CN101288865B - 狭缝式涂布机的涂布液供应装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种狭缝式涂布机的涂布液供应装置，其包含：活塞；气缸，其形成插入活塞并使活塞在水平方向上进行往复运动的活塞滑行部，并形成在所述活塞滑行部末端朝上下方向扩张空间的扩管部。本发明中在狭缝喷嘴上部沿水平方向设置用于供应涂布液的泵，缩短了涂布液的供应路径，在解决了输出延迟引发的问题的同时可以实现泵容量的大型化，具有提高狭缝涂布机性能的效果。

Description

狭缝式涂布机的涂布液供应装置

技术领域

本发明涉及狭缝式涂布机的涂布液供应装置，尤其涉及抽吸填充于储藏罐中的涂布液供应给狭缝式涂布机的狭缝式涂布机的涂布液供应装置。

背景技术

通常，在光刻工艺中均匀涂布光阻材料(PR：以下称为涂布液)的方法包含：将涂布液加载于圆形滚轮的外部之后，在基板上向着一定的方向滚动所述滚轮，由此将涂布液涂布到基板上面的滚涂方法；将基板放置在圆盘支撑体上面，在所述基板的中央滴落涂布液之后进行转动，从而利用离心力在基板上进行涂布的旋转涂层方法；通过狭缝形态的喷嘴在基板上喷出涂布液的同时按照一定的方向扫掠而进行涂布的狭缝涂层方法。

但是，基板越大越重，高速转动基板就越困难。而且在高速转动基板时存在基板破损和能量消耗大的问题，因此液晶显示面板用玻璃基板等平板显示装置用基板上主要使用狭缝涂层方法。

用于进行所述狭缝涂层的狭缝涂层装置包含：用于安装基板的基板夹盘；设置在所述基板夹盘一侧的预喷出部；位于所述基板夹盘及预喷出部的上部进行水平移动的在基板上喷出涂布液的狭缝喷嘴。即，狭缝喷嘴在预喷出部的上部进行预喷出之后，向安装了基板的基板夹盘侧水平移动，而为了使涂布液均匀地分布在基板上，狭缝喷嘴匀速移动并喷出涂布液。

图1及图2是根据已有技术的具备超声波清洗装置的基板涂层装置的侧面图及立体图。

由图可知，已有技术的基板涂层装置包含：涂布部200；喷嘴部100；具备超声波清洗装置的预喷出部300。

涂布部200包含：在底座400的上面以具备高度调整机构的支架为媒介设置在中心部并形成了多个上下贯通的贯通孔的台子210；可以在所述底座400和台子210之间升降并在上面设置了多个顶针220的水平板230。

所述多个顶针220插入于所述台子210的贯通孔内，随着所述水平板230的升降，或者突出于所述台子210的上部，或者退到所述台子210的内部。由此，所述多个顶针220具有从台子210上提升基板或者降下基板的作用。

同时，底座400上面的左右两侧，即在所述台子210左右外侧，配备了在纵向上延伸而成的一对长导轨240。所述一对导轨240上分别设置了移送装置250进行纵向移动。

在所述一对移送装置250之间支撑着横跨所述台子210的将涂布液等涂层剂喷出到玻璃等基板500上进行涂布的喷嘴部100。所述喷嘴部100的狭缝喷嘴110呈在横向左右方向延伸而成的杆(bar)状，通常大于基板的左右宽度。

所述狭缝喷嘴110下面形成沿所述横向上延伸的微细的喷出口120，以喷出涂布液。通过所述线形的喷出口120可以在基板500上喷出一定量的涂布液。

而且，所述移送装置250在支撑所述喷嘴部100的两侧的状态下，以一定的速度沿纵向移动，由此在台子210上移动喷嘴部100。同时，所述移送装置250可以在垂直方向上调整喷嘴部100的高度，对应涂布液的量和粘度，可以精细地控制所述狭缝喷嘴110的输出口120和基板500之间的间距。

另外，给所述喷嘴部100提供涂布液的装置包含：设置在所述移送装置250一侧的涂布液供应部130；连通所述涂布液供应部130和狭缝喷嘴110之间的第1供应管路140；从外部供应源(未图示)给所述涂布液供应部130提供涂布液的第2供应管路150。

通过第2供应管路从所述外部供应源给涂布液供应部130提供涂布液。涂布液供应部130利用设置在其内部的泵给涂布液施加预定的压力，以使涂布液经过第1供应管路140供应到狭缝喷嘴110之后，以预定的压力从狭缝喷嘴110的喷出口120喷出。

在所述涂布部200的一侧配备了预喷出部300。即，所述预喷出部300沿着喷嘴部100的移动方向设置，且位于所述喷嘴部100的下部。

所述预备输出部300由机架310和位于所述机架310内部的预涂滚子320构成。

但是，如上所述的已有技术的狭缝式涂布机的涂布液供应部130由气缸及活塞结构的加压泵(未图示)构成，并将加压泵垂直设置在底座400的上部，因此如果所处的环境是在室内，则由于天花板高度的限制，在空间上会受到制约。

即，活塞的前进、后退行程将会受到空间的限制，因而很难增大加压泵的容量。

而且，如果将已有技术的加压泵不合理地设置在水平方向上使用，则气缸内的气泡会被关在内部而无法排出到外部，由此发生硬化涂布液的问题，最终引发无法使用整个加压泵的严重问题。

并且，虽然利用第1供应管路140连接涂布液供应部130和狭缝喷嘴110，但相对于涂布液供应部130的固定设置，由于狭缝喷嘴110是往复移送的结构，因此固定设置所述第1供应管路140将面临诸多不便，而且由于涂布液移送距离会超出必要距离，因而存在涂布液输出时点延迟的问题。

发明内容

本发明是为解决上述问题而提出的，本发明的目的在于将用于涂布液供应的加压泵沿水平方向设置在狭缝喷嘴上部。

为了实现上述目的，根据本发明所提供的涂布液供应装置包含：活塞；气缸，该气缸形成插入所述活塞并使所述活塞在水平方向上进行往复运动的活塞滑行部，并且形成在所述活塞滑行部末端朝上下方向扩张空间的扩管部。

在这里，所述活塞滑行部连接用于控制涂布液供应的供应阀，在所述扩管部的下端部连接用于控制涂布液输出的输出阀，在所述扩管部上端部中央设置用于排出气缸内部气泡的气泡排出阀。

而且，所述活塞滑行部的内径大于活塞的外径，由此在活塞滑行部和活塞之间形成间隙，通过所述间隙形成用于供应涂布液的涂布液供应通道。

并且，在所述活塞滑行部的内径面上设置包围活塞外径的圆环型密封块，用以引导活塞的往复运动。

在这里，与活塞相接触的所述密封块的内面上设置多个用于保持气密性的密封圈。

而且，所述密封圈设置两个以上，且多个密封圈相互保持预定的间距而设置。

在所述密封块前方的活塞滑行部上连接用于接收涂布液的供应阀。

在这里，所述供应阀在活塞的前进行程中阀门关闭，在后退行程中阀门开放，而所述输出阀在活塞前进行程中阀门开放，在后退行程中阀门封闭。

而且，在开放所述供应阀的同时对于储藏罐侧的涂布液施压，以协助填充。

所述气泡排出阀在活塞前进行程时开启，以向外部放出气缸内的气泡，而气泡排出进行过程中，输出阀维持关闭的状态。

在这里，气缸扩管部的棱角处全部进行圆角处理。

附图说明

图1及图2是根据已有技术的基板涂层装置的侧面图及立体图；

图3是采用了本发明的涂布液供应装置的狭缝涂布机的概略图；

图4是表示本发明的涂布液供应装置内部结构的剖视图。

附图主要符号说明

1：底座              2：移送装置

3：涂布液供应装置    4：狭缝喷嘴

5：储藏罐            10：气缸

11：活塞滑行部       12：供应通道

13：扩管部           13a：圆角

20：活塞             30：密封块

31：密封圈           V1：供应阀

V2：输出闭           V3：气泡排出阀

具体实施方式

以下，参照附图来详细说明本发明的优选实施例。

图3是采用了本发明的涂布液供应装置的狭缝式涂布机的概略图，图4是表示本发明的涂布液供应装置的内部结构的剖视图。

如图所示，根据本发明实施例的狭缝涂布机的涂布液供应装置3沿水平方向设置在狭缝喷嘴4上侧。所述涂布液供应装置3从另设置的储藏罐5接收涂布液，在供应管路上设置了可以控制涂布液供应的供应阀V1。

而且，所述狭缝喷嘴4设置在底座1的上部，由移送装置进行左右往复移动，由此在基板(未图示)表面喷射涂布液形成涂层。

参照图4详细说明本发明的涂布液供应装置3。本发明的涂布液供应装置3包含气缸10和插入到所述气缸10内部进行往复运动的活塞20。

所述气缸10形成插入活塞20并使其在水平方向上进行往复运动的活塞滑行部11和在所述活塞滑行部11的末端朝上下方向扩张空间的扩管部13。

这时，所述活塞滑行部11的内径大于活塞20的外径，由此在活塞滑行部11和活塞20之间形成间隙(GAP)，从而通过所述间隙形成供应涂布液的涂布液供应通道12。

而且，在所述活塞滑行部11的内部设置了圆环型密封块30，以稳定地支撑活塞20的往复运动。

这时，在与活塞20相接触的所述密封块30内面设置了多个密封圈31，由此可以提高维持气密性的能力。而且，所述多个密封圈31可以相隔预定的间距设置。

在这里，设置了所述密封块30的前方侧活塞滑行部11上连通了用于从外部的储藏罐5接收涂布液的供应管路，所述供应管路上设置了供应阀V1。

所述供应阀V1在活塞20处于前进行程时，阀门关闭，在活塞20处于后退行程时，阀门开放。

即，在活塞20处于前进行程时，供应阀V1关闭，防止了填充于气缸10内部的涂布液由于受到活塞20的压力而逆流到储藏罐5侧，在活塞20的后退行程中，供应阀V1开放，涂布液供应到气缸10的内部进行填充。

这时，可以在开放供应阀V1的同时对储藏罐5侧涂布液施加一定的压力进行供应，由此协助填充过程。为此，可以在储藏罐5侧另设置加压泵。

在所述活塞20处于前进行程时，填充于活塞滑行部11内的涂布液将被送到扩管部13侧。

所述扩管部13形成剖面形状大致为长方形的内部空间，在其下端部中央形成直接连接于狭缝喷嘴4的输出阀V2。

所述输出阀V2在活塞20处于前进行程时，阀门开放，在活塞20处于后退行程时，阀门关闭。

即，活塞20处于前进行程时输出阀V2开启，使得填充于扩管部13内的涂布液供应到狭缝喷嘴4侧，而在活塞20处于后退行程时输出阀V2关闭，防止了因活塞20后退时形成的真空压而将狭缝喷嘴4内的涂布液吸入到气缸10侧。

而且，所述扩管部13上端部中央位置上形成气泡排出阀V3，所述气泡排出阀V3通过另设置的管与扩管部13连接。

如上所述的气泡排出阀V3在活塞20处于前进行程时开启，将气缸10内部的气泡排出到外部。

这时，当利用另外的加压泵协助涂布液填充于气缸10内时，加压泵在气缸10的内部产生正压，而为了消除这个正压开放气泡排出阀V3时，气缸10内的气泡就会排出到外部。

在所述气泡排出阀V3开启的状态下，如果进行气泡排气，所述输出阀V2维持关闭状态。接着所述气泡排出结束之后，关闭气泡排出阀V3开放输出阀V2，以输出涂布液。

这时，所述气泡排出阀V3必须设置在扩管部13的上端部，这是因为气缸10内部的气泡受到浮力作用浮到上侧。

而且，为了防止浮到上侧的气泡被卡在扩管部13的棱角处，应对棱角进行圆角13a处理。

如上构成的本发明提供的狭缝涂布机的涂布液供应装置最好平行于狭缝喷嘴4的上部设置，但设置时也可以与狭缝喷嘴4的上部之间形成一定的角度。

这时，在倾斜设置涂布液供应装置时，为了最小化涂布液的移送距离，扩管部13侧最好靠近狭缝喷嘴4的上面设置。

具有如上的组成及作用的本发明，可由所属领域的技术人员利用前面说明的各种实施例进行各种修改及变更，因此本发明的技术范围不限于说明书所记载的内容而应由专利权利要求所限定。

本发明在狭缝喷嘴上部沿水平方向设置用于供应涂布液的泵，缩短了涂布液的供应路径，在解决了输出延迟引发的问题的同时可以实现泵容量的大型化，因此具有提高狭缝涂布机性能的效果。

Claims (9)

1.一种狭缝式涂布机的涂布液供应装置，其特征在于包含：

活塞；

气缸，该气缸形成插入所述活塞并使所述活塞在水平方向上进行往复运动的活塞滑行部，并且形成在所述活塞滑行部末端朝上下方向扩张空间的扩管部，

所述活塞滑行部连接用于控制涂布液供应的供应阀，在所述扩管部的下端部连接用于控制涂布液输出的输出阀，在所述扩管部上端部中央设置用于排出所述气缸内部气泡的气泡排出阀，

所述活塞滑行部的内径大于所述活塞的外径，由此在所述活塞滑行部和所述活塞之间形成间隙，通过所述间隙形成用于供应涂布液的涂布液供应通道。

2.根据权利要求1所述的狭缝式涂布机的涂布液供应装置，其特征在于在所述活塞滑行部的内径面上设置包围所述活塞外径的圆环型密封块，用以引导所述活塞的往复运动。

3.根据权利要求2所述的狭缝式涂布机的涂布液供应装置，其特征在于，与所述活塞相接触的所述密封块的内面上设置多个用于保持气密性的密封圈。

4.根据权利要求3所述的狭缝式涂布机的涂布液供应装置，其特征在于多个所述密封圈相互之间保持预定的间距而设置。

5.根据权利要求3所述的狭缝式涂布机的涂布液供应装置，其特征在于在所述密封块前方的所述活塞滑行部上连接用于接收涂布液的供应阀。

6.根据权利要求1所述的狭缝式涂布机的涂布液供应装置，其特征在于所述供应阀在所述活塞的前进行程中阀门关闭，在后退行程中阀门开放，而所述输出阀在所述活塞前进行程中阀门开放，在后退行程中阀门关闭。

7.根据权利要求6所述的狭缝式涂布机的涂布液供应装置，其特征在于在开放所述供应阀的同时对于储藏罐侧的涂布液施压，以协助填充。

8.根据权利要求1所述的狭缝式涂布机的涂布液供应装置，其特征在于所述气泡排出阀在所述活塞前进行程时开启，以向外部放出气缸内的气泡，而气泡排出过程中，输出阀维持关闭的状态。

9.根据权利要求1所述的狭缝式涂布机的涂布液供应装置，其特征在于所述气缸的所述扩管部的棱角处全部进行圆角处理。

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