CN202533711U - 一种可实现均匀稳定显影的显影机喷淋装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种可实现均匀稳定显影的显影机喷淋装置，包括有复数个喷管，其中，所述显影机喷淋装置在垂直显影机传送方向上设置有双重控制，即摇摆的摇摆控制和喷嘴的扇面喷液控制。本实用新型显影机喷淋装置在垂直显影机传送方向上采用双重控制方式，即摇摆的摇摆控制及喷嘴的扇面喷液控制，使得显影液在垂直于显影机传送方向上喷洒更加均匀，从而达到显影机显影能力稳定均匀的效果。
Description
技术领域
本实用新型属于印刷掩模板的显影技术领域，尤其涉及一种可实现均匀稳定显影的显影机喷淋装置。
背景技术
随着电子行业发展的日益加快，印刷线路掩模板的应用领域越来越广泛，这也相应的要求其相关的工艺能满足日益更新的发展需求。
印刷线路板模板制作常采用基板贴干膜→曝光→显影→电铸的工艺流程进行制作，电铸模板开口孔壁光滑，尺寸精密，模板使用中下锡良好。高质量的电铸板要求有高质量的显影图形转移，显影过程中要求显影能力均匀稳定，显影能力不稳定容易出现一部分区域图形干膜过显或显影不足，电铸过程中会出现渗镀，导致制作的电铸模板开口不光滑，有毛刺，影响产品质量。
喷淋是显影过程中一个重要的步骤，对显影能力均匀稳定有着极大的影响。目前现有技术中的喷嘴一般是矩阵式的排布，每根喷管上喷嘴均匀等间距按相同的规律排列，相邻喷管的喷嘴排布无交错，当喷液为大角度扇形时，相邻两喷管上的相邻两喷嘴喷出的显影液会出现碰撞现象，会影响喷液的局部压力。
故，针对目前现有技术中喷嘴存在的缺陷，有必要对显影机喷淋装置进行研究，提供一种方案，以解决上述现有技术中存在的缺陷。
实用新型内容
为解决上述问题，本实用新型的目的在于提供一种可实现均匀稳定显影的显影机喷淋装置，其通过对显影机喷嘴的排布方式进行调整，使显影机具备均匀稳定的显影能力。
为实现上述目的，本实用新型的技术方案为：
一种可实现均匀稳定显影的显影机喷淋装置，包括有复数个喷管，其中，所述显影机喷淋装置在垂直显影机传送方向上设置有双重控制，即摇摆的摇摆控制和喷嘴的扇面喷液控制。
进一步地，所述摇摆的摇摆控制为：将安装有喷嘴的喷盘固定在一个垂直于传送方向的轨道上，喷盘由一个偏心轮带动，偏心轮上装有电动机；显影机开机后，电动机启动，带动偏心轮运动，偏心轮带动喷盘做往复运动，摇摆自动开始，溶液喷起，摇摆是沿垂直于基板前行方向，整个喷盘作往复运动，使整个基板各个地方都能接受到相同的喷淋压力。
进一步地，所述喷盘上设置有若干相互平行且平行于显影机传送方向的喷管，所述喷管上等间距设置有喷嘴，相邻两个喷管上喷嘴的位置相互错开，且错开位置一致；显影机工作时，所述显影机的喷嘴喷出来的溶液形状呈扇面，且扇面垂直于显影机传送方向。
本实用新型显影机喷淋装置在垂直显影机传送方向上采用双重控制方式，即摇摆的摇摆控制及喷嘴的扇面喷液控制，使得显影液在垂直于显影机传送方向上喷洒更加均匀，从而达到显影机显影能力稳定均匀的效果。
附图说明
图1是本实用新型显影机喷淋装置的组合图示。
图2是本实用新型显影机喷淋装置的喷管图示。
图3是本实用新型的显影机工作时喷液管喷液正面图示（沿图1中A-A′方向）。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
本实用新型显影机喷淋装置在垂直显影机传送方向上设置有双重控制，即摇摆的摇摆控制和喷嘴的扇面喷液控制。其中，摇摆的摇摆控制为：将装有喷嘴的喷盘固定在一个垂直于传送方向的轨道上，喷盘由一个偏心轮带动，偏心轮上装有电动机。显影机开机后，电动机启动，带动偏心轮运动，偏心轮带动喷盘做往复运动。摇摆自动开始，溶液喷起，摇摆是沿垂直于基板前行方向，整个喷盘作往复运动，使整个基板各个地方都能接受到相同的喷淋压力。而喷嘴的扇面喷液控制是通过喷嘴的特殊设计来达到的，当喷液达到一定压力后，喷嘴喷淋出的液体为扇面，通过调节压力可以控制扇面的扇面角。通过该双重控制方式，使得显影液在垂直于显影机传送方向上喷洒更加均匀，从而达到显影机显影能力稳定均匀的效果。
参照图1-3所示，本实用新型实施例以单面显影为例进行说明，当显影为上喷式单面显影，即显影液只由下往上喷淋时，显影机显影室内有一个显影装置。如图1所示，其为单面显影机显影室内喷淋装置的部分示意图。本实用新型显影机喷淋装置在显影机显影室内下部位置设置有一喷盘11，所述喷盘11固定在摇摆上，其可以在垂直于显影机传送方向上以一定的频率来回摆动；所述喷盘11上设置有若干相互平行且平行于显影机传送方向的喷管12，如图2所示，其示出了喷管12的部分示意图；所述喷管12上等间距设置有喷嘴13，相邻两个喷管12上喷嘴13的位置相互错开，且错开位置一致；显影机工作时，所述显影机的喷嘴13喷出来的溶液形状呈扇面，且扇面垂直于显影机传送方向。
图3所示为显影机工作时喷液管喷液正面的示意图，喷嘴13安装在每个平行喷管12上，喷管12固定在喷盘11上，喷盘边上有喷管进液，显影开机后整个喷盘11开始摆动，喷嘴13不能单独运动。同时，显影机开启，电动机启动，泵开始运转，泵从储液槽中泵出溶液，由喷嘴13喷出。喷嘴13喷出的溶液形成一个个的扇面，随着摇摆的运动，喷出的扇面溶液来回的扫动。当显影基板31从喷盘11的前端进入时，扇面溶液来回扫动，将基板31上能溶于显影液的未曝光干膜溶解，进入溶液中，不溶于显影液的曝光干膜留在基板31上，形成所需要的图形。
通过调整喷嘴13与芯模的距离L、扇面的角度θ、相邻两喷嘴13的距离S以及喷盘11的摇摆频率等可以控制显影机显影能力。因为采用扇面喷淋方式时，扇形中间区域相对边缘区域的压力大，接触显影溶液的量更多，其相应在中间位置上显影能力强。作为优选，显影机工作时，相邻喷管12上喷嘴13喷出的扇面溶液喷淋区域边缘之间设置有一定程度的重合部分32。
当显影为双面显影时，即基板的两面都受显影液的喷淋，显影机显影室内有两个喷液装置，上下两个装置的结构整体相同，也与上述单面显影的显影装置结构相同，不同的是双面显影的上部分喷液装置与下部分喷淋方向相反，故不再赘述。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种可实现均匀稳定显影的显影机喷淋装置，包括有复数个喷管，其特征在于：所述显影机喷淋装置在垂直显影机传送方向上设置有双重控制，即摇摆的摇摆控制和喷嘴的扇面喷液控制。
2.如权利要求1所述的可实现均匀稳定显影的显影机喷淋装置，其特征在于：所述摇摆的摇摆控制为：将安装有喷嘴的喷盘固定在一个垂直于传送方向的轨道上，喷盘由一个偏心轮带动，偏心轮上装有电动机；显影机开机后，电动机启动，带动偏心轮运动，偏心轮带动喷盘做往复运动，摇摆自动开始，溶液喷起，摇摆是沿垂直于基板前行方向，整个喷盘作往复运动，使整个基板各个地方都能接受到相同的喷淋压力。
3.如权利要求2所述的可实现均匀稳定显影的显影机喷淋装置，其特征在于：所述喷盘上设置有若干相互平行且平行于显影机传送方向的喷管，所述喷管上等间距设置有喷嘴，相邻两个喷管上喷嘴的位置相互错开，且错开位置一致；显影机工作时，所述显影机的喷嘴喷出来的溶液形状呈扇面，且扇面垂直于显影机传送方向。
4.如权利要求2或3所述的可实现均匀稳定显影的显影机喷淋装置，其特征在于：所述喷嘴安装在每个平行喷管上，喷管固定在喷盘上，喷盘边上有喷管进液，显影机开机后整个喷盘开始摆动。
5.如权利要求4所述的可实现均匀稳定显影的显影机喷淋装置，其特征在于：显影机开启后，电动机启动，泵开始运转，泵从储液槽中泵出溶液，由喷嘴喷出；喷嘴喷出的溶液形成一个个的扇面，随着摇摆的运动，喷出的扇面溶液来回的扫动。
6.如权利要求5所述的可实现均匀稳定显影的显影机喷淋装置，其特征在于：显影基板从喷盘的前端进入时，扇面溶液来回扫动，将基板上能溶于显影液的未曝光干膜溶解，进入溶液中，不溶于显影液的曝光干膜留在基板上，形成所需要的图形。
7.如权利要求6所述的可实现均匀稳定显影的显影机喷淋装置，其特征在于：通过调整喷嘴与芯模的距离L、扇面的角度θ、相邻两喷嘴的距离S以及喷盘的摇摆频率可以控制显影机显影能力。
8.如权利要求7所述的可实现均匀稳定显影的显影机喷淋装置，其特征在于：显影机工作时，相邻喷管上喷嘴喷出的扇面溶液喷淋区域边缘之间设置有一定程度的重合部分。
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| CN103207540A (zh) * | 2012-01-13 | 2013-07-17 | 昆山允升吉光电科技有限公司 | 一种可实现均匀稳定显影的显影机喷淋装置 |
| CN105607434A (zh) * | 2016-04-05 | 2016-05-25 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显影设备和显影方法 |
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