KR20100001672A - 기판 처리장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 에칭공정작업을 진행한 후의 기판에 남아 있는 약액이 다른 챔버로 역류되는 것을 차단하는 과정에서 액절롤러에 묻어있는 약액을 제거하는 약액제거수단으로 액절롤러의 일측에 구비된 예리한 선단부로 직접적으로 제거하거나 약액을 흡수하는 장치를 사용함으로써, 액절롤러에 약액이 잔존하지 않게 하여 계속되는 기판의 작업공정에서 기판에 약액이 남지 않도록 하여 기판의 성능향상을 할 수 있는 기판 처리장치에 관한 것이다.

기판, 약액, 약액제거수단, 액절롤러

Description

기판 처리장치{Board processing apparatus}

본 발명은 에칭공정작업을 한 후의 박막 LCD 기판(TFT-LCD; Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display) 등의 기판에 의해 액절롤러에 묻어있는 약액을 제거하는 기판 처리장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 기판이 에칭공정을 지난 후 이송부에 의해 기판이 이송되고 그 후 기판 상의 약액이 다른 챔버로 역류되는 것을 액절롤러에 의해 차단시킨다. 이때, 기판 상에 있는 약액은 액절롤러의 일측에 구비된 예리한 선단부로 직접적으로 제거하거나 약액을 흡수하는 방식을 채택하는 기판 처리장치에 관한 것이다.

종래에서는 챔버에 약액을 분사하여 기판을 세정, 에칭, 박리시키는 습식장치에 있어서, 이 기판에 분사된 약액이 타 챔버로 유출되는 것을 막아주는 차단수단으로 약액롤러가 사용되고 있었다.

최근의 경량, 소형의 디스플레이 장치에 사용되는 기판은 기판의 이물질을 제거하는 세정정공정과, 상기 세정된 기판에 감광층을 형성하는 라미네이트공정과, 상기 감광층에 광원을 조사하여 패턴을 형성하는 노광공정과, 상기 조사된 패턴을 현상하는 현상공정을 거쳐, 각 공정에 적합한 화학약품(약액)을 사용하여 상기 기 판에 패턴을 형성하는 에칭공정 및 박리공정과, 상기 패턴이 형성된 기판의 이물질 및 약품을 제거하는 세정공정을 통해 성형된다.

여기서, 상기 화학약품(약액)은 조성이 상이하여 혼용사용시 발열반응을 일으켜 기판에 손상을 주거나, 상기 화학약품(약액)의 조성비가 변화되어 제품의 품질을 떨어뜨리고, 유지관리에 어려움이 발생됨으로 인하여, 상기 각 공정에서 분사된 약액이 타 챔버로 유출되는 것을 차단할 필요가 있었다.

그러나, 종래의 약액의 유출되는 것을 차단하는 수단으로서 사용되는 액절롤러는 기판과의 접촉으로 인하여 약액이 잔존하게 되고 그로 인하여 다음으로 오는 기판에 이 약액을 묻힘으로써 오염 또는 혼합된 약액이 기판에 부가되어 기판의 패턴이 원안대로 형성되지 않는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 본 발명의 목적은 에칭공정 후의 기판에 묻어 있는 약액이 다른 챔버로 유출되는 것을 차단하는 액절롤러에 약액제거수단을 부가하여, 약액이 혼합 또는 오염되는 것을 차단하고 기판의 손상을 감소시켜 제품의 품질 향상과 수율을 증가시킬 수 있는 기판 처리장치를 제공하고자 하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 기판을 일정한 방향으로 이송시키는 이송부와, 상기 기판을 에칭한 후 이 기판에 묻어 있는 약액을 제거하는 액절롤러 및 상기 액절롤러의 일측에 구비되어 액절롤러에 묻어 있는 약액을 제거하는 약액제거수단을 포함하여 구성된다.

또한, 본 발명의 제1실시예에 있어서, 상기 약액제거수단은, 일단이 상기 액절롤러에 접하면서 상기 약액을 제거하는 선단부와, 상기 선단부와 연결되어 지지하는 지지부와, 상기 지지부와 회동축에 의해 연결되어 지지하는 고정부를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명의 제1실시예에 있어서, 상기 약액제거수단은 상기 회동축을 중심으로 일정 각도 내에서 상하로 회전가능하게 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명의 제1실시예에 있어서, 상기 선단부의 일단은 상측 및/또는 하측이 테이퍼 진 형상으로 이루어지는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명의 제1실시예에 있어서, 상기 선단부는 탄성을 가지는 고무재질로 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명의 제2실시예에 있어서, 상기 약액제거수단에는, 상기 액절롤러와 이격되면서 상기 약액을 흡입하는 흡입구와, 상기 흡입구로 유입된 약액을 외부로 배출하는 배출구가 형성되는 것이 바람직하다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 액절롤러에 잔존하는 약액을 제거하는 약액제거수단을 구비하여 액절롤러에 약액이 잔존하지 않게 하여 계속되는 기판의 작업공정에서 기판에 약액이 남지 않도록 하여 기판의 성능향상과 수율을 향상시키는 효과가 있다.

이하 본 발명의 일 실시예를 도면을 참조하여 설명한다.

도 1은 본 발명의 기판 처리장치의 제1실시예의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 기판 처리장치의 제1실시예의 측면도이고, 도 3은 도 2의 “A”의 부분 확대도를 나타낸 것이다.

본 발명의 제1실시예는 이송부(10)와, 액절롤러(20) 및 약액제거수단(30)을 포함하여 구성된다.

이송부(10)는 기판(5)을 일정한 방향으로 이송시키는 것을 가르킨다.

여기서, 이송부(10)의 일정한 복수의 롤러로 이루어진 이송롤러에 의해 기판(5)을 이송시키는 것이 바람직하다..

액절롤러(20)는 기판(5)이 에칭된 후 이 기판(5)에 묻어 있는 약액(에칭액)(6)이 상기 이송과정 중에 다른 챔버로 약액이 유출되는 것을 차단하는 롤러이다.

즉, 액절롤러(20)는 기판 상에 잔존하는 약액(6)이 다른 챔버로 유출되는 것을 방지하는 롤러이다.

액절롤러(20)는 이송되는 기판(5)의 두께에 따라 위치를 조절할 수 있게 하는 것이 바람직하다.

약액제거수단(30)은 액절롤러(20)의 일측에 구비되어 액절롤러(20)에 묻어 있는 약액(6)을 제거하는 기구이다.

도 3에 도시된 바와 같이, 약액제거수단(30)은 선단부(31)와 지지부(32)와 고정부(33)를 포함하여 구성된다.

선단부(31)는 일단이 액절롤러(20)에 접하면서 기판(5)의 약액(6)을 액절하면서 액절롤러(20)에 남아 있는 약액(6)을 긁어서 제거하는 부위이다.

이 선단부(31)의 일단은 액절롤러(20)에 남아 있는 약액(6)을 긁어서(scratch) 제거하기 용이하도록 상측 및/또는 하측이 테이퍼(taper) 진 형상으로 이루어진다.

즉, 선단부(31)의 일단은 화살촉 모양으로 형성되는 것이 바람직하다.

이 선단부(31) 일단의 모양은 상기 화살촉 형상 외에도 약액(6)을 긁을 수 있는 모양으로 다양하게 변형된 실시예를 가질 수 있다.

그리고, 선단부(31)는 액절롤러(20)에 접하되 액절롤러(20)에 흠이 가지않도 록 일정한 탄성을 가지는 고무재질로 형성되는 것이 바람직하다.

그리고, 지지부(32)는 선단부(31)의 타단과 연결되어 선단부(31)의 이탈을 방지할 수 있게 지지한다.

그리고, 이 지지부(32)는 고정부(33)와 회동축(34)에 의해 서로 연결되어, 지지부(32)는 고정부(33)에 의해 지지된다.

여기서, 약액제거수단(30)의 지지부(32)는 회동축(34)의 회전에 의해 일정 각도 내에서 상하로 회전가능하게 형성된다.

따라서, 약액제거수단(30)의 선단부(31)는 지지부(32)가 회동축(34)의 회전에 따라 같이 일정 각도 내에서 상하로 회전가능하게 된다.

그리고, 고정부(33)는 나사 또는 용접 등의 체결기구를 이용하여 가이드부(33a)에 고정된다.

한편, 본 발명의 제2실시예를 도면을 참조하여 설명한다.

도 4는 본 발명의 기판 처리장치의 제2실시예의 사시도이고, 도 5는 본 발명의 기판 처리장치의 제2실시예의 측면도이고, 도 6은 본 발명의 기판 처리장치의 제2실시예의 약액제거수단의 개략도를 나타낸 것이다.

본 발명의 제2실시예는 이송부(10)와, 액절롤러(20) 및 약액제거수단(40)을 포함하여 구성된다.

여기서, 이송부(10)와 액절롤러(20)는 상기한 설명으로 그 내용을 갈음한다.

도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에서의 약액제거수단(40)에는 액절롤러(20)의 상부에 일정 간격으로 이격되어 약액(6)을 흡입하는 흡입구(41) 와, 흡입구(41)로 유입된 약액(6)을 외부로 배출하는 배출구(42)를 포함하여 구성된다.

약액제거수단(40)은 액절롤러(20)의 길이방향을 따라서 길게 형성된 하우징(미도시)의 하측에는 흡입구(41)가 형성되고, 상측에는 배출구(42)가 형성된다.

흡입구(41)와 배출구(42)는 흡입된 약액(6)이 지나가는 약액유로(43)로 연결된다.

이 흡입구(41)를 통하여 액절롤러(20)에 묻은 약액(6)이 흡입되고, 액절롤러(20)에 잔존하는 약액(6)이 제거되는 것이다.

도 6에 도시된 바와 같이, 약액제거수단(40)의 작동원리는 압력조절부(44)에 의해 약액제거수단(40)의 내부를 진공(vacuum) 상태로 만든다.

그리고, 약액제거수단(40) 내부의 압력이 대기압에 비해 낮게 되어 약액(6)이 흡입구(41)를 통하여 흡입되고, 흡입된 약액(6)은 약액유로(43)를 지나서 배출구(42)를 통하여 외부로 배출된다.

또는, 약액제거수단(40)에는 약액(6)을 흡입구(41) 통해 흡입하여 배출구(42)를 통하여 배출할 수 있도록 하는 펌프(pump)가 구비될 수 있다.

본 발명의 작동과정을 살펴보면 다음과 같다.

본 발명의 제1실시예의 작동과정을 살펴본다.

먼저, 에칭과정을 마친 기판(5)이 이송부(10)에 의해 일정 방향으로 이송된다.

그리고, 액절롤러(20)가 회전하며 기판(5)에 남아 있는 약액(6)이 다른 챔버 로 유출되는 것을 차단한다.

이때, 액절롤러(20)의 표면에 기판(5)에 상이 있던 약액(6)이 잔존하게 되고, 이 잔존한 약액(6)은 약액제거수단(30)의 선단부(31)의 일단이 액절롤러(20)에 접하면서 예리한 선단부(31)의 일단에 의해 긁혀서 제거된다.

여기서, 약액제거수단(30)은 지지부(32)가 회동축(34)의 회전에 의해 일정 각도로 회전가능하게 됨에 따라서 선단부(31)는 일정 각도 내에서 상하로 움직이며 액절롤러(20)의 표면에 있는 약액(6)을 제거한다.

한편, 본 발명의 제2실시예의 작동과정을 살펴본다.

이송부(10)와 액절롤러(20)의 작동과정은 상기한 본 발명의 일 실시예에서의 작동과정의 내용으로 갈음한다.

약액제거수단(40)의 압력조절부(44)에 의해 내부의 압력을 낮추게 되고, 그에 따라서 약액제거수단(40)의 내부 압력이 대기압에 비해 낮게 된다.

따라서, 액절롤러(20)에 남아 있는 약액(6)은 흡입구(41)로 흡입되고 이 약액(6)은 약액유로(43)을 따라서 위로 올라가고 배출구(42)를 통하여 외부로 배출된다.

이와 같은 약액제거수단(30,40)의 작동과정을 통하여 액절롤러(20)에는 약액(6)이 존재하지 않게 되며, 계속되는 기판(5)의 작업공정에서 기판(5) 상에 약액(6)을 남기지 않게 된다.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 많은 변형이 본 발명의 사상 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 가능함은 물론이다.

도 1은 본 발명의 기판 처리장치의 제1실시예의 사시도,

도 2는 본 발명의 기판 처리장치의 제1실시예의 측면도,

도 3은 도 2의 “A”의 부분 확대도,

도 4는 본 발명의 기판 처리장치의 제2실시예의 사시도,

도 5는 본 발명의 기판 처리장치의 제2실시예의 측면도,

도 6은 본 발명의 기판 처리장치의 제2실시예의 약액제거수단의 개략도를 나타낸 것이다.

** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **

5 : 기판 6 : 약액

10 : 이송부 20 : 액절롤러

30 : 약액제거수단 31 : 선단부

32 : 지지부 33 : 고정부

33a : 가이드부 34 : 회동축

40 : 약액제거수단 41 : 흡입구

42 : 배출구 43 : 약액유로

44 : 압력조절부

Claims (6)

1. 기판을 일정한 방향으로 이송시키는 이송부;

   상기 기판을 에칭한 후 이 기판에 묻어 있는 약액을 제거하는 액절롤러; 및

   상기 액절롤러의 일측에 구비되어 액절롤러에 묻어 있는 약액을 제거하는 약액제거수단;을 포함하여 구성되는 기판 처리장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 약액제거수단은,

   일단이 상기 액절롤러에 접하면서 상기 약액을 제거하는 선단부와,

   상기 선단부와 연결되어 지지하는 지지부와,

   상기 지지부와 회동축에 의해 연결되어 지지하는 고정부를 포함하여 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 약액제거수단은 상기 회동축을 중심으로 일정 각도 내에서 상하로 회전가능하게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
4. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,

   상기 선단부의 일단은 상측 및/또는 하측이 테이퍼 진 형상으로 이루어진 것 을 특징으로 하는 기판 처리장치.
5. 제 4항에 있어서,

   상기 선단부는 탄성을 가지는 고무재질로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
6. 제 1항에 있어서,

   상기 약액제거수단에는,

   상기 액절롤러와 이격되면서 상기 약액을 흡입하는 흡입구와,

   상기 흡입구로 유입된 약액을 외부로 배출하는 배출구가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.

Images