CN101303530A - 狭缝式涂布机用预备排出装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及狭缝式涂布机用预备排出装置，包含：滚轮，接收通过狭缝喷嘴预备排出的感光液；收容部，可旋转地支撑滚轮并使收容的滚轮的一部分露出到外部；清洗组件，在收容部内沿着所述滚轮外表面贴近设置，所述清洗组件包含：溶液供应管，用于供应稀释感光液的溶液；倾斜板，使通过溶液供应管供应的溶液流向所述滚轮表面；多个刮刀，与滚轮外表面接触而清除异物。根据本发明通过溶液供应管供应的溶液通过倾斜板供应到滚轮侧，与以往的喷射或者单纯的滴落的方式相比可显著减少溶液的浪费，而且可以实现滚轮表面的溶液的均匀涂布，由此可进一步提高对滚轮表面感光液的清洗效果。
Description
技术领域
本发明涉及一种狭缝式涂布机用预备排出装置，尤其涉及可以将用于清除涂布到滚轮表面的感光液的溶液均匀地供应到滚轮表面的狭缝式涂布机用预备排出装置。
背景技术
通常，在半导体设备或者平板显示器(FPD：flat panel display)的制造工程中，为了使在被处理基板(硅晶片或者玻璃基板)上执行特定功能的薄膜，例如氧化薄膜、金属薄膜、半导体薄膜等以所需的形状图案化(patterning)，进行将与光源产生反应的感光液(sensitive material)涂布到所述薄膜上面的工程。
如上所述地为在被处理基板的薄膜上构成预定的回路模式而涂布感光液形成感光膜，并对应回路模式使所述感光膜曝光，然后对曝光的部位或者没有曝光的部位进行显影处理进而清除的一系列过程称为影印工程或者光刻(Photolithography)工程。
在所述影印工程中，感光膜的厚度应以预定厚度均匀形成。例如，若感光膜厚度比基准值厚，则薄膜中所需的部分就不会被蚀刻，而若感光膜厚度比基准值薄，则薄膜的被蚀刻程度就会超过预期的蚀刻量。因此如果要在被处理基板上形成厚度均匀的感光膜，则应首先在被处理基板上均匀地涂布感光液。
玻璃基板主要使用利用平板(surface plate)支撑基板的状态下，使形成在横跨基板方向排出感光液的狭缝(slit)的狭缝喷嘴沿着垂直于狭缝的形成方向在基板上移动的同时利用所述狭缝在基板表面涂布感光液的非旋转式涂布(spinless coating)法或者狭缝式涂布(slit coating)法。
图1是采用非旋转式涂布法的以往的感光液涂布装置(狭缝式涂布机)的概略的立体图。
参照图1可知，以往的狭缝式涂布机包含：平板10，装载并支撑需要进行感光液处理的基板S；狭缝喷嘴20，在装载于所述平面板10的基板S上面涂布感光液。
所述狭缝喷嘴20在其底端形成长度与基板S的宽度W对应的狭缝(未图示)。当在基板S上面涂布感光液时，在平面板10的一侧待机的狭缝喷嘴20朝基板S方向前移并通过所述狭缝在基板S表面涂布感光液，而当感光液的涂布作业完成之后，后退至平面板10一侧待机。
另外，以往的狭缝式涂布机的狭缝喷嘴20在涂布完感光液之后，所述狭缝及所述狭缝周围的两侧边缘(lip)残留着有机绝缘物质或者部分感光液。在狭缝喷嘴20待机的时段所述残留的感光液与外气接触后属性会发生变化或者狭缝喷嘴20待机后再次进行涂布作业时会发生巨涌(surge)现象，因而对于在基板上面形成均质的涂布膜造成不良影响。
为解决上述问题，以往的狭缝式涂布机具备预备排出装置30，以用于狭缝喷嘴20对基板S进行涂布之前清除残留的涂布液或者在进行涂布时防止巨涌现象。
图2是图1中示出的狭缝式涂布机用预备排出装置的剖视图。
参照图2可知，以往的狭缝式涂布机用预备排出装置包含：滚轮31，以用于接收狭缝喷嘴20预备排出的排出液；收容部32，以用于可旋转地支撑所述滚轮31并将滚轮31收容于内部；清洗组件41、42、43、44、45、46，沿着所述滚轮的旋转方向设置。
具体说，滚轮31在收容部32内部旋转的同时从其上侧的狭缝喷嘴20接收残留于狭缝上的残留液，而收容部32将滚轮31浸渍于储存在下部的清洗液内清除滚轮31外沿的排出液。而且，清洗组件31包含：第一喷嘴41，给滚轮31的表面供应用于稀释感光液的溶液，例如溶剂(solvent)；刮刀42，与滚轮31的外沿接触而清除异物；第二喷嘴43，喷射清洗液；第三喷嘴44，在滚轮31浸渍于清洗液之后再次喷射清洗液；刮刀45，清除残留清洗液；以及第四喷嘴46，用于喷射干燥空气。
根据如上构成的以往的预备排出装置执行的预备排出装置的清洗过程如下。狭缝喷嘴20预备排出药液，例如感光液到朝一侧方向旋转的滚轮31表面，所述感光液被旋转的滚轮31移送到收容部内部。在这个过程中，感光液被第一喷嘴41喷射到滚轮31表面的溶液一次稀释，而包含于该感光液内的异物则通过刮刀42清除。
接着，利用储存于收容部32内的清洗液清洗滚轮表面，并通过清洗液清洗之后通过第三喷嘴44和刮刀45再次对滚轮表面进行清洗，最后利用第四喷嘴46对滚轮31表面进行干燥，由此完成清洗。以上的作业过程在药液通过狭缝喷嘴预备排出的时间内连续反复地进行。
根据如上所述的以往技术，以稀释感光液为目的排出到滚轮31表面的溶液，例如溶剂通过所述第一喷嘴41的喷射或者通过利用滴落单元(未图示)的单纯的滴落方式涂布到滚轮表面稀释感光液。
但是，如上所述地利用喷嘴喷射或者单纯滴落方式给滚轮表面提供溶液时，一部分溶液无法正确供应到滚轮表面而飞散及流到外部或者其他区域导致消耗更多量的溶液，而且溶液无法均匀涂布到整个滚轮导致对滚轮表面的清洗效率降低。
发明内容
本发明是为了解决上述问题而提出的，本发明的目的在于提供一种狭缝式涂布机用预备排出装置，其显著减少溶液的不必要的浪费，且可以将溶液均匀地涂布到滚轮表面，由此可以提高对滚轮表面的感光液的清洗效率。
为了实现上述目的，本发明提供的狭缝式涂布机用预备排出装置包含：滚轮，接收通过狭缝喷嘴预备排出的感光液；收容部，可旋转地支撑滚轮并使收容的滚轮的一部分露出到外部；清洗组件，在收容部内沿着所述滚轮外表面贴近设置，所述清洗组件包含：溶液供应管，供应用于稀释感光液的溶液；倾斜板，使通过溶液供应管供应的溶液流向所述滚轮表面；多个刮刀，与滚轮外表面接触而清除异物。
附图说明
图1是根据非旋转式涂布法的以往的狭缝式涂布机概略的立体图；
图2是图1中示出的狭缝式涂布机用预备排出装置的剖视图；
图3是根据本发明实施例的狭缝式涂布机用预备排出装置的剖视图；
图4是放大了图3中的要部的要部放大图。
主要符号说明：200为狭缝喷嘴，310为滚轮，320为收容部，330为清洗槽，332为清洗液，410为溶液供应管，420为倾斜板，422为溶液收容部，424为狭缝，430为第1刮刀，432为凹槽，440为第2刮刀，450为第3刮刀。
具体实施方式
以下，参照附图来详细说明本发明的优选实施例。
图3是根据本发明实施例的狭缝式涂布机用预备排出装置的剖视图。
参照图3可知，根据本发明实施例的狭缝式涂布机用预备排出装置包含：可旋转的滚轮310及可旋转地支撑滚轮310并使收容的滚轮310的一部分露出到外部的收容部320。滚轮310接收通过狭缝喷嘴200预备排出的感光液，而收容部320为了对接收感光液的滚轮310表面进行清洗，其内部设有填充了清洗液332的清洗槽330。
这时，所述滚轮310以其外面的一部分浸渍到清洗液332的形态可旋转地设置在收容部320，所述收容部320具备清洗组件，以用于清洗可旋转地设置在收容部320的滚轮310。所述清洗组件包含用于清除滚轮表面异物及进行清洗的多个组成部分，而这些组成部分在收容部320内沿着所述滚轮310的旋转方向贴近滚轮310外面设置。
具体说，所述清洗组件包含：溶液供应管410，用于供应稀释感光液的溶液；倾斜板420，为使通过溶液供应管410供应的溶液流向所述滚轮310表面而引导溶液的流动；多个刮刀430、440、450，与滚轮310外表面接触而清除滚轮表面的异物及感光液(或者清洗液)。
所述倾斜板420向着滚轮310的外面向下倾斜，从而引导通过所述溶液供应管410提供的溶液100顺利地流向滚轮310表面，而多个刮刀分为沿着滚轮310的圆周方向贴近滚轮表面设置的第一、第二、第三刮刀430、440、450。第一刮刀430布置于所述溶液供应管410及倾斜板420下侧的收容部320内，用于清除滚轮表面的异物及混合有溶液的稀释液，而第二刮刀440布置于填充清洗液332的清洗槽330内，用于清除浸渍于清洗液332的滚轮310表面的异物及感光液。并且，第三刮刀450用于清除通过清洗液332浸渍清洗后残留于滚轮310表面的清洗液。
优选地，所述溶液供应管410及倾斜板420布置于预备排出到露出于收容部320外部的滚轮310表面的感光液由滚轮310带入收容部320内部的方向的收容部320内部上侧。此时，通过狭缝喷嘴200向一侧方向旋转的滚轮310表面预备排出药液，例如预备排出感光液时，所述感光液在旋转的滚轮310的带动下移送至收容部320内部，在此过程中溶液供应管410提供的溶液，例如溶剂通过倾斜板420供应到滚轮310的表面，由此对粘附在滚轮310表面的感光液进行一次稀释，而稀释物及溶剂中包含的异物则被第一刮刀42一次性清除。
此时，所述第一刮刀430在与滚轮310外面接触的刀身末端向着与所述滚轮310旋转方向相反的方向设有凹陷预定厚度的凹槽432(参照图4)。所述凹槽432内残留着沿着滚轮310表面流下的一部分溶液100。即，所述凹槽432截留为稀释感光液而从倾斜板420供应到滚轮310表面的溶液100中的一部分，而被残留的溶液100用于再次稀释残存于滚轮310表面的感光液。
即，所述第一刮刀430清除通过溶液一次稀释的滚轮310表面的感光液及异物的同时利用残留于其刀身末端的凹槽432内的溶液对滚轮310表面实施清洗。这时，利用通过溶液供应管410提供到滚轮310表面的溶液稀释感光液后，由第一刮刀430对残留于滚轮310表面的感光液再次进行稀释，进而可进一步提高对滚轮310的清洗效率。
图4是放大了图3中的要部的要部放大图，放大示出包含溶液供应管及倾斜板的清洗组件的主要部分。
如图4所示，所述倾斜板420在其末端的自由端侧具备用于临时收容溶液100的溶液收容部422。这种溶液收容部422用于防止溶液供应管410提供的溶液过量的供应到滚轮310的表面，其结构可通过向上弯曲倾斜板420自由端侧端部而形成，而沿着弯曲端的长度方向形成用于排出溶液的又窄又细的狭缝424。由此，当通过溶液供应管410供应溶液时，该溶液沿着倾斜板420流动并流入所述溶液收容部422聚集而只有其中的一部分溶液通过狭缝424供应到滚轮310的表面。
如上所述地在倾斜板420上设置用于临时储存溶液的溶液收容部422时，通过溶液供应管410供应的溶液临时收容于所述溶液收容部422，只有其中的一部分溶液通过狭缝424供应到滚轮310的表面，因此与以往的溶液喷射或者滴落方式相比可减少溶液的不必要的浪费。而且，在溶液供应管410的溶液供应暂时停止的状况下，由于一定量的溶液100临时储存于溶液收容部422，因此溶液在一定时间内可连续供应到滚轮310表面。进而可防止溶液供应中断引起的刮刀负荷过大及无法清洗。
如上所述，根据本发明的实施例，用于清洗接收了药液，例如接收了感光液的滚轮310的清洗装置采用的清洗组件包含：溶液供应管410，为稀释感光液而提供类似溶剂的溶液；倾斜板420，为使通过溶液供应管410供应的溶液供应到旋转的滚轮310表面而引导溶液流动。所述清洗组件中，倾斜板420包含临时收容溶液100的溶液收容部422，以避免溶液供应管410提供的溶液过量地供应到滚轮310表面。
由此，通过溶液供应管410供应的溶液临时储存于溶液收容部422，其中仅一部分溶液通过狭缝424少量地供应到滚轮310表面，因而与以往的溶液喷射或者滴落方式不同，不会消耗大量的溶液，且使得供应到滚轮310表面的溶液量始终保持一定并均匀排出到滚轮的宽度方向，进而可进一步提高对粘附于滚轮310表面的感光液的清洗效率。
同时，由于溶液收容部422临时储存有一定量的溶液100，因而即使通过溶液供应管410的溶液供应一时中断，溶液也会在一定时间内连续供应到滚轮表面，进而可防止溶液供应中断导致的刮刀负荷增大及无法清洗。
而且，根据本发明的实施例，第一刮刀430的刀身末端具有以预定深度凹陷形成的凹槽432，用于截取一部分通过滚轮310表面流下的溶液100，由此再一次稀释残留于滚轮310表面的感光液，进而可提高对滚轮310的清洗效果。
以上说明的仅仅是用于实施本发明的一个实施例，而本发明不限于上述实施例，在不脱离本发明范围的情况下，所属领域的技术人员可以进行各种变形和修改。
由以上的说明可知，本发明中的通过溶液供应管提供的溶液临时储存于倾斜板的溶液收容部并通过狭缝供应到滚轮侧，因而与以往的喷射或者单纯的滴落方式相比，具有显著减少溶液的不必要的浪费的优点。
而且，临时储存于溶液收容部的溶液通过狭缝排出方式供应到滚轮表面，由此可实现对滚轮表面的溶液的均匀涂布，进而进一步提高对滚轮表面感光液的清洗效率。
Claims (6)
1、一种狭缝式涂布机用预备排出装置，其包含：
滚轮，接收通过狭缝喷嘴预备排出的感光液；
收容部，可旋转地支撑滚轮并使收容的滚轮的一部分露出到外部；
清洗组件，在收容部内沿着所述滚轮外表面贴近设置，
所述清洗组件包含：溶液供应管，用于供应稀释感光液的溶液；
倾斜板，使通过溶液供应管供应的溶液流向所述滚轮表面；
多个刮刀，与滚轮外表面接触而清除异物。
2、根据权利要求1所述的狭缝式涂布机用预备排出装置，其特征在于所述溶液供应管及倾斜板布置于预备输出到露出于收容部外部的滚轮表面的感光液由滚轮带入收容部内部的方向的收容部内部上侧。
3、根据权利要求1或者2所述的狭缝式涂布机用预备排出装置，其特征在于所述倾斜板在其末端的自由端侧具备临时收容溶液供应管供应的溶液并在长度方向形成用于排出溶液的狭缝的溶液收容部。
4、根据权利要求3所述的狭缝式涂布机用预备排出装置，其特征在于所述溶液收容部通过向上弯曲倾斜板的自由端侧端部而形成，且沿着弯曲端形成用于排出溶液的所述狭缝。
5、根据权利要求1所述的狭缝式涂布机用预备排出装置，其特征在于与滚轮表面接触的所述多个刮刀包含：
第一刮刀，布置于所述溶液供应管及倾斜板下侧的收容部内，用于清除滚轮表面的异物及混合有溶液的稀释液；
第二刮刀，布置于填充清洗液的清洗槽内，用于清除浸渍于清洗液的滚轮表面的异物及感光液。
第三刮刀，用于清除通过清洗液浸渍清洗后残留于滚轮表面的清洗液。
6、根据权利要求5所述的狭缝式涂布机用预备排出装置，其特征在于所述第一刮刀在与滚轮外面接触的刀身末端向与所述滚轮旋转方向相反的方向凹陷形成预定深度的凹槽，该凹槽用于截留一部分为稀释感光液而从倾斜板供应到滚轮表面的溶液。
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