CN101167019A - 输送误差计测方法、校正方法、描绘方法、曝光描绘方法、描绘装置以及曝光描绘装置 - Google Patents

输送误差计测方法、校正方法、描绘方法、曝光描绘方法、描绘装置以及曝光描绘装置 Download PDF

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Abstract

具有：相对于曝光头(24a～24h)相对地输送计测用工件(36a)的第一输送部(100)；对计测用工件(36a)通过曝光头(24a～24h)连续地描绘多个测试图案图像(112)的第一描绘部(102)基于在计测用工件(36a)上描绘的多个测试图案图像(112)的描绘状态至少计测计测用工件(36a)的相对输送误差的计测部(104)；基于所述输送误差生成与描绘时刻和图像的变形相关的信息的修正部(106)；相对于曝光头(24a～24h)相对地输送正规的工件(36)的第二输送部(108)；基于由修正部(106)生成的信息对正规的工件(36)描绘应描绘图像的第二描绘部(110)。

Description

输送误差计测方法、校正方法、描绘方法、曝光描绘方法、描绘装置以及曝光描绘装置
技术领域
本发明涉及：例如在向投入到制造工序的工件进行图像描绘之前，计测该工件的输送误差的输送误差计测方法；对与向工件的图像描绘相关的描绘位置进行校正的校正方法；向所述工件进行图像描绘的描绘方法；通过曝光向所述工件进行图像描绘的曝光描绘方法；对所述工件进行图像描绘的描绘装置；以及通过曝光向所述工件进行图像描绘的曝光描绘装置。
背景技术
例如，已开发出按照希望的图像图案控制激光束，通过对片状的感光材料进行曝光扫描，制造液晶显示器、等离子显示器等的过滤器或印刷基板的曝光装置。图26表示这样的曝光装置200的概略结构(参考专利文献1)。
曝光装置200具备：例如由六个脚部202支承的长方形状的平台204；沿着在平台204上配置的两个导轨206a、206b可以移动的移动载置台208；在平台204上配置的门型的支柱(column)210；以及固定在支柱210上的、利用激光束照射定位于移动载置台208上的曝光对象物212(工件)的扫描仪214。
工件212通过与移动载置台208一起向箭头方向移送，另一方面从扫描仪214输出的激光束照射在与箭头方向正交的方向上，由此记录二维图像。
在此，扫描仪214例如由以数字微镜设备(DMD)等空间光调制元件作为图案发生器的多个曝光头构成，并构成为利用各曝光头高精细且高速度地记录二维图像图案。
DMD是在硅等半导体基板上二维地排列反射面的角度对应于控制信号而变化的多个微镜的反射镜设备，在将从激光光源输出的激光束用准直仪透镜校准之后，利用控制反射面的角度的DMD选择性地进行反射，通过经由微镜阵列聚光在工件212上，从而进行二维图像图案的记录。
即，在工件212上形成的二维图像图案(简称为图像图案)是由从各曝光头射出的激光束形成的多个图像排列形成的。当然，也可以将多个图像排列在直线上而形成线状的图像图案。
专利文献1：日本特开2004-62155号公报
但是，如果为了对工件进行图案扫描而使移动载置台208移送，则由于移动在移动载置台208产生蛇行，移送台208产生错位，存在在工件212上描绘的图案产生变形的问题。所谓该蛇行是指由于移动载置台208的移动产生的相对于移动载置台208的工件载置面向与移动方向交叉的方向的偏移，由于因移动移动载置台的工件载置面向交叉的方向错开，所以从曝光头向工件212上照射光束的位置错位。
另外，如果为了对载置工件212的移动载置台208进行图案描绘而使移动载置台208移动，则由于移动在移动载置台208上产生俯仰振动，在移动载置台208上产生错位，存在在工件212上描绘的图案产生变形的问题。该所谓俯仰振动是指，移动载置台208向垂直方向的圆弧状的振子振动，由于使移动载置台208的工件载置面倾斜，所以从移动载置台208的上方照射的光束的光路长度变化，该变化量为移动载置台208的工件载置面的扫描间距的偏移。
进而，如果移动载置台208移动，则在移动载置台208上引起偏航动作(移动载置台208向移动方向的动作)在各位置发生差异微妙的蛇行动作、或在各位置发生差异微妙的俯仰振动。
发明内容
本发明正是考虑这样的问题而提出的，其目的在于提供一种输送误差计测方法以及校正方法，其可以高精度地计测伴随着工件的输送的蛇行或俯仰振动等引起的描绘位置的偏移，可以高精度地进行例如之后向工件进行的图像描绘和曝光。
另外，本发明的其他目的在于，提供一种描绘方法、曝光描绘方法、描绘装置以及曝光描绘装置，其可以高精度地计测伴随着工件的输送的蛇行或俯仰振动等引起的描绘位置的偏移，逻辑上将该计测结果反映于描绘图像，可以消除所述蛇行或俯仰振动等引起的曝光位置的偏移，可以高精度且低成本地进行向工件的图像描绘或曝光。
本发明的输送误差计测方法，其特征在于，具有：相对于描绘部相对地输送保持有工件的载置台的输送步骤；对所述工件通过所述描绘部描绘多个测试图案图像的描绘步骤；以及基于在所述工件上描绘的多个测试图案图像的描绘状态至少计测所述工件的相对输送误差的计测步骤。
由此，可以高精度地计测由于伴随着工件的输送的蛇行或俯仰振动等引起的描绘位置的偏移，可以高精度地进行例如之后的向工件的图像描绘和曝光。
而且，在所述方法中，优选所述计测步骤基于在所述工件上连续描绘的多个测试图案图像的描绘状态进行计测。
所述描绘步骤可以通过所述描绘部的多重描绘将所述多个测试图案图像描绘在所述工件上，也可以使用所述描绘部的一部分的区域内的像素将所述多个测试图案图像描绘在所述工件上。
另外，所述计测步骤优选基于描绘在所述工件上的多个测试图案图像的描绘状态，计测所述工件的在垂直于相对的输送方向的方向上的距离基准位置沿着所述测试图案图像的所述方向的偏移量。
所述计测步骤优选基于在所述工件上描绘的多个测试图案图像的描绘状态，计测所述工件的在相对的输送方向上的距离基准位置沿着所述测试图案图像的所述输送方向的偏移量。
另外，所述描绘步骤优选分别使用所述描绘部中的沿着垂直于所述工件的相对输送方向的方向分开的至少两个区域内的像素在所述工件上描绘。
所述计测步骤优选基于在所述工件上描绘的多个测试图案图像的描绘状态，计测所述工件相对于相对输送方向或相对于垂直于该输送方向的方向的旋转分量。
接着，本发明的校正方法的特征在于，使用上述的本发明的输送误差计测方法对所述描绘部的描绘位置进行校正。
由此，可以高精度地计测由于伴随着工件的输送的蛇行或俯仰振动等引起的描绘位置的偏移，可以高精度地进行例如之后的向工件的图像描绘和曝光。
接着，本发明的描绘方法的特征在于，具有：相对于描绘部相对地输送保持有计测用工件的载置台的第一输送步骤；对所述计测用工件通过所述描绘部描绘多个测试图案图像的第一描绘步骤；基于在所述计测用工件上描绘的多个测试图案图像的描绘状态至少计测所述计测用工件的相对输送误差的计测步骤；基于由所述计测步骤计测的所述输送误差，生成与所述描绘部的描绘相关的信息的修正步骤；在所述载置台上保持正规的工件并相对于所述描绘部相对输送正规的工件的第二输送步骤；以及基于由所述修正步骤生成的与所述描绘相关的信息，描绘应该对正规的工件应该描绘的图像的第二描绘步骤。
由此，可以高精度地计测由于伴随着工件的输送的蛇行或俯仰振动等引起的描绘位置的偏移，可以将该计测结果逻辑性地反映到描绘图像，可以消除因所述蛇行或俯仰振动等引起的曝光位置的偏移，可以高精度且低成本地进行向工件的图像描绘和曝光。
而且，在所述方法中，优选所述计测步骤基于在所述计测用工件上连续描绘的多个测试图案图像的描绘状态进行计测。
另外，所述第一描绘步骤可以通过所述描绘部的多重描绘将所述多个测试图案图像描绘于所述计测用工件，也可以使用所述描绘部的一部分的区域内的像素将所述多个测试图案图像描绘在所述计测用工件上。
另外，所述计测步骤基于在所述计测用工件上描绘的多个测试图案图像的描绘状态，计测所述计测用工件的在垂直于相对的输送方向的方向上的距离基准位置的沿着所述测试图案图像的所述方向的偏移量。
所述计测步骤优选基于在所述计测用工件上描绘的多个测试图案图像的描绘状态，计测所述工件的在相对的输送方向上的距离基准位置的沿着所述测试图案图像的所述输送方向的偏移量。
另外，所述描绘部优选具有一个以上的描绘头，所述修正步骤具有：基于在所述计测步骤计测的所述输送误差，使所述应描绘的图像数据按每个所述描绘头进行逻辑上的变形，将与该变形相关的信息作为信息表生成的表生成步骤，所述第二描绘步骤基于在所述信息表存储的与所述变形相关的信息在所述正规的工件上描绘所述应描绘的图像。
另外，所述描绘部优选具有一个以上的描绘头，所述修正步骤具有：基于在所述计测步骤计测的所述输送误差，逻辑性改变所述应描绘图像数据的按每个所述描绘头的读出的开始地址，将与该地址变更相关的信息作为信息表生成的表生成步骤，所述第二描绘步骤基于在所述信息表中存储的与所述地址变更相关的信息在所述正规的工件上描绘所述应描绘图像。
另外，所述第一描绘步骤优选分别使用所述描绘部中的沿着垂直于所述计测用工件的相对输送方向的方向分开的至少两个区域内的像素，在所述计测用工件上描绘。
所述计测步骤优选基于在所述计测用工件上描绘的多个测试图案图像的描绘状态，计测所述计测用工件相对于相对输送方向、或相对于垂直于该输送方向上的旋转分量，所述修正步骤将与所述描绘部的描绘相关的信息反映于所述旋转分量来生成。
接着，本发明的曝光描绘方法的特征在于，使用上述的本发明的描绘方法至少对所述正规的工件进行曝光。
由此，可以高精度地计测由于伴随着工件的输送的蛇行或俯仰振动等引起的描绘位置的偏移，可以将该计测结果逻辑性地反映到描绘图像，可以消除因所述蛇行或俯仰振动等引起的曝光位置的偏移，可以高精度且低成本地进行向工件的图像描绘和曝光。
接着，本发明的描绘装置的特征在于，具有：相对于描绘部相对地输送保持有计测用工件的载置台的第一输送机构；对所述计测用工件通过所述描绘部描绘多个测试图案图像的第一描绘机构；基于在所述计测用工件上描绘的多个测试图案图像的描绘状态至少计测所述计测用工件的相对输送误差的计测机构；基于由所述计测机构计测的所述输送误差，生成与所述描绘部的描绘相关的信息的修正机构：在所述载置台上保持正规的工件并相对于所述描绘部相对输送正规的工件的第二输送机构；以及基于由所述修正机构生成的与所述描绘相关的信息，描绘应该对正规的工件应该描绘的图像的第二描绘机构。
由此，可以高精度地计测由于伴随着工件的输送的蛇行或俯仰振动等引起的描绘位置的偏移，可以将该计测结果逻辑性地反映到描绘图像，可以消除因所述蛇行或俯仰振动等引起的曝光位置的偏移，可以高精度且低成本地进行向工件的图像描绘和曝光。
而且，在所述描绘装置中，优选所述计测机构基于在所述计测用工件上连续描绘的多个测试图案图像的描绘状态进行计测。
另外，所述第一描绘机构可以通过所述描绘部的多重描绘将所述多个测试图案图像描绘于所述计测用工件，也可以使用所述描绘部的一部分的区域内的像素将所述多个测试图案图像描绘在所述计测用工件上。
另外，所述计测机构优选基于在所述计测用工件上描绘的多个测试图案图像的描绘状态，计测所述计测用工件的在垂直于相对的输送方向的方向上的距离基准位置的沿着所述测试图案图像的所述方向的偏移量。
另外，所述计测机构优选基于在所述计测用工件上描绘的多个测试图案图像的描绘状态，计测所述计测用工件的在相对的输送方向上的距离基准位置的沿着所述测试图案图像的所述输送方向的偏移量。
另外，所述描绘部优选具有一个以上的描绘头，所述修正机构具有：基于由所述计测机构计测的所述输送误差，使所述应描绘的图像数据按每个所述描绘头进行逻辑上的变形，将与该变形相关的信息作为信息表生成的表生成机构，所述第二描绘机构基于在所述信息表存储的与所述变形相关的信息在所述正规的工件上描绘所述应描绘的图像。
另外，所述描绘部优选具有一个以上的描绘头，所述修正机构具有：基于由所述计测机构计测的所述输送误差，逻辑性改变所述应描绘图像数据的按每个所述描绘头的读出的开始地址，将与该地址变更相关的信息作为信息表生成的表生成机构，所述第二描绘机构基于在所述信息表中存储的与所述地址变更相关的信息在所述正规的工件上描绘所述应描绘图像。
所述第一描绘机构优选分别使用所述描绘部中的沿着垂直于所述计测用工件的相对输送方向的方向分开的至少两个区域内的像素，在所述计测用工件上描绘。
所述计测机构优选基于在所述计测用工件上描绘的多个测试图案图像的描绘状态，计测所述计测用工件相对于相对输送方向、或相对于垂直于该输送方向上的旋转分量，所述修正机构将与所述描绘部的描绘相关的信息反映于所述旋转分量来生成。
接着，本发明的曝光描绘装置的特征在于，具有上述的本发明的描绘装置，至少在所述正规的工件上通过曝光进行所述图像的描绘。
由此，可以高精度地计测由于伴随着工件的输送的蛇行或俯仰振动等引起的描绘位置的偏移，可以将该计测结果逻辑性地反映到描绘图像，可以消除因所述蛇行或俯仰振动等引起的曝光位置的偏移，可以高精度且低成本地进行向工件的图像描绘和曝光。
如以上说明，根据本发明的输送误差计测方法以及校正方法，可以高精度地计测由于伴随着工件的输送的蛇行或俯仰振动等引起的描绘位置的偏移，可以高精度地进行例如之后的向工件的图像描绘和曝光。
另外，根据本发明的描绘方法，曝光描绘方法、描绘装置以及曝光描绘装置，可以高精度地计测由于伴随着工件的输送的蛇行或俯仰振动等引起的描绘位置的偏移，可以将该计测结果逻辑性地反映到描绘图像，可以消除因所述蛇行或俯仰振动等引起的曝光位置的偏移，可以高精度且低成本地进行向工件的图像描绘和曝光。
附图说明
图1是表示本实施方式的曝光装置的概略结构的立体图；
图2是表示本实施方式的曝光装置的控制系统的结构的框图；
图3是构成本实施方式的曝光装置的曝光头形成二维图像处理的说明图；
图4是表示在帧存储器中记录的图像数据的说明图；
图5是表示图像数据的分割的说明图；
图6A是表示从线性编码器输出的脉冲的时间图。
图6B是表示从时刻发生电路输出的时刻脉冲的时间图；
图7是构成本实施方式的曝光装置的曝光头的结构图；
图8A是表示曝光头的曝光区域的俯视图；
图8B是表示曝光头的排列图案的一例的俯视图；
图9是表示曝光头的点图案的排列状态的一例的俯视图；
图10是表示本实施方式的曝光装置的处理动作的流程图；
图11A是表示圆形的测试图案图像的俯视图；
图11B是表示排列了多个纵线的测试图案图像的俯视图；
图11C是表示排列了多个横线的测试图案图像的俯视图；
图11D是表示排列了多个纵线和横线的测试图案图像的俯视图；
图12A是表示进行1重描绘时的曝光头的倾斜状态的一例的说明图；
图12B是表示在描绘位置进行1重描绘的状态的说明图；
图13A是表示进行二重描绘时的曝光头的倾斜状态的一例的说明图；
图13B是表示在描绘位置进行二重描绘的状态的说明图；
图14是用于说明第一偏移量～第三偏移量的图11A的放大图；
图15是表示在移动载置台产生的俯仰振动引起的错位量的一例的图；
图16是表示第一信息表的明细的说明图；
图17A是用于说明在蛇行修正部采用第一方式时的图像数据的开始列地址(固定)的图；
图17B是用于说明基于第三偏移量(或第一偏移量)的图像数据的行单位的转变操作的图；
图17C是表示第二信息表以及第三信息表的明细的图；
图18是表示蛇行修正部的第一方式的处理动作的流程图；
图19是表示蛇行修正部的第二方式的处理动作的流程图；
图20A是用于说明在蛇行修正部采用第二方式时的图像数据的开始列地址(初期)的图；
图20B是用于说明基于第三偏移量(或第一偏移量)的图像数据的行单位的开始列地址的指定的图；
图20C是表示第二信息表以及第三信息表的明细的图；
图21是表示蛇行修正部采用第一方式时的在第二描绘部的处理、尤其是图像读取处理的流程图；
图22是表示蛇行修正部采用第二方式时的在第二描绘部的处理、尤其是图像读取处理的流程图；
图23A是表示通常的时刻脉冲的输出时刻的时间图；
图23B是表示进行16脉冲的减少修正时的时刻脉冲的输出时刻的时间图；
图23C是表示进行130脉冲的增加修正时的时刻脉冲的输出时刻的时间图；
图24是表示对计测用工件的一个第二基准位置描绘两个测试图案图像的状态的说明图；
图25是表示基于由两个测试图案图像特定的线的旋转分量的关系的说明图；
图26是表示现有例相关的数字曝光位置的概略结构的立体图。
具体实施方式
以下，参考图1～图25说明将本发明的输送误差计测方法、校正方法、描绘方法、曝光描绘方法、描绘装置以及曝光描绘装置适用于例如具有DMD的数字曝光位置的实施方式例。
本实施方式的曝光装置10，如图1所示，基本上由如下构成：例如由六个脚部12支承的长方形状的平台(基台)14；沿着在该平台14上配置的两个导轨16a、16b在箭头A、B方向上可以移动的移动载置台18；在平台14上配置的支柱20a、20b；在支柱20a、20b之间固定的扫描平台22；在该扫描平台22上定位固定的8组的曝光头24a～24h；在支柱20a、20b之间固定的照相机平台26；以及在该照相机平台26上定位固定的两台校准照相机28a、28b(CCD照相机等)。至少由两个支柱20a、20b和扫描仪平台22构成门型的头保持构成体30。
移动载置台18具备：在平台14上配置的沿着导轨16a、16b移动的移动基座32，和经由升降机构34配置在该移动基座32的上面部且对曝光对象物即工件36进行定位保持的曝光台38。作为工件36，可以举出基板、感光材料、印刷基板、限制装置用基板、显示装置用基板、显示装置用滤光器等。
另外，如图2所示，控制曝光装置10的控制单元40具有：校准部44，其控制移动载置台驱动部42使移动载置台18移动，并且基于由校准照相机28a、28b拍摄的工件36的校准标记，调整图像的记录位置；曝光处理部48，其控制光源单元46以及曝光头24a～24h，在工件36上曝光记录希望的图像图案(二维图像的组合)的曝光处理部48。此时，如图3所示，两列的排列成密集状的各曝光头24a～24h，同时对各曝光区50a～50h记录由多个像素构成的二维图像。
如图4所示，作为二维图像的基础的一帧的图像数据52(在工件上描绘的一个图像数据)存储在一个帧存储器54中，在向工件36进行曝光描绘时，利用位于控制单元40内的图像分割部56，如图5所示，匹配于曝光头24a～24h的数量而被分割成八个(八个图像数据52a～52h)，并存储在分别对应的数据文件58a～58h中。而且，存储在各数据文件54a～54h中的图像数据52a～52h供给给分别对应的曝光头24a～24h，如上所述，在工件36上描绘二维图像。
如图2所示，在移动载置台18的下部设有线性编码器60，伴随着移动载置台18的移动，从线性编码器60输出脉冲Pi，利用该脉冲Pi可以检测出沿着移动载置台18的导轨16a、16b的位置信息以及扫描速度。
线性编码器60在移动载置台18每移动规定量(例如0.1μm)时输出脉冲Pi。而且，为了提高在控制单元40的调整分解能，如图6所示，也可以均分0.1μm间距的脉冲，形成0.05μm间距的脉冲Pi来输出。
另外，曝光处理部48，例如每隔40脉冲对通过移动载置台18的移动检测出的来自线性编码器60的脉冲Pi进行计数，作为时刻脉冲Pt。该时刻脉冲Pt为从曝光头24a～24h照射光束的时刻。即，时刻脉冲Pt也是光照射时刻。因此，该时刻脉冲Pt如图6B所示，每移动2.0μm输出一次。
如图7所示，在曝光头24a～24h，从例如构成光源单元46的多个半导体激光器输出的激光束La被合波，通过光纤62导入。在导入激光束La的光纤62的射出端，顺次排列有棒形透镜64、反射镜66以及数字微镜设备(DMD)68。DMD68是具备反射激光束La的多个微镜的空间光调制元件，由来自控制单元40的驱动信号对应于图像信息驱动控制各微镜。
在DMD68的激光束La的反射侧，顺次排列有：作为扩大光学系统的第一结像光学透镜70、72；对应于DMD68的各微镜而排列了多个透镜的微镜阵列74；作为等倍光学系统的第二结像光学透镜76、78；以及作为焦点微调整机构的棱镜对80。而且，在微镜阵列74的前后配置有微孔阵列82、84，其用于除去杂散光，并且用于将激光束La调整至规定的直径。即，曝光头24a～24h由点单位控制，对于工件36曝光点图案。在该实施方式中，利用多个点图案表现1像素的浓度。
另外，如图3以及图8B所示，多个曝光头24a～24h排列成m行n列(例如2行4列)的近似矩阵状，这些多个曝光头24a～24h排列在与移动载置台18的移动方向(以下称为台移动方向)正交的方向上。在本实施方式中，根据与工件36的宽度的关系，采用2行合计8个曝光头。另外，曝光头24a～24h伴随着移动载置台18的移动相对地向相反方向移动，将该方向称为扫描方向。
在此，一个曝光头(例如24h)的曝光区50h是以台移动方向为短边的矩形，且相对于扫描方向以规定的倾斜角倾斜，伴随着移动载置台18的移动，在工件36上由每个曝光头24a～24h形成带状的曝光完成区域(参考图8A)。
上述的曝光头24a～24h，例如图9所示，由二维排列(例如4×5)的20个点形成。
另外，二维排列的点图案，由于相对于扫描方向倾斜，所以在扫描方向上排列的各点通过在与扫描方向交叉的方向上排列的点之间，可以缩窄实质上的点间间距，可以实现高析像度。尤其，在本实施方式中，由在8个曝光头24a～24h设置的全部点或一部分点描绘记录在帧存储器54中的各行的图像数据。即，描绘形式是由例如8个曝光头24a～24h的全部的点一行一行地描绘图像数据。
在此，参考图1等图简单说明实施方式的曝光装置10的动作。
首先，控制单元40控制移动载置台驱动部42(参考图2)，沿着平台14的导轨16a、16b向箭头A方向移动定位固定有工件36的移动载置台18。在移动载置台18通过支柱20a、20b之间时，在照相机平台26上固定的校准照相机28a、28b，对在工件36的规定位置预先记录的校准标记(未图示)进行拍摄。
控制单元40根据拍摄的校准标记，检测出工件36的错位和变形等，生成对记录在工件36上的图像信息的修正数据。另外，控制单元40驱动构成移动载置台18的升降机构34，使曝光台38升降，并且控制构成曝光头24a～24h的棱镜对80(参考图7)，进行工件36相对于曝光头24a～24h的焦点调整处理。
接着，移动载置台18向箭头B方向移动，进行基于曝光头24a～24h的二维图像图案(简单地记作图像图案)的记录处理。即，从光源单元46输出的激光束La经由光纤62导入各曝光头24a～24h。激光束La从棒形透镜64经由反射镜66入射到DMD68。入射到DMD68中的激光束La被对应于图像数据52的信息而被控制的多个微镜选择性地反射，在通过第一结像光学透镜70、72扩大之后，经由微孔阵列82引导向微镜阵列74。微镜阵列74经由第二结像光学透镜76、78以及棱镜对80在工件36上结像出各激光束La。
在此，简单说明控制单元40中的在曝光处理部48的描绘时刻。曝光处理部48，如图2所示，具有脉冲计数电路86、寄存器88和时刻生成电路90。而且，如果开始曝光处理，在曝光处理部48中，基于伴随着移动载置台18的移动而检测出的来自线性编码器60的脉冲Pi计算出时刻脉冲Pt的输出时刻。该计算在脉冲计数电路86中，计数来自线性编码器60的脉冲Pi，在与存储于寄存器88中的计数值(例如40脉冲)一致的时刻，激活时刻生成电路90，从该时刻生成电路90输出时刻脉冲Pt。与该时刻脉冲Pt的输出时刻同步地向DMD68照射激光束La，在DMD68的微镜关闭状态时反射的激光经过光学系统被引导向工件36，在该工件36上结像。
但是，在移动载置台18上伴随着移动产生蛇行或俯仰振动等，由于在移动载置台18上产生错位，所以存在在移动载置台18上的工件36曝光的图像产生变形的问题。
因此，本实施方式的曝光装置10中的控制单元40具有以下所示的软件以及/或者硬件的功能部。
即，如图2所示，控制单元40具有第一输送部100、第一描绘部102、计测部104、修正部106、第二输送部108、第二描绘部110。对于这些结构以及功能参考图10的流程图以及图11～图25进行说明。
第一输送部100控制校准部44，相对于曝光头24a～24h相对地输送保持有用于计测的工件(以下记作计测用工件36a)的移动载置台18。计测用工件36a的材料可以和上述工件36(为了与计测用工件相区别而称为正规的工件36)相同，也可以在玻璃基板上涂敷感光材料。
第一描绘部102控制曝光处理部48，对计测用工件36a利用多个测试图案图像112(参考图11A～图11D)由曝光头24a～24h连续地描绘。当然，也可以将多个测试图案图像112分成几次来描绘。
具体地说，第一输送部100在图10的步骤S1，通过线性电动机(未图示)的驱动力将保持了计测用工件36a的移动载置台18沿着平台14的导轨16a、16b向一方向(图1的A方向)以一定速度移动(去路移动)。在该去路移动时，检测在计测用工件36a上形成的校准标记。该校准标记与预先存储的标记相对照，基于其位置关系修正曝光头24a～24h的曝光开始时刻。
另外，第一输送路100在移动载置台29到达去路端的阶段，使移动载置台18这次以一定速度向所述一方向相反的方向(图1的B方向)移动(回路移动)。而且，在图10的步骤S2中，第一描绘部102在移动载置台18的回路移动中，控制曝光处理路48开始进行向计测用工件36a的测试图案图像112的描绘处理。
作为测试图案图像112，例如图11A所示，有圆形的图像112a，或如图11B所示，有排列了多个纵线的图像112b，或如图11C所示，有排列了多个横线的图像112c，或如图11D所示，有排列了多个纵线和横线的图像112d等。其中，圆形的图像112a，由于计测其重心位置(中心位置)容易，例如可以利用三维测定器或CCD照相机等容易地计测从基准位置偏移了何种程度，所以是优选的。这些测试图案图像112可以用一个曝光头(24a～24h的任一个)描绘，也可以用多个曝光头(24a～24h的某些)进行描绘。另外，也可以用一个曝光头(24a～24h的任一个)的一部分的区域中的像素进行描绘。
进而，在本实施方式采用的曝光头24a～24h，如上所述，通过使其相对于扫描方向倾斜，可以实现多重曝光。即，如图12A所示，在使曝光头24a～24h相对于扫描方向具有某种程度的倾斜角的情况下，如图12B所示，各点全部描绘不同的位置，由此，例如描绘一条线(所谓的1重描绘)。另一方面，如图13A所示，如果使曝光头24a～24h相比于图12A的情况进一步倾斜，则如图13B所示，由多个点描绘同一位置，可以实现叠写(所谓多重描绘)。在图13B的例子中，用区间114表示的部分为2重描绘。
根据该多重描绘，即使在各点的光强度分布上存在不均(还含有缺陷)，提供多重地进行描绘，可以使光强度分布平均化，例如可以高精度地描绘如图11A所示的圆形的图像112a，之后的计测变得容易。
而且，杂该测试图案图像112的描绘时，对伴随着移动载置台18的移动输出的来自线性编码器60的脉冲Pi进行计数，在变成规定计数值时，描绘测试图案图像112。测试图案图像112的排列间距采用10mm或50mm等。由此，例如图11A所示，在计测用工件36a上，多个测试图案图像112以沿着扫描方向的形式扫描。当然，作为测试图案图像112的排列间距采用1mm等，也可以形成带状的测试图案图像。
而且，通过第一描绘部102，在对计测用工件36a描绘多个测试图案图像112的阶段中，伴随着移动载置台18的移动，在移动载置台18上产生蛇行，另外，在移动载置台18上产生俯仰振动，在移动载置台18上产生错位。进而，在移动载置台18上因为俯仰振动(移动载置台18向移动方向的动作)而在各位置产生微妙的不同蛇行动作，或在各位置产生微妙的不同的俯仰振动。
其结果是，如图11A所示，从第一基准位置(是以测试图案图像112的理想的排列间距为基准的位置，与扫描方向正交的方向上的基准位置；以参考符号116表示的线)向左侧或右侧偏移，进而，从第二基准位置(扫描方向上的基准位置：由参考符号118表示的线)向上侧(输送方向上游侧)或下侧(输送方向下游侧)错开。例如第一基准位置116可以选择任意的位置，但优选是用之后的三维测定器等可以容易计测的位置。另外，第二基准位置118是第一基准位置116上，且，配置成与测试图案图像112的理想的排列间距相同的排列间距。然后，测试图案图像112以这些第一基准位置116以及第二基准位置118的交点(为了方便记作绝对基准120)为目标进行描绘。
而且，在图10的步骤S3中，计测部104基于在计测用工件36a上描绘的多个测试图案图像112的描绘状态至少计测计测用工件36a的相对的输送误差。在该计测时，例如用校准照相机28a、28b拍摄在移动载置台18上保持的计测用工件36a，计测测试图案图像112的位置，除此之外，将完成了测试图案图像112的描绘的计测用工件36a保持于移动载置台18，或者从移动载置台18上取下并搬运到别的计测用设备上，利用三维测定器等精密地计测测试图案图像112的位置等。基于校准照相机28a、28b的拍摄结果或基于三维测定器的计测结果，作为摄像数据或者通过基于操作员的数值输入等被提供给计测部104。
计测部104在图10的步骤S4中，根据计测结果计算各偏移量，并存储在对应的数据文件中。
即，基于校准照相机28a、28b的拍摄结果(摄像数据)或三维测定器的计测结果(数值数据)，计算各测试图案图像112的中心位置从第一基准位置116的偏移量(与扫描方向正交的方向的偏移量：第一偏移量124a)，存储在第一数据文件122a(参考图2)中，并计算各测试图案图像112的中心位置从各自对应的第二基准位置118的偏移量(扫描方向的偏移量；第二偏移量124b)，存储在第二数据文件118b中。
另外，计测部104基于这些计算结果，如图14所示，计算包括测试图案图像112的描绘位置的包线126的数据，计算该包线126和绝对基准120的偏移量、尤其计算沿着与扫描方向正交方向的偏移量(第三偏移量124c)，并存储在第三数据文件122c中。
而且，在上述例子中，以伴随着移动载置台18的移动产生俯仰振动为前提，但通过移动载置台18的机构的作用，有时也不产生俯仰振动。即，有时并不一定需要错开光照射的时刻。在这种情况下，计测部104不会生成第三数据文件122c。
如图2所示，修正部106至少具有光照射修正部128和蛇行修正部130。
在图10的步骤S5中，光照射修正部128基于在第二数据文件122b中存储的每个测试图案图像112的第二偏移量124b，计算用于错开光照射时刻的信息，将该结果存储于第一信息表132a。即，生成第一信息表132a。
在此，例如，如图15所示，在第一个测试图案图像(50mm的地点)检测出了+4.5μm(“+”表示朝向100mm地点错开。下同)的错位的情况下，由于在移动载置台18例如每移动0.05μm时从线性编码器60输出均分的脉冲Pi，所以为了修正产生的+4.5μm的偏移，通过进行减少4.5μm/0.05μm＝90脉冲量的修正，由此可以修正在0～50mm区间之间产生的偏移。另外，在第二个测试图案图像(100mm的地点)检测出+5.3μm的错位时，在从第一个测试图案图像到第二个测试图案图像之间(50～100mm区间)+5.3μm-4.5μm＝+0.8μm偏移变大。因此，为了修正产生的0.8μm的偏移，通过进行减少0.8μm/0.05μm＝16脉冲量的修正，由此可以修正在50～100mm区间之间产生的偏移。
以下同样地，在第三个测试图案图像(150mm的地点)检测出-1.2μm的错位(“-”表示朝向50mm地点偏移)时，在从第二个测试图案图像到第三个测试图案图像之间(100～150mm区间)-1.2μm-5.3μm＝-6.5μm偏移变大。因此，为了修正产生的-6.5μm的偏移，通过进行增加-6.5μm/0.05μm＝130脉冲量的修正，可以修正在100～150mm区间之间产生的偏移。
然后，光照射修正部128按照上述顺序，从第二数据文件122b读出各测试图案图像122的第二偏移量124b，计算出与各间隔(0～50mm、50～100mm、100～150mm…)对应的修正脉冲数，如图16所示，存储在第一信息表132a中。
接着，在图10的步骤S6中，蛇行修正部130基于在第三数据文件122c中存储的每个测试图案图像112的第三偏移量124c，计算用于对1帧的图像数据(在正规的工件36上描绘的一个图像数据)进行变形的信息(与图像数据的变形相关的信息)，将其结果存储在第二信息表132b以及第三信息表132c中。即，生成第二信息表132b以及第三信息表132c。
当然，在不考虑由俯仰振动引起的光照射时刻的偏差的情况下，基于在第一信息表132a中存储的每个测试图案图像112的第一偏移量124a，计算1帧的图像数据变形用的信息。
在此，对于生成两个信息表132b以及132c的意义进行说明，如图8B所示，八个曝光头24a～24h以2行4列的排列并列，而且，在第一行的四个曝光头24a～24d和第二行的四个曝光头24e～24h之间存在无法忽视的程度的距离L。即，这是因为存在如下情况；移动载置台18在由第一行的曝光头24a～24d描绘的时刻的蛇行量，与移动载置台18在由第二行的曝光头24e～24h描绘的时刻的蛇行量较大不同。
在此，在该蛇行修正部130中，将与第一行的曝光头24a～24d对应的图像数据的变形的相关信息存储在第二信息表132b中，将与第二行的曝光头24e～24h对应的图像数据的变形的相关信息存储在第三信息表132c中。
该图像数据的变形存在两种方式，第一方式是对在帧存储器54中存储的1帧的图像数据52本身进行变形。在帧存储器54中记录的图像数据52具有匹配于实际描绘的图像图案而二维地展开点数据的构成。描绘的图像数据52如果是黑白数据(2灰度)，像素数据是逻辑“1”或“0”的值，如果描绘的图像数据52是比2灰度多的灰度的数据(多灰度)，则匹配于该最大灰度的深度的点数被分配。另外，帧存储器54的存储容量、尤其是二维的扩展具有比在正规的工件36上描绘的图像数据52的记录范围广的尺寸。在帧存储器54的记录范围中，除去图像数据52的部分记录初始值(0：不进行曝光的逻辑值)。因此，在从帧存储器54以行单位读出图像数据52时，需要指定开始行地址和开始列地址。在该第一方式中，开始行地址在以行单位读出图像数据52时自动更新，但开始列地址固定。而且在采用第一方式时，由于图像数据52的变形在帧存储器54上行单位的图像数据被转变，所以如图4以及图17A所示，优选预先估计最大转变量来决定开始列地址。
而且，该第一方式在图18的步骤S101中，读出在第三数据文件122c中存储的每个测试图案图像112的第三偏移量124c。接着，在步骤S102中，基于这些第三偏移量124c，采用近似计算等，复原由计测部计测的包线126(参考图14)。之后，在步骤S103中，计算图像数据52的行单位的偏移量。此时，计算第一行的曝光头24a～24d的图像数据52的行单位的偏移量(第四偏移量)，和从第一行的曝光头24a～24d离开距离L的第二行的曝光头24e～24h的图像数据52的行单位的偏移量(第五偏移量)。进而，在步骤S104中，基于各第四偏移量计算与对应的行相关的像素数据的转变方向和转变量(参考图17B)，同样，在步骤S105中，基于各第五偏移量计算与对应的行相关的像素数据的转变方向和转变量。在图17B中，表示了移动图像数据52的例子，但在该修正处理的阶段中，不进行图像数据52的转变，仅计算该信息(转变方向和转变量)。而且，由于在像素数据中没有符号位的概念，所以在移动后的空的图像数据中强制地储存0(表示不进行曝光的图像数据)。
而且，在图18的步骤S106中，基于第四偏移量以行单位计算的各图像数据的转变方向和转变量分别以行单位存储在第二信息表中(参考图17C)，在步骤S107中，基于第五偏移量以行单位计算的各像素数据的转变方向和转变量分别以行单位存储在第三信息表中(参考图17C)。
接着，参考图19以及图20A～图20C对于第二方式进行说明。在该第二方式中，用于读出图像数据52的开始列地址没有必要考虑第一方式那样的最大转变量。因此，如图20A所示，初始的开始列地址与图像数据52的开始列地址相同。
首先，在图19的步骤S201～步骤S203中，与上述的步骤S101～步骤S103同样，计算第一行的曝光头24a～24d的图像数据52的行单位的偏移量(第四偏移量)，和第二行的曝光头24e～24h的图像数据52的行单位的偏移量(第五偏移量)。之后，在步骤S204中，在全部的行之中，第四偏移量最大，且例如在图17B的例子观察时，对向左方向偏移的行(地址计算上的基准行：在图17B中为n行)进行确定，在步骤S205中，在全部的行之中，第五偏移量最大，且对向左方向偏移的行(地址计算上的基准行)进行确定。之后，在步骤S206中，基于各第四偏移量求出与对应的行相关的开始列地址。此时，以由步骤S204确定的行的开始列地址为基准(使其与图20A中的图像数据52的初始的开始列地址相同)，与对应其他行的开始列地址的第四偏移量相对应地，确定图20B上左方的列。这在基于第五偏移量的开始列地址的特定中也同样(步骤S207)。如此，通过以行单位改变读出的开始列地址，来假想地进行像素数据的转变操作。而且，开始行地址与第一方式同样，在以行单位读出图像数据时自动更新。
而且，在步骤S208中，基于第四偏移量以行单位计算的开始列地址分别以行单位存储在第二信息表132b中(参考图20C)，在步骤S209中，基于第五偏移量以行单位计算的开始列地址分别以行单位存储在第三信息表132c中(参考图20C)。
接着，对于第二输送部108以及第二描绘部110的结构以及处理动作进行说明。
首先，第二输送部108相对于曝光头24a～24h相对地输送没有保持计测用工件36a而保持了正规的工件36的移动载置台18。
第二描绘部110对输送中的正规的工件36，基于由所述修正部106生成的至少第一信息表132a～第三信息表132c来描绘应描绘的图像数据52。
具体地说，第二输送部108在图10的步骤S7中，与第一输送部100同样地，利用线性电动机(没有图示)的驱动力，沿着平台14的导轨16a、16b向一方向(图1的A方向)以一定速度移动(去路移动)保持了正规的工件36的移动载置台18。在该去路移动时，检测在正规的工件36上形成的校准标记。将该校准标记与预先存储的标记进行对照，基于其位置关系修正曝光头24a～24h的曝光开始时刻。
另外，第二输送部108在移动载置台18到达去路端为止的阶段，使移动载置台18这次以一定速度向所述一方向相反的方向(图1的B方向)移动(回路移动)。而且，在图10的步骤S8中，第二描绘部110在其回路移动中，开始进行向正规的工件36的图像的描绘处理。
在该步骤S8的基于第二描绘部110的描绘处理进行图像数据的读出处理(步骤S8a)、描绘时刻的变更处理(步骤S8b)以及描绘处理(步骤S8c)。
在此，参考图21说明在步骤S8a的图像数据读出处理。
首先，对应于在蛇行修正部130的两个方式进行不同的处理。即，采用第一方式时，在图21的步骤S301中，进行对第一行的曝光头24a～24d的图像数据52的转变处理。具体地说，从第二信息表132b以行单位读出各像素数据的转变方向和转变量，如图17B所示，对在帧存储器54中存储的图像数据52的对应的行的像素数据进行转变。当然，也存在不进行像素数据的转变。而且，在对于全部的行进行的转变操作之后，在接下来的步骤S302中，第二描绘部110对图像分割部56提供初始的开始行地址和固定的开始列地址。图像分割部56以行单位读出在帧存储器54中存储的图像数据52。开始行地址如上所述自动更新。因此，各行单位的图像数据52根据提供的固定的开始列地址读出。行单位读出的图像数据对应于各曝光头24a～24h被分割为八个图像数据52a～52h，其中，与第一行的曝光头24A～24d对应的四个图像数据52a～52h分别被存储在对应的四个数据文件58a～58d中。对全部的行进行该操作。
之后，在步骤S303中，进行对于第二行的曝光头24e～24h的图像数据52的转变处理。此时，事先使位于帧存储器54的变形后的图像数据52返回到原来的状态，即基于在步骤S301的转变操作而返回到变形之前的状态的图像数据52。而且，从第三信息表132c以行单位读出各像素数据的转变方向和转变量，对存储在帧存储器54的图像数据52的对应行的凸现数据进行转变。在对全部行进行了转变操作之后，在接下来的步骤S304中，与上述的步骤S302同样地，图像分割部56以行单位读出在帧存储器54中存储的图像数据52a，与对应于各曝光头24a～24h分割成八个图像数据52a～52h。而且，八个图像数据52a～52h中的，与第二行的曝光头24e～24h对应的四个图像数据52e～52h分别被存储在对应的四个数据文件58e～58h中。对于全部的行进行该操作。
根据上述处理，在各数据文件58a～58h，在1帧期间内，存储应供应给分别对应的曝光头24a～24h的图像数据52a。
另一方面，在蛇行修正部130采用第二方式时，在图22的步骤S401中，进行与第一行的曝光头24a～24d相关的图像数据的开始列地址的变更处理。具体地说，从第二信息表132b以行单位读出开始列地址，对图像分割部56提供读出的开始地址。该读出的开始地址最初提供初始的开始行地址和读出的第一行的图像数据的开始列地址。之后，提供从第二信息表顺次读出的开始列地址。
图像分割部在步骤S402中，以行单位读出在帧存储器54存储的图像数据52。开始行地址如上所述被自动更新。因此，各行单位的图像数据如图20B所示，从提供的开始列地址读出。以行单位读出的图像数据对应于各曝光头24a～24h而被分割为八个图像数据52a～52h，其中，与第一行的曝光头24a～24d对应的四个图像数据52a～52d分别存储在对应的四个数据文件58a～58d中。对于全部的行进行该操作。
之后，在步骤S403中，进行对于第二行的曝光头24e～24h的图像数据的转变处理。此时，从第三信息表132c以行单位读出开始列地址，提供给图像分割部56。该操作由于是与上述步骤D401相同，所以省略详细说明。之后，在步骤S404，图像分割部56以行单位读出在帧存储器54中存储的图像数据52。以行单位读出的图像数据对应于各曝光头24a～24h分割为八个图像数据52a～52h，其中，与第二行的曝光头24e～24h对应的四个图像数据52e～52h分别存储在对应的四个数据文件58e～58h中。对于全部的行进行该操作。
由此，在各数据文件58a～58h，在1帧期间内，存储应供应给分别对应的曝光头24a～24h的图像数据52a。
在该第二方式中，由于仅仅是简单地变更开始列地址，所以没有必要使帧存储器54内的图像数据变形，可以大幅度提高计算速度，适于描绘高精细度的图像时适用。
接着，对于在图10的步骤S8b进行的描绘时刻变更处理进行说明。该描绘时刻处理中，第二描绘部110进行的处理是根据第二信息表132b读出修正脉冲数，基于这些修正脉冲数，对在分别对应的区间(0～50mm、50～100mm、100～150mm、…)的光照射时刻进行修正。
具体地说，时刻脉冲Pt，如图6B以及图23A所示，每移动2.0μm输出一次，每理想的测试图案图像112的间隔(50mm)输出25000次。通过修正，例如在50～100mm区间减少16脉冲量(0.8μm)的情况下，如图23B所示，对于25000次之中16次的时刻脉冲Pt，将脉冲Pi的计数从规定的40脉冲设为39脉冲，即，将在寄存器88(参考图2)存储的计数值从40脉冲设为39脉冲，由此可以将对于16次的时刻脉冲Pt的脉冲周期分别各缩短0.05μm，结果是可以将光照时刻缩短0.8μm。
相反地，例如，在100～150mm区间增加130脉冲(6.5μm)时，如图23C所示，对于25000次之中的130次的脉冲时刻Pt，将脉冲Pi的计数从规定的40脉冲设为41脉冲，即，将在寄存器88存储的计数值从40脉冲设为41脉冲，由此可以将对于130次的时刻脉冲Pt的脉冲周期分别各延长0.05μm，结果是可以将光照时刻延长6.5μm。
而且，减少脉冲数的区间，在25000次中是均等间隔，例如可以采用乱数来适当变更间隔。
而且，在图10的步骤S8c的描绘处理中，第二描绘部110将在各数据文件58a～58h中存储的变形后的图像数据52分别供给到对应的曝光头24a～24h。由此，曝光头24a～24h在修正后的光射出时刻描绘图像数据52。
如此，在本实施方式的曝光装置10中，在第一描绘部102，对计测用工件36利用曝光头24a～24h连续地描绘多个测试图案图像112，在计测部104计算第一偏移量124a(测试图案图像112距离第一基准位置116的偏移量)、第二偏移量124b(各测试图案图像112距离分别对应的第二基准位置118的偏移量)以及第三偏移量124c(连结了测试图案图像112的描绘位置包线126和绝对基准120的偏移量)，因此可以高精度地计测伴随着移动载置台18的移动的蛇行和俯仰振动等引起的描绘位置的偏移。
另外，在本实施方式的曝光装置10中，基于在上述的计测部104中计算的每个测试图案图像112的第二偏移量124b，计算用于错开光照射时刻的信息，基于该结果生成第一信息表132a，基于在上述的计测部104中计算的每个测试图案图像112的第三偏移量124c(或第一偏移量124a)，计算用于变形1帧的图像数据52(在正规的工件36描绘的一张图像数据)的信息，基于该结果生成第二信息表132b以及第三信息表132c，因此，在基于之后的第二描绘部110的对正规的工件36进行的图像的描绘时，通过使用第一信息表132a～第三信息表132c的信息，可以高精度地描绘图像。
即，本实施方式的曝光装置10可以高精度地计测伴随着工件36的输送的蛇行和俯仰振动等引起的描绘位置的偏移，将该计测结果逻辑性地反映于描绘图像，可以解决因所述蛇行或俯仰振动等引起的曝光位置的偏移，可以高精度且低成本地进行对工件36的图像描绘和曝光。
在上述的例子中，示出了对计测用工件36的一个第二基准位置118描绘一个测试图案图像112的例子，但如图24所示，也可以对计测用工件36a的一个第二基准位置118描绘例如两个测试图案图像112。
此时，在计测部104中，由描绘的两个测试图案图像112可以计测相对于特定的线134和垂直于扫描方向的方向的旋转分量(例如角度θ)。作为角度θ，如图25所示，将垂直于扫描方向的方向作为xy坐标系的x轴方向，在仅考虑0以上的实数区域时，在线204A位于第一象限的情况下为+θ，在位于第四象限时为-θ。
而且，测试图案图像112，由于沿着扫描方向例如以50mm间距进行描绘，所以可以计测50mm单位的旋转分量。而且，如图2所示，通过在修正部106内组装旋转分量修正部136，由该旋转分量修正部136生成每个区间的旋转分量作为第四信息表132d，由此可以容易地反映于基于第二描绘部110、上述的第一信息表132a的光照射时刻的修正或基于第二信息表132b以及第三信息表132c的图像数据52的变形，可以实现更高精度的图像描绘。
而且，在上述的实施方式中，示出了适用于曝光装置10的例子，但此外，也可以适用于模拟曝光装置、喷墨装置、各种校准装置。
即，本发明的输送误差计测方法，校正方法、描绘方法、曝光描绘方法、描绘装置以及曝光描绘装置，并不限于上述实施方式，只要不脱离本发明的要旨，可以采用各种结构，这是不言而喻的。

Claims (31)

1.一种输送误差计测方法，其包括：
输送步骤，其相对于描绘部相对地输送保持有工件(36)的载置台(18)；
描绘步骤，其通过所述描绘部，对所述工件(36a)描绘多个测试图案图像(112)；及
计测步骤，其基于在所述工件(36a)上描绘的多个测试图案图像(112)的描绘状态至少对所述工件(36a)的相对输送误差进行计测。
2.如权利要求1所述的输送误差计测方法，其特征在于，
所述计测步骤基于在所述工件(36a)上连续描绘的多个测试图案图像(112)的描绘状态进行计测。
3.如权利要求1或2所述的输送误差计测方法，其特征在于，
所述描绘步骤通过基于所述描绘部的多重描绘将所述多个测试图案图像(112)描绘在所述工件(36a)上。
4.如权利要求1～3中任一项所述的输送误差计测方法，其特征在于，
所述描绘步骤使用所述描绘部的一部分的区域内的像素将所述多个测试图案图像(112)描绘在所述工件(36a)上。
5.如权利要求1～4中任一项所述的输送误差计测方法，其特征在于，
所述计测步骤基于在所述工件(36a)上描绘的多个测试图案图像(112)的描绘状态，对所述工件(36a)的与相对输送方向正交的方向上的沿所述测试图案图像(112)的所述方向偏离基准位置的偏移量。
6.如权利要求1～5中任一项所述的输送误差计测方法，其特征在于，
所述计测步骤基于在所述工件(36a)上描绘的多个测试图案图像(112)的描绘状态，对所述工件(36a)的相对输送方向上的沿所述测试图案图像(112)的所述输送方向偏离基准位置的偏移量。
7.如权利要求1～6中任一项所述的输送误差计测方法，其特征在于，
所述描绘步骤，分别使用所述描绘部中的在与所述工件(36a)的相对输送方向正交的方向上离开的至少两个区域内的像素，在所述工件(36a)上描绘。
8.如权利要求7所述的输送误差计测方法，其特征在于，
所述计测步骤基于在所述工件(36a)上描绘的多个测试图案图像(112)的描绘状态，对所述工件(36a)在相对于相对输送方向或与该输送方向正交的方向上的旋转分量。
9.一种校正方法，其特征在于，
使用权利要求1～8中任一项所述的输送误差计测方法，对基于所述描绘部的描绘位置进行校正。
10.一种描绘方法，其特征在于，包括：
第一输送步骤，其相对于描绘部相对地输送保持有计测用工件(36a)的载置台(18)；
第一描绘步骤，其对所述计测用工件(36a)通过所述描绘部描绘多个测试图案图像(112)；
计测步骤，其基于在所述计测用工件(36a)上描绘的多个测试图案图像(112)的描绘状态至少计测所述计测用工件(36a)的相对输送误差；
修正步骤，其基于由所述计测步骤计测的所述输送误差，生成与所述描绘部的描绘相关的信息；
第二输送步骤，其将正规的工件(36)保持在所述载置台(18)上并相对于所述描绘部相对地进行输送；及
第二描绘步骤，其基于由所述修正步骤生成的与所述描绘相关的信息，对正规的工件(36)描绘需描绘的图像。
11.如权利要求10所述的描绘方法，其特征在于，
所述计测步骤基于在所述计测用工件(36a)上连续描绘的多个测试图案图像(112)的描绘状态进行计测。
12.如权利要求10或11所述的描绘方法，其特征在于，
所述第一描绘步骤，通过基于所述描绘部的多重描绘将所述多个测试图案图像(112)描绘于所述计测用工件(36a)。
13.如权利要求10～12中任一项所述的描绘方法，其特征在于，
所述第一描绘步骤使用所述描绘部的一部分的区域内的像素，将所述多个测试图案图像(112)描绘于所述计测用工件(36a)。
14.如权利要求10～13中任一项所述的描绘方法，其特征在于，
所述计测步骤基于在所述计测用工件(36a)上描绘的多个测试图案图像(112)的描绘状态，计测所述计测用工件(36a)的在与相对的输送方向正交的方向上的偏离基准位置的沿所述测试图案图像(112)的所述方向的偏移量。
15.如权利要求10～14中任一项所述的描绘方法，其特征在于，
所述计测步骤基于在所述计测用工件(36a)上描绘的多个测试图案图像(112)的描绘状态，计测所述工件(36a)的在相对的输送方向上的偏离基准位置的沿所述测试图案图像(112)的所述输送方向的偏移量。
16.如权利要求10～15中任一项所述的描绘方法，其特征在于，
所述描绘部具有一个以上的描绘头(24a～24h)，
所述修正步骤具有基于由所述计测步骤计测的所述输送误差，将所述需描绘的图像数据，按所述描绘头(24a～24h)进行逻辑变形，并将与该变形相关的信息作为信息表生成的表生成步骤，
所述第二描绘步骤基于在所述信息表中存储的与所述变形相关的信息，在所述正规的工件(36)上描绘所述需描绘的图像。
17.如权利要求10～15中任一项所述的描绘方法，其特征在于，
所述描绘部具有一个以上的描绘头(24a～24h)，
所述修正步骤具有基于由所述计测步骤计测的所述输送误差，逻辑性地变更所述需描绘图像数据中的按所述描绘头(24a～24h)的读出开始地址，并将与该地址变更相关的信息作为信息表生成的表生成步骤，
所述第二描绘步骤基于在所述信息表中存储的与所述地址变更相关的信息，在所述正规的工件(36)上描绘所述需描绘图像。
18.如权利要求10～17中任一项所述的描绘方法，其特征在于，
所述第一描绘步骤分别使用所述描绘部中的沿与所述计测用工件(36)的相对输送方向正交的方向离开的至少两个区域内的像素，并在所述计测用工件(36a)上描绘。
19.如权利要求18所述的描绘方法，其特征在于，
所述计测步骤基于在所述计测用工件(36a)上描绘的多个测试图案图像(112)的描绘状态，对所述计测用工件(36a)的相对于相对输送方向或与该输送方向正交的方向上的旋转分量，
所述修正步骤反映所述旋转分量地生成与所述描绘部的描绘相关的信息。
20.一种曝光描绘方法，其特征在于，
使用权利要求10～19中任一项所述的描绘方法，至少对所述正规的工件(36)进行曝光。
21.一种描绘装置，其特征在于，具有：
第一输送机构(100)，其相对于描绘部相对地输送保持有计测用工件(36a)的载置台(18)；
第一描绘机构(102)，其对所述计测用工件(36a)通过所述描绘部描绘多个测试图案图像(112)；
计测机构(104)，其基于在所述计测用工件(36a)上描绘的多个测试图案图像(112)的描绘状态，至少计测所述计测用工件(36a)的相对输送误差；
修正机构(106)，其基于由所述计测机构(104)计测的所述输送误差，生成与所述描绘部的描绘相关的信息；
第二输送机构(108)，其在所述载置台(18)上保持正规的工件(36)并相对于所述描绘部相对地输送；以及
第二描绘机构(110)，其基于由所述修正机构(106)生成的与所述描绘相关的信息，对于所述正规的工件(36)描绘需描绘的图像。
22.如权利要求21所述的描绘装置，其特征在于，
所述计测机构(104)基于在所述计测用工件(36a)上连续描绘的多个测试图案图像(112)的描绘状态进行计测。
23.如权利要求21或22所述的描绘装置，其特征在于，
所述第一描绘机构(102)，通过基于所述描绘部的多重描绘，将所述多个测试图案图像(112)描绘于所述计测用工件(36a)。
24.如权利要求21～23中任一项所述的描绘装置，其特征在于，
所述第一描绘机构(102)使用所述描绘部的一部分的区域内的像素，将所述多个测试图案图像(112)描绘在所述计测用工件(36a)上。
25.如权利要求21～24中任一项所述的描绘装置，其特征在于，
所述计测机构(104)基于在所述计测用工件(36a)上描绘的多个测试图案图像(112)的描绘状态，计测所述计测用工件(36a)的在与相对输送方向正交的方向上的偏离基准位置的沿所述测试图案图像(112)的所述方向的偏移量。
26.如权利要求21～25中任一项所述的描绘装置，其特征在于，
所述计测机构(104)基于在所述计测用工件(36a)上描绘的多个测试图案图像(112)的描绘状态，计测所述计测用工件(36a)的在相对输送方向上的偏离基准位置的沿所述测试图案图像(112)的所述输送方向的偏移量。
27.如权利要求21～26中任一项所述的描绘装置，其特征在于，
所述描绘部具有一个以上的描绘头(24a～24h)，
所述修正机构(106)具有基于由所述计测机构(104)计测的所述输送误差，对所述需描绘的图像数据按所述描绘头(24a～24h)进行逻辑变形，并将与该变形相关的信息作为信息表生成的表生成机构，
所述第二描绘机构(110)基于在所述信息表中存储的与所述变形相关的信息，在所述正规的工件(36)上描绘所述需描绘的图像。
28.如权利要求21～26中任一项所述的描绘装置，其特征在于，
所述描绘部具有一个以上的描绘头(24a～24h)，
所述修正机构(106)具有基于由所述计测机构(104)计测的所述输送误差，逻辑性地变更所述需描绘图像数据的按所述描绘头(24a～24h)的读出开始地址，并将与该地址变更相关的信息作为信息表生成的表生成机构，
所述第二描绘机构(110)基于在所述信息表中存储的与所述地址变更相关的信息，在所述正规的工件(36)上描绘所述需描绘的图像。
29.如权利要求21～28中任一项所述的描绘装置，其特征在于，
所述第一描绘机构(102)，分别使用所述描绘部中的沿与所述计测用工件(36)的相对输送方向正交的方向离开的至少两个区域内的像素，在所述计测用工件(36a)上描绘。
30.如权利要求29所述的描绘装置，其特征在于，
所述计测机构(104)基于在所述计测用工件(36a)上描绘的多个测试图案图像(112)的描绘状态，对所述计测用工件(36a)在相对于相对输送方向或与该输送方向正交的方向上的旋转分量进行计测，
所述修正机构(106)反映所述旋转分量地生成与所述描绘部的描绘相关的信息。
31.一种曝光描绘装置，其特征在于，
具有权利要求21～30中任一项所述的描绘装置，且至少在所述正规的工件(36)上通过曝光进行所述图像的描绘。
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