CN101287336A - 倾斜型搬运装置 - Google Patents

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CN101287336A CNA2007101529493A CN200710152949A CN101287336A CN 101287336 A CN101287336 A CN 101287336A CN A2007101529493 A CNA2007101529493 A CN A2007101529493A CN 200710152949 A CN200710152949 A CN 200710152949A CN 101287336 A CN101287336 A CN 101287336A
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米田尚史
片冈辰雄
长濑明
渋谷节男
石神敬志
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Abstract

本发明提供一种能够防止搬运中产生粉尘，并可利用简易的搬运机构而稳定地进行大型玻璃基板的搬运的倾斜型的基板搬运装置。本基板搬运装置包括：第1旋转轴(10)，其具有多个支持搬运滚子，该支持搬运滚子以规定的角度倾斜设置着，并与玻璃基板(60)的下面相接，以用来进行搬运驱动；第2旋转轴，其具有定位搬运滚子，该定位搬运滚子与倾斜的第1旋转轴(10)的两侧对向设置着，并与玻璃基板(60)的端面相接而定位且进行搬运驱动；以及第3旋转轴，其具有基板面按压搬运滚子，该基板面按压搬运滚子与倾斜的第1旋转轴(10)的两侧对向设置着，并与第1旋转轴(10)两端的支持搬运滚子对向且与玻璃基板(60)的上面相接，以进行搬运驱动。

Description

倾斜型搬运装置
技术领域
本发明是关于一种在大型玻璃基板的清洗中，用于搬运玻璃基板的基板搬运装置，更详细地说，本发明是关于一种具有倾斜型搬运机构的倾斜型搬运装置。
背景技术
随着图像机器的多样化，显示用的玻璃基板的形状也正在大型化、多样化。为了利用一台清洗装置而应对该大型且形状不同的基板的清洗，需要一种作业来对照该基板的大小而再次设定基板搬运滚子的滚子位置。然而，因为在清洗装置中设置有多个基板搬运滚子，所以该作业需要较长时间，而且，会由于调整错误而成为基板破损等故障产生的要因。
为了解决上述问题，在专利文献1中记载有一种对宽度不同的基板，可不进行滚子位置等的操作而实施搬运的、具有倾斜型搬运部的基板清洗装置。图2所示为专利文献1的基板清洗装置的搬运部的正面图。在图2中，是在旋转轴3上以一定的间隔安装有支持滚子6和保持滚子7，其中，该支持滚子6是使直径大的大滚子6a和直径小的小滚子6b组合且使断面略呈T字形，该保持滚子7是与小滚子6b为相同的直径。旋转轴3是以支持滚子6为支点并使保持滚子7侧朝向上方而倾斜设置着。
基板5的侧边是与成为倾斜的下方的支持滚子的大滚子6a的侧面确实地抵接着，并利用该支持滚子6及该保持滚子7的旋转而沿一定方向被搬运。因为基板的定位只利用该支持滚子6来进行，所以能够与基板5的宽度的种类没有关系地来与多种基板进行对应。
而且，在引用文献2中记述有一种薄板构件的液体处理装置，该液体处理装置为了在工件的液体处理中防止于工件的表面上形成液膜，须使对搬运工件的旋转轴进行支承的支持板，沿着与工件的搬运方向直行的方向而固定地设置在角度倾斜的倾斜基座上。图3为专利文献2的液体处理装置的搬运要部的扩大图。在图3中，于旋转轴13上所安装的滚子14的一侧上连接设置有锷部14b，且工件1的末端由该锷部14b来引导。
专利文献1：日本专利实开平5-79976号公报
专利文献2：日本专利特开平7-204547号公报
然而，因为图2的基板5的侧边总是与成为倾斜的下方的支持滚子的大滚子6a的侧面确实地抵接着，所以基板5的侧边和大滚子6a的侧面存在着因摩擦而相互擦碰，并产生粉尘而形成污染源的问题。而且，因为基板只是利用自重而载置在支持滚子6及保持滚子7上，所以存在着当清洗中因某些原因而使基板产生振动等时，该振动将增加而使搬运产生障碍的问题。即使在图3的工件1的末端，因为是与锷部14b接触并被引导，所以也存在着因摩擦而擦碰，并产生粉尘而形成污染源的问题。
发明内容
本发明是为了解决上述问题而形成的，其目的是提供一种倾斜型的基板搬运装置，能够防止搬运中的粉尘产生，并可利用简易的搬运机构而稳定地搬运大型玻璃基板。
本发明的基板搬运装置为一种在大型玻璃基板的清洗中，用于搬运玻璃基板的倾斜型搬运装置，其特征在于，包括：第1旋转轴，其具有多个支持搬运滚子，该支持搬运滚子以规定的角度倾斜设置着，并与玻璃基板的下面相接，以用于搬运驱动玻璃基板；第2旋转轴，其具有定位搬运滚子，该定位搬运滚子与倾斜的第1旋转轴的两侧对向设置着，并与玻璃基板的端面相接，以将玻璃基板进行定位，且搬运驱动玻璃基板；以及第3旋转轴，其具有基板面按压搬运滚子，该基板面按压搬运滚子与倾斜的第1旋转轴的两侧对向设置着，并与第1旋转轴两端的支持搬运滚子对向且与玻璃基板的上面相接，以用于搬运驱动玻璃基板。
本发明的基板搬运装置的特征在于：借由使两侧中的某一侧的、第2旋转轴及第3旋转轴具有沿着第1旋转轴的轴方向自动地使设置位置变更的位置变更部，或借由第2旋转轴的某一个具有沿着第1旋转轴的轴方向自动地使设置位置变更的位置变更部，且使该同一侧的第3旋转轴由具有与第2旋转轴的位置变更长度相符的轴长的第3旋转轴所替换，从而应对于玻璃基板的形状的变更。
如利用本发明，则可防止搬运中的粉尘的产生，并利用简易的搬运机构而稳定地搬运大型玻璃基板，所以能够构成一种维护容易且收获率良好的倾斜型基板搬运装置。而且，能够提供一种借由将多个该倾斜型的基板搬运装置进行组合，从而可稳定地进行搬运的大型玻璃基板清洗装置。
附图说明
图1所示为本发明的实施例的倾斜型搬运装置的构成的装置构成图。
图2所示为专利文献1的基板清洗装置的搬运部的正面图。
图3所示为专利文献2的液处理装置的搬运要部的扩大图。
符号的说明：
1：工件
3：旋转轴
5：基板
6：支持滚子
6a：大滚子
6b：小滚子
7：保持滚子
10：第1旋转轴
13：旋转轴
14：滚子
14b：锷部
15-1～3：支持搬运滚子
20-1、20-2：第2旋转轴
25-2、25-2：定位搬运滚子
30-1、30-2：第3旋转轴
35-1、35-2：基板面按压搬运滚子
50-1、50-2：旋转驱动部
60：玻璃基板
100：倾斜型搬运装置
α：第1旋转轴的设置倾斜角度
具体实施方式
关于本发明的实施形态，利用图示来进行说明。图1所示为本发明的实施例的倾斜型搬运装置的构成的装置构成图。在图1中，倾斜型搬运装置100的第1旋转轴10支持着玻璃基板60的下面并搬运玻璃基板60，所以在第1旋转轴10的规定的位置上具有多个支持搬运滚子15-1～3。
第2旋转轴20-1、20-2分别具有定位搬运滚子25-1、25-2，该定位搬运滚子25-1、25-2是与倾斜的第1旋转轴10的两侧对向设置着，并与玻璃基板60的端面相接，以对玻璃基板60进行定位，且搬运驱动玻璃基板60。第3旋转轴30-1、30-2分别具有基板面按压搬运滚子35-1、35-2，该基板面按压搬运滚子35-1、35-2是与倾斜的第1旋转轴10的两侧对向设置着，并与第1旋转轴10两端的支持搬运滚子15-1、15-3对向且与玻璃基板60的上面相接，以用于搬运驱动玻璃基板60。
第1旋转轴10对水平轴朝例如右上方具有角度α，且右侧上方的轴端是与旋转驱动部50-2连接，左侧下方的轴端是与旋转驱动部50-1连接。第1旋转轴10和第3旋转轴30-1、30-2是借由从旋转驱动部50-1、50-2而得到旋转驱动力，以沿着例如箭头方向而旋转。借此，玻璃基板60在由支持搬运滚子15-1、15-3和基板面按压搬运滚子35-1、35-2挟持的状态下，从两方被搬运驱动而向图示的靠近阅图者这方向搬运。
而且，第2旋转轴20-1、20-2的对定位搬运滚子25-1、25-2的相反侧的轴端，是与旋转驱动部50-1、50-2分别连接着(未图示)而得到旋转驱动力。借此，使玻璃基板60在由定位搬运滚子25-1、25-2挟持的状态下，从两方借由朝向箭头方向的旋转而被搬运驱动，以向着图中的靠近阅图者这方向搬运。支持搬运滚子15-1、15-3和基板面按压搬运滚子35-1、35-2也可不必对向。而且，定位搬运滚子25-1、25-2也可不必对向。
如使玻璃基板60大型化，则有时在清洗中会因某些原因而产生振动等，且该振动容易增大而在玻璃基板60上产生位置偏离。然而，因为玻璃基板60由定位搬运滚子25-1、25-2进行挟持，且由基板面按压搬运滚子35-1、35-2和支持搬运滚子15-1、15-3进行挟持，所以振动不会放大而是会衰减，总是可进行稳定的搬运。而且，即使玻璃基板60大型化，也可利用这6个搬运滚子的驱动力而稳定地进行搬运。
另外，第2旋转轴20-1、20-2及第3旋转轴30-1、30-2的两侧中的某一侧，具有沿着第1旋转轴的轴方向而自动地变更设置位置的位置变更部(未图示)。例如，在图1中，支持搬运滚子15-1、15-3是依据搬运的玻璃基板的最大尺寸而进行设定，且在第2旋转轴20-2及第3旋转轴30-2侧具有位置变更部。在这种情况下，在支持搬运滚子15-1、15-3之间，除了支持搬运滚子15-2以外，还设置有多个支持搬运滚子。
借此，在搬运形状小的玻璃基板60的情况下，是按照玻璃基板60的形状，而使第2旋转轴20-2及第3旋转轴30-2的位置变更部，自动地变更第2旋转轴20-2及第3旋转轴30-2的位置。而且，采用一种使多个支持搬运滚子的某1个与进行了位置变更的第3旋转轴30-2的基板面按压搬运滚子35-2对向而设置的构成。借此，能够灵活地对应于玻璃基板的形状的变更。而且，第2旋转轴25-2、25-2的某一个具有沿着第1旋转轴10的轴方向自动地使设置位置变更的位置变更部，且该同侧的第3旋转轴30-1或30-2也可替换为具有与第2旋转轴25-1或25-2的位置的变更长度相符的轴长的第3旋转轴，
如利用以上所说明的本发明的倾斜型搬运装置，则可防止在搬运中产生粉尘，并利用简易的搬运机构而稳定地进行大型玻璃基板的搬运，所以能够构成一种维护容易且收获率良好的倾斜型的基板搬运装置。而且，借由组装多个这种倾斜型的基板搬运装置，可提供一种能够稳定地进行搬运、且与玻璃基板的宽度种类没有关系地、与多种基板相对应的大型玻璃基板清洗装置。

Claims (2)

1.一种倾斜型搬运装置，为一种在大型玻璃基板的清洗中，用于搬运所述玻璃基板的倾斜型搬运装置，其特征在于，包括：
第1旋转轴，其具有多个支持搬运滚子，该支持搬运滚子以规定的角度倾斜设置着，并与所述玻璃基板的下面相接，用于搬运驱动所述玻璃基板；
第2旋转轴，其具有定位搬运滚子，该定位搬运滚子与所述倾斜的第1旋转轴的两侧对向设置着，并与所述玻璃基板的端面相接，将所述玻璃基板进行定位，且搬运驱动所述玻璃基板；以及
第3旋转轴，其具有基板面按压搬运滚子，该基板面按压搬运滚子与所述倾斜的第1旋转轴的两侧对向设置着，并与所述第1旋转轴两端的支持搬运滚子对向且与所述玻璃基板的上面相接，以用于搬运驱动所述玻璃基板。
2.如权利要求1所述的倾斜型搬运装置，其特征在于，
借由使所述两侧中的某一侧的、所述第2旋转轴及所述第3旋转轴具有沿着所述第1旋转轴的轴方向自动地使设置位置变更的位置变更部，
或借由所述第2旋转轴的某一个具有沿着所述第1旋转轴的轴方向自动地使设置位置变更的位置变更部，且使该同一侧的所述第3旋转轴由具有与所述第2旋转轴的位置变更长度相符的轴长的第3旋转轴所替换，
从而应对于所述玻璃基板的形状的变更。
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