述输入电路对应的所述压电元件喷射所述液滴的所述喷嘴的喷射良否；和输出电路，输出所述喷嘴的喷射良否判定结果。
6.如权利要求5所述的液滴喷射装置，其特征在于，
所述喷射异常检测装置具备：
根据所述喷射良否判定结果求出所述液滴喷射头涂布的涂布图案中发生了所述喷射异常的异常涂布位置的单元；和
存储所求出的所述异常涂布位置的第1存储部。
7.如权利要求5或6所述的液滴喷射装置，其特征在于，
所述判定部进行所述电压值与阈值的比较以及通过对所述电压值进行傅立叶变换而求出的功率谱密度值与阈值的比较，判定所述喷嘴的喷射良否。
8.如权利要求5或6所述的液滴喷射装置，其特征在于，
所述喷射异常检测装置具备针对所述多个喷嘴中的每一个依次存储所述喷射良否判定结果的第2存储部，
所述输出电路汇集所存储的多个所述喷射良否判定结果并输出。
9.一种显示装置的制造方法，使用如权利要求5～8中任意一项所述的液滴喷射装置，向涂布对象物喷射液滴来进行涂布。
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