CN107398396A - 光阻材料的涂布装置及涂布方法 - Google Patents

光阻材料的涂布装置及涂布方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种光阻材料的涂布装置及涂布方法，所述涂布装置包括进胶管道、喷嘴本体及设于所述喷嘴本体上的喷嘴阵列，所述喷嘴阵列包括呈阵列排布的多个喷嘴，沿所述喷嘴阵列的行方向的相邻两个喷嘴之间的间距等于所述光阻单元沿所述喷嘴阵列的行方向上的宽度，所述多个喷嘴分别与所述进胶管道连通。本发明通过喷嘴依次对不同颜色的光阻区进行涂布且只涂布在对应颜色的光阻区上即可，而不需要整面涂布于基板上，且在完成光阻涂布后只需要进行一次曝光显影即可获得光阻图案，从而提高了生产效率、节约资源、降低了生产成本。

Description

光阻材料的涂布装置及涂布方法
技术领域
本发明涉及显示面板的制造领域，尤其涉及一种光阻材料的涂布装置及涂布方法。
背景技术
近年来，显示技术飞速发展，液晶面板已经成了显示行业的领头军。液晶显示面板通常由TFT基板和CF(Color Filter)基板构成，TFT基板提供显示电路及驱动，CF基板提供颜色显示的三基色(RGB)。CF基板至少由红色、绿色、蓝色三种颜色的光阻即R、G、B三种光阻构成，R、G、B三种光阻分别由涂布、曝光、显影等一系列制程成膜，R、G、B三种光阻中每一个光阻均需要在基板的表面进行整面涂布，再经过曝光、显影形成所需要的光阻图案。这样就需要至少三个涂布、曝光、显影的循环过程，使得整个成膜过程耗时较长，而且，需要整面涂布，使得光阻材料用量大。
发明内容
为了解决现有技术的不足，本发明提供一种光阻材料的涂布装置及涂布方法，能够提升生产效率、节约光阻、降低生产成本。
本发明提出的具体技术方案为：提供一种光阻材料的涂布装置，用于对基板上的光阻单元阵列进行涂布，所述涂布装置包括进胶管道、喷嘴本体及设于所述喷嘴本体上的喷嘴阵列，所述喷嘴阵列包括呈阵列排布的多个喷嘴，所述光阻单元阵列包括呈阵列排布的多个光阻单元，沿所述喷嘴阵列的行方向的相邻两个喷嘴之间的间距等于所述光阻单元沿所述喷嘴阵列的行方向上的宽度，所述多个喷嘴分别与所述进胶管道连通。
进一步地，所述喷嘴本体上设有用于收容光阻胶的容置槽，所述进胶管道、所述多个喷嘴分别与所述容置槽连通。
进一步地，每个所述喷嘴上均设置有一阀门。
进一步地，所述涂布装置还包括控制器，所述控制器用于控制所述阀门的开/关。
进一步地，所述涂布装置还包括与所述喷嘴本体连接的第一驱动件，所述第一驱动件用于驱动所述喷嘴本体沿所述喷嘴阵列的行方向移动。
进一步地，所述涂布装置还包括与所述喷嘴本体连接的第二驱动件，所述第二驱动件用于驱动所述喷嘴本体沿所述喷嘴阵列的列方向移动。
本发明还提供了一种光阻材料的涂布方法，所述涂布方法包括步骤：
将光阻材料的涂布装置的喷嘴与基板上的光阻单元的光阻区对准，其中，所述涂布装置包括进胶管道、喷嘴本体及设于所述喷嘴本体上的喷嘴阵列，所述喷嘴阵列包括呈阵列排布的多个喷嘴，所述基板上设有光阻单元阵列，所述光阻单元阵列包括呈阵列排布的多个光阻单元，沿所述喷嘴阵列的行方向的相邻两个喷嘴之间的间距等于所述光阻单元沿所述喷嘴阵列的行方向上的宽度，所述多个喷嘴分别与所述进胶管道连通；
通过进胶管道将光阻胶注入所述喷嘴中，所述喷嘴向位于所述光阻单元的同一位置的光阻区进行吐胶；
移动所述喷嘴本体，所述喷嘴向位于所述光阻单元的其他位置的光阻区进行吐胶，直到所有的光阻单元完成涂布后，在所述基板上获得光阻层；
利用光刻工艺在所述光阻层上形成光阻图案。
进一步地，通过第一驱动件驱动所述喷嘴本体沿所述喷嘴阵列的行方向移动。
进一步地，通过第二驱动件驱动所述喷嘴本体沿所述喷嘴阵列的列方向移动。
本发明提供的涂布装置包括喷嘴本体及设于所述喷嘴本体上的喷嘴阵列，所述喷嘴阵列包括呈阵列排布的多个喷嘴，沿所述喷嘴阵列的行方向的相邻两个喷嘴之间的间距等于所述光阻单元沿所述喷嘴阵列的行方向上的宽度。本发明通过喷嘴依次对不同颜色的光阻区进行涂布且只涂布在对应颜色的光阻区上即可，而不需要整面涂布于基板上，且在完成光阻涂布后只需要进行一次曝光显影即可获得光阻图案，从而提高了生产效率、节约资源、降低了生产成本。
附图说明
下面结合附图，通过对本发明的具体实施方式详细描述，将使本发明的技术方案及其它有益效果显而易见。
图1为实施例1中涂布装置的结构示意图；
图2为实施例1中涂布方法的流程图；
图3为在光阻层上形成光阻图案的示意图；
图4为实施例2中涂布装置的结构示意图。
具体实施方式
以下，将参照附图来详细描述本发明的实施例。然而，可以以许多不同的形式来实施本发明，并且本发明不应该被解释为限制于这里阐述的具体实施例。相反，提供这些实施例是为了解释本发明的原理及其实际应用，从而使本领域的其他技术人员能够理解本发明的各种实施例和适合于特定预期应用的各种修改。在附图中，相同的标号将始终被用于表示相同的元件。
实施例1
参照图1，本实施例中的光阻材料的涂布装置用于对基板1上的光阻单元阵列进行涂布，光阻单元阵列包括呈阵列排布的多个光阻单元11，所述涂布装置包括进胶管道2、喷嘴本体3及设于喷嘴本体3上的喷嘴阵列，喷嘴阵列包括沿光阻单元阵列的行方向直线排布的多个喷嘴31即本实施例中的喷嘴阵列只包括呈一行设置的多个喷嘴31，相邻两个喷嘴31之间的间距等于光阻单元11沿光阻单元阵列的行方向上的宽度，多个喷嘴31分别与进胶管道2连通。
每个光阻单元11包括多个颜色不同的光阻区，本实施例以光阻区的颜色为红色、绿色、蓝色为例，即每个光阻单元11包括三个光阻区，三个光阻区的颜色分别为红色、绿色、蓝色，其中，红色、绿色、蓝色的三个光阻区沿光阻单元阵列的行方向排列。光阻单元阵列中沿光阻单元阵列的列方向的光阻区的颜色相同。
喷嘴本体3上设有用于收容光阻胶的容置槽(图未标)，进胶管道2、多个喷嘴31分别与容置槽连通。进胶管道2、容置槽以及喷嘴31组成光阻胶的通道。
本实施例中每个喷嘴31上还设有一阀门(图未标)，其用于用于控制喷嘴31的开/关。为了实现自动控制，本实施例中的涂布装置还包括控制器(图未标)，控制器与阀门连接，通过控制器可以自动控制阀门的开/关。
本实施例中的涂布装置还包括与喷嘴本体3连接的第一驱动件4，第一驱动件4用于驱动喷嘴本体3沿光阻单元阵列的行方向移动。此外，所述涂布装置还包括与喷嘴本体3连接的第二驱动件5，第二驱动件5用于驱动喷嘴本体3沿光阻单元阵列的列方向移动。通过第一驱动件4和第二驱动件5可以驱动喷嘴本体3移动，从而实现对不同的光阻单元、不同的光阻区进行涂布。
参照图2、3，本实施例还提供了一种光阻材料的涂布方法，包括步骤：
S1、将光阻材料的涂布装置的喷嘴31与基板1上的光阻单元11的光阻区对准，其中，涂布装置包括进胶管道2、喷嘴本体3及设于喷嘴本体3上的喷嘴阵列，喷嘴阵列包括沿光阻单元阵列的行方向直线排布的多个喷嘴31，相邻两个喷嘴31之间的间距等于光阻单元11沿光阻单元阵列的行方向上的宽度，多个喷嘴31分别与进胶管道2连通，基板1上设有光阻单元阵列，光阻单元阵列包括呈阵列排布的多个光阻单元11。
其中，基板1上设有黑矩阵阵列6，相邻两行上的黑矩阵与相邻两列上的黑矩阵围合形成光阻区，从而在基板3上形成呈阵列排布的多个光阻单元11，通过移动喷嘴本体3，使得多个喷嘴21分别与第一行上的光阻单元11中的同一位置的光阻区对应。
S2、通过进胶管道2将光阻胶注入喷嘴31中，喷嘴31向位于光阻单元11的同一位置的光阻区进行吐胶。
S3、移动喷嘴本体3，喷嘴31依次向位于光阻单元11的其他位置的光阻区进行吐胶，直到所有的光阻单元11完成涂布后，在基板1上获得光阻层7。
具体地，以光阻单元11中三个光阻区的排列顺序为沿光阻单元阵列的行方向依次为红色的光阻区、绿色的光阻区、蓝色的光阻区，先将颜色为红色的光阻胶注入容置槽中，打开喷嘴31的阀门，通过喷嘴31向第一行的光阻单元11的红色的光阻区进行吐胶直到达到一定厚度后关闭阀门，停止吐胶。
通过第一驱动件4驱动喷嘴本体3沿光阻单元阵列的行方向移动一个光阻区在沿光阻单元阵列的行方向上的宽度的距离，然后再将颜色为绿色的光阻胶注入容置槽中，打开喷嘴31的阀门，通过喷嘴31向第一行的光阻单元11的绿色的光阻区进行吐胶直到达到一定厚度后关闭阀门，停止吐胶。
通过第一驱动件4驱动喷嘴本体3沿光阻单元阵列的行方向继续移动一个光阻区在沿光阻单元阵列的行方向上的宽度的距离，再将颜色为蓝色的光阻胶注入容置槽中，打开喷嘴31的阀门，通过喷嘴31向第一行的光阻单元11的蓝色的光阻区进行吐胶直到达到一定厚度后关闭阀门，停止吐胶，从而完成第一行的光阻单元11的涂布。
通过第二驱动件5驱动喷嘴本体3沿光阻单元阵列的列方向移动一个光阻区在沿光阻单元阵列的列方向上的宽度的距离，将颜色为红色的光阻胶注入容置槽中，打开喷嘴31的阀门，通过喷嘴31向第二行的光阻单元11的红色的光阻区进行吐胶直到达到一定厚度后关闭阀门，停止吐胶。
再通过第一驱动件4驱动喷嘴本体3沿光阻单元阵列的行方向移动一个光阻区在沿光阻单元阵列的行方向上的宽度的距离，然后再将颜色为绿色的光阻胶注入容置槽中，打开喷嘴31的阀门，通过喷嘴31向第二行的光阻单元11的绿色的光阻区进行吐胶直到达到一定厚度后关闭阀门，停止吐胶。重复上面的过程，直到所有的光阻单元11完成涂布后，在基板1上获得光阻层7。
S4、利用光刻工艺在光阻层7上形成光阻图案。
再次参照图3，由于在步骤S3的涂布过程中，光阻胶有可能覆盖光阻单元11以外的区域，例如，覆盖黑矩阵所对应的区域。因此，在步骤S4中需要将覆盖到黑矩阵上的光阻胶除去，利用光刻工艺对光阻层7进行曝光显影，在光阻层7上形成光阻图案。
本实施例中通过喷嘴31依次对不同颜色的光阻区进行涂布且只涂布在对应颜色的光阻区上即可，而不需要整面涂布于基板1上，且在完成光阻涂布后只需要进行一次曝光显影即可获得光阻图案，从而提高了生产效率、节约资源、降低了生产成本。
实施例2
参照图4，本实施例与实施例1的区别为喷嘴阵列包括沿光阻单元阵列的行方向呈直线排布的多个喷嘴31及沿光阻单元阵列的列方向呈直线排布的多个喷嘴31，即本实施例中的喷嘴阵列包括呈多行多列设置的多个喷嘴31。喷嘴阵列中相邻两个列之间的间距等于光阻单元11沿光阻单元阵列的行方向上的宽度。
本实施例提供的光阻材料的涂布方法包括步骤：
S1、将喷嘴31与光阻单元11的光阻区对准。
S2、通过进胶管道2将光阻胶注入喷嘴31中，喷嘴31向位于光阻单元11的同一位置的光阻区进行吐胶。
S3、通过第一驱动件4驱动喷嘴本体3沿光阻单元阵列的行方向移动喷嘴本体3，喷嘴31依次向位于光阻单元11的其他位置的光阻区进行吐胶，直到所有的光阻单元11完成涂布后，在基板1上获得光阻层7。
S4、利用光刻工艺在光阻层5上形成光阻图案。
本实施例的喷嘴阵列包括呈多行多列设置的多个喷嘴31，这样只需要沿沿光阻单元阵列的行方向移动喷嘴本体便可以完成涂布，进一步的提升了生产效率。
以上所述仅是本申请的具体实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。

Claims (9)

1.一种光阻材料的涂布装置，用于对基板上的光阻单元阵列进行涂布，其特征在于，所述涂布装置包括进胶管道、喷嘴本体及设于所述喷嘴本体上的喷嘴阵列，所述喷嘴阵列包括呈阵列排布的多个喷嘴，所述光阻单元阵列包括呈阵列排布的多个光阻单元，沿所述喷嘴阵列的行方向的相邻两个喷嘴之间的间距等于所述光阻单元沿所述喷嘴阵列的行方向上的宽度，所述多个喷嘴分别与所述进胶管道连通。
2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述喷嘴本体上设有用于收容光阻胶的容置槽，所述进胶管道、所述多个喷嘴分别与所述容置槽连通。
3.根据权利要求2所述的涂布装置，其特征在于，每个所述喷嘴上均设置有一阀门。
4.根据权利要求3所述的涂布装置，其特征在于，还包括控制器，所述控制器用于控制所述阀门的开/关。
5.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，还包括与所述喷嘴本体连接的第一驱动件，所述第一驱动件用于驱动所述喷嘴本体沿所述喷嘴阵列的行方向移动。
6.根据权利要求5所述的涂布装置，其特征在于，还包括与所述喷嘴本体连接的第二驱动件，所述第二驱动件用于驱动所述喷嘴本体沿所述喷嘴阵列的列方向移动。
7.一种光阻材料的涂布方法，其特征在于，包括步骤：
将光阻材料的涂布装置的喷嘴与基板上的光阻单元的光阻区对准，其中，所述涂布装置包括进胶管道、喷嘴本体及设于所述喷嘴本体上的喷嘴阵列，所述喷嘴阵列包括呈阵列排布的多个喷嘴，所述基板上设有光阻单元阵列，所述光阻单元阵列包括呈阵列排布的多个光阻单元，沿所述喷嘴阵列的行方向的相邻两个喷嘴之间的间距等于所述光阻单元沿所述喷嘴阵列的行方向上的宽度，所述多个喷嘴分别与所述进胶管道连通；
通过进胶管道将光阻胶注入所述喷嘴中，所述喷嘴向位于所述光阻单元的同一位置的光阻区进行吐胶；
移动所述喷嘴本体，所述喷嘴向位于所述光阻单元的其他位置的光阻区进行吐胶，直到所有的光阻单元完成涂布后，在所述基板上获得光阻层；
利用光刻工艺在所述光阻层上形成光阻图案。
8.根据权利要求7所述的涂布方法，其特征在于，通过第一驱动件驱动所述喷嘴本体沿所述喷嘴阵列的行方向移动。
9.根据权利要求8所述的涂布方法，其特征在于，通过第二驱动件驱动所述喷嘴本体沿所述喷嘴阵列的列方向移动。
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