CN107398397A - 光阻材料的涂布装置及涂布方法 - Google Patents

光阻材料的涂布装置及涂布方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种光阻材料的涂布装置及涂布方法，涂布装置包括进胶管道、喷嘴本体及设于喷嘴本体上的呈阵列排布的多个喷嘴，多个喷嘴与基板上的呈阵列排布的多个光阻单元一一对应，喷嘴本体上设有用于收容光阻胶的容置槽，多个喷嘴、进胶管道分别与容置槽连通，每个喷嘴上均设置有一阀门。本发明提供的涂布装置包括多个喷嘴，多个喷嘴与基板上的呈阵列排布的多个光阻单元一一对应，每个喷嘴上均设置有一阀门，通过控制喷嘴阀门的开/关，在对一种颜色的光阻胶进行涂布时，只需要涂布在对应颜色的光阻单元上即可，不需要整面涂布，且在完成光阻涂布后只需要进行一次曝光显影即可获得光阻图案，从而提高了生产效率、节约资源、降低了生产成本。

Description

光阻材料的涂布装置及涂布方法
技术领域
本发明涉及显示面板的制造领域，尤其涉及一种光阻材料的涂布装置及涂布方法。
背景技术
近年来，显示技术飞速发展，液晶面板已经成了显示行业的领头军。液晶显示面板通常由TFT基板和CF(Color Filter)基板构成，TFT基板提供显示电路及驱动，CF基板提供颜色显示的三基色(RGB)。CF基板至少由红色、绿色、蓝色三种颜色的光阻即R、G、B三种光阻构成，R、G、B三种光阻分别由涂布、曝光、显影等一系列制程成膜，R、G、B三种光阻中每一个光阻均需要在基板的表面进行整面涂布，再经过曝光、显影形成所需要的光阻图案。这样就需要至少三个涂布、曝光、显影的循环过程，使得整个成膜过程耗时较长，而且，需要整面涂布，使得光阻材料用量大。
发明内容
为了解决现有技术的不足，本发明提供一种光阻材料的涂布装置及涂布方法，能够提升生产效率、节约光阻、降低生产成本。
本发明提出的具体技术方案为：提供一种光阻材料的涂布装置，所述涂布装置包括进胶管道、喷嘴本体及设于所述喷嘴本体上的呈阵列排布的多个喷嘴，所述多个喷嘴与基板上的呈阵列排布的多个光阻单元一一对应，所述喷嘴本体上设有用于收容光阻胶的容置槽，所述多个喷嘴、所述进胶管道分别与所述容置槽连通，每个所述喷嘴上均设置有一阀门。
进一步地，所述涂布装置还包括控制器，所述控制器用于控制所述阀门的开/关。
进一步地，所述容置槽的数量为3个，3个所述容置槽分别与基板上颜色为红色、绿色、蓝色的光阻单元所对应的喷嘴连通。
进一步地，所述进胶管道的数量为3个，3个所述进胶管道分别与3个所述容置槽一一对应。
本发明还提供了一种光阻材料的涂布方法，所述涂布方法包括步骤：
将光阻材料的涂布装置的喷嘴与所述基板上的光阻单元对准；
通过进胶管道将光阻胶注入容置槽中；
打开颜色与所述光阻胶的颜色相同的光阻单元所对应的喷嘴的阀门，所述喷嘴向所述光阻单元进行吐胶，直到所有的光阻单元完成涂布后，在所述基板上获得光阻层；
利用光刻工艺在所述光阻层上形成光阻图案。
进一步地，通过控制器控制所述阀门的开/关。
进一步地，所述容置槽的数量为3个，3个所述容置槽分别与基板上颜色为红色、绿色、蓝色的光阻单元所对应的喷嘴连通，所述进胶管道将光阻胶注入容置槽中步骤具体包括：通过进胶管道依次将颜色为红色、绿色、蓝色的光阻胶注入3个容置槽中。
进一步地，所述进胶管道的数量为3个，3个所述进胶管道分别与3个所述容置槽一一对应，所述进胶管道将光阻胶注入容置槽中步骤具体包括：通过3个所述进胶管道分别将颜色为红色、绿色、蓝色的光阻胶注入3个容置槽中。
本发明提供的涂布装置包括多个喷嘴，所述多个喷嘴与基板上的呈阵列排布的多个光阻单元一一对应，每个所述喷嘴上均设置有一阀门，通过控制喷嘴阀门的开/关，在对一种颜色的光阻胶进行涂布时，只需要涂布在对应颜色的光阻单元上即可，不需要整面涂布，且在完成光阻涂布后只需要进行一次曝光显影即可获得光阻图案，从而提高了生产效率、节约资源、降低了生产成本。
附图说明
下面结合附图，通过对本发明的具体实施方式详细描述，将使本发明的技术方案及其它有益效果显而易见。
图1为实施例1中涂布装置的结构示意图；
图2为实施例1中涂布方法的流程图；
图3为在光阻层上形成光阻图案的示意图；
图4为实施例3中涂布装置的结构示意图。
具体实施方式
以下，将参照附图来详细描述本发明的实施例。然而，可以以许多不同的形式来实施本发明，并且本发明不应该被解释为限制于这里阐述的具体实施例。相反，提供这些实施例是为了解释本发明的原理及其实际应用，从而使本领域的其他技术人员能够理解本发明的各种实施例和适合于特定预期应用的各种修改。在附图中，相同的标号将始终被用于表示相同的元件。
实施例1
参照图1，本实施例中的光阻材料的涂布装置包括进胶管道1、喷嘴本体2及设于喷嘴本体2上的呈阵列排布的多个喷嘴21，多个喷嘴21与基板3上的呈阵列排布的多个光阻单元31一一对应，喷嘴本体2上设有用于收容光阻胶的容置槽，多个喷嘴21、进胶管道1分别与容置槽连通，每个喷嘴21上均设置有一阀门(图未标)。
本实施例中进胶管道1的数量为1个，容置槽的数量也为1个。进胶管道1、容置槽以及喷嘴21组成光阻胶的通道，阀门用于控制喷嘴21的开/关。为了实现自动控制，本实施例中的涂布装置还包括控制器(图未标)，控制器与阀门连接，通过控制器可以自动控制阀门的开/关。
本实施例还提供了一种光阻材料的涂布方法，通过上述涂布装置对光阻材料进行涂布，所述涂布方法包括步骤：
S1、将光阻材料的涂布装置的喷嘴21与基板3上的光阻单元31对准。
其中，基板3上设有黑矩阵阵列4，相邻两行上的黑矩阵与相邻两列上的黑矩阵围合形成光阻单元31，从而在基板3上形成呈阵列排布的多个光阻单元31，通过移动喷嘴本体2，使得呈阵列排布的多个喷嘴21分别与多个光阻单元31一一对应。
S2、通过进胶管道1将光阻胶注入容置槽中。
S3、打开颜色与所述光阻胶的颜色相同的光阻单元31所对应的喷嘴21的阀门，喷嘴21向该光阻单元31进行吐胶，重复步骤S2～S3，直到所有的光阻单元31完成涂布后，在基板3上获得光阻层5。
具体地，以光阻单元31的颜色包括红色、绿色、蓝色为例，先将颜色为红色的光阻胶注入容置槽中，打开颜色为红色的光阻单元31所对应的喷嘴21的阀门，通过喷嘴21向该光阻单元31进行吐胶直到达到一定厚度后关闭阀门，停止吐胶；然后再将颜色为绿色的光阻胶注入容置槽中，打开颜色为绿色的光阻单元31所对应的喷嘴21的阀门，通过喷嘴21向该光阻单元31进行吐胶直到达到一定厚度后关闭阀门，停止吐胶；最后再将颜色为蓝色的光阻胶注入容置槽中，打开颜色为蓝色的光阻单元31所对应的喷嘴21的阀门，通过喷嘴21向该光阻单元31进行吐胶直到达到一定厚度后关闭阀门，停止吐胶，从而完成光阻涂布过程，在基板3上形成具有一定厚度的光阻层5。
S4、利用光刻工艺在光阻层5上形成光阻图案。
参照图3，由于在步骤S3的涂布过程中，光阻胶有可能覆盖光阻单元31以外的区域，例如，覆盖黑矩阵所对应的区域。因此，在步骤S4中需要将覆盖到黑矩阵上的光阻胶除去，利用光刻工艺对光阻层5进行曝光显影，在光阻层5上形成光阻图案。
本实施例中通过控制喷嘴阀门的开/关实现在对一种颜色的光阻胶进行涂布时，只需要涂布在对应颜色的光阻单元31上即可，而不需要整面涂布于基板3上，且在完成光阻涂布后只需要进行一次曝光显影即可获得光阻图案，从而提高了生产效率、节约资源、降低了生产成本。
实施2
本实施例与实施例1的区别为容置槽的数量不同。本实施例中的涂布装置包括3个容置槽，这3个容置槽分别与进胶管道1连通。3个容置槽分别与基板3上颜色为红色、绿色、蓝色的光阻单元31所对应的喷嘴21连通。通过进胶管道1可以依次将颜色为红色、绿色、蓝色的光阻胶注入到这3个容置槽中。
本实施例提供的光阻材料的涂布方法包括步骤：
S1、将本实施例中的涂布装置的喷嘴21与基板3上的光阻单元31对准。
S2、通过进胶管道1依次将颜色为红色、绿色、蓝色的光阻胶注入3个容置槽中。
S3、同时打开分别与基板3上颜色为红色、绿色、蓝色的光阻单元31所对应的喷嘴21的阀门即打开所有喷嘴21的阀门，多个喷嘴21分别向对应的光阻单元31进行吐胶，三种颜色的光阻胶同时进行涂布，最后在基板3上获得光阻层5。
S4、利用光刻工艺在光阻层5上形成光阻图案。
本实施例通过设置3个容置槽可以先分别对三种颜色的光阻胶进行缓存，然后同时对三种颜色的光阻胶进行涂布，进一步的提升了生产效率。
实施例3
参照图4，本实施例与实施例2的区别为进胶管道1的数量不同。本实施例中的涂布装置包括3个进胶管道1，3个进胶管道1分别与3个容置槽连通。3个容置槽分别与基板3上颜色为红色、绿色、蓝色的光阻单元31所对应的喷嘴21连通。通过3个进胶管道1可以同时将颜色为红色、绿色、蓝色的光阻胶注入到这3个容置槽中。
本实施例提供的光阻材料的涂布方法包括步骤：
S1、将本实施例中的涂布装置的喷嘴21与基板3上的光阻单元31对准。
S2、通过3个进胶管道1同时将颜色为红色、绿色、蓝色的光阻胶注入3个容置槽中。
S3、同时打开分别与基板3上颜色为红色、绿色、蓝色的光阻单元31所对应的喷嘴21的阀门即打开所有喷嘴21的阀门，多个喷嘴21分别向对应的光阻单元31进行吐胶，三种颜色的光阻胶同时进行涂布，最后在基板3上获得光阻层5。
S4、利用光刻工艺在光阻层5上形成光阻图案。
本实施例通过设置3个进胶管道1和3个容置槽可以同时对三种颜色的光阻胶进行缓存，然后同时对三种颜色的光阻胶进行涂布，进一步的提升了生产效率。
以上所述仅是本申请的具体实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。

Claims (8)

1.一种光阻材料的涂布装置，其特征在于，包括进胶管道、喷嘴本体及设于所述喷嘴本体上的呈阵列排布的多个喷嘴，所述多个喷嘴与基板上的呈阵列排布的多个光阻单元一一对应，所述喷嘴本体上设有用于收容光阻胶的容置槽，所述多个喷嘴、所述进胶管道分别与所述容置槽连通，每个所述喷嘴上均设置有一阀门。
2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，还包括控制器，所述控制器用于控制所述阀门的开/关。
3.根据权利要求2所述的涂布装置，其特征在于，所述容置槽的数量为3个，3个所述容置槽分别与基板上颜色为红色、绿色、蓝色的光阻单元所对应的喷嘴连通。
4.根据权利要求3所述的涂布装置，其特征在于，所述进胶管道的数量为3个，3个所述进胶管道分别与3个所述容置槽一一对应。
5.一种光阻材料的涂布方法，其特征在于，包括步骤：
将光阻材料的涂布装置的喷嘴与所述基板上的光阻单元对准；
通过进胶管道将光阻胶注入容置槽中；
打开颜色与所述光阻胶的颜色相同的光阻单元所对应的喷嘴的阀门，所述喷嘴向所述光阻单元进行吐胶，直到所有的光阻单元完成涂布后，在所述基板上获得光阻层；
利用光刻工艺在所述光阻层上形成光阻图案。
6.根据权利要求5所述的涂布方法，其特征在于，通过控制器控制所述阀门的开/关。
7.根据权利要求5所述的涂布方法，其特征在于，所述容置槽的数量为3个，3个所述容置槽分别与基板上颜色为红色、绿色、蓝色的光阻单元所对应的喷嘴连通，所述进胶管道将光阻胶注入容置槽中步骤具体包括：通过进胶管道依次将颜色为红色、绿色、蓝色的光阻胶注入3个容置槽中。
8.根据权利要求7所述的涂布方法，其特征在于，所述进胶管道的数量为3个，3个所述进胶管道分别与3个所述容置槽一一对应，所述进胶管道将光阻胶注入容置槽中步骤具体包括：通过3个所述进胶管道分别将颜色为红色、绿色、蓝色的光阻胶注入3个容置槽中。
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