CN101289280B - 一种铁封微晶玻璃 - Google Patents
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Abstract
本发明铁封微晶玻璃是SiO2-BaO-K2O-Na2O-Al2O3-ZnO-CaO的七元系微晶玻璃与少量晶核形成剂氟化钙的混合物,采用分析纯试剂为原料,按照质量分数配比SiO2:41~57%,BaO:32~38%,K2O:7.5~9.5%,Na2O:0.6~8%,Al2O3:0.3~5%,ZnO:0.9~5%,CaO:0.02~0.3%。在上述配方总量的基础上,再以氟化钙的形式引入质量分数为5~6%的F作为形核剂。此种微晶玻璃可与铁封外壳进行封接,电镀后绝缘电阻可达1010Ω,漏气率≤1×10-9pa·m3s-1,引线弯曲3次后玻璃绝缘子并不开裂,仍能保持弯曲前的漏气率。该微晶玻璃的熔封工艺与传统的熔封工艺相比,不需要进行专门的核化或晶化处理,工艺简单。
Description
技术领域
本发明属于电子封装材料,特别涉及微电子金属封装中的铁封微晶玻璃。
背景技术
电子元器件金属外壳广泛使用金属-玻璃封接技术。其中金属为具有低膨胀系数的可伐合金,玻璃绝缘子为硅硼硬玻璃。但由于可伐合金导热性较差、不耐应力腐蚀,且价格较高,因此,在大功率器件和继电器等要求具有良好散热性能的电子元器件中,期望用相对廉价的低碳钢如10#钢代替可伐合金。与钢封接的玻璃属于铁封玻璃,目前使用的铁封玻璃主要是非晶玻璃,尽管非晶玻璃与铁封外壳封接后,绝缘电阻(≥1×109Ω)和漏气率(≤1×10-9pa·m3s-1)满足标准,但非晶玻璃绝缘子在引线受到90°±5°应力作用弯曲1次后就容易开裂,导致气密性下降,严重影响金属外壳封接的可靠性。为了提高元器件的可靠性,需要研制一种铁封微晶玻璃,以提高铁封玻璃的抗开裂性能。
发明内容
本发明针对铁封非晶玻璃易开裂问题,提出SiO2-BaO-K2O-Na2O-Al2O3-ZnO-CaO七元系微晶玻璃,并混合少量细粉碎的晶核形成剂氟化钙,使玻璃熔封之后出现微晶体,可以有效地提高铁封玻璃的抗开裂性能。
本发明的技术方案为:
采用分析纯试剂为原料,按照质量分数配比为:SiO2:41~57%,BaO:32~38%,K2O:7.5~9.5%,Na2O:0.6~8%,Al2O3:0.3~5%,ZnO:0.9~5%,CaO:0.02~0.3%,在上述配方总量的基础上,另外以氟化钙的形式引入质量分数为5~6%的F作为形核剂。
将上述原料混合后的试剂球磨4小时,以使其混合均匀。用铂铑合金坩埚熔炼玻璃,在熔化温度保温4小时后将玻璃液从铂铑合金坩埚中倒出水淬,得到玻璃块;将玻璃块研磨至35~80μm,采用4%左右的聚乙烯醇溶液,采用手工研磨法对玻璃粉进行造粒;按照铁封外壳的形状、尺寸,采用匹配的压坯机进行压坯,然后在链式排蜡炉中进行排蜡,得到收缩后的致密的熟坯,并与铁封外壳零件进行装架;在N2保护下进行熔封,1000℃下保温半小时左右即可实现与铁封外壳的封接。
本发明和现有技术相比所具有的有益效果在于:
1、具有更高的可靠性,在各种环境、机械、电性能试验后,漏气率仍能满足电子元器件金属外壳的要求,绝缘电阻高出金属外壳要求一个数量级。
2、封接后具有更高的引线牢固性,如引线90°±5°弯曲3次后玻璃并不开裂,仍能保持弯曲前的漏气率。
3、封接后玻璃中析出的主要晶体BaSi2O5,呈板条状,可以使玻璃强化,且微晶的析出不需要进行专门的形核处理和晶化处理。
具体实施方式
表:铁封微晶玻璃成分(质量分数百分比)
成分 | SiO<sub>2</sub> | BaO | K<sub>2</sub>O | Na<sub>2</sub>O | Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> | ZnO | CaO | F |
实施例1 | 41 | 38 | 7.0 | 8 | 5 | 0.9 | 0.02 | 5 |
实施例2 | 53.8 | 32 | 8.0 | 0.6 | 0.3 | 5 | 0.3 | 6 |
实施例3 | 57 | 32 | 7.5 | 0.6 | 1.5 | 1.18 | 0.2 | 5 |
实施例4 | 51.6 | 36.8 | 9.5 | 0.6 | 0.3 | 0.9 | 0.3 | 6 |
将表中所列成分按下列步骤进行封装:
(1)熔炼玻璃
采用分析纯试剂为原料,按照上述质量分数配比,将混合后的试剂球磨4小时,以使其混合均匀。用铂铑合金坩埚在熔化温度保温4小时。将玻璃液从铂铑合金坩埚中倒出水淬,得到玻璃块。
(2)造粒
将玻璃块研磨至35~80μm,采用4%左右的聚乙烯醇溶液,采用手工研磨法对玻璃粉进行造粒。
(3)压坯和排蜡
按照铁封外壳的形状、尺寸,采用匹配的压坯机进行压坯,然后在链式排蜡炉中进行排蜡,得到收缩后的致密的熟坯,并与铁封外壳零件进行装架。
(4)熔封
在N2保护下1000℃下保温半小时左右,实现与铁封外壳的封接。
(5)电镀和性能检测
金属外壳封装工艺一般都是要经过镀镍和镀金的镀覆步骤。一般要求镀镍层厚度为3~5μm,镀层要均匀,结晶细致。镀金则要求镀层薄而均匀,光亮而细致。将电镀后的封接产品抽样,进行漏气率和绝缘电阻检测。
经检测,电镀后铁封外壳的漏气率(≤1×10-9pa·m3s-1,),满足电子元器件金属外壳封装的要求;电镀后绝缘电阻最低为4×1010Ω,个别达到1011数量级,高出金属外壳封装的要求;对引线弯曲3次后玻璃并不开裂,仍能保持弯曲前的漏气率;封接后玻璃中析出BaSi2O5晶体,可以使玻璃强化,且微晶的析出不需要进行专门的形核处理和晶化处理,熔封工艺简单。
Claims (1)
1.一种铁封微晶玻璃,其特征在于,采用分析纯试剂为原料,按照质量分数配比SiO2:41~57%,BaO:32~38%,K2O:7.5~9.5%,Na2O:0.6~8%,Al2O3:0.3~5%,ZnO:0.9~5%,CaO:0.02~0.3%,在上述成分组成总量的基础上,另外以氟化钙的形式引入质量分数为5~6%的F作为形核剂。
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SU1728148A1 (ru) * | 1990-05-18 | 1992-04-23 | Казахский Государственный Научно-Исследовательский И Проектный Институт Нефтяной Промышленности | Эмалевый шликер |
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