CN101213494A - 描绘装置及描绘方法 - Google Patents

Abstract

一种描绘装置，使用预先取得描绘位置变动量信息去除描绘误差。上述描绘位置变动量信息与工作台(14)的移送方向位置对应地表示描绘位置变动量，该描绘位置变动量表示在工作台(14)的移送过程中产生的相对于描绘单元(30)而言的工作台(14)的位置变动。上述描绘误差是由描绘单元(30)在放置于工作台(14)的工件(12)上描绘图像图案时起因于工作台(14)的位置变动的误差。在将放置工件(12)的工作台(14)相对于描绘单元(30)进行移送的同时，利用描绘单元(30)在工件(12)上依次描绘与工作台的对于描绘单元(30)而言的各移送方向位置对应的部分图像图案，从而在工件(12)上描绘规定的图像图案。

Description

描绘装置及描绘方法

技术领域

[0001]

本发明涉及描绘装置及描绘方法，详细地说，涉及对于描绘单元而言，相对性地移送放置工件的工作台，利用该描绘单元在工件上依次描绘部分图像图案(image pattern)，从而在该工件上描绘规定的图像图案的描绘装置及描绘方法。

背景技术

[0002]

在现有技术中，作为在工件上描绘图像的描绘装置一个例子，利用搭载DMD(数字微型反射镜器件，digital micro-mirror device)的描绘头射出的描绘束，在由感光材料构成的工件上，将图像图案曝光的描绘装置，已经广为人知(参照JP特开2004-001244号公报)。作为这种描绘装置，对于描绘单元——描绘束而言，相对性地移送放置工件的工作台，利用上述描绘束，在放置在该工作台中的工件上依次描绘与移送的工作台的各移送方向位置对应的部分图像图案，从而在工件上描绘规定的图像图案的技术已经广为人知。

[0003]

可是，对于上述描绘装置，提出了希望能够描绘多层基板电路等描绘位置精度很高的电路图案的要求。这样，为了在放置于工作台的工件上正确地描绘图像图案，需要尽量减少各部分图像图案相互之间的描绘位置的偏移量。而且，还需要进一步正确掌握对于工作台而言的工件的位置。

发明内容

[0004]

本发明就是鉴于上述情况研制的，其目的在于提供能够抑制依次描绘的各部分图像图案之间的位置偏移、能够描绘品质更高的图像图案的描绘装置及描绘方法。

[0005]

本发明的第1描绘方法，其特征在于：是对于描绘单元而言，相对性地移送放置工件的工作台，利用该描绘单元，在被所述工作台放置的工件上，依次描绘与所述工作台的对于该描绘单元而言的各移送方向位置对应的部分图像图案，从而在所述工件上描绘规定的图像图案的描绘方法，使用描绘位置变动量信息(该描绘位置变动量信息与所述工作台的移送方向位置对应地表示预先取得的表示所述工作台的移送过程中产生的对于所述描绘单元而言的所述工作台的位置变动的描绘位置变动量)，除去起因于用所述描绘单元在被所述工作台放置的所述工件上描绘图像图案之际的所述工作台的位置变动的描绘误差。

[0006]

本发明的第2描绘方法，其特征在于：是对于描绘单元而言，相对性地移送放置工件的工作台，利用所述描绘单元，在被所述工作台放置的工件上，依次描绘与所述工作台的对于该描绘单元而言的各移送方向位置对应的部分图像图案，从而在所述工件上描绘规定的图像图案的描绘方法，预先取得与所述工作台的移送方向位置对应地表示所述工作台的移送过程中产生的对于所述描绘单元而言的所述工作台的位置变动的描绘位置变动量；抵消根据所述描绘位置变动量信息取得的与所述工作台的各移送方向位置对应的描绘位置变动量部分地修正用所述描绘单元使用的用于描绘所述部分图像图案的图像数据后获得修正过的图像数据；用所述描绘单元描绘部分图像图案时，使用所述修正过的图像数据，描绘所述部分图像图案。

[0007]

本发明的第1描绘装置，其特征在于：是具备放置工件的工作台、向所述工作台上放置的工件进行描绘的描绘单元、对于所述描绘单元而言相对性地移送所述工作台的移送单元、取得表示对于所述描绘单元而言的所述工作台的移送方向位置的移送方向位置信息的移送方向位置信息取得单元、描绘控制单元(该描绘控制单元进行下述控制：一边利用所述移送单元对于所述描绘单元而言相对性地移送所述工作台，一边利用所述描绘单元向所述工作台上放置的工件依次描绘与所述移送方向位置信息取得单元取得的所述工作台的各移送方向位置对应的部分图像图案，从而在所述工件上描绘规定的图像图案)的描绘装置，具备描绘位置变动量存储单元(该描绘位置变动量存储单元存储预先取得的与所述工作台的移送方向位置对应地表示所述工作台在所述移送单元的作用下的移送过程中产生的对于所述描绘单元而言的所述工作台的位置变动的描绘位置变动量的描绘位置变动量信息)和图像数据修正单元(该图像数据修正单元抵消根据所述描绘位置变动量信息取得的与所述工作台的各移送方向位置对应的描绘位置变动量地修正所述描绘单元使用的用于描绘所述部分图像图案的图像数据)，所述描绘控制单元进行下述控制：在用所述描绘单元描绘所述部分图像图案时，使用所述图像数据修正单元对所述图像数据进行修正后获得的修正过图像数据，利用所述描绘单元，描绘所述部分图像图案。

[0008]

所述描绘位置变动量信息，能够表示所述移送方向的描绘位置变动量、与所述移送方向正交而且和移送平面平行的移送正交方向的描绘位置变动量以及绕与所述移送平面正交的移送平面正交方向的旋转方向的描绘位置变动量。

[0009]

所述第1描绘装置，其特征在于：具备测定所述描绘位置变动量的描绘位置变动量测定单元，用所述移送单元反复往复移送所述工作台之际，所述图像数据修正单元，使用一次以上以前的所述移送单元往复移送所述工作台时所述描绘位置变动量测定单元测定的描绘位置变动量，进行除去所述误差成分的运算。

[0010]

本发明的第3描绘方法，其特征在于：是对于描绘单元而言，相对性地移送放置工件的工作台，利用该描绘单元，在被所述工作台放置的工件上，依次描绘与所述工作台的对于该描绘单元而言的各移送方向位置对应的部分图像图案，从而在所述工件上描绘规定的图像图案的描绘方法，预先取得与所述工作台的移送方向位置对应地表示所述工作台的移送过程中产生的对于所述描绘单元而言的所述工作台的位置变动的描绘位置变动量信息；使所述工作台和所述描绘单元相对性地移动，以便在用所述描绘单元描绘部分图像图案时，抵消根据所述描绘位置变动量信息取得的与描绘所述部分图像图案时的所述工作台的移送方向位置对应的描绘位置变动量部分。

[0011]

本发明的第2描绘装置，其特征在于：是具备放置工件的工作台、

向所述工作台上放置的工件进行描绘的描绘单元、对于所述描绘单元而言相对性地移送所述工作台的移送单元、取得表示对于所述描绘单元而言的所述工作台的移送方向位置的移送方向位置信息的移送方向位置信息取得单元、描绘控制单元(该描绘控制单元进行下述控制：一边利用所述移送单元对于所述描绘单元而言相对性地移送所述工作台，一边利用所述描绘单元向所述工作台上放置的工件依次描绘与所述移送方向位置信息取得单元取得的所述工作台的各移送方向位置对应的部分图像图案，从而在所述工件上描绘规定的图像图案)的描绘装置，具备描绘位置变动量存储单元(该描绘位置变动量存储单元存储预先取得的与所述工作台的移送方向位置对应地表示所述工作台在所述移送单元的作用下的移送过程中产生的对于所述描绘单元而言的所述工作台的位置变动的描绘位置变动量的描绘位置变动量信息)，描绘修正用移动单元(该描绘修正用移动单元使所述工作台和所述描绘单元相对性地移动)，描绘修正用控制单元(该描绘修正用控制单元控制所述描绘修正用移动单元，以便在用所述描绘单元描绘部分图像图案时，使所述工作台和所述描绘单元相对性地移动，从而抵消根据所述描绘位置变动量信息取得的与描绘所述部分图像图案时的所述工作台的移动方向位置对应的描绘位置变动量)。

[0012]

所述描绘修正用控制单元，能够只使所述描绘单元移动。

[0013]

所述描绘修正用控制单元，能够只使所述工作台移动。

[0014]

所述描绘位置变动量信息，能够是表示所述移送方向的描绘位置变动量、与所述移送方向正交且与移送平面平行的移送正交方向的描绘位置变动量以及绕与所述移送平面正交的移送平面正交方向的旋转方向的描绘位置变动量的信息。

[0015]

本发明的第2描绘装置，其特征在于：具备测定所述描绘位置变动量的描绘位置变动量测定单元，能够在用所述移送单元反复往复移送所述工作台之际，所述描绘修正用控制单元使用一次以上以前的利用所述移动单元往复移送所述工作台时用所述描绘位置变动量测定单元测定的描绘位置变动量，控制所述描绘修正用移动单元。

[0016]

所述描绘位置变动量存储单元，能够每逢用所述移送单元往复移送所述工作台时，更新该描绘位置变动量存储单元存储的描绘位置变动量信息。

[0017]

所述第2描绘装置，其特征在于：具备测定所述描绘位置变动量的描绘位置变动量测定单元，能够在用所述移送单元在往路上移送所述工作台时，利用所述描绘位置变动量测定单元测定描绘位置变动量，在用所述移送单元在复路上移送所述工作台时，利用所述描绘单元进行描绘。

[0018]

所述第1描绘装置，其特征在于：具备测定所述描绘位置变动量的描绘位置变动量测定单元，能够在用所述移送单元在往路上移送所述工作台时，利用所述描绘位置变动量测定单元测定描绘位置变动量，在用所述移送单元在复路上移送所述工作台时，利用所述描绘单元进行描绘。

[0019]

本发明的第4描绘方法，其特征在于：是对于描绘单元而言，相对性地移送放置工件的工作台，利用所述描绘单元，在被所述工作台放置的工件上，依次描绘与所述工作台的对于该描绘单元而言的各移送方向位置对应的部分图像图案，从而在所述工件上描绘规定的图像图案的描绘方法，取得预先取得的、与所述工作台的移送方向位置对应地表示在所述工作台的移送过程中产生的对于所述描绘单元而言的所述工作台的位置变动的描绘位置变动量的描绘位置变动量信息及表示所述工件对于所述所述工作台而言的位置的工件位置信息的每一个，使用所述描绘位置变动量信息和工件位置信息，在所述工作台上放置的所述工件上的规定位置描绘图像图案。

[0020]

本发明的第3描绘装置，其特征在于：是具备放置工件的工作台、向所述工作台上放置的工件进行描绘的描绘单元、对于所述描绘单元而言相对性地移送所述工作台的移送单元、取得表示所述工作台对于所述描绘单元而言的移送方向位置的移送方向位置信息的描绘移送方向位置信息取得单元、描绘控制单元(该描绘控制单元进行下述控制：一边利用所述移送单元对于所述描绘单元而言相对性地移送所述工作台，一边利用所述描绘单元向所述工作台上放置的工件依次描绘与所述移送方向位置信息取得单元取得的所述工作台的各移送方向位置对应的部分图像图案，从而在所述工件上描绘规定的图像图案)的描绘装置，具备描绘位置变动量存储单元(该描绘位置变动量存储单元存储预先取得的、与所述工作台的移送方向位置对应地表示所述工作台在所述移送单元的作用下的移送过程中产生的对于所述描绘单元而言的所述工作台的位置变动的描绘位置变动量的描绘位置变动量信息)，工作台工件位置信息取得单元(该工作台工件位置信息取得单元取得表示对于所述工作台而言的所述工件的位置的工件位置信息)，位置变动抵消单元(该位置变动抵消单元使用所述描绘位置变动量信息和所述工件位置信息，进行下述控制：抵消所述移送单元移送所述工作台的过程中产生的对于所述描绘单元而言的所述工作台的相对性的位置变动后，在所述工件上描绘所述图像图案)；从而在所述工作台上放置的所述工件上的规定位置描绘图像图案。

[0021]

所述位置变动抵消单元，具备图像数据修正单元，该图像数据修正单元抵消从所述描绘位置变动量信息中取得的与所述工作台的各移动方向位置对应的描绘位置变动量部分地修正所述描绘单元使用的用于描绘所述部分图像图案时使用的图像数据；所述描绘控制单元，在用所述描绘单元描绘部分图像图案时，进行下述控制：使用所述图像数据修正单元对所述图像数据进行修正后获得的修正过的图像数据，使所述描绘单元描绘所述部分图像图案。

[0022]

所述描绘位置变动量信息，是表示所述移送方向的描绘位置变动量、与所述移送方向正交且与移送平面平行的移送正交方向的描绘位置变动量以及绕与所述移送平面正交的移送平面正交方向的旋转方向的描绘位置变动量的信息。

[0023]

所述的描绘装置，其特征在于：具备测定所述描绘位置变动量的描绘位置变动量测定单元，在用所述移送单元反复往复移送所述工作台之际，所述图像数据修正单元使用一次以上以前的利用所述移动单元往复移送所述工作台时用所述描绘位置变动量测定单元测定的描绘位置变动量，进行除去所述误差成分的运算。

[0024]

所述位置变动抵消单元，具备：描绘修正用移动单元，该描绘修正用移动单元使所述工作台和所述描绘单元相对性地移动；描绘修正用控制单元，该描绘修正用控制单元控制所述描绘修正用移动单元，以便在用所述描绘单元描绘部分图像图案时，使所述工作台和所述描绘单元相对性地移动，从而抵消根据所述描绘位置变动量信息取得的与描绘所述部分图像图案时的所述工作台的移动方向位置对应的描绘位置变动量。

[0025]

所述描绘修正用控制单元，能够只使所述描绘单元移动。

[0026]

所述描绘修正用控制单元，能够只使所述工作台移动。

[0027]

所述描绘位置变动量信息，能够是表示所述移送方向的描绘位置变动量、与所述移送方向正交且与移送平面平行的移送正交方向的描绘位置变动量以及绕与所述移送平面正交的移送平面正交方向的旋转方向的描绘位置变动量的信息。

[0028]

所述的描绘装置，其特征在于：具备测定所述描绘位置变动量的描绘位置变动量测定单元，能够在用所述移送单元反复往复移送所述工作台之际，所述描绘修正用控制单元使用一次以上以前的利用所述移动单元往复移送所述工作台时用所述描绘位置变动量测定单元测定的描绘位置变动量，控制所述描绘修正用移动单元。

[0029]

所述描绘位置变动量存储单元，能够每逢用所述移送单元往复移送所述工作台时，更新该描绘位置变动量存储单元存储的描绘位置变动量信息。

[0030]

所述描绘单元，具备测定所述描绘位置变动量的描绘位置变动量测定单元，能够在用所述移送单元在往路上移送所述工作台时，利用所述描绘位置变动量测定单元测定描绘位置变动量，在用所述移送单元在复路上移送所述工作台时，利用所述描绘单元进行描绘。

[0031]

所述工作台工件位置信息取得单元，能够具备：摄像单元，该摄像单元拍摄所述工作台上的状况；摄像移送方向位置信息取得单元，该摄像移送方向位置信息取得单元取得表示对于所述摄像单元而言的所述工作台的移送方向位置的移送方向位置信息；工件位置信息取得单元，该工件位置信息取得单元根据利用摄像单元在互不相同的时刻拍摄所述被相对性地移送的所述工作台设置的工作台基准标记及在该工作台上放置的工件上设置的工件基准标记后获得的工作台摄像信息及工件摄像信息，和所述摄像移送方向位置信息取得单元取得的所述工作台基准标记摄像时及所述工件基准标记摄像时的所述工作台的移送方向位置信息，取得表示对于所述工作台而言的所述工件的位置的信息；工件位置取得用存储单元，该工件位置取得用存储单元存储预先取得的、与所述工作台的移送方向位置信息对应地表示在所述工作台对于所述摄像单元而言的相对性地移送中产生的所述工作台的位置变动的摄像位置变动量的摄像位置变动量信息；工件位置取得用运算单元，该工件位置取得用运算单元使用与根据所述摄像位置变动量信息取得的拍摄所述工作台基准标记时的所述工作台的移送方向位置对应的摄像位置变动量和与根据所述摄像位置变动量信息取得的拍摄所述工件基准标记时的所述移送方向位置对应的摄像位置变动量，进行除去起因于各摄像位置变动量之间的差的所述工件位置信息包含的误差成分的运算。

[0032]

所述工件位置取得用运算单元，能够使用拍摄所述工作台基准标记时及拍摄所述工件基准标记时的所述摄像信息，进行求出所述误差成分的运算。

[0033]

所述描绘单元，其特征在于：具备测定所述摄像位置变动量的摄像位置变动量测定单元，能够在用所述移送单元反复往复移送所述工作台之际，所述工件位置取得用运算单元使用一次以上以前的利用所述移动单元往复移送所述工作台时用所述描绘位置变动量测定单元测定的描绘位置变动量，进行除去所述误差成分的运算。

[0034]

所述工作台工件位置信息取得单元，具备：摄像单元(该摄像单元拍摄所述工作台上的状况)，摄像移送方向位置信息取得单元(该摄像移送方向位置信息取得单元取得表示对于所述摄像单元而言的所述工作台的移送方向位置的移送方向位置信息)，工件位置信息取得单元(该工件位置信息取得单元根据利用摄像单元在互不相同的时刻拍摄所述被相对性地移送的所述工作台设置的工作台基准标记及在该工作台上放置的工件上设置的工件基准标记后获得的工作台摄像信息及工件摄像信息，和所述摄像移送方向位置信息取得单元取得的所述工作台基准标记摄像时及所述工件基准标记摄像时的所述工作台的移送方向位置信息，取得表示对于所述工作台而言的所述工件的位置的信息)，工件位置取得用存储单元(该工件位置取得用存储单元存储预先取得的、与所述工作台的移送方向位置信息对应地表示在所述工作台对于所述摄像单元而言的相对性地移送中产生的所述工作台的位置变动的摄像位置变动量的摄像位置变动量信息)，工件位置取得用移动单元(该工件位置取得用移动单元使所述工作台和所述摄像单元相对性地移动)，工件位置取得用控制单元(该工件位置取得用控制单元控制所述工件位置取得用移动单元，以便在拍摄所述工作台基准标记时，使所述工作台和所述摄像单元相对性地移动，抵消根据所述摄像位置变动量信息取得的拍摄所述工作台基准标记时的所述工作台的移送方向位置对应的摄像位置变动量部分，而且在拍摄所述工件基准标记时，使所述工作台和所述摄像单元相对性地移动，以便抵消根据所述摄像位置变动量信息取得的拍摄所述工件基准标记时的所述工作台的移送方向位置对应的摄像位置变动量部分)；使用所述工件位置信息取得单元取得的工件位置信息，成为除去了所述起因于所述工作台的位置变动的误差成分的数据。

[0035]

所述工件位置取得用控制单元，能够只使所述描绘单元移动。

[0036]

所述工件位置取得用控制单元，能够只使所述工作台移动。

[0037]

所述摄像位置变动量信息，能够是表示所述移送方向的摄像位置变动量、与所述移送方向正交且与移送平面平行的移送正交方向的摄像位置变动量以及与所述移送平面正交的移送平面正交方向的周围的旋转方向的摄像位置变动量的信息。

[0038]

所述描绘单元，具备测定所述摄像位置变动量的摄像位置变动量测定单元，能够在用所述移送单元反复往复移送所述工作台之际，所述工件位置取得用控制单元使用一次以上以前的利用所述移动单元往复移送所述工作台时用所述摄像位置变动量测定单元测定的摄像位置变动量，控制所述工件位置取得用移动单元。

[0039]

所述工件位置取得用存储单元，能够每逢用所述移送单元往复移送所述工作台时，更新该工件位置取得用存储单元存储的摄像位置变动量信息。

[0040]

所述描绘单元，具备测定所述摄像位置变动量的摄像位置变动量测定单元，能够在用所述移送单元在往路上移送所述工作台时，利用所述摄像位置变动量测定单元测定摄像位置变动量，在用所述移送单元在复路上移送所述工作台时，利用所述摄像单元拍摄所述工作台基准标记及所述工件基准标记。

[0041]

所述描绘单元，具备测定所述描绘位置变动量的描绘位置变动量测定单元和测定所述摄像位置变动量的摄像位置变动量测定单元，能够在用所述移送单元在往路上移送所述工作台时，利用所述摄像位置变动量测定单元测定摄像位置变动量，而且利用所述描绘位置变动量测定单元测定描绘位置变动量，同时还利用所述摄像单元拍摄所述工作台基准标记及所述工件基准标记；在用所述移送单元在复路上移送所述工作台时，利用所述描绘单元进行描绘。

[0042]

本发明人发现了例如环境的温度变化的影响等产生的被移送的工作台的位置变动，是利用上述描绘单元在工件上描绘的图像图案之间出现误差的主要原因的因果关系，从而产生了本发明。

[0043]

就是说，发现了在现有技术中，在利用描绘单元在被该工作台放置的工件上依次描绘与被移送的工作台的各移送方向位置对应的部分图像图案时，当作没有上述工作台的位置变动地进行描绘，但是上述工作台的位置变动却成为在工件上进行描绘之际出现误差的主要原因。就是说，发现了利用描绘单元描绘部分图像图案后，直到描绘下一个部分图像图案为止的工作台的位置变动，使各部分图像图案之间产生位置偏移的情况。

[0044]

采用本发明的第1描绘方法后，因为使用与工作台的移送方向位置对应地表示预先取得的表示工作台的移送过程中产生的对于描绘单元而言的工作台的位置变动的描绘位置变动量的描绘位置变动量信息，除去起因于用描绘单元在被工作台放置的工件上描绘图像图案之际的工作台的位置变动的描绘误差，所以能够抑制各部分图像图案之间的位置偏移，能够获得品质更高的图像图案。

[0045]

采用本发明的第2描绘方法及第1描绘装置后，因为预先取得与工作台的移送方向位置对应地表示在工作台的移送过程中产生的对于描绘单元而言的工作台的位置变动的描绘位置变动量，抵消根据描绘位置变动量信息取得的与所述工作台的各移送方向位置对应的描绘位置变动量地修正描绘单元使用的用于描绘部分图像图案的图像数据后，获得修正过的图像数据，在用描绘单元描绘部分图像图案时，使用修正过的图像数据，描绘所述部分图像图案，所以能够抑制各部分图像图案之间的位置偏移，能够获得品质更高的图像图案。

[0046]

采用本发明的第3描绘方法及第2描绘装置后，因为预先取得与工作台的移送方向位置对应地表示在工作台的移送过程中产生的对于描绘单元而言的工作台的位置变动的描绘位置变动量，在用描绘单元描绘部分图像图案时，使工作台和描绘单元相对性地移动，从而抵消根据描绘位置变动量信息取得的与描绘部分图像图案时的工作台的移送方向位置对应的描绘位置变动量，所以能够更加正确地进行对于描绘单元而言的工作台的相对性的移送，能够抑制各部分图像图案之间的位置偏移，能够获得品质更高的图像图案。

[0047]

另外，如果使所述描绘位置变动量信息，表示移送方向的描绘位置变动量、与移送方向正交且与移送平面平行的移送正交方向的描绘位置变动量以及与移送平面正交的移送平面正交方向的周围的旋转方向的描绘位置变动量的信息，那么就能够更加切实地抑制各部分图像图案之间的位置偏移，能够获得品质更高的图像图案。

[0048]

采用本发明的第4描绘方法后，因为取得预先取得的、与工作台的移送方向位置对应地表示在工作台的移送过程中产生的对于描绘单元而言的工作台的位置变动的描绘位置变动量的描绘位置变动量信息及表示工件对于工作台而言的位置的工件位置信息的每一个，使用描绘位置变动量信息和工件位置信息，在工作台上放置的工件上的规定位置描绘图像图案，所以能够抑制各部分图像图案之间的位置偏移，而且能够更加正确地取得工件对于工作台而言的位置，能够根据在工作台上放置的工件上的规定位置更加正确地描绘图像图案。这样，能够描绘品质更高的图像图案。

[0049]

采用本发明的第3描绘装置后，因为具备描绘位置变动量存储单元(该描绘位置变动量存储单元存储预先取得的、与工作台的移送方向位置对应地表示工作台在移送单元的作用下的移送过程中产生的对于描绘单元而言的工作台的位置变动的描绘位置变动量的描绘位置变动量信息)、工作台工件位置信息取得单元(该工作台工件位置信息取得单元取得表示对于工作台而言的工件的位置的工件位置信息)、位置变动抵消单元(该位置变动抵消单元使用描绘位置变动量信息和工件位置信息，进行下述控制：抵消移送单元移送工作台的过程中产生的对于描绘单元而言的工作台的相对性的位置变动后，在工件上描绘图像图案)，在工作台上放置的工件上的规定位置描绘图像图案，所以能够抑制各部分图像图案之间的位置偏移，而且能够更加正确地取得工件对于工作台而言的位置，能够根据在工作台上放置的工件上的规定位置更加正确地描绘图像图案。这样，能够描绘品质更高的图像图案。

[0050]

另外，如果使位置变动抵消单元具备图像数据修正单元(该图像数据修正单元抵消从描绘位置变动量信息中取得的与工作台的各移动方向位置对应的描绘位置变动量部分地修正描绘单元使用的用于描绘所述部分图像图案时使用的图像数据)，描绘控制单元在用所述描绘单元描绘部分图像图案时，进行下述控制：使用所述图像数据修正单元对所述图像数据进行修正后获得的修正过的图像数据，使所述描绘单元描绘所述部分图像图案，那么就能够更切实地抑制各部分图像图案之间的位置偏移，而且能够更切实地取得对于工作台而言的工件的更正确的位置。这样，能够描绘品质更高的图像图案。

[0051]

另外，如果使位置变动抵消单元具备描绘修正用移动单元(该描绘修正用移动单元使工作台和描绘单元相对性地移动)和描绘修正用控制单元(该描绘修正用控制单元控制描绘修正用移动单元，以便在用描绘单元描绘部分图像图案时，使工作台和描绘单元相对性地移动，从而抵消根据描绘位置变动量信息取得的与描绘部分图像图案时的所述工作台的移动方向位置对应的描绘位置变动量)，那么就能够更切实地抑制各部分图像图案之间的位置偏移，而且能够更切实地取得对于工作台而言的工件的更正确的位置。这样，能够描绘品质更高的图像图案。

[0052]

另外，如果使工作台工件位置信息取得单元具备摄像单元(该摄像单元拍摄工作台上的状况)、摄像移送方向位置信息取得单元(该摄像移送方向位置信息取得单元取得表示对于摄像单元而言的工作台的移送方向位置的移送方向位置信息)、工件位置信息取得单元(该工件位置信息取得单元根据利用摄像单元在互不相同的时刻拍摄所述被相对性地移送的工作台设置的工作台基准标记及在该工作台上放置的工件上设置的工件基准标记后获得的工作台摄像信息及工件摄像信息，和摄像移送方向位置信息取得单元取得的工作台基准标记摄像时及工件基准标记摄像时的工作台的移送方向位置信息，取得表示对于工作台而言的工件的位置的信息)、工件位置取得用存储单元(该工件位置取得用存储单元存储预先取得的、与工作台的移送方向位置信息对应地表示在工作台对于摄像单元而言的相对性地移送中产生的工作台的位置变动的摄像位置变动量的摄像位置变动量信息)、工件位置取得用运算单元(该工件位置取得用运算单元使用与根据摄像位置变动量信息取得的拍摄工作台基准标记时的工作台的移送方向位置对应的摄像位置变动量和与根据摄像位置变动量信息取得的拍摄工件基准标记时的移送方向位置对应的摄像位置变动量，进行除去起因于各摄像位置变动量之间的差的工件位置信息包含的误差成分的运算)，那么就能够更切实地抑制各部分图像图案之间的位置偏移，而且能够更切实地取得对于工作台而言的工件的更正确的位置。这样，能够描绘品质更高的图像图案。

[0053]

另外，如果使工作台工件位置信息取得单元，具备摄像单元(该摄像单元拍摄所述工作台上的状况)、摄像移送方向位置信息取得单元(该摄像移送方向位置信息取得单元取得表示对于摄像单元而言的工作台的移送方向位置的移送方向位置信息)、工件位置信息取得单元(该工件位置信息取得单元根据利用摄像单元在互不相同的时刻拍摄被相对性地移送的工作台设置的工作台基准标记及在该工作台上放置的工件上设置的工件基准标记后获得的工作台摄像信息及工件摄像信息，和摄像移送方向位置信息取得单元取得的工作台基准标记摄像时及工件基准标记摄像时的工作台的移送方向位置信息，取得表示对于工作台而言的工件的位置的信息)、工件位置取得用存储单元(该工件位置取得用存储单元存储预先取得的、与工作台的移送方向位置信息对应地表示在工作台对于摄像单元而言的相对性地移送中产生的所述工作台的位置变动的摄像位置变动量的摄像位置变动量信息)、工件位置取得用移动单元(该工件位置取得用移动单元使工作台和摄像单元相对性地移动)、工件位置取得用控制单元(该工件位置取得用控制单元控制工件位置取得用移动单元，以便在拍摄工作台基准标记时，使工作台和摄像单元相对性地移动，抵消根据摄像位置变动量信息取得的拍摄工作台基准标记时的工作台的移送方向位置对应的摄像位置变动量部分，而且在拍摄工件基准标记时，使工作台和摄像单元相对性地移动，以便抵消根据摄像位置变动量信息取得的拍摄工件基准标记时的工作台的移送方向位置对应的摄像位置变动量部分)，使用工件位置信息取得单元取得的工件位置信息，成为除去了起因于工作台的位置变动的误差成分的数据，那么就能够更切实地抑制各部分图像图案之间的位置偏移，而且能够更切实地取得对于工作台而言的工件的更正确的位置。这样，能够描绘品质更高的图像图案。

附图说明

[0054]

图1是表示本发明的实施方式涉及的描绘装置的简要结构的图形。

图2A1是表示移送方向位置被读取为p1时不产生位置变动的工作台的位置的图形。

图2A2是表示移送方向位置被读取为p2时不产生位置变动的工作台的位置的图形。

图2A3是表示移送方向位置被读取为p3时不产生位置变动的工作台的位置的图形。

图2A4是表示移送方向位置被读取为p4时不产生位置变动的工作台的位置的图形。

图2A5是表示移送方向位置被读取为pe时不产生位置变动的工作台的位置的图形。

图2B1是表示在不产生位置变动的状态下移送方向位置被读取为p1时的摄像部的视野的图形。

图2B2是表示在不产生位置变动的状态下移送方向位置被读取为p2时的摄像部的视野的图形。

图2B3是表示在不产生位置变动的状态下移送方向位置被读取为p3时的摄像部的视野的图形。

图2B4是表示在不产生位置变动的状态下移送方向位置被读取为p4时的摄像部的视野的图形。

图2B5是表示在不产生位置变动的状态下移送方向位置被读取为pe时的摄像部的视野的图形。

图3A1是表示移送方向位置被读取为p1时产生了位置变动的工作台的位置的图形。

图3A2是表示移送方向位置被读取为p2时产生了位置变动的工作台的位置的图形。

图3A3是表示移送方向位置被读取为p3时产生了位置变动的工作台的位置的图形。

图3A4是表示移送方向位置被读取为p4时产生了位置变动的工作台的位置的图形。

图3A5是表示移送方向位置被读取为pe时产生了位置变动的工作台的位置的图形。

图3B1是表示在产生了位置变动的状态下移送方向位置被读取为p1时的摄像部的视野的图形。

图3B2是表示在产生了位置变动的状态下移送方向位置被读取为p2时的摄像部的视野的图形。

图3B3是表示在产生了位置变动的状态下移送方向位置被读取为p3时的摄像部的视野的图形。

图3B4是表示在产生了位置变动的状态下移送方向位置被读取为p4时的摄像部的视野的图形。

图3B5是表示在产生了位置变动的状态下移送方向位置被读取为pe时的摄像部的视野的图形。

图4A是表示对于与工作台的移送方向位置p而言的摄像位置变动量δx的变化的图形。

图4B是表示对于与工作台的移送方向位置p而言的摄像位置变动量δy的变化的图形。

图4C是表示对于与工作台的移送方向位置p而言的摄像位置变动量δθ的变化的图形。

图5是表示修正旋转方向的位置变动的手法的图形。

图6是表示在工作台上正确描绘了各部分图像图案的状态的图形。

图7A是表示对于与工作台的移送方向位置p而言的摄像位置变动量δx的变化的图形。

图7B是表示对于与工作台的移送方向位置p而言的摄像位置变动量δy的变化的图形。

图7C是表示对于与工作台的移送方向位置p而言的摄像位置变动量δθ的变化的图形。

图8是表示不修正位置变动地描绘了各部分图像图案的状态的图形。

图9A是表示第2描绘修正用移动部的玻璃基板成为水平的状态的图形。

图9B是表示第2描绘修正用移动部的玻璃基板成为倾斜的状态的图形。

图10是表示在从工作台上的规定的位置偏移后配置的工件上的对该工件而言是正确的位置上描绘了各部分图像图案的样态的图形。

图11是表示使用多个描绘头在工件上进行描绘的样态的图形。

图12是表示描绘头的结构的图形。

图13是表示DMD复位信号的生成过程的图形。

具体实施方式

[0055]

下面，讲述实施本发明的描绘方法的描绘装置的实施方式。图1是表示本发明的实施方式涉及的描绘装置的简要结构的图形。图2是表示在位置不变动的状态下，利用后文讲述的工件位置信息取得装置拍摄基准标记的样态的图形；图3是表示在位置变动的状态下，利用工件位置信息取得装置拍摄基准标记的样态的图形；图4是与工作台的移送方向位置对应地表示工作台的位置变动的图形；图5是表示修正旋转方向的位置变动的手法的图形。

[0056]

采用本实施方式的描绘装置100，虽然与工件位置信息取得装置200不同，但是它们互相兼用一部分地构成。

[0057]

另外，在以下的实施方式中，表示出位置变动抵消单元的各种样态，但是这些样态不与位置变动抵消单元的名称对应，只表示构成位置变动抵消单元的构成要素。另外，在本实施方式中，描绘移送方向位置信息取得单元，兼作摄像移送方向位置信息取得单元，作为移送方向位置信息取得单元，(线性编码器72)记述。

[0058]

[描绘装置100的简要结构的说明]

下面，讲述描绘装置100的简要结构。

[0059]

描绘装置100具备：放置工件12的工作台14；向放置在工作台14上的工件12进行描绘的描绘单元30；对于描绘单元30而言，相对性地移送工作台14的移送部20；取得表示对于描绘单元30而言的工作台14的移送方向位置(图中Y方向的位置)的移送方向位置信息的移送方向位置信息取得部——线性编码器72；利用移送部20对于描绘单元30而言相对性地移送工作台，利用描绘单元30在被工作台14放置的工件12上依次描绘与线性编码器72取得的各移送方向位置对应的部分图像图案，从而在工件12上描绘规定的图像图案地进行控制的描绘控制部28；存储在描绘控制部28的控制下描绘图像图案时使用的原图像数据Go的存储器76。

[0060]

此外，作为工件12，可以使用为了制造印刷布线基板、显示器用的玻璃基板、彩色滤波器用的玻璃基板而在基材上涂敷了感光材料的工件等。

[0061]

另外，线性编码器72，由在设置台18上设置的线性刻度尺72A和在后文讲述的移送部20的支持台20B上配置的读取部72B构成，输出表示工作台14的移送方向位置的位置信号(图中用记号p或q表示)。

[0062]

另外，移送部20具有引导工作台14的导向装置20A、支持工作台14的支持台20B、驱动支持台20B的驱动部20C。用移送部20移送工作台14时，该工作台14产生位置变动，该位置变动具有反复再现性。

[0063]

此外，上述驱动机构的结构虽然被省略了，但是作为这些驱动机构，可以使用早已被人们熟知的驱动机构，例如作为滑动机构可以采用使移动台在轨道上移动的滚动轨道系统或空气滑动系统等，作为驱动力传递机构可以采用凸轮机构、连杆机构、齿条齿轮机构、滚珠丝杠·滚珠套管机构、空气滑动机构或活塞汽缸机构等。另外，作为驱动源，可以采用电动机、液压促动器、空压促动器等。

[0064]

另外，关于描绘单元30的详细结构，将在后文讲述。

[0065]

该描绘装置100，进而具备描绘位置变动量存储部74，该描绘位置变动量存储部74存储描绘位置变动量信息Hb，该描绘位置变动量信息Hb与工作台14的移送方向位置(p)对应地表示预先取得的、表示在被移送部20移送的过程中产生与描绘单元30相对而言的工作台14的相对性的位置变动的描绘位置变动量；图像数据修正部78，该图像数据修正部78抵消根据上述描绘位置变动量存储部74存储的描绘位置变动量信息Hb取得的与上述位置信号表示的移送方向位置(p)对应的描绘位置变动量地修正图像数据存储器76存储的原图像数据Go。使用图像数据修正部78修正原图像数据Go后获得的修正过的图像数据G1，利用描绘单元30描绘部分图像图案。

[0066]

进而，上述描绘装置100还具备：第1描绘修正用移动部82A及第2描绘修正用移动部82B，前者使工作台14和描绘单元30相对性地移动，后者则使工作台14和描绘单元30射出的描绘束相对性地移动；描绘修正用控制部84，该描绘修正用控制部84控制上述第1描绘修正用移动部82A、第2描绘修正用移动部82B，以便使工作台14和描绘单元30相对性地移动，从而在描绘单元30描绘部分图像图案时，抵消与根据上述描绘位置变动量存储部74存储的描绘位置变动量信息Hb取得的描绘部分图像图案时的工作台14的移送方向位置(p)对应的描绘位置变动量。这样，能够一边抵消描绘位置变动量地使工作台14和描绘单元30相对性地移动，以便利用描绘单元30描绘部分图像图案。

[0067]

此外，描绘修正用控制部84使用的工作台14的移送方向位置(p)，能够从线性编码器72中取得。

[0068]

另外，第1描绘修正用移动部82A，是配置在移送部20的支持台20B之上，支持工作台14的部件，是使移送部20和支持台20B的相对位置移动的部件。第2描绘修正用移动部82B，是描绘单元30的使从描绘头射出的描绘束的位置移动的部件。此外，描绘单元既可以单指从描绘头射出的描绘束，也可以指描绘头和从描绘头射出的描绘束的两者。关于第2描绘修正用移动部82B的详细结构，将在后文讲述。

[0069]

[关于抵消描绘位置变动量的方向]

作为表示在被移送部20移送的过程中产生的与描绘单元30相对而言的工作台14的相对性的位置变动的描绘位置变动量，可以列举移送方向(图中Y方向)的描绘位置变动量δ y，与移送方向正交且与移送平面(图中X-Y平面)平行的移送正交方向(图中箭头X的方向)的描绘位置变动量δx，以及绕与移送平面正交的移送平面正交方向(图中箭头Z的方向)的旋转方向(图中用箭头θ表示)描绘位置变动量δθ，进而由横摇、俯仰、移送平面正交方向(图中箭头Z的方向)产生的描绘位置变动量等。

[0070]

作为描绘位置变动量信息Hb被上述描绘位置变动量存储部74存储的描绘位置变动量的种类、被图像数据修正部78抵消的描绘位置变动量的种类或在第1描绘修正用移动部82A、第2描绘修正用移动部82B的描绘修正用控制部84的控制下抵消的描绘位置变动量的种类，可以采用上述各种描绘位置变动量中的全部或部分。

[0071]

此外，描绘位置变动量δθ，可以作为绕通过工作台面内的中心位置的移送平面正交方向(图中箭头Z的方向)轴的旋转角度。

[0072]

另外，移送方向(图中Y方向)的位置变动，是例如线性编码器72的线性刻度尺72A由于温度变化及老化而变形等，该线性编码器72输出的位置信号从真值偏移后产生的现象。这时，即使在单位时间中将工作台14移送相同的距离地进行控制，如果不实施修正地将线性刻度尺72A作为基准地移送工作台，也不能够正确地在单位时间中移送相同的距离。

[0073]

另外，绕移送平面正交方向轴的旋转方向的描绘位置变动量δθ，因为能够分为移送方向的描绘位置变动量δy的成分和移送正交方向的描绘位置变动量δx，所以使用将描绘位置变动量δθ分为描绘位置变动量δy和描绘位置变动量δx等2种描绘位置变动量δx、δy，也能够获得和3种描绘位置变动量δx、δy、δθ的抵消同等的效果。

[0074]

另外，抵消描绘位置变动量δx、δy、δθ时，作为第1描绘修正用移动部82A，可以采用能够对准上述x、y、θ方向的对准载物台(公称型号：CMX，THK公司制)等。进而，抵消多种描绘位置变动量时，可以组合多个上述对准载物台或者组合使用了早已广为人知的压电元件等的移动单元构成第1描绘修正用移动部82A。另外，作为描绘修正用移动部82B，也能够使用采用了和上述同样的构成要素的部件。

[0075]

[工件位置信息取得装置200的结构]

下面，讲述工件位置信息取得装置200的结构。此外，对于已经讲述过的构成上述描绘装置100的构成要素，使用相同的参照符号。

[0076]

工件位置信息取得装置200，具备：放置工件12的工作台14；拍摄工作台14上的样态的摄像部226；对于摄像部226而言，相对性地移送工作台14的移送部20；取得表示对于摄像部226而言的工作台14的移送方向位置(p)的移送方向位置信息的移送方向位置信息取得部——线性编码器72；工件位置信息取得部230，该工件位置信息取得部230根据摄像部226在互不相同的时刻拍摄被相对性地移送的工作台14上设置的工作台基准标记214及被工作台14放置的工件上设置的工件基准标记212后获得的工作台摄像信息及工件摄像信息，和线性编码器72取得的表示工作台基准标记摄像时及工件基准标记摄像时的工作台14的移送方向位置信息的移送方向位置(p)，取得表示工件12对于工作台14而言的位置的工件位置信息Jw。

[0077]

进而，上述工件位置信息取得装置200，还具备工件位置取得用存储部232，该工件位置取得用存储部232存储摄像位置变动量信息Hs，该摄像位置变动量信息Hs与工作台14的移送方向位置(p)对应地表示预先取得的、表示在与摄像部226相对而言的工作台14的相对性的移送的过程中产生的工作台14的位置变动的摄像位置变动量δ；

工件位置取得用运算部234，该工件位置取得用运算部234使用从摄像位置变动量信息Hs中取得的拍摄工作台基准标记时与线性编码器72获得的工作台的移送方向位置(p)对应的摄像位置变动量δ和从摄像位置变动量信息Hs中取得的拍摄工件基准标记时与线性编码器72获得的工作台的移送方向位置(p)对应的摄像位置变动量δ，进行抵消被起因于各摄像位置变动量之间的差的工件位置信息包含的误差成分的运算。这样，能够获得除去用工件位置信息取得部230取得的工件位置信息Jw包含的起因于工作台14的位置变动的误差成分后的修正过的工件位置信息JJw。

[0078]

此外，工件位置取得用运算部234，具有摄像位置变动量信息取得部234A和误差抵消运算部234B。前者在拍摄工作台基准标记时，根据摄像位置变动量信息Hs，取得与线性编码器72获得的工作台14的移送方向位置(p)对应的摄像位置变动量δ；而在拍摄工件基准标记时，则根据摄像位置变动量信息Hs，取得与线性编码器72获得的工作台14的移送方向位置(p)对应的摄像位置变动量δ。后者进行抵消工件位置信息包含的起因于各摄像位置变动量之间的差的误差成分的运算。

[0079]

进而，上述工件位置信息取得装置200还具备：使工作台和摄像部相对性地移动的工件位置取得用移动部——第1工件位置取得用移动部238A和第2工件位置取得用移动部238B，和工件位置取得用控制部242。该工件位置取得用控制部242控制第1工件位置取得用移动部238A和第2工件位置取得用移动部238B，以便在拍摄工作台基准标记时，使工作台14和摄像部226相对性地移动，从而抵消与根据摄像位置变动量信息Hs取得的工作台基准标记摄像时的工作台14的移送方向位置(p)对应的摄像位置变动量，而且在拍摄工件基准标记时，使工作台14和摄像部226相对性地移动，从而抵消与根据摄像位置变动量信息Hs取得的工件基准标记摄像时的工作台14的移送方向位置(p)对应的摄像位置变动量。这样，能够使工件位置信息取得部230取得的工件位置信息Jw成为除去起因于工作台14的位置变动的误差成分的数据。就是说，能够由工件位置信息取得部230获得修正过的工件位置装置JJw，并且输出该信息。

[0080]

上述修正过的工件位置装置JJw，被传输给修正过的工件位置信息存储部244后存储。

[0081]

[抵消摄像位置变动量的方向]

和在上述描绘装置100中讲述的情况同样，作为表示在移送部20的作用下的移送中产生的相对于摄像部226而言的工作台14的位置变动的摄像位置变动量，能够列举各种方向中的位置变动量。

[0082]

在上述工件位置取得用存储部232中，作为被摄像位置变动量信息存储的摄像位置变动量的种类、被工件位置取得用运算部234除去的摄像位置变动量的种类或作为在第1工件位置取得用移动部238A、第2工件位置取得用移动部238B的工件位置取得用控制部242的控制下被抵消的摄像位置变动量的种类，可以采用作为描绘位置变动量讲述过的上述各种位置变动量中的全部或部分。

[0083]

此外，摄像位置变动量δθ，可以作为绕通过工作台面内的中心位置的移送平面正交方向(图中箭头Z方向)轴的旋转角度

[0084]

另外，绕移送平面正交方向轴的旋转方向的摄像位置变动量δθ，因为能够分为移送方向的摄像位置变动量δy的成分和移送正交方向的摄像位置变动量δx，所以使用将摄像位置变动量δθ分为摄像位置变动量δy和摄像位置变动量δx等2种摄像位置变动量δx、δy后抵消位置变动，也能够获得和使用3种摄像位置变动量δx、δy、δθ后抵消位置变动时同等的效果。

[0085]

另外，抵消摄像位置变动量δx、δy、δθ时，作为第1工件位置取得用移动部238A，可以采用上述的对准载物台(公称型号：CMX，THK公司制)等。进而，抵消多种描绘位置变动量时，可以组合多个上述对准载物台或者组合使用了早已广为人知的压电元件等的移动单元构成第1工件位置取得用移动部238A。另外，作为第2工件位置取得用移动部238B，也能够使用采用了和上述同样的构成要素的部件。

[0086]

此外，第1工件位置取得用移动部238A，还可以作为和第1描绘修正用移动部82A共同的部件。

[0087]

[工件位置信息取得装置200的作用]

接着，讲述工件位置信息取得装置200的作用。图2A1～图2A5是表示不产生位置变动地移送工作台、拍摄各基准标记的情况的图形，图2B1～图2B5是表示这时的摄像部的视野的图形。另外，图3A1～图3A5是表示产生位置变动地移送工作台、不修正上述位置变动地拍摄各基准标记的情况的图形，图3B1～图3B5是表示这时的摄像部的视野的图形。此外，在以后的讲述中，还将工作台摄像信息及工件摄像信息简称为“摄像信息”。

[0088]

首先，讲述在用移送部20移送工作台14时不产生工作台14的位置变动的情况下，取得对于工作台14而言的工件12的位置的作用。此外，工作台14的位置变动，还包含线性编码器72读取的移送方向位置(p)的误差。

[0089]

如图2A1所示，工作台14位于初始位置时，线性编码器72读取的移送方向位置是p1。另外，工作台14位于初始位置时，如图2B1所示，在摄像部226的视野中什么也看不到。

[0090]

接着，如图2A2所示，工作台14被移送部20移送，线性编码器72读取的移送方向位置成为p2时，摄像部226拍摄工作台基准标记214中的一个——工作台基准标记214A，取得图2B2所示摄像信息S(p2)。

[0091]

再接着，如图2A3所示，工作台14被移送部20移送，线性编码器72读取的移送方向位置成为p3时，摄像部226拍摄工件基准标记212中的一个——工件基准标记212A，取得图2B3所示摄像信息S(p3)。

[0092]

进而，如图2A4所示，工作台14被移送部20移送，线性编码器72读取的移送方向位置成为p4时，摄像部226拍摄工件基准标记212中的一个——工件基准标记212C，取得图2B4所示摄像信息S(p4)。

[0093]

最后，如图2A5所示，工作台14被移送到移送部20的终端为止后，线性编码器72读取的移送方向位置成为pe。另外，工作台14位于终端位置时，如图2B5所示，在摄像部226的视野中什么也看不到。

[0094]

根据线性编码器72读取的移送方向位置成为p2时拍摄的摄像信息S(p2)，工作台基准标记214A位于摄像部226的视野中心的基准位置Q。

[0095]

另外，根据线性编码器72读取的移送方向位置成为p3时拍摄的摄像信息S(p3)，工件基准标记212A从摄像部226的基准位置Q向X方向偏移x3、向Y方向偏移y3。

[0096]

另外，根据线性编码器72读取的移送方向位置成为p4时拍摄的摄像信息S(p4)，工件基准标记212C从摄像部226的基准位置Q向X方向偏移x4、向Y方向偏移y4。

[0097]

这样，在Y方向中，从工作台基准标记214A到工件基准标记212A为止的距离LY3，能够利用公式LY3＝(p3-p2)-y3求出。在X方向中，从工作台基准标记214A到工件基准标记212A为止的距离LX3，能够利用公式LX3＝x3求出。

[0098]

另外，在Y方向中，从工作台基准标记214A到工件基准标记212C为止的距离LY4，能够利用公式LY4＝(p4-p3)-y4求出。在X方向中，从工作台基准标记214A到工件基准标记212C为止的距离LX4，能够利用公式LX4＝x4求出。

[0099]

在移送部20移送工作台14时不产生工作台14的位置变动的情况下，如上所述，能够求出工件12对于工作台14而言的位置。

[0100]

在这里，在移送部20移送工作台14时产生工作台14的位置变动的情况下，能够通过和上述同样的动作，获得例如以下那种包含位置变动的误差的摄像信息。

就是说，在线性编码器72读取的移送方向位置成为p2时拍摄的摄像信息S(p2)’中，工作台基准标记214A从摄像部226的基准位置Q偏移γ2。

[0101]

另外，在线性编码器72读取的移送方向位置成为p3时拍摄的摄像信息S(p3)’中，工作台基准标记214A从摄像部226的基准位置Q向X方向偏移x3、向Y方向偏移y3，进而偏移γ3。

[0102]

另外，在线性编码器72读取的移送方向位置成为p4时拍摄的摄像信息S(p4)’中，工作台基准标记214C从摄像部226的基准位置Q向X方向偏移x4、向Y方向偏移y4，进而偏移γ4。

[0103]

上述位置偏移γ2、γ3、γ4，是在移送方向位置成为p2、p3、p4的情况下分别拍摄时，因为上述工作台14的位置变动量不同而产生的结果。

[0104]

另一方面，预先测定取得的、被工件位置取得用存储部232存储的摄像位置变动量信息，是表示与线性编码器72取得的工作台14的移送方向位置(p)对应，该工作台14的X方向、Y方向及θ方向各自的位置变动量。

[0105]

[位置变动量的测定]

作为上述摄像位置变动量信息被工件位置取得用存储部232存储的摄像位置变动量的摄像位置变动量测定单元进行的测定，以及作为描绘位置变动量信息被描绘位置变动量存储部74存储的描绘位置变动量的描绘位置变动量测定单元进行的测定，可以按照下述方法进行。

[0106]

就是说，在工作台14上的X方向的两侧，分别各配置一根向移送方向(Y方向)延伸的基准刻度尺后，能够一边利用移送部20移送工作台14，一边根据使摄像部226读取的上述2根基准刻度尺的刻度的值与线性编码器72取得的移送方向位置(p)对应后取得的数据，取得与上述移送方向位置(p)对应的X方向的位置变动量、Y方向的位置变动量及θ方向的位置变动量。

[0107]

另外，上述位置变动量的测定，还能够采用使用激光测长器的方式。就是说，在工作台14上的X方向的两侧，分别各配置一个角形棱镜后，能够一边利用移送部20移送工作台14，一边与线性编码器72取得的移送方向位置(p)对应地取得将一个角形棱镜作为激光测长器的目标进行测长后获得的值后，再与线性编码器72取得的移送方向位置(p)对应地取得将另一个角形棱镜作为激光测长器的目标进行测长后获得的值，根据这2种位置信息，取得与上述移送方向位置(p)对应的X方向的位置变动量、Y方向的位置变动量及θ方向的位置变动量。

[0108]

上述位置变动量的测定，能够在描绘装置中的描绘位置变动量的测定及工件位置信息取得装置中的摄像位置变动量信息中采用。

[0109]

此外，作为描绘装置中的描绘位置变动量的测定手法，将放置工件的工作台14向着描绘单元30移送，一边使其与线性编码器72取得的移送方向位置(p)对应一边，利用上述描绘单元30在所述工件上描绘多个测试图案图像。根据在所述工件上描绘的多个测试图案图像的描绘状态，与所述移送方向位置(p)对应地取得所述工作台14，的位置变动量，从而能够取得与所述移送方向位置(p)对应的X方向的位置变动量、Y方向的位置变动量及θ方向的位置变动量。

[0110]

采用上述手法获得的表示摄像位置变动量信息的摄像位置变动量δ，如图4A、B、C所示，是表示与用线性编码器72取得的工作台14的移送方向位置(p)对应的X方向的摄像位置变动量δx、Y方向的摄像位置变动量δy及θ方向的摄像位置变动量δθ。因此可知：位置偏移γ2工作台14在移送方向位置(p)中，只向X方向位置变动位置变动量xp2、向Y方向位置变动位置变动量yp2、向θ方向位置变动位置变动量θp2。用函数的形式表示这种关系后，可以表述为γ2＝Fp2(xp2、yp2、θp2)。同样，可以表述为γ3＝Fp3(xp3、yp3、θp3)。

[0111]

此外，还可以将上述θ成分分为X成分及Y成分，例如用XY2方向成分表示的γ2＝Fp2(xp2’、yp2’)的形式的函数表示，用于误差成分的抵消。

为了求出与工作台14对应的工件的位置，可以在不包含上述位置变动的状态、即返回产生位置偏移γ2、γ3、γ4之前的图3的摄像信息S(p2)、摄像信息S(p3)、摄像信息S(p4)的状态后，采用上述手法，求出图4的包含在上述移送部20的移送下工作台14的位置变动的摄像信息S(p2)’、摄像信息S(p3)’、摄像信息S(p4)’。

[0112]

为了修正上述位置变动后取得对于工作台14而言的工件12的正确的位置，该工件位置信息取得装置200具备数据修正方式和机械修正方式等两种方式。此外，这些手法还能够应用于工件12变形、基准标记位置从工件上的规定位置偏移时取得对于工作台基本标记而言的工件基本标记的位置。

[0113]

[数据修正方式]

首先，讲述数据修正方式。

[0114]

摄像位置变动量信息取得部234A，在拍摄工作台基准标记时，从工件位置取得用存储部232预先存储的摄像位置变动量信息Hs(参照图4)中取得与线性编码器72读取的工作台14的移送方向位置p2对应的摄像位置变动量δ2＝xp2、yp2、θp2。进而，摄像位置变动量信息取得部234A，还从摄像位置变动量信息Hs中取得与线性编码器72读取的工作台14的移送方向位置p3对应的摄像位置变动量δ3＝xp3、yp3、θp3及与移送方向位置p4对应的摄像位置变动量δ4＝xp4、yp4、θp4。

[0115]

接着，误差抵消运算部234B使用上述各摄像位置变动量δ2、δ3、δ4，除去与工件位置信息取得部230取得的各移送方向位置p2、p3、p4对应的工件位置信息包含的误差成分。

[0116]

为了除去上述工件位置信息Jw包含的误差成分，例如可以如上所述，在修正图3B2、B3、B4所示的工件位置信息包含的误差成分——位置偏移γ2、γ3、γ4，返回不包含图2B2、B3、B4所示的误差成分的状态后，如上所述，取得工件12对于工作台14而言的位置。

[0117]

下面，讲述修正所述位置偏移量后返回不包含图2B2、B3、B4所示的误差成分的状态的手法。例如从上述位置偏移量——γ2中除去摄像位置变动量δ2(xp2、yp2、θp2)中的X成分(xp2)及Y成分(yp2)时，可以单纯地原封不动地减去。

[0118]

除去上述摄像位置变动量δ2(xp2、yp2、θp2)中的θ成分时，最好使用以下的手法。

[0119]

图5是表示除去θ方向的摄像位置变动量时的图形。在这里，不考虑X方向的位置变动量及Y方向的位置变动量。

[0120]

用虚线表示的四边形状体90A，表示理想的、没有位置变动的工作台14的位置。实际的工作台14的位置，位于向θ方向旋转后旋转了δθ的用实线表示的四边形状体90B的位置。

[0121]

用虚线表示的工件基准标记91，表示理想的、没有位置变动的工作台14的位置，摄像部(CCD照相机)相信该设计位置，使该工件基准标记91大致位于摄像部226的视野中央的位置地进行摄影。

[0122]

可是，由于配置工件时的位置偏移，或者在工件上加工基准标记时难免存在的位置误差，或者工件的变形等，实际上用摄像部226拍摄时的工件基准标记91的位置，作为处于用标记92表示的位置后进行拍摄(成为和理想位置不同的位置)。

[0123]

根据拍摄的工件基准标记的位置，修正工作台14的δθ部分的旋转方向的位置变动之际，求出工件基准标记的理想位置(Xd、Yd)中的修正值后，该修正值就成为图中用(Δx、Δy)表示的修正量，而工件基准标记91的修正位置，则成为用标记93表示的位置。

[0124]

另一方面，实际拍摄的标记位置(Xm、Ym)中的修正值，成为图中用(Δx’、Δy’)表示的修正量，而工件基准标记91的修正位置，则成为用标记94表示的位置，能够正确地修正上述工作台14的δθ部分的旋转。

[0125]

如上所述，根据实际拍摄的标记位置信息，求出修正量后，即使基准标记的位置与设计值(理想值)有较大的偏移时，也能够减小修正的误差。

[0126]

采用使用上述手法的运算后，能够将工件位置信息Jw修正成为除去起因于工作台14的位置变动的误差成分的数据。就是说，能够利用工件位置取得用运算部234，获得修正过的工件位置信息JJw。

[0127]

此外，上述工件位置信息取得装置200具备测定摄像位置变动量的摄像位置变动量测定单元——基准刻度尺SK，在用移送部20反复往复移送工作台14之际，工件位置取得用运算部234可以根据一次以上以前的移送部20往复移送工作台14时使用基准刻度尺SK测定的摄像位置变动量，进行除去上述误差成分的运算。

[0128]

[机械修正方式]

接着，讲述机械修正方式。

[0129]

工件位置取得用控制部242，在拍摄各自的基准标记时，与工作台14的移送方向位置p2、p3、p 4对应地控制第1工件位置取得用移动部238A及第2工件位置取得用移动部238B中的至少某一个，以便抵消根据摄像位置变动量信息Hs取得的摄像位置变动量δ2、δ3、δ4，使工件位置信息取得部230取得的工件位置信息Jw，成为除去起因于工作台14的位置变动的误差成分的就是说，除去起因于位置变动的误差成分的数据。就是说，能够利用工件位置信息取得部230获得修正过的工件位置信息JJw。

[0130]

用上述数据修正方式、机械修修正方式获得的修正过的工件位置信息JJw，被修正过的工件位置信息存储部244存储。

[0131]

此外，使用数据修正方式，获得修正过的工件位置信息JJw时，图1中切换开关248成为OFF，不将工件位置信息取得部230取得的工件位置信息Jw传输给修正过的工件位置信息存储部244，而只将工件位置取得用运算部234取得的修正过的工件位置信息JJw传输给修正过的工件位置信息存储部244后存储。

[0132]

另外，使用机械修正方式，获得修正过的工件位置信息JJw时，上述切换开关248成为ON，将工件位置信息取得部230取得的修正过的工件位置信息JJw传输给修正过的工件位置信息存储部244后存储。

[0133]

此外，作为上述工作台基准标记、工件基准标记，还可以采用工作台的角部及工件的角部。

[0134]

此外，上述摄像位置变动的修正，既可以采用上述两种方式中的一个，也可以组合两个方式。

[0135]

另外，上述工件位置信息取得装置具备测定摄像位置变动量的摄像位置变动量测定单元——基准刻度尺SK，在用移送部20反复往复移送工作台14之际，工件位置取得用控制部242可以根据一次以上以前的移送部20往复移送工作台14时使用基准刻度尺SK测定的摄像位置变动量，控制工件位置取得用移动部238A、238B。

[0136]

另外，上述工件位置取得用存储部232可以每当用移送部20往复移送工作台14时，更新工件位置取得用存储部232存储的摄像位置变动量信息。

[0137]

进而，上述工件位置信息取得装置具备测定摄像位置变动量的摄像位置变动量测定单元——基准刻度尺SK，可以在用移送部20在往路上移送工作台14时，使用基准刻度尺SK测定摄像位置变动量，而在用移送部20在复路上移送工作台14时，利用摄像部226拍摄工作台基准标记214及工件基准标记212。

[0138]

[描绘装置100的作用]

接着，讲述描绘装置100的作用。图6是表示不产生位置变动地移送工作台时描绘的图像图案的图形。图7是表示描绘图像的时刻和工作台的位置变动的图形。图8是表示产生位置变动地移送工作台并且不修正该位置变动地描绘的图像图案的图形。

[0139]

此外，图8的图像图案是示意性地表示的图形，并不是正确地表示与图7所示的位置变动量对应地描绘图像图案时的状态的图形。

[0140]

首先，讲述在用移送部20移送工作台14时，工作台14不产生位置变动的我去看下，在被工作台14放置的工件12上描绘图像图案的作用。

[0141]

在描绘控制部28的控制下，一边用移送部20移送工作台14，一边用描绘单元30在被工作台14放置的工件12上依次描绘线性编码器72取得的与各移送方向位置(q)对应的部分图像图案，从而在工件12上描绘规定的图像图案。如图7所示，在线性编码器72读取的工作台14的移送方向位置q1、q2、q3、q4中，描绘的部分图像图案B1、B2、B3、B4，如图6所示，被在X方向、Y方向及θ方向中的任何一个方向都不产生位置偏移地描绘。

[0142]

与此不同，在用移送部20移送工作台14时，工作台14产生位置偏移的情况下，移送方向位置q1、q2、q3、q4的每一个中，在描绘单元30和工作台14之间产生描绘位置变动量δ1(x1、y1、θ1)、描绘位置变动量δ2(x2、y2、θ2)、描绘位置变动量δ3(x3、y3、θ3)、描绘位置变动量δ4(x4、y4、θ4)的位置偏移。这样，如图8所示，部分图像图案B1、B2、B3、B4的每一个，均在工件上产生位置偏移的状态下描绘。

[0143]

为了修正上述描绘位置变动的部分、正确地描绘各部分图像图案，该描绘装置100具备数据修正方式、机械修正方式、光学修正方式等3种方式。此外，在为了修正上述描绘位置变动的部分、正确地描绘各部分图像图案的修正方式中，能够使用和前文讲述过的工件位置信息取得装置200中的位置变动的部分的修正方式同样的原理。此外，在上述描绘位置变动的部分的修正中，既可以采用3种方式中的一个，也可以采用2种以上方式的组合。

[0144]

[数据修正方式]

图像数据修正部78，根据描绘位置变动量存储部74存储的描绘位置变动量信息Hb，与线性编码器72读取的上述移送方向位置q1、q2、q3、q4对应地取得描绘位置变动量，抵消上述描绘位置变动量部分地修正图像数据存储器76存储的原图像数据Go。在描绘控制部28控制下，使用用图像数据修正部78修正原图像数据Go后获得的修正过的图像数据G1，描绘部分图像图案。这样，部分图像图案B1、B2、B3、B4各自的位置偏移得到修正，能够在上述图6所示的那种状态下描绘各部分图像图案。

[0146]

此外，上述描绘装置具备测定描绘位置变动量的描绘位置变动量测定单元——基准刻度尺SK，在用移送部20反复往复移送工作台14之际，图像数据修正部234可以根据一次以上以前的移送部20往复移送工作台14时使用基准刻度尺SK测定的描绘位置变动量，进行除去上述误差成分的运算。

[0146]

[机械修正方式]

描绘修正用控制部84，控制第1描绘修正用移动部82A，以便抵消根据上述描绘位置变动量存储部74存储的描绘位置变动量信息Hb，与线性编码器72读取的上述移送方向位置q1、q2、q3、q4对应地取得的描绘位置变动量。这时，在使用原图像数据Go的描绘控制部28的控制下，描绘部分图像图案。

[0147]

就是说，描绘修正用控制部84控制上述第1描绘修正用移动部82A，以便使工作台14和描绘单元30相对移动，从而抵消根据描绘位置变动量存储部74存储的描绘位置变动量信息Hb取得的与描绘该部分图像图案时的工作台14的移送方向位置q1、q2、q3、q4对应的描绘位置变动量。这样，能够使部分图像图案B1、B2、B3、B4的各自的位置偏移得到修正，能够在上述图6所示的那种状态下描绘各部分图像图案。

[0148]

[光学修正方式]

和上述机械修正方式同样，描绘修正用控制部84，控制第2描绘修正用移动部82B，以便抵消根据上述描绘位置变动量存储部74存储的描绘位置变动量信息Hb，与线性编码器72读取的上述移送方向位置q1、q2、q3、q4对应地取得的描绘位置变动量。这时，使用原图像数据Go，在描绘控制部28的控制下，描绘部分图像图案。这时，在使用原图像数据Go的描绘控制部28的控制下，描绘部分图像图案。

[0149]

上述第2描绘修正用移动部82B，如图9A、B所示，具备透明的玻璃基板85、支持该玻璃基板85的玻璃框86、可以使玻璃框86的一端绕移送方向(图中箭头Y方向)旋转地支持玻璃框86的一端的销子87、可以使玻璃框86的另一端向与移送平面(X-Y平面)正交的方向(图中箭头Z方向)移动的偏心凸轮88、轴支偏心凸轮88并且使其旋转的电动机89。

[0150]

描绘修正用控制部84，控制所述电动机89，使偏心凸轮88旋转，从而使玻璃框86在图中箭头Z方向的周围旋转，使从描绘单元30——描绘头射出的描绘束Le的位置，向图中X方向移动。

[0151]

在以上的讲述中，第2描绘修正用移动部82B使从描绘单元30——描绘头射出的描绘束Le的位置，向图中X方向移动。但是也可以使用和上述同样的机械，使玻璃框86在图中箭头X方向的周围旋转，从而使上述描绘束Le的位置，向图中Y方向移动。

[0152]

此外，描绘修正用控制部84可以只使描绘单元30移动，或者只使工作台14移动。

[0153]

另外，描绘位置变动量信息，可以只表示移送方向(图中箭头Y方向)的描绘位置变动量、与移送方向正交且与移送平面平行的移送正交方向(图中箭头X的方向)的描绘位置变动量以及绕与移送平面正交的移送平面正交方向(图中箭头Z的方向)的旋转方向(图中θ箭头方向)描绘位置变动量。进而，该描绘位置变动量信息，还可以将上述旋转方向(图中θ箭头方向)的描绘位置变动量分成X方向及Y方向的描绘位置变动量，而表示X方向及Y方向的描绘位置变动量。

[0154]

另外，可以使上述描绘装置100具备测定描绘位置变动量的描绘位置变动量测定单元——基准刻度尺SK，在用移送部20反复往复移送工作台14之际，描绘修正用控制部84可以根据一次以上以前的移送部20往复移送工作台14时使用基准刻度尺SK测定的描绘位置变动量，控制第1描绘修正用移动部82A及/或第2描绘修正用移动部82B。

[0155]

另外，描绘位置变动量存储部74可以每当用移送部20往复移送工作台14时，更新该描绘位置变动量存储部74存储的描绘位置变动量信息。

[0156]

进而，还可以使上述描绘装置100具备测定描绘位置变动量的描绘位置变动量测定单元——基准刻度尺SK，在往路上用移送部20移送工作台时，使用基准刻度尺SK测定描绘位置变动量，而在复路上用移送部20移送工作台时，利用描绘单元30进行描绘。

[0157]

[修正工件对于工作台而言的位置和工作台的位置变动的两者]

利用该描绘装置100，能够同时修正工件12对于工作台14而言的位置偏移和被搬运的工作台14的位置变动的两者。

[0158]

就是说，能够使用工件位置信息取得装置200的修正过的工件位置信息存储部244存储的修正过的工件位置信息存储的JJw和描绘装置100的描绘位置变动量存储部74存储的描绘位置变动量等两者，修正工件12对于工作台14而言的位置和工作台14的位置变动的两者。这样，如图10所示，能够在从工作台14上的规定的位置偏移后配置的工件12上的预先规定的正确位置，描绘各部分图像图案B1、B2、B3、B4。

[0159]

此外，采用上述手法后，即使工件12变形，也能够在与被放置在从工作台14上的上述工件的变形对应的最适当的状态下，描绘图像图案。

[0160]

[数据修正方式]

和只修正上述工作台的位置变动时一样，图像数据修正部78修正图像数据存储器76存储的原图像数据Go，从而抵消与线性编码器72读取的上述移送方向位置q1、q2、q3、q4对应地从上述描绘位置变动量存储部74取得描绘位置变动量及从修正过的工件位置信息存储部244取得的修正过的工件位置信息JJw。在描绘控制部28控制下，使用用图像数据修正部78修正原图像数据Go后获得的修正过的图像数据G1，描绘部分图像图案。这样，部分图像图案B1、B2、B3、B4各自的位置偏移得到修正，能够在上述图6所示的那种状态下描绘各部分图像图案。

[0161]

[机械修正方式]

描绘修正用控制部84，控制第1描绘修正用移动部82A，以便抵消与线性编码器72读取的上述移送方向位置q1、q2、q3、q4对应地取得的上述描绘位置变动量部分及修正过的工件位置信息JJw。这时，在使用原图像数据Go的描绘控制部28的控制下，描绘部分图像图案。

[0162]

[光学修正方式]

和上述机械修正方式同样，描绘修正用控制部84，控制第2描绘修正用移动部82B，以便抵消与线性编码器72读取的上述移送方向位置q1、q2、q3、q4对应地取得的上述描绘位置变动量部分及修正过的工件位置信息JJw。这时，在使用原图像数据Go的描绘控制部28的控制下，描绘部分图像图案。

[0163]

此外，为了正确地描绘上述图像图案的多个描绘修正方式和前文讲述过的为了取得上述工作台上的工件位置的多个工件位置取得方式，可以任意组合，并不局限于1种工件位置取得方式和1种描绘修正方式的组合，可以组合多种工件位置取得方式和多种描绘修正方式。

[0164]

例如：具备兼做测定所述摄像位置变动量的摄像位置变动量测定单元和测定描绘位置变动量的描绘位置变动量测定单元的基准刻度尺SK。然后，在工作台14的往路上利用移送部20进行移送的过程中，使用基准刻度尺SK即用摄像部226拍摄基准刻度尺SK后，测定共同表示摄像位置变动量和描绘位置变动量的位置变动量，同时利用摄像部226拍摄工作台基准标记214及工件基准标记212，取得对于工作台14而言的工件12的位置。再然后，在工作台14的复路上利用移送部20进行移送的过程中，根据上述那样取得的位置的信息及对于工作台14而言的工件12的位置信息，利用描绘单元30进行实施了上述各种修正的描绘。

[0165]

[描绘装置100的详细说明]

下面，讲述上述实施方式涉及的描绘装置100的详细。

[0166]

如图1所示，描绘装置100是所谓扁底座型的结构，具备表面吸附成为描绘对象的被描绘部件——工件12后加以保持的平板状的工作台14。在被4根脚部16支持的厚版状的设置台18的上面，设置沿着工件台移动方向延伸的2根导向装置20A。工作台14，在其长度方向朝着工作台移动方向配置的同时，还可以往复移动地被导向装置20A支持。此外，在该描绘装置100中，还设置着旨在沿着导向装置20A驱动工作台14的移送部20。

[0167]

在设置台18的中央部，跨越工作台14的移动路线地设置コ字形的门22。门22的每一个端部，被配置在设置台18的两侧面。隔着该门22，在一个侧面设置收容构成描绘单元30的描绘头的描绘组件24，在另一个侧面设置收容检知工件12的前端及后端或者拍摄基准标记的多个CCD照相机(例如2个)的摄像部226。描绘组件24和摄像部226，被分别安装在门22上，配置在工作台14的移动线路的上方。

[0168]

在该描绘组件24的内部，如图11所示，设置着i行j列(例如2行4列)的近似矩阵状地排列的构成多个(例如8个)描绘单元30的描绘头30A、30B…。

[0169]

如图11所示，由描绘头30A、30B…形成的描绘区域32A、32B…(以后将它们统称为“描绘区域32”)，例如构成将移送方向(图中的箭头Y方向)作为长边的矩形，这时，在工件12上，伴随着它的描绘动作，按照每个描绘头30A、30B…，形成带状的描绘过的区域34A、34B…(以后将它们统称为“描绘过的区域34”)。

[0170]

另外，带状的描绘过的区域34，与上述移送方向正交的正交方向(图中的箭头X方向)不留间隙地排列的各行的描绘头30A、30B…的每一个，在列方向上错开规定的间隔(描绘区域的长边的自然数的倍数)地配置。就是说，例如由描绘头30A形成的描绘区域32A和由描绘头30B形成的描绘区域32B之间的不能描绘的部分，能够作为由描绘头30F形成的描绘区域32F。

[0171]

[描绘头的简要结构]

如图1及图12所示，描绘单元30利用将微小光调制元件——微小反射镜M二维状地排列许多后构成的空间光调制器——DMD(数字微型反射镜器件)36，对光源38发出的、通过光导纤维40后射出的光进行空间光调制，使按照上述微小反射镜M各自的光调制状态形成的与各微小反射镜M对应的描绘束Le，在工件12上成像，在该工件12上描绘图像图案例如布线图案。

[0172]

各描绘单元30作为对光源38发出的、通过光导纤维40后射出的光进行空间光调制的空间光调制器，具备数字微型反射镜器件(DMD)36。该DMD36，与具备数据处理部和反射镜驱动控制部等的DMD控制器29连接。

[0173]

该DMD控制器29，根据输入的图像数据，按照各描绘头30A、30B…，控制DMD36的应该控制的各微小反射镜的反射面的角度。

[0174]

在被各描绘头30A、30B…配置的DMD36的光的射入侧，如图1所示，配置由光源38分别引出的束状的光导纤维40。

[0175]

在光源38中，收容多组将多个半导体激光器芯片射出的激光合波后输入光导纤维40的合波模块。从各合波模块延伸出来的光导纤维，构成传输合波后的激光的合波光导纤维——多个光导纤维被结成1束的束状的光导纤维40。

[0176]

另外，在描绘单元30的DMD36中的光的射入侧，还如图12所示，配置使束状的光导纤维40射出的光朝着DMD36反射的反射镜42。

[0177]

接着，讲述描绘单元30的DMD36中的光的射出侧设置的成像光学系统59。如图1所示，上述成像光学系统59，在工件12上，为了使光源的像成像，而沿着从DMD36一侧朝着工件12的一侧的光路依次配置透镜组50、52、微透镜阵列54、物镜组56、58的各光学要素后构成。

[0178]

在这里，透镜组50、52，作为放大光学系构成，将用DMD36反射后构成的像素光束描绘的工件12上的描绘区域32的面积，放大成所需的大小。

[0179]

如图1所示，微透镜阵列54一体性地形成与DMD36的各微小反射镜M一一对应的多个微透镜60，各微透镜60被配置成使通过透镜组50、52的各像素光束的每一个通过。

[0180]

该微透镜阵列54的整体，呈矩形平板状，在形成各微透镜60的部分，分别一体化地配置小孔62。该小孔62成为与各微透镜60一一对应地配置的孔径光阑。

[0181]

物镜组56、58，例如作为等倍光学系统构成。另外，工件12被配置在像素光束L通过物镜组56、58后成像的位置上。

[0182]

采用上述结构后，能够使光源38发射的描绘单元30的描绘束Le在工件12的表面上成像后，形成图像图案。

[0183]

[描绘装置的描绘动作]

接着，讲述利用上述描绘装置100在工件12上描绘图像图案的动作。

[0184]

放置工件12的工作台14，沿着导向装置20A，以一定的速度，从移送方向的上游侧向下游侧移动。工作台14从门22之下通过之际，安装在门22上的摄像部226检出工件12的前端后，开始读出图像数据的多个线。

[0185]

然后，按照各描绘头30A、30B…，DMD36的微小反射镜的每一个的通断，受到DMD控制器29的反射镜驱动控制。

[0186]

由光导纤维40射出、用反射镜42的反射的光束，照射到DMD36上后，DMD36的微小反射镜成为接通状态时，被反射的激光通过包含微透镜阵列54的各对应的微透镜60在内的透镜系统，在工件12的描绘面上成像。这样，由DMD36射出的像素光束L被按照各微小反射镜加以通断控制，工件12被用和DMD36的使用像素数大致相同数量的像素单位(描绘区)描绘。

[0187]

另外，以一定速度移动放置工件12的工作台14后，工件12就在描绘组件24的作用下，相对性地向和工作台14的移动方向相反的方向移动，按照各描绘头30A、30B…形成带状的描绘过的区域34，在工件12上描绘图像图案。

[0188]

就是说，在DMD36的作用下，将实施与描绘的图像图案对应的调制后生产的描绘束Le照射到工件12上后，就在该工件12上形成所述图像图案。

[0189]

描绘组件24对工件12的描绘结束、用摄像部226检出工件12的后端后，就使工作台14沿着导向装置20A返回移送方向最上游侧的原点，然后再度沿着导向装置20A，以一定的速度，从上游侧向下游侧移动工作台14，从而能够反复进行描绘。就是说，每次利用移送部20使工作台14往复移动时，都能够利用描绘组件24进行工件12的描绘。

[0190]

[DMD复位信号的生产]

图13是表示线性编码器72读取的工作台14的移送方向位置的处理方式的方框图。按照工作台14的移送，线性编码器72输出的0.1μm间距的信号，被8倍电路8等分，变换成0.0125μm间距。使用该信号，由DMD控制器29控制DMD36。但是由于在工作台14的移送过程中，产生移送方向的位置变动，所以将描绘图像图案的描绘区域例如分割成64个区域(例如10mm间隔)，按照各区域调整旨在修正上述位置变动的复位间隔。复位的周期，例如利用NCO(Numerical Controlled Oscillator)电路编制。这样，能够将脉冲的剩余均等地分开，能够使上述复位间隔均匀。使用NCO电路编制的信号，被作为DMD复位信号使用，输入DMD控制电路。

Claims (33)

1.一种描绘方法，在将放置工件的工作台相对于描绘单元进行移送的同时，利用该描绘单元，在放置于所述工作台的工件上，依次描绘与所述工作台的对于该描绘单元而言的各移送方向位置对应的部分图像图案，从而在所述工件上描绘规定的图像图案，

使用预先取得的描绘位置变动量信息，除去起因于用所述描绘单元在放置于所述工作台的所述工件上描绘图像图案时的所述工作台的位置变动的描绘误差，其中，所述描绘位置变动量信息，与所述工作台的移送方向位置对应地表示描绘位置变动量，该描绘位置变动量表示在所述工作台的移送过程中产生的对于所述描绘单元而言的所述工作台的位置变动。

2.一种描绘方法，在将放置工件的工作台相对于描绘单元进行移送的同时，利用该描绘单元，在放置于所述工作台的工件上，依次描绘与所述工作台的相对于该描绘单元而言的各移送方向位置对应的部分图像图案，从而在所述工件上描绘规定的图像图案，

预先取得描绘位置变动量信息，其中，所述描绘位置变动量信息，与所述工作台的移送方向位置对应地表示描绘位置变动量，该描绘位置变动量表示在所述工作台的移送过程中产生的相对于所述描绘单元而言的所述工作台的位置变动；

修正在所述描绘单元使用的用于描绘所述部分图像图案的图像数据，以便抵消由所述描绘位置变动量信息取得的与所述工作台的各移送方向位置对应的描绘位置变动量部分，获得修正过的图像数据；

用所述描绘单元描绘部分图像图案时，使用所述修正过的图像数据，描绘所述部分图像图案。

3.一种描绘装置，具备：

放置工件的工作台；

向放置于所述工作台上的工件上进行描绘的描绘单元；

将所述工作台相对于所述描绘单元进行移送的移送单元；

移送方向位置信息取得单元，该移送方向位置信息取得单元取得用于表示所述工作台相对于所述描绘单元的移送方向位置的移送方向位置信息；

描绘控制单元，该描绘控制单元通过控制，在由所述移送单元将工作台相对于所述描绘单元进行移送的同时，利用所述描绘单元，在放置于所述工作台的工件上，依次描绘与所述移送方向位置信息取得单元取得的所述工作台的各移送方向位置对应的部分图像图案，在所述工件上描绘规定的图像图案；

描绘位置变动量存储单元，该描绘位置变动量存储单元存储预先取得的描绘位置变动量信息，其中，所述描绘位置变动量信息，与所述工作台的移送方向位置对应地表示描绘位置变动量，该描绘位置变动量表示在由所述移送单元进行所述工作台的移送过程中产生的相对于所述描绘单元而言的所述工作台的位置变动；

图像数据修正单元，该图像数据修正单元修正在所述描绘单元使用的用于描绘所述部分图像图案的图像数据，以便抵消由所述描绘位置变动量信息取得的与所述工作台的各移送方向位置对应的描绘位置变动量部分，

所述描绘控制单元进行下述控制：在用所述描绘单元描绘所述部分图像图案时，使用所述图像数据修正单元对所述图像数据进行修正后获得的修正过的图像数据，由所述描绘单元描绘所述部分图像图案。

4.如权利要求3所述的描绘装置，其特征在于：所述描绘位置变动量信息，表示所述移送方向的描绘位置变动量、与所述移送方向正交而且与移送平面平行的移送正交方向的描绘位置变动量、以及绕与所述移送平面正交的移送平面正交方向的旋转方向的描绘位置变动量。

5.如权利要求3或4所述的描绘装置，其特征在于：具备测定所述描绘位置变动量的描绘位置变动量测定单元，

用所述移送单元反复往复移送所述工作台之际，所述图像数据修正单元，使用一次以上以前的由所述移送单元往复移送所述工作台时由所述描绘位置变动量测定单元测定的描绘位置变动量，进行除去所述误差成分的运算。

6.一种描绘方法，在将放置工件的工作台相对于描绘单元进行移送的同时，利用所述描绘单元，在放置于所述工作台的工件上，依次描绘与所述工作台的对于该描绘单元而言的各移送方向位置对应的部分图像图案，从而在所述工件上描绘规定的图像图案，

预先取得描绘位置变动量信息，其中，所述描绘位置变动量信息，与所述工作台的移送方向位置对应地表示描绘位置变动量，该描绘位置变动量表示在所述工作台的移送过程中产生的相对于所述描绘单元而言的所述工作台的位置变动；

在用所述描绘单元描绘部分图像图案时，使所述工作台与所述描绘单元相对性地移动，以便抵消在描绘根据所述描绘位置变动量信息取得的所述部分图像图案时的所述工作台的移送方向位置所对应的描绘位置变动量部分。

7.一种描绘装置，具备：

放置工件的工作台；

向放置于所述工作台上的工件上进行描绘的描绘单元；

将所述工作台相对于所述描绘单元进行移送的移送单元；

移送方向位置信息取得单元，该移送方向位置信息取得单元取得用于表示所述工作台相对于所述描绘单元的移送方向位置的移送方向位置信息；

描绘控制单元，该描绘控制单元通过控制，在由所述移送单元将工作台相对于所述描绘单元进行移送的同时，利用所述描绘单元，在放置于所述工作台的工件上，依次描绘与所述移送方向位置信息取得单元取得的所述工作台的各移送方向位置对应的部分图像图案，在所述工件上描绘规定的图像图案；

描绘位置变动量存储单元，该描绘位置变动量存储单元存储预先取得的描绘位置变动量信息，其中，所述描绘位置变动量信息，与所述工作台的移送方向位置对应地表示描绘位置变动量，该描绘位置变动量表示在由所述移送单元进行所述工作台的移送过程中产生的相对于所述描绘单元而言的所述工作台的位置变动；

描绘修正用移动单元，该描绘修正用移动单元使所述工作台与所述描绘单元相对性地移动；

描绘修正用控制单元，该描绘修正用控制单元控制所述描绘修正用移动单元，以便在用所述描绘单元描绘部分图像图案时，使所述工作台与所述描绘单元相对性地移动，从而抵消在描绘根据所述描绘位置变动量信息取得的所述部分图像图案时的所述工作台的移动方向位置所对应的描绘位置变动量。

8.如权利要求7所述的描绘装置，其特征在于：所述描绘修正用控制单元，只使所述描绘单元移动。

9.如权利要求7所述的描绘装置，其特征在于：所述描绘修正用控制单元，只使所述工作台移动。

10.如权利要求7～9任一项所述的描绘装置，其特征在于：所述描绘位置变动量信息，表示所述移送方向的描绘位置变动量、与所述移送方向正交且与移送平面平行的移送正交方向的描绘位置变动量、以及绕与所述移送平面正交的移送平面正交方向的旋转方向的描绘位置变动量。

11.如权利要求7～10任一项所述的描绘装置，其特征在于：具备测定所述描绘位置变动量的描绘位置变动量测定单元，

在用所述移送单元反复往复移送所述工作台之际，所述描绘修正用控制单元，使用一次以上以前的由所述移动单元往复移送所述工作台时由所述描绘位置变动量测定单元测定的描绘位置变动量，控制所述描绘修正用移动单元。

12.如权利要求3、4、5、7、8、9、10、11中任一项所述的描绘装置，其特征在于：所述描绘位置变动量存储单元，每逢由所述移送单元往复移送所述工作台时，更新该描绘位置变动量存储单元存储的描绘位置变动量信息。

13.如权利要求3、4、5、7、8、9、10、11、12中任一项所述的描绘装置，其特征在于：具备测定所述描绘位置变动量的描绘位置变动量测定单元，

在用所述移送单元在往路上移送所述工作台时，利用所述描绘位置变动量测定单元测定描绘位置变动量，在用所述移送单元在复路上移送所述工作台时，利用所述描绘单元进行描绘。

14.一种描绘方法，在将放置工件的工作台相对于描绘单元进行移送的同时，利用该描绘单元，在放置于所述工作台的工件上，依次描绘与所述工作台的相对于该描绘单元而言的各移送方向位置对应的部分图像图案，从而在所述工件上描绘规定的图像图案，

分别取得预先取得的描绘位置变动量信息和表示所述工件相对于所述工作台而言的位置的工件位置信息，其中，所述描绘位置变动量信息，与所述工作台的移送方向位置对应地表示描绘位置变动量，该描绘位置变动量表示在所述工作台的移送过程中产生的相对于所述描绘单元而言的所述工作台的位置变动；

使用所述描绘位置变动量信息和工件位置信息，将图像图案描绘在放置于所述工作台上的所述工件上的规定位置。

15.一种描绘装置，具备：

放置工件的工作台；

向放置于所述工作台上的工件上进行描绘的描绘单元；

将所述工作台相对于所述描绘单元进行移送的移送单元；

移送方向位置信息取得单元，该移送方向位置信息取得单元取得用于表示所述工作台相对于所述描绘单元的移送方向位置的移送方向位置信息；

描绘控制单元，该描绘控制单元通过控制，在由所述移送单元将工作台相对于所述描绘单元进行移送的同时，利用所述描绘单元，在放置于所述工作台的工件上，依次描绘与所述移送方向位置信息取得单元取得的所述工作台的各移送方向位置对应的部分图像图案，在所述工件上描绘规定的图像图案；

描绘位置变动量存储单元，该描绘位置变动量存储单元存储预先取得的描绘位置变动量信息，其中，所述描绘位置变动量信息，与所述工作台的移送方向位置对应地表示描绘位置变动量，该描绘位置变动量表示在由所述移送单元进行所述工作台的移送过程中产生的相对于所述描绘单元而言的所述工作台的位置变动；

工作台工件位置信息取得单元，该工作台工件位置信息取得单元取得表示对于所述工作台而言的所述工件的位置的工件位置信息；

位置变动抵消单元，该位置变动抵消单元使用所述描绘位置变动量信息和所述工件位置信息，进行下述控制：抵消所述移送单元移送所述工作台的过程中产生的对于所述描绘单元而言的所述工作台的相对性的位置变动后，在所述工件上描绘所述图像图案，

将图像图案描绘在放置于所述工作台上的所述工件上的规定位置。

16.如权利要求15所述的描绘装置，其特征在于：所述位置变动抵消单元，

具备图像数据修正单元，该图像数据修正单元通过修正在所述描绘单元使用的用于描绘所述部分图像图案时的图像数据，抵消从所述描绘位置变动量信息中取得的与所述工作台的各移动方向位置对应的描绘位置变动量部分；所述描绘控制单元，在用所述描绘单元描绘部分图像图案时，进行下述控制：使用由所述图像数据修正单元对所述图像数据进行修正后获得的修正过的图像数据，使所述描绘单元描绘所述部分图像图案。

17.如权利要求15或16所述的描绘装置，其特征在于：所述描绘位置变动量信息，表示所述移送方向的描绘位置变动量、与所述移送方向正交且与移送平面平行的移送正交方向的描绘位置变动量、以及绕与所述移送平面正交的移送平面正交方向的旋转方向的描绘位置变动量。

18.如权利要求～17任一项所述的描绘装置，其特征在于：具备测定所述描绘位置变动量的描绘位置变动量测定单元，

在用所述移送单元反复往复移送所述工作台之际，所述图像数据修正单元使用一次以上以前的由所述移动单元往复移送所述工作台时由所述描绘位置变动量测定单元测定的描绘位置变动量，进行除去所述误差成分的运算。

19.如权利要求15所述的描绘装置，其特征在于，所述位置变动抵消单元，具备：

描绘修正用移动单元，该描绘修正用移动单元使所述工作台与所述描绘单元相对性地移动；

描绘修正用控制单元，该描绘修正用控制单元控制所述描绘修正用移动单元，以便在由所述描绘单元描绘部分图像图案时，使所述工作台与所述描绘单元相对性地移动，从而抵消从所述描绘位置变动量信息取得的与描绘所述部分图像图案时的所述工作台的移动方向位置对应的描绘位置变动量。

20.如权利要求19所述的描绘装置，其特征在于：所述描绘位置变动量信息，表示所述移送方向的描绘位置变动量、与所述移送方向正交且与移送平面平行的移送正交方向的描绘位置变动量、以及绕与所述移送平面正交的移送平面正交方向的旋转方向的描绘位置变动量。

21.如权利要求19或20所述的描绘装置，其特征在于：具备测定所述描绘位置变动量的描绘位置变动量测定单元，

在用所述移送单元反复往复移送所述工作台之际，所述描绘修正用控制单元使用一次以上以前的由所述移动单元往复移送所述工作台时由所述描绘位置变动量测定单元测定的描绘位置变动量，控制所述描绘修正用移动单元。

22.如权利要求15～21任一项所述的描绘装置，其特征在于：所述描绘位置变动量存储单元，每逢由所述移送单元往复移送所述工作台时，更新该描绘位置变动量存储单元存储的描绘位置变动量信息。

23.如权利要求15～22任一项所述的描绘装置，其特征在于：具备测定所述描绘位置变动量的描绘位置变动量测定单元，

在由所述移送单元在往路上移送所述工作台时，利用所述描绘位置变动量测定单元测定描绘位置变动量，在由所述移送单元在复路上移送所述工作台时，利用所述描绘单元进行描绘。

24.如权利要求15～23任一项所述的描绘装置，其特征在于，所述工作台工件位置信息取得单元具备：

摄像单元，该摄像单元对所述工作台上进行拍摄；

摄像移送方向位置信息取得单元，该摄像移送方向位置信息取得单元取得表示对于所述摄像单元而言的所述工作台的移送方向位置的移送方向位置信息；

工件位置信息取得单元，该工件位置信息取得单元根据利用摄像单元在互不相同的时刻拍摄所述被相对性地移送的所述工作台设置的工作台基准标记及在该工作台上放置的工件上设置的工件基准标记后获得的工作台摄像信息及工件摄像信息、和所述摄像移送方向位置信息取得单元取得的所述工作台基准标记摄像时及所述工件基准标记摄像时的所述工作台的移送方向位置信息，取得表示对于所述工作台而言的所述工件的位置的工件位置信息；

工件位置取得用存储单元，该工件位置取得用存储单元存储预先取得的描绘位置变动量信息，其中，所述描绘位置变动量信息，与所述工作台的移送方向位置对应地表示描绘位置变动量，该描绘位置变动量表示在由所述移送单元进行所述工作台的移送过程中产生的相对于所述描绘单元而言的所述工作台的位置变动；

工件位置取得用运算单元，该工件位置取得用运算单元使用与从所述摄像位置变动量信息取得的拍摄所述工作台基准标记时的所述工作台的移送方向位置对应的摄像位置变动量和与从所述摄像位置变动量信息取得的拍摄所述工件基准标记时的所述移送方向位置对应的摄像位置变动量，进行除去起因于各摄像位置变动量之间的差的所述工件位置信息中包含的误差成分的运算。

25.如权利要求24所述的描绘装置，其特征在于：所述工件位置取得用运算单元，使用拍摄所述工作台基准标记时及拍摄所述工件基准标记时的所述摄像信息，进行求出所述误差成分的运算。

26.如权利要求24或25所述的描绘装置，其特征在于：所述摄像位置变动量信息，表示所述移送方向的摄像位置变动量、与所述移送方向正交且与移送平面平行的移送正交方向的摄像位置变动量、以及绕与所述移送平面正交的移送平面正交方向的旋转方向的摄像位置变动量。

27.如权利要求24～26任一项所述的描绘装置，其特征在于：具备测定所述摄像位置变动量的摄像位置变动量测定单元，

在用所述移送单元反复往复移送所述工作台之际，所述工件位置取得用运算单元使用一次以上以前的由所述移动单元往复移送所述工作台时由所述描绘位置变动量测定单元测定的描绘位置变动量，进行除去所述误差成分的运算。

28.如权利要求15～23任一项所述的描绘装置，其特征在于，所述工作台工件位置信息取得单元，具备：

摄像单元，该摄像单元对所述工作台上进行拍摄；

摄像移送方向位置信息取得单元，该摄像移送方向位置信息取得单元取得表示对于所述摄像单元而言的所述工作台的移送方向位置的移送方向位置信息；

工件位置信息取得单元，该工件位置信息取得单元根据利用摄像单元在互不相同的时刻拍摄所述被相对性地移送的所述工作台设置的工作台基准标记及在该工作台上放置的工件上设置的工件基准标记后获得的工作台摄像信息及工件摄像信息、和所述摄像移送方向位置信息取得单元取得的所述工作台基准标记摄像时及所述工件基准标记摄像时的所述工作台的移送方向位置信息，取得表示对于所述工作台而言的所述工件的位置的信息；

工件位置取得用存储单元，该工件位置取得用存储单元存储预先取得的描绘位置变动量信息，其中，所述描绘位置变动量信息，与所述工作台的移送方向位置对应地表示描绘位置变动量，该描绘位置变动量表示在由所述移送单元进行所述工作台的移送过程中产生的相对于所述描绘单元而言的所述工作台的位置变动；

工件位置取得用移动单元，该工件位置取得用移动单元使所述工作台和所述摄像单元相对性地移动；

工件位置取得用控制单元，该工件位置取得用控制单元控制所述工件位置取得用移动单元，以便在拍摄所述工作台基准标记时，使所述工作台与所述摄像单元相对性地移动，以便抵消从所述摄像位置变动量信息取得的拍摄所述工作台基准标记时的所述工作台的移送方向位置对应的摄像位置变动量部分，而且在拍摄所述工件基准标记时，使所述工作台与所述摄像单元相对性地移动，以便抵消从所述摄像位置变动量信息取得的拍摄所述工件基准标记时的所述工作台的移送方向位置对应的摄像位置变动量部分，

使由所述工件位置信息取得单元取得的工件位置信息，成为除去了起因于所述工作台的位置变动的误差成分的信息。

29.如权利要求28所述的描绘装置，其特征在于：所述摄像位置变动量信息，表示所述移送方向的摄像位置变动量、与所述移送方向正交且与移送平面平行的移送正交方向的摄像位置变动量、以及绕与所述移送平面正交的移送平面正交方向的旋转方向的摄像位置变动量。

30.如权利要求28或29所述的描绘装置，其特征在于：具备测定所述摄像位置变动量的摄像位置变动量测定单元，

在用所述移送单元反复往复移送所述工作台之际，所述工件位置取得用控制单元使用一次以上以前的由所述移动单元往复移送所述工作台时由所述摄像位置变动量测定单元测定的摄像位置变动量，控制所述工件位置取得用移动单元。

31.如权利要求28～30任一项所述的描绘装置，其特征在于：所述工件位置取得用存储单元，每逢由所述移送单元往复移送所述工作台时，更新该工件位置取得用存储单元存储的摄像位置变动量信息。

32.如权利要求28～31任一项所述的描绘装置，其特征在于：具备测定所述摄像位置变动量的摄像位置变动量测定单元，在由所述移送单元在往路上移送所述工作台时，由所述摄像位置变动量测定单元测定摄像位置变动量，在由所述移送单元在复路上移送所述工作台时，利用所述摄像单元拍摄所述工作台基准标记及所述工件基准标记。

33.如权利要求28～31任一项所述的描绘装置，其特征在于：具备测定所述描绘位置变动量的描绘位置变动量测定单元和测定所述摄像位置变动量的摄像位置变动量测定单元，

在用所述移送单元在往路上移送所述工作台时，由所述摄像位置变动量测定单元测定摄像位置变动量，而且由所述描绘位置变动量测定单元测定描绘位置变动量，同时由所述摄像单元拍摄所述工作台基准标记及所述工件基准标记；在由所述移送单元在复路上移送所述工作台时，利用所述描绘单元进行描绘。

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