CN203700525U - 一种双摇摆喷淋装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及蚀刻、显影设备的技术领域，公开了一种双摇摆喷淋装置，用于蚀刻机或者显影机，包括上下两组对称设置的摇摆喷淋单元，摇摆喷淋单元包括垂直于待蚀刻基板传送方向的导轨，架设于导轨上且垂直于传送方向作往复式直线运动的喷淋架，以及活动设置于喷淋架中且间隔的多个喷淋管，各喷淋管两端与导轨之间均设置有旋转块，旋转块的一端与导轨之间转动连接，其另一端与喷淋管垂直且轴向定位连接。本双摇摆喷淋装置中，喷淋管活动穿插在喷淋架上，使喷淋管的安装和拆卸简单便捷；喷淋管和导轨之间设置有旋转块，使喷淋管在喷淋架往复式直线运动的作用下，实现了转动和直线运动的双动作喷淋，有效地消除了水池效应，提高了蚀刻的精度和效率。

Description

一种双摇摆喷淋装置

技术领域

本实用新型涉及蚀刻、显影设备的技术领域，尤其涉及一种用于蚀刻机或者显影机中的双摇摆喷淋装置。

背景技术

随着电子行业发展的日益加快，印制电路板（PCB）的应用领域越来越广泛，这也相应地要求其相关的工艺能满足日益更新的发展需求。

蚀刻(etching)是将印制电路板的基板使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术，蚀刻技术可以分为湿蚀刻(wet etching)和干蚀刻(dry etching)两类，通常所指蚀刻也称光化学蚀刻（photochemical etching），指通过曝光制版、显影后，将要蚀刻区域的保护膜去除，在蚀刻时接触化学溶液，达到溶解腐蚀的作用，形成凹凸或者镂空成型的效果。

喷淋是蚀刻过程中一个重要的步骤，对蚀刻能力均匀稳定有着极大的影响。

现有的蚀刻、显影机中的喷淋架喷淋装置主要是单向摇摆的，其普遍存在的缺点是：喷淋装置作单方向的直线运动，导致基板上表面容易会产生积液，无法消除基板板面中间的水池效应，所谓水池效应，指的是药水喷淋到基板上，而继续喷淋出的药水会被原有的积液所阻碍，不能直接与基板表面的待蚀刻层接触产生化学反应；现有的蚀刻、显影机中的喷淋架喷淋装置，还存在喷洒均匀度不够好，容易出现基板四周蚀刻效果好，而基板中间部分蚀刻不均匀现象，因此不能生产高、精、细的线路。

现有的蚀刻、显影机中的喷淋架喷淋装置，其上的喷淋管通常是固定安装的，当喷淋管损坏时，其拆卸、更换、维修十分不便；另外，喷淋装置中的喷淋架四周框体通常采用直接焊接固定，其强度不够，容易破坏松动，导致喷淋不均匀，严重影响蚀刻效果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种双摇摆喷淋装置，旨在解决现有技术中，蚀刻、显影机中的喷淋架喷淋装置存在如下缺陷：

1）喷淋装置作单方向的直线运动，导致基板上表面容易会产生积液，进而导致基板上表面产生水池效应，严重影响蚀刻精度；

2）喷淋装置中的喷淋管是固定安装的，当喷淋管损坏时，其拆卸、更换、维修十分不便。

本实用新型是这样实现的，一种双摇摆喷淋装置，用于蚀刻机或者显影机，包括上下两组对称设置的摇摆喷淋单元，所述摇摆喷淋单元包括垂直于待蚀刻基板的传送方向的导轨，架设于所述导轨上的且垂直于所述传送方向作往复式直线运动的喷淋架，以及活动设置于所述喷淋架中且相互间隔的多个喷淋管，所述喷淋管的两端与所述导轨之间均设置有旋转块，所述旋转块的一端与所述导轨之间转动连接，所述旋转块的另一端与所述喷淋管垂直且轴向定位连接。

优选地，所述导轨上固定设置有定位架，所述旋转块的一端通过定位件与所述定位架转动连接。

进一步地，所述喷淋架上横设有喷管固定板，所述喷管固定板位于所述喷淋管和所述旋转块之间。

优选地，所述喷淋管与所述旋转块通过轴向定位组件配合形成轴向定位连接，所述轴向定位组件包括与所述喷淋管连接的喷管堵头，与所述喷管堵头轴向定位连接的转接头，以及套接所述喷管堵头和所述转接头的套壳，所述转接头穿过所述喷管固定板并与所述旋转块轴向定位连接。

进一步地，所述双摇摆喷淋装置还包括用于驱动所述摇摆喷淋单元运动的驱动组件，所述驱动组件设于所述上下两喷淋架的同侧，并分别与其固定连接，且所述驱动组件带动所述上下两喷淋架垂直于所述传送方向作错开式直线运动。

优选地，所述驱动组件包括电动机，以及由所述电动机上伸出的主轴，所述主轴上固定连接有两组反向设置的偏心轮，所述偏心轮上套设有偏心套，所述偏心套上固定连接有拉杆，所述拉杆与所述喷淋架固定连接。

进一步地，所述喷淋管上设置有多个用于喷淋药液的喷嘴。

更进一步地，所述喷淋管上还设置有进液管，所述进液管与所述喷淋管连通，且所述进液管上开设有用于输入药液的进液口。

优选地，所述喷淋架包括两侧框和两横框，所述侧框和所述横框固定连接。

进一步地，所述两侧框上均设有用于增加强度的加强板，且所述两侧框之间固定连接有用于增加强度加强棒。

与现有技术相比，本实用新型提出的双摇摆喷淋装置，喷淋管活动穿插在垂直于传送方向作往复式直线运动的喷淋架中，这样使喷淋管的安装和拆卸更加简单便捷；喷淋管和导轨之间设置有旋转块，使喷淋管在喷淋架往复式直线运动的作用下，实现了转动和直线运动的双动作喷淋，有效地消除了水池效应，提高了蚀刻的精度和效率。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的双摇摆喷淋装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的双摇摆喷淋装置的局部剖面示意图；

图3为本实用新型实施例提供的双摇摆喷淋装置的局部结构示意图；

图4为图3的爆炸示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

以下结合具体实施例对本实用新型的实现进行详细的描述。

如图1～4所示，为本实用新型提供的一个较佳实施例。

本实施例提供的双摇摆喷淋装置，主要应用于蚀刻机或者显影机中，其包括分别设置在待蚀刻基板上方和下方的两组摇摆喷淋单元1，这两组摇摆喷淋单元彼此对称设置，并分别对准待蚀刻基板的上表面和下表面进行喷淋蚀刻。

本实施例中，摇摆喷淋单元1包括一对平行间隔的导轨11、一个喷淋架12以及多个喷淋管13，其中，导轨11为竖直的型材，其垂直于待蚀刻基板的传送方向，喷淋架12架设在导轨11上，并且，该喷淋架12可以在导轨11上垂直于传送方向进行往复式直线运动，另外，多个喷淋管13间隔设置在喷淋架12中，且各个喷淋管13的两端与导轨11之间设置有旋转块14，该旋转块14的一端与喷淋管13垂直且轴向定位连接，旋转块14的另一端与导轨11之间转动连接；当喷淋架12垂直于传送方向进行往复式直线运动时，喷淋架12会带动喷淋管13在垂直于传送方向上也做往复式直线运动，与此同时，旋转块14与喷淋管13垂直且轴向定位连接的一端被喷淋管13在其往复式直线运动的方向上所带动，由于旋转块14的另一端与导轨11之间转动连接，因而，喷淋管13在垂直于传送方向上做往复式直线运动时，同步实现了轴向转动，也就是说，喷淋架12进行直线运动时，带动喷淋管13实现了直线运动和转动的双动作。

采用上述的双摇摆喷淋装置运用于蚀刻机或者显影机中进行喷淋蚀刻，具有以下特点：

1）由于上述喷淋管13和导轨11之间设置有旋转块14，在上述喷淋架12垂直于传送方向进行往复式直线运动时，通过喷淋架12与旋转块14以及导轨11的配合，实现了喷淋管13直线运动和转动的双动作，这样，喷淋管13的双摇摆喷淋使药液能均匀地喷洒在待蚀刻基板的表面，同时喷淋管13的旋转喷淋有效消除了基板上堆积的药液，从而使待蚀刻基板的表面获得新鲜药液，这样大幅提高了蚀刻的均匀性以及蚀刻能力，有效地减少了水池效应，显著提高了细线路、高密度线路的精度和均匀度；

2）上述喷淋管13是活动穿插在喷淋架12中，因而，喷淋管13的安装和拆卸十分方便快捷，省时省力。

为了配合上述旋转块14与上述导轨11的安装，在导轨11上固定设置有定位架15，此处，该定位架15与导轨11采用焊接的形式固定，当然，在其他实施例中也可以采用其他的方式固定连接，或者将定位架15与导轨11一体化设置；上述旋转块14上开设有通孔141，定位架15上开设有与通孔141配合的安装孔151，通过在通孔141和安装孔151中活动插设定位件19，使旋转块14与定位架15形成转动连接，此处，定位件19采用的是螺钉，这样，旋转块14就能够以定位件19为轴转动，当然，在其他实施例中，旋转块14也可以采用其他方式与定位架15构成转动连接。

本实施例中，上述喷淋架12中的两端均横设有喷管固定板125，该喷管固定板125位于上述喷淋管13的端部和上述旋转块14之间并与上述导轨11平行；在喷淋架12垂直于上述传送方向进行往复式直线运动时，喷管固定板125将带动喷淋管13以及上述旋转块14的一端沿垂直于上述传送方向进行直线运动，与此同时，由于旋转块14的另一端与定位架15转动连接，因而，旋转块14将以上述定位件19为旋转中心，并以旋转块14自身的板长为旋转半径进行旋转，又由于旋转块14与喷淋管13的端部轴向定位连接，进而实现了喷淋管13的轴向旋转，这样，喷淋管13的轴向转动和直线运动的双动作合成了摆动，此处，摆动的角度范围为±15°，当然，在其他实施例中，根据实际情况和需求，喷淋管13的摆动角度范围也可以设计为其他的锐角角度范围，其通过更改定位架15的长度而实现。

上述喷淋管13的端部与上述旋转块14之间设置有轴向定位组件18，两者通过该轴向定位组件18的连接而形成轴向定位；此处，轴向定位组件18包括喷管堵头181、转接头182、套壳183以及钛套184，其中，喷管堵头181与上述喷淋管13的端部固定连接，且该喷管堵头181上具有定位槽，转接头182上具有凸台，该转接头182通过凸台与定位槽的配合，使喷管堵头181与转接头182形成了轴向定位连接，套壳183则套设在喷管堵头181与转接头182上，此处，套壳183的外周具有旋动防滑的凹凸面，此凹凸面未在图1和图3中画出，仅在图4中示意；同时，转接头182的一端还穿过上述喷管固定板125，并伸入上述旋转块14的下端，上述喷淋架12的横框123上开设圆孔，圆孔内套设钛套184，该钛套184穿过旋转块14的下端和固定板125后伸入转接头182中，这样，喷淋管13与旋转块14就形成了轴向定位连接，当然，在其他实施例中，根据实际情况和需求，轴向定位组件18也可以为其他形式的结构，或者，上述喷淋管13的端部与上述旋转块14之间也可以通过其他的方式形成轴向定位连接。

上述喷淋架12两端的外侧均设置有滑轮124，该喷淋架12通过滑轮124架设在上述导轨11上，并在上述导轨11上垂直于上述传送方向进行往复式直线运动，当然，在其他实施例中，喷淋架12也可以采用其他方式活动架设在上述导轨11上。

在本实施例中，上述双摇摆喷淋装置还包括驱动组件16，该驱动组件16用于带动上述喷淋架12垂直于上述传送方向进行往复式直线运动，该驱动组件16设置在上下两个喷淋架12的同侧，且分别与两喷淋架12固定连接；当该驱动组件16启动工作时，其会同时带动位于待蚀刻基板上方和下方的喷淋架12垂直于上述传送方向进行往复式直线运动，并且，两个喷淋架12的运动呈错开式前后直线运动。

上述驱动组件16包括一个电动机161、一根主轴162、两个偏心轮163、两个偏心套164以及两根拉杆165，其中，主轴162的上端与电动机161的输出轴固定连接，两个偏心轮163间隔固定在主轴162上，且分别对应上下两个上述喷淋架12；为了实现上述两个喷淋架12的错开式运动，两个偏心轮163相互反向设置，另外，两个偏心套164分别套设在两个偏心轮163上，两根拉杆165的一端分别与两个偏心轮163对应固定连接，两根拉杆165的另一端分别与两个喷淋架12固定连接；当电动机161启动工作时，其带动主轴162转动，主轴162带动两个相互反向设置的偏心轮163转动，偏心轮163的转动则带动对应的偏心套164垂直于上述传送方向进行往复式直线运动，进而，偏心套164带动对应的拉杆165进行往复式直线运动，拉杆165则带动相应的喷淋架12进行与偏心套164同向的往复式直线运动，此处，喷淋架12的直线运动范围为±20mm，当然，根据实际情况或具体需求，也可以设计为其他的距离范围；另外，在其他实施例中，也可以采用其他形式的驱动组件，这里并不作具体限定。

本实施例中，上述的各个喷淋管13上都设置有多个喷嘴132，且各个喷嘴132等间距地均匀布置在喷淋管13上，各喷嘴132均对准沿待蚀刻基板表面，并喷淋药液进行蚀刻。

上述的各个喷淋管13上均设置有一一对应的进液管17，各进液管17的两端分别与对应的喷淋管13连通，并且，在进液管17中间部分还开设有与外部输液管道连通的进液口171，外部输液管道通过进液口171向进液管17内注液，进液管17再将其内的药液通过其两端注入喷淋管13内，这样，有效保证了喷淋管13内进液压力的均匀，也提高了喷嘴132喷淋的均匀性，提高了蚀刻精度，当然，在其他实施例中，喷淋管13上可以设置多个进液管17，或者，在进液管17上设置多个与喷淋管13连通的接口，其目的是为了保证进液压力的均匀。

本实施例中，上述喷淋架12包括两侧框122和两横框123，其中，侧框122与横框123垂直，且两侧框122与两横框123首尾相接，侧框122与横框123通过焊接的方式固定连接后，再通过紧固件进行加固，此处，紧固件采用的是钛螺丝，相比传统的焊接固定，采用钛螺丝对侧框122与横框123进行再加固，有效增加了喷淋架12的整体强度，当然，在其他实施例中，根据实际情况，侧框122与横框123也可以采用其他紧固件或者其他的固定连接方式，另外，喷淋架12也可以采用其他形式的结构。

上述的两侧框122上均设置有加强板1221，而且，两侧框122之间横还横设有加强棒1222，此处，加强棒1222采用的是钛棒，当然，加强棒1222也可以采用其他的材质；通过在两侧框122上设置加强板1221和加强棒1222，有效增加了喷淋架12的整体强度，避免了因喷淋架12松动导致上述喷淋管13运动不稳，而致使喷淋不均匀的影响；在其他实施例中，喷淋架12也可以采用的方式进行加固。

另外，在本实施例中，上述喷淋管13采用的是笔直的中空管，当然，在其他实施例中，上述喷淋管13也可以采用其他形状的中空管，比如波浪弯折中空管等等。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种双摇摆喷淋装置，用于蚀刻机或者显影机，其特征在于，包括上下两组对称设置的摇摆喷淋单元，所述摇摆喷淋单元包括垂直于待蚀刻基板的传送方向的导轨，架设于所述导轨上且垂直于所述传送方向作往复式直线运动的喷淋架，以及活动设置于所述喷淋架中且相互间隔的多个喷淋管，所述喷淋管的两端与所述导轨之间均设置有旋转块，所述旋转块的一端与所述导轨之间转动连接，所述旋转块的另一端与所述喷淋管垂直且轴向定位连接。 

2.如权利要求1所述的双摇摆喷淋装置，其特征在于，所述导轨上固定设置有定位架，所述旋转块的一端通过定位件与所述定位架转动连接。 

3.如权利要求2所述的双摇摆喷淋装置，其特征在于，所述喷淋架上横设有喷管固定板，所述喷管固定板位于所述喷淋管和所述旋转块之间。 

4.如权利要求3所述的双摇摆喷淋装置，其特征在于，所述喷淋管与所述旋转块通过轴向定位组件配合形成轴向定位连接，所述轴向定位组件包括与所述喷淋管连接的喷管堵头，与所述喷管堵头轴向定位连接的转接头，以及套接所述喷管堵头和所述转接头的套壳，所述转接头穿过所述喷管固定板并与所述旋转块轴向定位连接。 

5.如权利要求1～4任一项所述的双摇摆喷淋装置，其特征在于，所述双摇摆喷淋装置还包括用于驱动所述摇摆喷淋单元运动的驱动组件，所述驱动组件设于所述上下两喷淋架的同侧，并分别与其固定连接，且所述驱动组件带动所述上下两喷淋架垂直于所述传送方向作错开式直线运动。 

6.如权利要求5所述的双摇摆喷淋装置，其特征在于，所述驱动组件包括电动机，以及由所述电动机上伸出的主轴，所述主轴上固定连接有两组反向设置的偏心轮，所述偏心轮上套设有偏心套，所述偏心套上固定连接有拉杆，所述拉杆与所述喷淋架固定连接。 

7.如权利要求1所述的双摇摆喷淋装置，其特征在于，所述喷淋管上设置有多个用于喷淋药液的喷嘴。 

8.如权利要求7所述的双摇摆喷淋装置，其特征在于，所述喷淋管上还设置有进液管，所述进液管与所述喷淋管连通，且所述进液管上开设有用于输入药液的进液口。