CN101310977A - 丝网印刷设备和丝网印刷方法 - Google Patents

丝网印刷设备和丝网印刷方法 Download PDF

Info

Publication number
CN101310977A
CN101310977A CNA2008101277675A CN200810127767A CN101310977A CN 101310977 A CN101310977 A CN 101310977A CN A2008101277675 A CNA2008101277675 A CN A2008101277675A CN 200810127767 A CN200810127767 A CN 200810127767A CN 101310977 A CN101310977 A CN 101310977A
Authority
CN
China
Prior art keywords
value
independent
substrate
data
offset
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA2008101277675A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101310977B (zh
Inventor
井上雅文
菊次郁男
木原正宏
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Publication of CN101310977A publication Critical patent/CN101310977A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101310977B publication Critical patent/CN101310977B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00Screen printers
    • B41F15/08Machines
    • B41F15/0804Machines for printing sheets
    • B41F15/0813Machines for printing sheets with flat screens
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00Screen printers
    • B41F15/08Machines
    • B41F15/0804Machines for printing sheets
    • B41F15/0813Machines for printing sheets with flat screens
    • B41F15/0818Machines for printing sheets with flat screens with a stationary screen and a moving squeegee
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00Screen printers
    • B41F15/14Details
    • B41F15/16Printing tables
    • B41F15/18Supports for workpieces
    • B41F15/26Supports for workpieces for articles with flat surfaces
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00Screen printers
    • B41F15/14Details
    • B41F15/40Inking units
    • B41F15/42Inking units comprising squeegees or doctors
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F33/00Indicating, counting, warning, control or safety devices
    • B41F33/0036Devices for scanning or checking the printed matter for quality control
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • H05K3/1216Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by screen printing or stencil printing
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/0266Marks, test patterns or identification means
    • H05K1/0269Marks, test patterns or identification means for visual or optical inspection
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/16Inspection; Monitoring; Aligning
    • H05K2203/163Monitoring a manufacturing process
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0008Apparatus or processes for manufacturing printed circuits for aligning or positioning of tools relative to the circuit board
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/3457Solder materials or compositions; Methods of application thereof
    • H05K3/3485Applying solder paste, slurry or powder

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Screen Printers (AREA)

Abstract

本发明公开了一种丝网印刷设备和丝网印刷方法。在供给反馈数据以改善印刷在保持于搬运器上的单独的基板上的焊膏的位置偏移量和偏移状态中,得到每个该单独的基板的单独的位置偏移的多个平均值,并且然后,如果偏移值ΔM小于或等于容许值Δ(t),则得到最大值Mmax和最小值Mmin的中间值,并且基于该中间值(Mmax+Mmin)/2修正掩模板和搬运器的定位参数,其中该偏移值ΔM表示单独的位置偏移的多个平均值M的最大值Mmax和最小值Mmin之间的差值。

Description

丝网印刷设备和丝网印刷方法
技术领域
本发明涉及一种丝网印刷设备和丝网印刷方法,用于对保持在搬运器上的多个单独的基板印刷焊膏(soldering paste)。
背景技术
一种通过在基板上焊接和连接电子部件来制造部件安装基板的电子部件安装系统是通过连接多个焊料印刷设备、电子部件安装器、回流焊(reflow)设备等而构成的。在该电子部件安装系统中,检测装置置于相应设备之间用于高可靠性地执行质量控制的目的,并且被赋予自动确定元件安装操作的适合度的功能(例如,参考日本专利No.3344739)。
在由上述日本专利No.3344739所示的例子中,在通过连接多个操作部例如焊料印刷部、部件安装部、焊接部等配置的部件安装基板制造系统中,检测装置置于各部之间以检测预定的监测点。例如,焊料印刷检测装置置于焊料印刷部,其检测印刷状态的监测点例如焊接中薄点、印刷的位置偏移等。以及,这些检测点超出正常范围并在报警范围内时,改变运行状况并且修正运行状况的操作控制指令被输出到置于上游和下游侧的设备。例如,印刷位置已经偏移了规定方向时,操作改变指令输出到上游的印刷装置来修正该位置偏移,并且修正与该位置偏移相对应的部件安装位置的操作改变指令输出到下游的部件安装装置。
近年来,伴随着电子设备的小型化,小尺寸安装基板已被广泛使用。在很多情况下,通常,对于多个基板,一并地执行对于这些小尺寸安装基板的部件安装工作,并且采用了这种模式,其中在多个小尺寸的单独的基板保持在搬运器上。然而,如果包括上述相关技术例子的常规电子部件安装生产线的检测功能应用到部件安装方式,其中这些多个单独的基板保持在该搬运器上,将产生如下问题。
即,当多个单独的基板保持在搬运器上时,这些单独的基板不需要保持在搬运器中预先设置的准确位置上。通常,在规定的范围内,其保持位置变得不平整。特定的单独的基板由于某些原因与其他基板相比大幅滑动并处于异常状态时,如果使用原样地由印刷检测装置获得的焊料位置信息在印刷装置内修正印刷位置,由异常状态产生的不正确的数据将被引进作为反馈数据。结果,不适当的修正数据反馈到上游侧。这样,在常规丝网印刷设备中存在这样的情形,即,在多个单独的基板保持在搬运器上的部件安装模式中,适当的印刷位置数据无法反馈。
发明内容
因此本发明的目的是提供一种丝网印刷设备和丝网印刷方法,其能够在多个单独的基板被保持的部件安装模式中执行适当印刷位置的反馈。
根据本发明的丝网印刷设备是一种丝网印刷设备,用于相对于保持在搬运器上的多个单独的基板,共同地将焊膏印刷在电极上用于连接电子部件,该电子部件形成在单独的基板上,该丝网印刷设备包括:
掩模板,设置有与该电极相对应的图案孔;
定位装置,用于基于定位参数相对于该掩模板来二维地定位该搬运器;
刮板,用于通过执行与该掩模板滑动接触的刮板动作,经由该图案孔将焊膏印刷在该电极上;
印刷检测部,该印刷检测部用于探测印刷在每个单独的基板上的该焊膏的位置,并探测该焊膏相对于该电极的位置偏移作为焊料位置偏移数据,该焊料位置偏移数据表示该电极的位置偏移量;
反馈数据供给部,用于供给反馈数据以基于单独的基板的位置偏移的统计数据来改善位置偏移状态,其中该位置偏移量是针对每个单独的基板来统计处理,以及
数据更新部,用于基于反馈数据来更新该定位参数。
根据本发明的丝网印刷方法是一种网印刷方法,通过丝网印刷设备,用于对保持在搬运器上的多个单独的基板,共同地将焊膏印刷在电极上用于连接电子部件,该电子部件形成在单独的基板上,
其中该丝网印刷设备包括:
掩模板,设置有与该电极相对应的图案孔;
定位装置,用于基于定位参数相对于该掩模板来二维地定位该搬运器;
刮板,用于通过执行与该掩模板滑动接触的刮板动作,经由该图案孔将焊膏印刷在该电极上;以及
印刷检测部,该印刷检测部用于探测印刷在每个单独的基板上的该焊膏的位置,并探测该焊膏相对于该电极的位置偏移作为焊料位置偏移数据,该焊料位置偏移数据表示每个电极的位置偏移量;以及
反馈数据供给步骤,用于供给反馈数据以基于单独的基板的位置偏移的统计数据来改善位置偏移状态,其中该位置偏移量是针对每个单独的基板来统计处理,包括下述步骤:
从该焊料位置偏移数据得到单独的位置偏移量的多个平均值,其中
该多个平均值表示每个单独的基板的该位置偏移量的平均值;
将偏移值与预先预定的容许值比较,该偏移值表示该位置偏移量的平均值的最大值和最小值之间的差值;以及
如果该偏移值小于或等于该容许值,则进行用于供给反馈数据的运算,通过该运算得到该最大值和最小值的平均值,以及
基于该平均值更新该定位参数。
根据本发明,用于供给反馈数据以改善焊膏的位置偏移状态的反馈数据供给步骤得到单独的位置偏移量的多个平均值,该平均值表示每个单独的基板的位置偏移量的平均值;以及如果偏移值小于或等于该容许值,该偏移值表示单独的位置偏移的多个平均值的最大值和最小值之间的差值,则随后进行用于供给反馈数据的运算,由此得到该最大值和最小值的平均值,借此能够基于得到的平均值通过修正掩模板的定位参数来进行适合的印刷位置的反馈,即使是在由于某些原因与其他单独的基板相比的特定的单独的基板大幅滑动的情况。
附图说明
图1为示出根据本发明的一个实施例的丝网印刷设备的前面正视图;
图2为示出根据本发明的一个实施例的丝网印刷设备的侧面正视图;
图3为示出根据本发明的一个实施例的丝网印刷设备的平面视图;
图4A、4B和4C为示出根据本发明的一个实施例的丝网印刷设备中单独的基板和掩模板的示意图;
图5为示出根据本发明的一个实施例的丝网印刷设备的控制系统的构造的结构图;
图6A、6B和6C为示出根据本发明的一个实施例的丝网印刷方法中焊料位置偏移的示意图;
图7A、7B、7C和7D为示出根据本发明的一个实施例的丝网印刷方法中反馈数据供给处理的示意图;以及
图8A、8B、8C和8D为示出根据本发明的一个实施例的丝网印刷方法中反馈数据供给处理的示意图。
具体实施方式
接下来,参照附图给出了本发明的一个实施例的具体说明。图1为示出根据本发明的一个实施例的丝网印刷设备的前面正视图,图2为示出根据本发明的一个实施例的丝网印刷设备的侧面正视图,图3为示出根据本发明的一个实施例的丝网印刷设备的平面视图,图4A、4B和4C为示出根据本发明的一个实施例的丝网印刷设备中单独的基板和掩模板的示意图,图5为示出根据本发明的一个实施例的丝网印刷设备的控制系统的构造的结构图,图6A、6B和6C为示出根据本发明的一个实施例的丝网印刷方法中焊料位置偏移数据的示意图,图7A至7D和图8A至8D为示出根据本发明的一个实施例的丝网印刷方法中反馈数据供给步骤的示意图。
首先,参考图1、图2和图3,描述丝网印刷设备的结构。丝网印刷设备用于对保持在搬运器上的多个单独的基板,共同地将焊膏印刷在电极上用于连接电子部件,这些电子部件形成于每个单独的基板上。在图1中,丝网印刷设备通过在基板定位部1上方布置丝网印刷机构13构成。基板定位部1按下述方式构造,即,Y轴平台2、X轴平台3和θ轴平台4堆叠成一个位于另一个顶部,并且第一Z轴平台5和第二Z轴平台6组合在其上。
给出对该第一Z轴平台5的说明。水平底板5a保持在设置于θ轴平台4上表面上的水平底板4a的上表面侧,使得水平底板5a能够通过升降引导机构(未示出)升降。底板5a被Z轴升降机构升降,使得多个进给螺杆5c通过传送带5d被马达5b旋转驱动。垂直框架5e从底板5a竖起,并且基板传送机构8保持在垂直框架5e的上端部。基板传送机构8设有平行于基板传送方向(X方向:与图1的纸面垂直的方向)布置的两条传送轨道。这些传送轨道支承搬运器10的两个端部并且传送搬运器10。通过驱动第一Z轴平台5,由基板传送机构8保持的搬运器10随着基板传送机构8相对于丝网印刷机构13升降。
如图4A所示,多个为待印刷对象的单独的基板11保持在搬运器10上。单独的基板11为膜形树脂基板,并具有多个形成于其上的电极11a,电子部件连接到该电极。通过引起单独的基板11被压到形成在搬运器10的表面上的粘合树脂膜,单独的基板11按照其平面位置被固定的状态而保持在搬运器10上。位置识别标记MA和MB形成在搬运器10的一对对角位置,并且位置识别标记Ma和Mb进一步形成在每个单独的基板11上,同样为了识别每个单独的基板11的位置。每个电极11a相对于在单独的基板上的位置识别标记Ma和Mb的相对位置作为电极位置数据给出。通过识别位置识别标记Ma和Mb的位置,检测电极11a在单独的电极11上的位置成为可能。
如图2和图3所示,基板传送机构8延伸到上游侧(图2和图3中的左侧)并延伸到下游侧,并且从上游侧传送的搬运器10由基板传送机构8传送,进一步由基板定位部1定位。保持单独的基板11的搬运器10由基板传送机构8传送到下游侧,其中在该单独的基板11上通过后述的丝网印刷机构进行印刷。
给出对第二Z轴平台6的说明。水平底板6a布置在基板传送机构8和底板5a之间的中间部分,使得水平底板6a能够通过升降引导机构(未示出)升降。底板6a由Z轴升降机构升降,使得多个进给螺杆6c通过传送带6d由马达6b旋转驱动。基板下侧接收部7布置在底板6a的上侧,基板下侧接收部7设有下侧接收面,搬运器10保持在该下侧接收面的上侧。
通过驱动第二Z轴平台6,基板下侧接收部7相对于保持在基板传送机构8上的搬运器10升降。通过与搬运器10的下侧接触的基板下侧接收部7的下侧接收面,基板下侧接收部7从其下侧支承搬运器10。夹具机构9布置在基板传送机构8的上侧。夹具机构9设有两个夹具构件9a,该两个夹具构件9a布置为在左侧和右侧彼此相对,其中,通过驱动机构9b引发一个夹具构件9a前进和后退,搬运器10从其两侧被夹住并固定。
接下来,给出对布置在基板定位部1上方的丝网印刷机构13的说明。在图1和图2中,图案化孔12a设置于在掩模框架中延伸的掩模板12内。图案化孔12a设置成对应于保持在搬运器10的单独的基板11中电极11a的形状和位置(见图4A)。刮板头(squeegee head)13a布置在掩模板12上,并且刮板头13a由设置在水平板14上的刮板升降机构15来构造,刮板16通过刮板升降机构15升降。通过驱动刮板升降机构15,刮板16升降并且与掩模板12的上侧接触。
如图2所示,引导轨道27沿Y方向布置在支架26上,支架26布置在纵向框架25上,并且滑动地装配在引导轨道27中的滑动器28与板14的两端连接。因此,刮板头13a可以沿Y方向滑动。通过由螺母30、进给螺杆29、以及用来旋转驱动进给螺杆29的刮板移动马达(未示出)构成的刮板移动装置,允许板14沿Y方向水平地移动。
接下来,给出对于用于清洁掩模板12和摄像头单元17的下侧的清洁机构的说明。如图1所示,在本实施例中,清洁头单元18构造为随着摄像头单元17整体地沿Y方向移动以拾取搬运器10和掩模板12。摄像头单元17设有基板识别摄像机17a以从上方拾取保持在搬运器10上的单独的基板11以及掩模识别摄像机17b以从其下侧拾取掩模板12,并且摄像头单元17安装在头X轴平台19(图2和图3)并且沿Y方向移动。通过沿X方向和Y方向移动摄像头单元17并且将摄像头单元17置于基板定位部1和掩模板12之间,可以同时识别搬运器10和掩模板12。
如图3所示,清洁头单元18通过在水平单元底座上布置其上缠绕未使用的清洁纸的纸辊22A、其上缠绕使用过的清洁纸的纸辊22B、以及清洁头21来构造。从纸辊22A取出的清洁纸通过清洁头21收集在纸辊22B上。
在图2中,引导轨道31沿Y方向布置在纵向框架25上,并且可滑动地装配在引导轨道31中的滑动器32通过支架19a与头X轴平台19连接。因此,头X轴平台19可以沿Y方向移动。通过由螺母34、进给螺杆33、以及用来旋转驱动进给螺杆33的头移动马达(未示出)组成的头Y轴移动机构20,允许头X轴平台19沿Y方向水平地移动。
当摄像头单元17不识别搬运器10和掩模板12以及清洁头单元18不清洁掩模时,摄像头单元17和清洁头单元18从基板定位部1的上方缩回到图1中所示的待机位置。当执行掩模清洁时,清洁头单元18沿Y方向随摄像头单元17移动并且向掩模板12的下部前进。然后,提升清洁头21。通过致使清洁头单元18随被清洁头21压到掩模板12的下侧的清洁纸而水平移动,擦拭或清洁掩模板12的下侧。
接下来,给出丝网印刷机构13的印刷操作的说明。首先,当搬运器10由基板传送机构8传送到印刷位置时,基板下侧接收部7通过驱动第二Z轴平台6升降以便接收搬运器10的下侧。基板定位部1在这种状态下基于定位参数被驱动,并且搬运器10相对于掩模板12沿X和Y方向被定位。从而,由搬运器10保持的单独的基板11的每个电极11a(图4A)被定位到布置在掩模板12上的图案化孔12a。也就是说,基板定位部1成为基于定位参数相对于掩模板12用于平坦地定位搬运器10的定位装置。
之后,通过驱动第一Z轴平台5将搬运器10随着基板传送机构8升降,并且与掩模板12的下侧相接触。接下来,搬运器10由夹具机构9夹住。因此,在通过刮板头13a刮板中,搬运器10的水平位置被固定。在该状态下,通过进行刮板操作,其中刮板16与掩模板12滑动地接触并且被致使在掩模板12上滑动到,其中焊膏被供应到该掩模板12,焊膏S通过图案化孔12a共同地印刷到保持在搬运器10上的多个单独的基板11的每个电极11a上,如图4C所示。
接下来,参照图5描述控制系统的结构。在图5中,控制部40完全地控制下述相应部分。存储部41存储各种类型的数据,例如通过控制部40控制工的序各种类型的程序以及用于控制操作和运算的控制参数。控制参数包括定位参数,用于通过基板定位部1相对于掩模板12来定位单独的基板11保持于其上的搬运器10。数据更新部42进行数据重写处理来更新存储于存储部41中的控制参数。
图像识别部43对由基板识别摄像机17a和掩模识别摄像机17b拾取的数据进行识别处理。基于识别结果,印刷检测部44进行印刷检测处理以确定焊料印刷状态是否满意并执行反馈。参考图6A至6C说明焊接位置偏移的检测,该检测是通过印刷检测处理来进行。如图6A所示,在丝网印刷之前对通过基板识别摄像机17a拾取每个单独的基板11而获得的拾取数据进行识别处理,检测每个单独的基板11中位置识别标记Ma和Mb的位置。基于检测结果和已知的电极位置数据来计算表示每个电极11a的位置的电极位置P1。
通过识别由基板识别摄像头17a拾取每个丝网印刷的单独的基板11而拾取的数据,可以检测表示印刷在电极11a上的焊膏S的焊料印刷位置P2,如图6B所示。对于每个单独的基板11,计算每个电极11a的电极位置P1和焊料印刷位置P2之间位置偏移量ΔX和ΔY(图6C),由此获得焊料位置偏移数据。也就是说,印刷检测部44探测印刷在每个单独的基板11上的焊膏S的位置,并且探测焊膏S相对于电极11a的位置偏移状态,作为表示每个电极的位置偏移量(ΔX和ΔY)的焊料位置偏移数据。
反馈数据供给部45提供反馈数据以基于单独的基板位置偏移的统计数据来改善印刷焊膏S的位置偏移状态,该统计数据是通过统计处理每个单独的基板的由印刷检测部44得到的位置偏移量而得到。供给反馈数据由数据更新部42写入存储部41中,因此更新定位参数以控制基板定位部1的操作。机构控制部46基于存储在存储部41中的控制参数进行丝网印刷机构13和基板定位部1的操作控制。机构控制部46基于由数据更新部42更新的定位参数控制基板定位部1,图6B中所示的位置偏移状态由此得到改善。
接下来,对于保持在搬运器10上的多个单独的基板11,通过丝网印刷设备将焊膏S共同地印刷到电极11a上用于连接电子部件的丝网印刷方法中,其中电子部件形成于每个该单独的基板上,参考图7A到图8D来描述反馈数据供给计算,其中该反馈数据供给计算被执行以改善焊料位置滑动状态。
首先,图7A示出单独的基板位置偏移的统计数据,即,沿X方向的位置偏移量的分布和单独的位置偏移的平均值M,其中该统计数据是针对保持在搬运器10上的多个单独的基板11的一个单独的基板11而得到的。同样,在这里,虽然仅描述了沿X方向的位置偏移量的反馈,但是也可以进行沿Y方向的反馈。对于保持在搬运器10上的所有的单独的基板11进行运算以获得单独的位置偏移的平均值M,以及如图7B所示,得到单独的位置偏移的这些平均值M的最大值Mmax和最小值Mmin。
接下来,如图7C所示,计算表示最大值Mmax和最小值Mmin之间的差值的偏移值ΔM,并且将偏移值ΔM与预先设定的容许值Δ(t)相比较。这里,如果偏移值ΔM小于或等于容许值Δ(t),则得到最大值Mmax和最小值Mmin的中间值(Mmax+Mmin)/2。并且,通过该计算在这里得到的(Mmax+Mmin)/2被当作焊膏的位置偏移量的代表值,其中保持在搬运器10上的多个单独的基板11的该中间值被产生,并且基于中间值(Mmax+Mmin)/2通过数据更新部42更新存储于存储部41中的定位参数。也就是说,使用中间值(Mmax+Mmin)/2作为修正值,进行数据更新处理,通过该数据处理将定位参数沿与位置移位方向相反的方向仅偏移该修正值。因此,在随后进行的丝网印刷操作中,位置偏移量可以减小该修正值。在这里,容许值Δ(t)是通过确定是否在位置偏移量范围内来设定的,该位置偏移量范围覆盖该位置偏移,并且能够在丝网印刷设备的后续工序的电子部件安装工序和回流焊工艺中保证电子部件的正常安装质量。
图8A至8D示出在保持在搬运器10上的多个单独的基板11中的仅一个单独的基板11与其他单独的基板相比受到大的位置偏移的情形的实例。该实例会在下述情形中发生:在搬运器10上安装单独的基板11时,进行丝网印刷,而没有修正由于某些原因产生的位置误差。也就是说,在这种情况下,如图8A所示,对于一个单独的基板11获得的单独的位置偏移的平均值M表现为在焊膏位置偏移统计数据中与其他单独的基板11的单独的位置偏移的平均值M组远离的数值。结果,所计算的偏移值ΔM变得比正常状态大,并且超出了上述容许值Δt。在图8A至8D所示的实例中,单独的位置偏移的平均值M的最小值Mmin表示与其他平均值M大不相同的值。
在这种情况下,在最大值Mmax和最小值Mmin中的单独的位置偏移的多个平均值M的分布中,偏移程度较大的数据值(在这里,最小值Mmin)作为异常值被舍弃。例如,与相对于所有单独的基板11的位置偏移量的平均值的差值可以用作偏移值指标,并且与平均值的差值甚至更大的数值的数据作为异常值被舍弃。并且,对于舍弃异常值而剩下的单独的位置偏移的平均值,重复和再次进行上述反馈数据供给计算。即,如图8C所示,对于剩下的单独的位置偏移的平均值M,得到最大值Mmax和最小值Mmin。而且,如图8D所示,也得到中间值(Mmax+Mmin)/2。基于如此得到的中间值(Mmax+Mmin)/2,通过数据更新部42更新存储于存储部41中的定位参数。
也就是说,在本实施例中示出的丝网印刷方法中,在由反馈数据供给部45执行的反馈数据供给步骤中,从焊料位置偏移数据得到单独的位置偏移的多个平均值M,该多个平均值M表示每个单独的基板的位置偏移量的平均值;接下来,将表示单独的位置偏差的多个平均值M的最大值Mmax和最小值Mmin之间的差值的偏移值ΔM与预先设定的容许值Δ(t)比较,如果偏移值ΔM小于或等于容许值Δ(t),则反馈数据供给运算获得最大值Mmax和最小值Mmin的中间值(Mmax+Mmin)/2,并且基于中间值(Mmax+Mmin)/2通过数据更新部42更新存储于存储部41中的定位参数。如果偏移值ΔM超过容许值Δ(t),则在最大值Mmax和最小值Mmin中单独的位置偏移的多个平均值M中偏移程度较大的数值作为异常值被舍弃,其中对剩下的单独的位置偏移的剩下的平均值M进行反馈数据供给运算。
通过这样处理数据,与由基板定位部1对单独的基板11和掩模板12的内在定位误差无关的因素,例如单独的基板11的安装误差导致的定位偏差,其产生的异常数据能够从反馈数据供给中的对象中被排除。因此,即使在由于某些原因导致的特定的单独的基板相对于其他基板大幅滑动的异常数据的情况下,可以防止由于异常状态被引入成为反馈数据引起的不正确数据,不适当的修正数据被反馈到上游侧,其中适当的印刷位置的反馈得到保证。同时,反馈数据供给并不限于该所描述和表示的实例,并且可以采用适合于单独的基板的各种方法。
根据本发明的丝网印刷装置和丝网印刷方法能够产生即使在由于某些原因导致的特定的单独的基板相对于其他基板大幅滑动的异常数据的情况下适当的印刷位置可以被反馈的效果,并且在对保持在搬运器上的多个单独的基板印刷焊膏的领域中是有用的。
本申请基于2007年5月22日提交的日本专利申请No 2007-135134,其全部内容引用结合于此。

Claims (5)

1、一种丝网印刷设备,用于相对于保持在搬运器上的多个单独的基板,共同地将焊膏印刷在电极上用于连接电子部件,所述电子部件形成在单独的基板上,所述丝网印刷设备包括:
掩模板,设置有与所述电极相对应的图案孔;
定位装置,用于基于定位参数相对于所述掩模板来二维地定位所述搬运器;
刮板,用于通过执行与所述掩模板滑动接触的刮板动作,经由所述图案孔将焊膏印刷在所述电极上;
印刷检测部,所述印刷检测部用于探测印刷在每个单独的基板上的所述焊膏的位置,并探测所述焊膏相对于所述电极的位置偏移作为焊料位置偏移数据,所述焊料位置偏移数据表示所述电极的位置偏移量;
反馈数据供给部,用于供给反馈数据以基于单独的基板的位置偏移的统计数据来改善位置偏移状态,其中所述位置偏移量是针对每个单独的基板来统计处理,以及
数据更新部,用于基于反馈数据来更新所述定位参数。
2、根据权利要求1的丝网印刷设备,其中所述反馈数据供给部从所述焊料位置偏移数据得到单独的位置偏移量的多个平均值,其中所述多个平均值表示每个单独的基板的所述位置偏移量的平均值;以及然后将偏移值与预先预定的容许值比较,其中所述偏移值表示所述单独的位置偏移量的平均值的最大值和最小值之间的差值,并且如果所述偏移值小于或等于所述容许值,则进行用于供给反馈数据的运算,通过所述运算得到所述最大值和最小值的平均值,以及
所述数据更新部基于所述平均值更新所述定位参数。
3、根据权利要求2的丝网印刷设备,其中如果所述偏移值超过所述容许值,所述反馈数据供给部将在所述最大值和最小值中单独的位置偏移的多个平均值中具有较大偏移程度的数据值作为异常值舍弃,并且对剩下的单独的位置偏移平均值进行用于供给所述反馈数据的运算。
4、一种丝网印刷方法,通过丝网印刷设备,用于对保持在搬运器上的多个单独的基板,共同地将焊膏印刷在电极上用于连接电子部件,所述电子部件形成在单独的基板上,
其中所述丝网印刷设备包括:
掩模板,设置有与所述电极相对应的图案孔;
定位装置,用于基于定位参数相对于所述掩模板来二维地定位所述搬运器;
刮板,用于通过执行与所述掩模板滑动接触的刮板动作,经由所述图案孔将焊膏印刷在所述电极上;以及
印刷检测部,所述印刷检测部用于探测印刷在每个单独的基板上的所述焊膏的位置,并探测所述焊膏相对于所述电极的位置偏移作为焊料位置偏移数据,所述焊料位置偏移数据表示每个电极的位置偏移量;以及
反馈数据供给步骤,用于供给反馈数据以基于单独的基板的位置偏移的统计数据来改善位置偏移状态,其中所述位置偏移量是针对每个单独的基板来统计处理,包括下述步骤:
从所述焊料位置偏移数据得到单独的位置偏移量的多个平均值,其中所述多个平均值表示每个单独的基板的所述位置偏移量的平均值;
将偏移值与预先预定的容许值比较,所述偏移值表示所述位置偏移量的平均值的最大值和最小值之间的差值;以及
如果所述偏移值小于或等于所述容许值,则进行用于供给反馈数据的运算,通过所述运算得到所述最大值和最小值的平均值,以及基于所述平均值更新所述定位参数。
5、根据权利要求4的丝网印刷方法,其中在所述反馈数据供给步骤中,如果所述偏移值超过所述容许值,则在所述最大值和最小值中单独的位置偏移的多个平均值中具有较大偏移程度的数据值作为异常值被舍弃,并且对剩下的单独的位置偏移平均值进行用于供给所述反馈数据的运算。
CN2008101277675A 2007-05-22 2008-05-22 丝网印刷设备和丝网印刷方法 Active CN101310977B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP135134/07 2007-05-22
JP2007135134A JP4356769B2 (ja) 2007-05-22 2007-05-22 スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101310977A true CN101310977A (zh) 2008-11-26
CN101310977B CN101310977B (zh) 2011-09-21

Family

ID=39596285

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2008101277675A Active CN101310977B (zh) 2007-05-22 2008-05-22 丝网印刷设备和丝网印刷方法

Country Status (6)

Country Link
US (1) US8166875B2 (zh)
JP (1) JP4356769B2 (zh)
KR (1) KR20080103025A (zh)
CN (1) CN101310977B (zh)
DE (1) DE102008024981A1 (zh)
GB (1) GB2449549B (zh)

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102355996A (zh) * 2009-08-06 2012-02-15 松下电器产业株式会社 丝网印刷装置和丝网印刷方法
CN103192592A (zh) * 2012-01-05 2013-07-10 珠海格力电器股份有限公司 自动丝印机及自动丝印方法
CN103260881A (zh) * 2010-10-19 2013-08-21 松下电器产业株式会社 丝网印刷装置和丝网印刷方法
CN103402769A (zh) * 2011-03-09 2013-11-20 松下电器产业株式会社 丝网印刷装置及丝网印刷方法
WO2014083605A1 (ja) * 2012-11-27 2014-06-05 富士機械製造株式会社 基板印刷装置
CN104105359A (zh) * 2013-04-09 2014-10-15 先进装配系统有限责任两合公司 用于将焊膏印刷在pcb上的参数优化
CN104347383A (zh) * 2013-07-29 2015-02-11 鑫晶钻科技股份有限公司 蓝宝石盘片抛光垫修整器的制造方法
CN105291564A (zh) * 2015-11-06 2016-02-03 凌云光技术集团有限责任公司 一种丝印对位方法及装置
CN106985564A (zh) * 2011-06-13 2017-07-28 千住金属工业株式会社 焊膏的印刷方法
CN107926151A (zh) * 2015-09-01 2018-04-17 富士机械制造株式会社 要求精度设定装置
CN108608734A (zh) * 2016-12-13 2018-10-02 海太半导体(无锡)有限公司 胶水印刷设备基板印刷位置偏差报警系统
CN112238032A (zh) * 2020-09-04 2021-01-19 上海尧崇智能科技有限公司 一种涂胶路径生成方法、生成装置、生成系统及计算机可读存储介质
CN113895142A (zh) * 2020-06-22 2022-01-07 先进装配系统新加坡有限公司 工件的对准及印刷

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4685066B2 (ja) * 2007-06-15 2011-05-18 ヤマハ発動機株式会社 印刷装置
JP5476139B2 (ja) * 2010-01-22 2014-04-23 ヤマハ発動機株式会社 印刷装置および印刷方法
US8474377B2 (en) * 2010-12-08 2013-07-02 Illinois Tool Works Inc. Combination stencil printer and dispenser and related methods
US8739699B2 (en) 2010-12-08 2014-06-03 Illinois Tool Works Inc. Combination stencil printer and dispenser and related methods
US8733244B2 (en) 2010-12-08 2014-05-27 Illinois Tool Works, Inc. Methods for depositing viscous material on a substrate with a combination stencil printer and dispenser
US8746139B2 (en) 2010-12-08 2014-06-10 Illinois Tool Works Inc. Combination stencil printer and dispenser and related methods
DE102012019573A1 (de) * 2012-09-25 2014-03-27 Ekra Automatisierungssysteme Gmbh Druckvorrichtung, Drucksystem, Verfahren
JP5877327B2 (ja) * 2012-10-15 2016-03-08 パナソニックIpマネジメント株式会社 スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷における不良原因の解析装置ならびに不良原因の解析方法
JP5884015B2 (ja) * 2012-11-19 2016-03-15 パナソニックIpマネジメント株式会社 電子部品装着システム
US9421755B2 (en) * 2013-03-14 2016-08-23 Telekom Malaysia Berhad Screen printing system with positional alignment
US20140366756A1 (en) * 2013-06-18 2014-12-18 Robert Gray Cleaning assembly and method for a paste material printer
US9254641B2 (en) * 2013-08-05 2016-02-09 Asm Technology Singapore Pte. Ltd. Screen printer, and method of cleaning a stencil of a screen printer
JP6272676B2 (ja) * 2013-11-07 2018-01-31 東レエンジニアリング株式会社 ボンディング装置
JP6123076B2 (ja) * 2013-11-12 2017-05-10 パナソニックIpマネジメント株式会社 スクリーン印刷装置及び電子部品実装システム
JP2015093465A (ja) * 2013-11-14 2015-05-18 パナソニックIpマネジメント株式会社 スクリーン印刷装置及び電子部品実装システム並びにスクリーン印刷方法
JP6201149B2 (ja) * 2014-02-27 2017-09-27 パナソニックIpマネジメント株式会社 部品実装ライン及び部品実装方法
KR20160019564A (ko) * 2014-08-11 2016-02-22 주식회사 고영테크놀러지 검사 장치 및 방법과, 이를 포함하는 부품 실장 시스템 및 방법
KR101639880B1 (ko) * 2014-10-07 2016-07-14 경희대학교 산학협력단 단자엽 식물의 종자 우선적 프로모터 및 이의 용도
CN107709014B (zh) * 2015-06-08 2020-03-06 株式会社富士 印刷装置及对基板作业装置
KR101673225B1 (ko) * 2016-03-14 2016-11-07 주식회사 엠에스프린텍 롤 타입 패드를 이용한 전극 인쇄장치 및 이를 이용한 전극 인쇄방법
CN109049950A (zh) * 2018-08-01 2018-12-21 蚌埠惊涛精密机械有限公司 一种全自动玻璃丝印设备
US11778750B2 (en) * 2021-09-09 2023-10-03 Illinois Tool Works Inc. Stencil printer with component loading verification system and method

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02248252A (ja) 1989-03-20 1990-10-04 Fanuc Ltd スクリーン印刷機の自動位置決め方法及び装置
US5436028A (en) * 1992-07-27 1995-07-25 Motorola, Inc. Method and apparatus for selectively applying solder paste to multiple types of printed circuit boards
JP3344739B2 (ja) 1992-09-30 2002-11-18 松下電器産業株式会社 実装基板生産システムおよび実装基板生産方法
US5812693A (en) 1994-10-17 1998-09-22 Chrysler Corporation Integrated machine vision inspection and rework system -- CIP
US5882720A (en) 1996-02-01 1999-03-16 Mpm Corporation Monitoring deposited pads
JP3310540B2 (ja) 1996-05-22 2002-08-05 松下電器産業株式会社 スクリーン印刷方法とその装置
US6066206A (en) * 1997-02-21 2000-05-23 Speedline Technologies, Inc. Dual track stenciling system with solder gathering head
JP4467662B2 (ja) * 1998-12-28 2010-05-26 三井化学株式会社 耐熱性接着剤
JP3661468B2 (ja) 1999-01-21 2005-06-15 松下電器産業株式会社 スクリーン印刷におけるスクリーンマスクの位置合わせ方法
GB2367034B (en) * 2000-07-18 2004-06-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd Screen printing apparatus and method of the same
JP3656533B2 (ja) * 2000-09-08 2005-06-08 松下電器産業株式会社 電子部品実装装置および電子部品実装方法
DE10049502A1 (de) * 2000-10-06 2002-04-11 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Verfahren und Vorrichtung zur absoluten Positionsbestimmung
JP3705202B2 (ja) 2001-12-25 2005-10-12 株式会社村田製作所 連続体シートの印刷方法および印刷装置
US6675704B2 (en) * 2002-03-06 2004-01-13 Compeq Manufacturing Company Limited Solder paste stenciling apparatus for minimizing residue of solder paste
US7171897B2 (en) 2003-06-05 2007-02-06 Georgia Tech Research Corporation System and methods for data-driven control of manufacturing processes
JP4363093B2 (ja) * 2003-06-25 2009-11-11 株式会社日立プラントテクノロジー スクリーン印刷機
JP4944407B2 (ja) * 2005-08-01 2012-05-30 富士機械製造株式会社 スクリーン・基板位置合わせ方法および装置
JP4899400B2 (ja) * 2005-09-30 2012-03-21 株式会社日立プラントテクノロジー スクリーン印刷装置
JP4618085B2 (ja) * 2005-09-30 2011-01-26 株式会社日立プラントテクノロジー はんだペースト印刷システム
JP2007135134A (ja) 2005-11-14 2007-05-31 Nikon Corp 携帯通信端末
JP4793987B2 (ja) * 2006-03-15 2011-10-12 富士機械製造株式会社 スクリーン印刷方法及びスクリーン印刷装置
JP5023904B2 (ja) * 2007-09-11 2012-09-12 パナソニック株式会社 スクリーン印刷装置

Cited By (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102355996A (zh) * 2009-08-06 2012-02-15 松下电器产业株式会社 丝网印刷装置和丝网印刷方法
CN103260881A (zh) * 2010-10-19 2013-08-21 松下电器产业株式会社 丝网印刷装置和丝网印刷方法
US8833251B2 (en) 2010-10-19 2014-09-16 Panasonic Corporation Screen printing device and screen printing method
CN103260881B (zh) * 2010-10-19 2014-11-12 松下电器产业株式会社 丝网印刷装置和丝网印刷方法
CN103402769B (zh) * 2011-03-09 2015-02-25 松下电器产业株式会社 丝网印刷装置及丝网印刷方法
CN103402769A (zh) * 2011-03-09 2013-11-20 松下电器产业株式会社 丝网印刷装置及丝网印刷方法
US9085133B2 (en) 2011-03-09 2015-07-21 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Screen printing device and screen printing method
US10322462B2 (en) 2011-06-08 2019-06-18 Senju Metal Industry Co., Ltd. Method of printing solder paste
CN106985564B (zh) * 2011-06-13 2019-03-08 千住金属工业株式会社 焊膏的印刷方法
CN106985564A (zh) * 2011-06-13 2017-07-28 千住金属工业株式会社 焊膏的印刷方法
CN103192592A (zh) * 2012-01-05 2013-07-10 珠海格力电器股份有限公司 自动丝印机及自动丝印方法
WO2014083605A1 (ja) * 2012-11-27 2014-06-05 富士機械製造株式会社 基板印刷装置
CN104105359B (zh) * 2013-04-09 2018-06-01 先进装配系统有限责任两合公司 用于将焊膏印刷在pcb上的参数优化
CN104105359A (zh) * 2013-04-09 2014-10-15 先进装配系统有限责任两合公司 用于将焊膏印刷在pcb上的参数优化
CN104347383B (zh) * 2013-07-29 2017-08-04 鑫晶钻科技股份有限公司 蓝宝石盘片抛光垫修整器的制造方法
CN104347383A (zh) * 2013-07-29 2015-02-11 鑫晶钻科技股份有限公司 蓝宝石盘片抛光垫修整器的制造方法
CN107926151A (zh) * 2015-09-01 2018-04-17 富士机械制造株式会社 要求精度设定装置
CN107926151B (zh) * 2015-09-01 2021-02-05 株式会社富士 要求精度设定装置
US10935963B2 (en) 2015-09-01 2021-03-02 Fuji Corporation Required accuracy setting device
CN105291564A (zh) * 2015-11-06 2016-02-03 凌云光技术集团有限责任公司 一种丝印对位方法及装置
CN105291564B (zh) * 2015-11-06 2017-09-01 凌云光技术集团有限责任公司 一种丝印对位方法及装置
CN108608734A (zh) * 2016-12-13 2018-10-02 海太半导体(无锡)有限公司 胶水印刷设备基板印刷位置偏差报警系统
CN113895142A (zh) * 2020-06-22 2022-01-07 先进装配系统新加坡有限公司 工件的对准及印刷
CN112238032A (zh) * 2020-09-04 2021-01-19 上海尧崇智能科技有限公司 一种涂胶路径生成方法、生成装置、生成系统及计算机可读存储介质

Also Published As

Publication number Publication date
JP4356769B2 (ja) 2009-11-04
KR20080103025A (ko) 2008-11-26
GB2449549B (en) 2012-05-09
DE102008024981A1 (de) 2008-12-24
GB0809261D0 (en) 2008-06-25
GB2449549A (en) 2008-11-26
US20080289518A1 (en) 2008-11-27
CN101310977B (zh) 2011-09-21
JP2008294034A (ja) 2008-12-04
US8166875B2 (en) 2012-05-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101310977B (zh) 丝网印刷设备和丝网印刷方法
US9055708B2 (en) Substrate-related-operation performing apparatus and substrate-related-operation performing system
JP4367524B2 (ja) 電子部品実装システムおよび電子部品実装方法
US6850855B2 (en) Apparatus and method for inspecting working operations on circuit substrate, and system and method for fabricating electric circuit
CN101317502B (zh) 针对电路基板的操作装置和操作方法
CN100548101C (zh) 电子元件安装系统和电子元件安装方法
US20070130755A1 (en) Electronics assembly machine with embedded solder paste inspection
US20150136837A1 (en) Electronic component mounting system and electronic component mounting method
CN101106899A (zh) 部件搭载位置校正方法及部件安装装置
CN114585514B (zh) 焊膏珠回收系统及方法
CN103687467A (zh) 电子元件安装装置
JP5214478B2 (ja) 電子部品装着方法及び電子部品装着装置
JP2013000906A (ja) 電子部品実装システムおよび電子部品実装システムにおける実装基板の製造方法
JP6842555B2 (ja) 対基板作業機
JP4921346B2 (ja) 部品実装装置における吸着位置補正方法
US20120272510A1 (en) Mounting system, electronic component mounting method, substrate production method, and program
JP4852456B2 (ja) 実装ライン及び実装方法
JP7079371B2 (ja) 補正量算出装置および補正量算出方法
CN113508652A (zh) 部件搭载装置以及部件搭载方法、安装基板制造系统以及安装基板制造方法、和搭载完毕部件检查装置
CN103722869B (zh) 丝网印刷装置、丝网印刷不良原因的解析装置及解析方法
CN107926139B (zh) 元件安装机及元件安装生产线
WO2024053099A1 (ja) 基板生産システムおよび基板生産方法
CN116491236A (zh) 元件安装系统
CN117581648A (zh) 部件安装系统以及部件安装方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant