CN101169048A - 抗蚀涂料和其制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及抗蚀涂料和其制备方法。经涂覆的涡轮发动机部件(10，100)包括涡轮发动机部件(12，102，104，106，108，110，112)以及采用电子束物理汽相淀积或离子等离子体阴极电弧淀积设置在涡轮发动机部件(12，102，104，106，108，110，112)的表面的至少一部分上的抗蚀涂层(14)。

Description

抗蚀涂料和其制备方法
技术领域
[0001]本公开涉及涂料组合物和涂覆方法，更具体涉及抗蚀涂料组合物和涂覆方法。
背景技术
[0002]在多套运行条件下，金属部件应用于各种种类的工业应用中。在许多情况中，向部件提供了赋予它各种性能的涂料，例如耐蚀性、耐热性、抗氧化性、和抗蚀性。作为例子，抗蚀涂料经常用于特别倾于遭受固体粒子侵蚀的高压和中压蒸汽轮机的第一阶段。另外，抗蚀涂料经常用于倾于遭受沙子或别的空气传播的固体粒子侵蚀以及腐蚀的燃气涡轮和喷气发动机的压缩机部分上。
[0003]这些部件的侵蚀的发生通常是由于固体粒子(例如空气中的沙子或蒸汽中的锅炉脱落物)的冲击，例如流体介质(即空气、物流或水)负载的SiO2、Al2O3、Fe2O3、MgO、CaO、粘土、火山灰和类似物。诸如(但不限于)马氏体不锈钢的用于涡轮部件的现有基底材料在这些条件下不具有足够的抗蚀性或防腐性。可能导致的严重侵蚀可能损坏涡轮部件，这样造成了涉及停机的经常维护、运行效率的损失以及需要定期的替换各种部件。
[0004]为了避免或减轻侵蚀问题，当固体粒子含量达到一定水平时一些发电站被设定为关机以避免进一步的侵蚀。除了关闭发电站，还发展了各种抗蚀涂料来减轻侵蚀。该涂料包括氧化铝、氧化钛、氧化铬等等的陶瓷涂料，它们通常通过诸如空气等离子体喷射(APS)和高速氧燃料(HVOF)的热喷射技术淀积。这些工艺获得具有粗糙表面纹理和有限硬度的原样的淀积(as-deposited)涂层，它们对涡轮效果具有不利影响。另外，这些工艺会产生可能不利地影响基底或基体材料的高周疲劳强度的涂层。最后，这些工艺获得的涂层经常需要调整涡轮螺旋桨以补偿涂层的厚度。
[0005]降低抗蚀涂层的表面粗糙度以使得蒸汽轮机部件在空气动力学方面更有效率的最近努力包括把原样的淀积涂层加工或抛光到特定表面粗糙度。不幸的是，这些是花费高的并且费时的工艺。因此，许多应用放弃了这种类型的加工或抛光。
[0006]相应的，本领域仍然具有对制备用于涡轮发动机部件的涂层的方法的需要，其具有降低的表面粗糙度、增加的硬度、高周疲劳强度的最小化或不降低、和/或对螺旋桨区域和表面轮廓的最小影响。如果原样的淀积涂层展示出降低的表面粗糙度并且不需要淀积后的加工或抛光步骤以获得降低的表面粗糙度，这将会特别有利。
发明简述
[0007]经涂覆的涡轮发动机部件包括涡轮发动机部件和采用电子束物理汽相淀积或离子等离子体阴极电弧淀积设置于涡轮发动机部件表面的至少一部分上的抗蚀涂层。
[0008]在另一个实施方式中，经涂覆的涡轮发动机部件包括涡轮发动机部件和设置于涡轮发动机部件表面的至少一部分上的具有低于或等于大约75微英寸的平均粗糙度的多层抗蚀涂层。
[0009]一种方法，包括通过电子束物理汽相淀积或离子等离子体阴极电弧淀积在涡轮发动机部件表面的至少一部分上设置抗蚀涂层。
[0010]另一个方法包括通过电子束物理汽相淀积或离子等离子体阴极电弧淀积在涡轮发动机部件表面的至少一部分上设置具有低于或等于大约75微英寸的平均粗糙度的多层抗蚀涂层。
[0011]通过下面的图和详细说明例证了上述的和别的特征。
附图说明
[0012]现在提到图，它们是例证性的实施方式并且其中相似的部件编码相似；
[0013]图1是在金属部件上的抗蚀涂层的一部分的剖面示意图；以及
[0014]图2是带有具有设置于其上的抗蚀涂层的各种部件的涡轮发动机一部分的剖面示意图。
具体实施方式
[0015]这里公开了向金属涡轮发动机部件提供抗蚀性的涂料组合物和涂覆方法。该方法一般基于涂料在光滑涡轮发动机部件基底上的电子束-物理汽相淀积(EB-PVD)或离子等离子体阴极电弧淀积。该方法获得相对于现有涂层来说具有降低的表面粗糙度的涂层。有利的是，原样的淀积的涂层不需要淀积后的加工或抛光步骤以获得降低的表面粗糙度。此外，在涡轮运行期间，涂层向涂覆的表面提供提高的尺寸稳定性。例如，经涂覆的涡轮发动机部件具有大于或等于其上没有设置抗蚀涂层的涡轮发动机部件的高周疲劳(HCF)强度。相应的，可以减少不利影响，例如在具有增加的表面粗糙度的涂层中观察到的降低的涡轮效率和功率输出。这些特征最后获得了提高了的部件和涡轮发动机寿命。
[0016]现在提到图1，图释了通常指定为10的涂覆物体的一部分。涂覆物体10的该部分一般包括基底12和设置于基底12表面的至少一部分上的抗蚀涂层14。
[0017]其上设置有抗蚀涂层14的基底12可以是任何金属、金属合金、陶瓷(举例来说氧化物、氮化物、碳化物和类似物)、或包含至少前述(举例来说金属/合金-聚合物组合物)之一的结合。注意到基底12的组成和微结构能影响抗蚀涂层14的性能是很重要的。在一个例证性的实施方式中，基底12是涡轮发动机部件。涡轮发动机部件的形态可以在护罩(shroud)、叶片(bucket)或桨叶(blade)、喷嘴或轮叶(vane)、涡轮导流盘部件、密封件、阀杆、喷嘴箱、喷嘴板或类似物的范围内变化。术语“桨叶”和“叶片”可以互换使用；一般桨叶是航空涡轮发动机的旋转螺旋桨，以及叶片是陆基发电涡轮发动机的旋转螺旋桨。同样一般指蒸汽或燃气涡轮中的固定轮叶的术语“喷嘴”可以与术语“轮叶”互换使用。
[0018]涡轮发动机部件一般包含钢和/或高温合金。高温合金是能在高温，经常超过绝对熔点温度大约0.7下使用的金属合金。任何Fe-、Co-、或Ni-基高温合金组合物可以用来形成结构部件。Fe-、Co-、或Ni-基高温合金中最常用的溶解物是铝和/或钛。一般来说，铝和/或钛浓度低(举例来说分别低于或等于大约15重量百分数(wt％))。Fe-、Co-、或Ni-基高温合金的别的任选组份包括铬、钼、钴(在Fe-或Ni-基高温合金中)，钨、镍(在Fe-或Co-基高温合金中)，铼、铁(在Co-或Ni-基高温合金中)，钽、钒、铪、铌、钌、锆、硼、钇和碳，其中每种可以独立的以低于或等于大约15wt％的量存在。
[0019]选择特定的抗蚀涂层14组合物以向倾于受固体粒子侵蚀的涡轮发动机部件提供抗蚀性。抗蚀涂层14可以包含陶瓷材料。合适的陶瓷组合物包括诸如Al2O3、Cr2O3、Y2O3、ZrO2、CeO2、TiO2、Ta2O5、TaO2的金属氧化物等等；诸如Cr3C2、WC、TiC、ZrC、B4C的金属碳化物等等；金刚石、金刚石类碳；诸如BN、TiN、ZrN、HfN、CrN、Si3N4、AlN、TiAlN、TiAlCrN、TiCrN、TiZrN的金属氮化物等等；诸如TiB2、ZrB2、Cr3B2、W2B2的金属硼化物等等；以及包含至少前述组合物之一的结合(举例来说TiCN、CrBN、TiBN等等)。备选地，抗蚀涂层14可以包含陶瓷-金属组合物(金属陶瓷)。合适的金属陶瓷包括WC/Co、WC/CoCr、WC/Ni、TiC/Ni、TiC/Fe、Ni(Cr)/Cr3C2、TaC/Ni以及包含至少前述之一的结合。抗蚀涂层14的再一个别的实施方式包括包含至少陶瓷或金属陶瓷(例如包含前述之一的金属或合金基底)之一的结合。
[0020]在一个例证性的实施方式中，抗蚀涂层14是如图1所示的多层涂层。在多层抗蚀涂层14中，可以选择每层的组合物以提供额外的期望性能，例如抗蚀性、耐热性、延展性、耐污性(例如阻止沉淀的聚集)、硬度、断裂韧度、或包含至少前述性能之一的结合。
[0021]例如，抗蚀涂层14可以具有最高大约5000千克/平方毫米(kg/mm2)的维氏硬度(Hv)的剖面。在这个范围内，抗蚀涂层14的硬度大于或等于大约500kg/mm2。在一个实施方式中，抗蚀涂层14的硬度大于或等于大约1000kg/mm2。在另一个实施方式中，抗蚀涂层14的硬度大于或等于大约2000kg/mm2。在又一个实施方式中，抗蚀涂层14的硬度低于或等于大约4000kg/mm2。在再一个实施方式中，抗蚀涂层14的硬度低于或等于大约3000kg/mm2。
[0022]抗蚀涂层14的平均粗糙度(Ra)是在样品长度内采集的并且从图表中心线测量的抗蚀涂层14中的测量轮廓高度偏差绝对值的算术平均值，它可以低于或等于大约75微英寸。在这个范围内，抗蚀涂层14可以具有低于或等于大约60微英寸的Ra。在一个实施方式中，抗蚀涂层14具有低于或等于大约50微英寸的Ra。在另一个实施方式中，抗蚀涂层14具有低于或等于大约40微英寸的Ra。在又一个实施方式中，抗蚀涂层14具有大于或等于大约10微英寸的Ra。在再一个实施方式中，抗蚀涂层14具有大于或等于大约20微英寸的Ra。
[0023]虽然对于可以组成多层抗蚀涂层14的各个层的数目没有特定的上限，然而自然地必须至少有2层。在多层抗蚀涂层14中，应当考虑热膨胀以及(通过伸展)各个层与基底12以及各个层之间的热循环应力。例如，各个层的热循环应力不应超过全部多层抗蚀涂层14的屈服应力。
[0024]此外，在多层抗蚀涂层14中，每层可以具有不同的厚度和/或每层可以具有非均一的厚度。每层的平均厚度可以独立为大约5纳米(nm)-大约25微米(μm)。在这个范围内，每层的平均厚度可以独立大于或等于大约100nm，特别的大于或等于大约1μm。同样在这个范围内，每层的平均厚度可以独立小于或等于10μm，特别的小于或等于大约5μm。全部多层涂层14的平均厚度可以为大约1μm-大约200μm。在这个范围内，全部多层涂层14的平均厚度可以大于或等于大约5μm，特别的大于或等于大约7μm。同样在这个范围内，全部多层涂层14厚度的平均厚度可以低于或等于50μm，特别的低于或等于大约30μm。
[0025]在一个实施方式中，多层抗蚀涂层14的至少一部分可以是各个层的周期循环。例如，两种不同组合物可以交替堆叠以形成3层或更多层。另外，3种不同组合物可以以任何排列数目堆叠，包括(但不限于)1-2-3-1-2-3，1-2-3-2-1，等等。如果这些交替堆叠层足够薄(例如低于或等于大约100nm)，就形成了异质结构或超晶格，它可以具有比更厚的、单独的层显著改善的硬度和断裂阻力。
[0026]如上所述，可以采用电子束物理汽相淀积(EB-PVD)或离子等离子体阴极电弧淀积把抗蚀涂层14淀积到基底12上。当抗蚀涂层14是多层涂层时，采用同样的淀积技术淀积多层抗蚀涂层14的每层不是必需的，虽然这可能是期望的。
[0027]EB-PVD设备一般包括包含阴极、电源以及阳极靶组件的真空室。阳极靶组件包括有期望涂料组合物的一种或多种金属的阳极靶以及靶托。当淀积超过一种金属时，可以把包含将要淀积的金属合金的单一靶蒸汽化或者把多重靶共蒸汽化。首先把淀积室抽真空到特定压力。用连接到电源上的电子源(例如钨丝)产生的电子束轰击阳极靶。由于电子束导致的阳极靶的强烈加热使得靶表面熔化或升华，使得汽化的金属分子向上运动，然后淀积在基底12的表面上，得到期望的抗蚀涂层14，其厚度取决于涂覆工艺的持续时间和冷凝在基底上的蒸气通量。把受控气体引入室中得到其为靶和引入气体混合物的组合物在基底12上的淀积。在淀积室内，可以移动基底12以在基底12的多个表面上获得均一涂层。
[0028]相反，阴极电弧设备一般包括含有阳极、电源以及连接到电源上的阴极靶组件的真空室。阴极靶组件包括具有期望涂料组合物的一种或多种金属的阴极靶以及靶托。当淀积超过一种金属时，可以把包含将要淀积的金属合金的单一靶蒸汽化或者把多重靶共蒸汽化。首先把淀积室抽真空到特定压力。然后采用电子触发器产生电弧；以及外部电磁场既维持电弧又引导电弧到阴极靶面产生理想的把涂料淀积在基底12上的高度离子化的等离子体的强烈源。阴极靶和基底12之间产生了压差以驱使抗蚀涂层14的淀积。通过把受控气体引入离子化的等离子体云中，靶和引入气体的混合物可以淀积在基底12上。在淀积室内，可以移动基底12以在基底12的多个表面上获得均一涂层。
[0029]如果仅仅基底12的一部分用抗蚀涂层14涂覆，那么可以使用掩模遮盖基底12的该部分使其在基底12插入淀积室之前保持未涂覆。考虑到该公开，诸如硬掩蔽(masking)和软掩蔽的具体掩蔽技术对本领域技术人员来说是公知的。
[0030]考虑到该公开，本领域技术人员在没有过分实验的情况下就能决定用来形成抗蚀涂层14的特定淀积参数。技术的选择取决于具体应用、基底12、温度、费用等等。例如，在给定基底12上采用EB-PVD而不是阴极电弧淀积可以获得稍微光滑些的抗蚀涂层14。此外，使用EB-PVD，在能被淀积的涂层组合物中可以具有更多的多功能性；但是采用阴极电弧淀积可以获得更大的组成控制，特别是对于多组份或复合合金。EB-PVD一般允许抗蚀涂层14的更快淀积。然而，阴极电弧淀积设备的费用显著低于EB-PVD的。两种技术的淀积温度相似，然而当采用阴极电弧淀积淀积多组份或复合合金时，电弧点的更高的即时温度能得到提高的组成控制。
[0031]EB-PVD和阴极电弧淀积都能得到与它们淀积到其上的基底12具有同样的或基本同样的微结构和/或平均粗糙度的抗蚀涂层14。例如，采用EB-PVD，淀积的抗蚀涂层14的平均粗糙度在基底12的平均粗糙度的大约1％-大约10％之内；采用离子等离子体阴极电弧淀积，淀积的抗蚀涂层14的平均粗糙度在基底12的平均粗糙度的大约1％-大约33％之内。通过把部件加工到期望的轮廓和/或尺寸可以控制未涂覆涡轮发动机部件的光滑度/粗糙度。这样，有利的特征是，在光滑的涡轮发动机部件上可以获得高光滑的原样的淀积抗蚀涂层14，而不需要淀积后的处理步骤。照这样，一旦涂覆步骤已经完成，涂覆物体10就可以使用或经历后续的生产工艺。
[0032]现在提及图2，它显示了一般标定为100的涡轮发动机一部分的剖面图，其具有用抗蚀涂层14涂覆的在图中用阴影标示的各种部件。特别的，喷嘴102和叶片104是能被涂覆的主要部件中的两个。这里描述的可以用抗蚀涂层14涂覆的涡轮发动机100的别的区域包括喷嘴挡栅板部分(例如根部溢出带106和也被称为尖(tip)部溢出带的挡栅板外环112)、叶片燕尾榫部分(例如溢出带平台108和一般标定为110的燕尾榫的别的轴向表面)、以及易受固体粒子侵蚀的任何别的区域。应当注意与现有的涂覆技术不同，图2中显示的涂覆区域不需要调整流通面积来解决涂层厚度。
[0033]现在参考作为涡轮叶片104的基底。通过把Ti和TiN的交替层淀积到叶片104上可形成例证性的多层抗蚀涂层14。
[0034]为了阐释方便，将再次通过参照图1来描述多层抗蚀涂层14。特别的，如图所示，TiN层(18，22，26和30)是阴影的，而Ti层(16，20，24和28)不是阴影的。应当意识到虽然参考了8个交替层(即16，18，20，22，24，26，28和30)，但是这仅是为了解释的目的。本领域普通技术人员将会意识到可以使用任何数目的交替层。此外，虽然这个实施方式中的第一交替层16(即最接近涡轮叶片的层)已经指定为Ti层，但是TiN用作第一交替层16也是可能的。
[0035]采用钛锭通过EB-PVD或者阴极电弧淀积来淀积Ti的交替层。当期望TiN层时，把氮引入淀积室来氮化金属钛蒸气。
[0036]采用Ti和TiN的交替层的一个特别有利的特征是，涂层的总厚度可以很高。TiN自身淀积的残余应力太大而不能形成厚度大于大约5μm的涂层。然而，多层抗蚀涂层14的累积厚度可以为大约5μm-大约45μm，其中Ti和TiN的单独层每一个具有大约500nm-大约5μm的厚度。
[0037]此外，诸如金属(在这个例子中是钛)的软而延展性材料用作多层抗蚀涂层14的组份使得当硬的和脆的陶瓷(在这个例子是氮化物)层被侵蚀剂冲击时，裂纹传播被最小化或阻止。这有效延长了涂层以及最终涂覆的叶片的寿命。
[0038]Ti/TiN的多层抗蚀涂层14以及最终的涂覆的叶片也能耐氧化到最高温度大约1100华氏度()。此外多层抗蚀涂层14具有大约30微英寸-大约50微英寸以及更特别的大约38微英寸-大约40微英寸的Ra。涂覆的叶片的硬度为大约2000kg/mm2-大约2600kg/mm2，以及更特别的大约2400kg/mm2-大约2600kg/mm2。
[0039]已经出乎意料的发现通过采用EB-PVD或者阴极电弧淀积用Ti/TiN的多层抗蚀涂层14涂覆基底12改善了基底12(例如钢)的高周疲劳(HCF)性能。这与其中HCF强度被降低的热喷射涂层获得的数据完全相反。
[0040]在另一个例证性的实施方式中，用多层抗蚀涂层14涂覆了喷嘴102，而不是叶片104。该多层抗蚀涂层14是通过淀积TiAlN(18，22，26和30)和Ti(16，20，24和28)的交替层形成的。再一次，8个交替层(即16，18，20，22，24，26，28和30)仅是为了解释的目的，可以使用任何数目的交替层。类似的，第一交替层16可以是TiAlN层或者Ti层。
[0041]如上所述，采用钛锭通过EB-PVD或者阴极电弧淀积来淀积Ti的交替层。然而，当期望TiAlN层时，可以使用单一的TiAl合金锭或者两种分别的锭(即一为钛和一为铝)；把氮引入淀积室来氮化金属钛和铝蒸气。TiAlN中的铝含量可以为大约1原子百分比-大约50原子百分比。在一个例证性的实施方式中，铝含量为大约20原子百分比-大约30原子百分比。在一个特别的例证性实施方式中，铝含量为大约26原子百分比。高于大约26原子百分比的铝含量提供增加的抗氧化性，但是也减小了抗侵蚀性。在大约26原子百分比Al，TiAlN耐氧化最高直到大约1380。
[0042]类似于TiN，来自TiAlN自身淀积的残余应力太大使得不能形成厚度大于大约5μm的涂层。然而，Ti和TiAlN交替层的使用使得多层抗蚀涂层14的累积厚度可以为大约5μm-大约45μm，其中Ti和TiN的单独层具有大约500nm-大约5μm的厚度。此外，对于Ti/TiAlN多层抗蚀涂层14也能观察到上面描述的采用软而延展性的钛层防止裂纹的好处。
[0043]Ti/TiAlN的多层抗蚀涂层14以及最终的经涂覆的涡轮喷嘴耐氧化最高直到大约1300。而且多层抗蚀涂层14具有大约40微英寸-大约50微英寸的Ra。涂覆的喷嘴的硬度为大约3000kg/mm2-大约3600kg/mm2。
[0044]应当认识到涡轮发动机部件可以包括通常淀积在涡轮发动机部件上的别的涂层，例如粘合层、热障层、光滑层等等。如果要把这里描述的抗蚀涂层14淀积到已经涂覆的涡轮发动机部件上，那么已经涂覆的涡轮发动机部件被确定当作上述的基底12。而且，为了获得光滑的涂层，可以在淀积抗蚀涂层之前把已经涂覆的基底12加工到具有期望的光滑度。这些别的类型的涂层的淀积对本领域技术人员来说是公知的。
[0045]此外，经涂覆的涡轮发动机部件10可以经历别的不是意图改变抗蚀涂层14的表面特征的加工操作。例如，在淀积后制备步骤期间可以把经涂覆的涡轮发动机部件10焊接或以其它方式结合到整个涡轮发动机的另一个部件上，例如就像在经涂覆的喷嘴的情况下一样。照这样，而不是将整个喷嘴组件放置在淀积室中(以及其中不期望涂层的掩蔽区域)，可以在淀积室处理涡轮发动机的更小部件并用抗蚀涂层14涂覆。
[0046]此外，虽然不必获得光滑的涂覆物体10，然而在抗蚀涂层14已经淀积到基底12上后可以把抗蚀涂层14加工到特定的轮廓和尺寸。
[0047]虽然参照例证性的实施方式描述了本公开，但是本领域技术人员应当知道在不脱离本公开范围的情况下可以对其元素进行各种变化和等价替换。此外，在不脱离其实质范围的情况下，可以进行许多调整来适应根据本公开的教导的具体情况或材料。因此，有意的是本公开不限于作为预期实施本公开的最好模式公开的具体实施方式，而是本公开将包括落在所附权利要求书范围内的所有实施方式。
[0048]同样，术语“第一”、“第二”、“底部”、“顶部”等等不表示任何次序、数量或重要性，而是用来从另一个元素区分一个元素；以及术语“该”、“某个”、“某种”不表示任何数量的限制，而是表示所指物体至少之一的存在。与数量连接使用的修饰语“大约”包括所述值并且具有根据上下文指示的含义或者包括至少与具体数量测量相关的误差程度。此外，列举同样数量或物理性能的所有范围包括列举的端点和是可独立组合的。
部件列表
10     涂覆的物体
12     基底
14     抗蚀涂层
16-30  多层抗蚀涂料的层
100    涡轮发动机
102    喷嘴
104    叶片
106    根部溢出带
108    溢出带平台
110    燕尾榫的轴向表面
112    挡栅板外环

Claims (10)

1.经涂覆的涡轮发动机部件(10，100)，包括：
涡轮发动机部件(12，102，104，106，108，110，112)；以及
采用电子束物理汽相淀积或离子等离子体阴极电弧淀积设置在涡轮发动机部件(12，102，104，106，108，110，112)的表面的至少一部分上的抗蚀涂层(14)。
2.权利要求1的经涂覆的涡轮发动机部件(10，100)，其中抗蚀涂层(14)包括陶瓷、金属陶瓷或者包含至少前述之一的结合。
3.任一前述权利要求的经涂覆的涡轮发动机部件(10，100)，其中抗蚀涂层(14)具有低于或等于大约75微英寸的平均粗糙度。
4.任一前述权利要求的经涂覆的涡轮发动机部件(10，100)，其中经涂覆的涡轮发动机部件(10，100)具有大于或等于其上未设置抗蚀涂层(14)的涡轮发动机部件(12，102，104，106，108，110，112)的高周疲劳强度。
5.任一前述权利要求的经涂覆的涡轮发动机部件(10，100)，其中抗蚀涂层(14)是多层涂层。
6.权利要求5的经涂覆的涡轮发动机部件(10，100)，其中多层抗蚀涂层(14)的每一层(16，18，20，22，24，26，28，30)具有大约5纳米-大约25微米的平均厚度，以及其中多层抗蚀涂层(14)具有大约1微米-大约200微米的平均总厚度。
7.权利要求5或6的经涂覆的涡轮发动机部件(10，100)，其中多层抗蚀涂层(14)包括软而延展性的组合物以及硬而脆的组合物的交替层(16，18，20，22，24，26，28，30)。
8.一种方法，包括：
通过电子束物理汽相淀积或离子等离子体阴极电弧淀积在涡轮发动机部件(12，102，104，106，108，110，112)的表面的至少一部分上设置抗蚀涂层。
9.权利要求8的方法，其中抗蚀涂层(14)是多层抗蚀涂层(14)，以及其中多层抗蚀涂层(14)的每一层(16，18，20，22，24，26，28，30)独立地是电子束物理汽相淀积层或者离子等离子体阴极电弧淀积层。
10.权利要求8或9的方法，其中设置的抗蚀涂层(14)的平均粗糙度在涡轮发动机部件(12，102，104，106，108，110，112)的平均粗糙度的大约1％-大约33％范围内。
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