CN101147018A - 流体控制装置 - Google Patents

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Abstract

提供不必增加设置面积便能够进行充分的加热的流体控制装置。加热装置(3)具有：夹设在基体部件(2)与下段层(5)之间的面状加热器(21)、夹设在上段层(4)的阻断开放器(15、17)和质量流量控制器(16)与加热器(21)之间的用于提高热传导的垫片(22)。

Description

流体控制装置
技术领域
本发明涉及使用于半导体制造装置等的流体控制装置，尤其涉及能够加热的流体控制装置。
背景技术
作为流体控制装置用的加热手段，在专利文献1中记载了如下的装置。是一种对流体控制装置进行加热的装置，所述流体控制装置中多个流体控制机构被配置为前后串联状、并被固定于基体部件上，该加热装置包括：被配置在流体控制装置左右两侧的至少一侧的带状加热器；多个支架，包括通过螺栓被固定于基体部件的底壁和使带状加热器与各个流体控制机构抵接的侧壁。
另一方面，在使用于半导体制造装置的流体控制装置中，将多个管线集成设置于一个基体部件上的所谓集成化正在发展，这样的流体控制装置例如如图2所示，具有无迂回通路的多个管线(P1)(P2)(P3)(P4)(P5)、以及有迂回通路的多个管线(Q1)(Q2)(Q3)，各个无迂回通路的管线(P1)(P2)(P3)(P4)(P5)具有质量流量控制器(91)、在其入口侧经由过滤器(93)设置的开关阀(92)、以及设置在该出口侧的开关阀(94)，各有迂回通路的管线(Q1)(Q2)(Q3)具有质量流量控制器(91)、在其入口侧经由过滤器(93)设置的两个开关阀(95)  (96)、设置在该出口侧的两个开关阀(97)(98)、以及将质量流量控制器(91)的入口侧连接部和出口侧连接部连接的带有开关阀(99a)的迂回配管(99)。这种流体控制装置通过以下操作被组装，即，在基体部件(100)上，首先通过螺栓安装作为下段层的块状连接部件(图中未示出)，然后，将构成上段层的质量流量控制器、过滤器、开关阀等的流体控制机构(91)(92)(93)(94)(95)(96)(97)(98)以横跨的方式安装在这些连接部件上。
在上述专利文献1的用于流体控制装置的加热装置中，具有以下优点，即，即使在从平面观察到流体控制装置的侧面存在凹凸的情况下，也可以使带状加热器沿着各流体控制器，不受凹凸的影响而能够将流体控制机构均匀地加热。但是，由于在基体部件上要设置用于安装支架的底壁的部分，为使用这种加热装置，必须扩大基体部件的设置面积，因此需要扩大流体控制装置的设置面积。另一方面，为了流体控制装置的集成化，不希望其设置面积增加，这样就存在着要极力抑制因设置加热装置而导致的面积增加的课题。此外，在集成化的流体控制装置中，由于管线与管线之间很窄，所以在专利文献1的加热装置中，还存在着对支架进行位置调整和将其旋合固定于基体部件上的操作比较麻烦的问题。
因此，在专利文献2中，公开了如下的流体控制装置，由具有多个流体控制器的上段层和具有多个块状连接部件的下段层构成的管线并列状地配置在基体部件上，在至少一条管线的两侧配置有左右带状加热器，这些左右带状加热器通过多个夹子被保持于连接部件上。
专利文献1：日本特开平10-246356号公报
专利文献2：日本特开2003-021262号公报
发明内容
上述专利文献2的流体控制装置中，虽然专利文献1中的问题点得到了大幅度的改善，但由于是从侧面进行加热的结构，存在着无法完全抑制设置面积的增加的问题。
本发明的目的在于，提供一种流体控制装置，能够不使设置面积增加而进行充分的加热。
根据本发明的流体控制装置，具有多个流体控制机构的上段层和具有多个块状连接部件的下段层构成的管线并列状地配置于基体部件，并且，设有对连接部件以及流体控制机构进行加热的加热装置，其特征在于，加热装置包括：夹设在基体部件与下段层之间的面状加热器；夹设在上段层的至少一个流体控制机构与加热器之间的用于提高热传导的垫片。
各管线的上段层以开关阀分别设置在质量流量控制器的两侧的结构为基本构造，根据需要，再构成为增加过滤器、调整器等的各种流体控制机构的结构。
各管线的下段层例如由分别设置在入口和出口的带管连接部件的块状连接部、和使相邻的流体控制机构之间连通的多个带V字形通路的块状连接部件构成，带V字形通路的块状连接部件优选全部为同一形状。
加热器与一条管线大致同宽度且大致同长度，既可以只设置在需要加热的管线上，也可以在基体部件的大致整个范围内设置。加热器例如由温度控制器对电压进行的ON-OFF控制而被控制温度。用于温度控制的传感器例如使用白金薄膜温度传感器和套形K型热电对等。作为加热器，例如使用陶瓷加热器，但不限于此。
用于提高热传导的垫片是不锈钢、铝等金属制成的，高度和宽度与块状连接部件为相同的块状。流体控制机构在其性质方面，有的前后长度不同，在前后长度相对长的流体控制机构上设置该用于提高热传导的垫片。
例如，上段层具有阻断开放器，所述阻断开放器具有块状主体以及安装于其上的两个开关促动器，所述阻断开放器的主体下面的各端部被连接部件支承，并且，在主体下面与加热器之间夹设有用于提高热传导的垫片，此外，上段层具有质量流量控制器，所述质量流量控制器由主体和以伸出状设在其入口侧及出口侧的通路块构成，所述质量流量控制器的各通路块下面被连接部件支承，并且，在主体下面与加热器之间夹设有用于提高热传导的垫片。在前者的结构中，与在各个开关阀都设置主体的结构相比能够降低零件数，在后者的结构中，即使对于因前后长度相对较长故加热效率容易低下的质量流量控制器也能够进行高效率的加热。在任一装置中，由于对于构成下段层的块状连接部件，都能够采取与无加热装置的情况相同的形状，所以不会增加需要通路的连接部件的种类，只要增加不需要通路的垫片即可，能够抑制因增加加热装置而产生的成本增加。
(发明的效果)
基于本发明的流体控制装置，由于是通过夹设在基体部件与下段层之间的加热器进行加热的，所以不必设置用于对管线的侧方进行加热的结构，不用增加设置面积便可以进行加热。此外，通过在流体控制机构与加热器之间夹设垫片，即使在包括管线长度方向的长度较大的流体控制机构的情况下，也能够不降低加热效率而进行加热。
附图说明
图1是表示根据本发明的流体控制装置的一个实施方式的纵剖视图。
图2是表示以往的控制装置的俯视图。
符号说明
(1)                管线
(2)                基体部件
(3)                加热装置
(4)                上段层
(5)                下段层
(10)(11)(12)(13)(14)流体控制机构
(15)(17)            阻断开放器(流体控制机构)
(16)                质量流量控制器(流体控制机构)
(18)(19)(20)            块状连接部件
(21)                    面状加热器
(22)                    用于提高热传导的垫片
(23)(27)                主体
(24)(25)(28)(29)        开关阀促动器
(31)                    主体
(32)                    通路块
具体实施方式
接下来，参照附图对本发明的实施方式进行说明。在以下的说明中，将图1中的上下称为上下，将图1中的右称为前，左称为后。这种前后和上下是为了方便而称呼的，也有将前后互逆、或是将上下称为左右来使用的。
根据本发明的流体控制装置，是由多个管线(1)将其入口和出口朝向同一方向并列状地配置在基体部件(2)上而形成的，在多个管线(1)中的至少一个上设置有加热装置(3)。
图1所示的管线(1)由具有多个流体控制机构(11)(12)(13)(14)(15)(16)(17)的上段层(4)和具有多个块状连接部件(18)(19)(20)的下段层(5)构成。
加热装置(3)包括：面状加热器(21)，其夹设在至少一条管线(1)的基体部件(2)与下段层(5)之间，对流体控制机构(11)(12)(13)(14)(15)(16)(17)以及连接部件(18)(19)(20)进行加热；至少一个用于提高热传导的金属制成的垫片(22)(在本实施方式中为3个)，其夹设在上段层(4)的至少一个流体控制机构(15)(16)(17)与加热器(21)之间。
上段层(4)包括：质量流量控制器(16)；设置在质量流量控制器(16)的后侧(入口侧)的手动阀(11)、过滤器(12)、调整器(13)、压力计(14)以及入口侧阻断开放器(15)；设置在质量流量控制器(16)的前侧(出口侧)的出口侧阻断开放器(17)。
下段层(5)具有：分别设置在入口和出口的带管连接部的块状连接部件(18)(20)；使相邻的流体控制机构(11)(12)(13)(14)(15)(16)(17)之间互相联通的多个带V字形通路的块状连接部件(19)。多个带V字形通路的块状连接部件(19)全部为相同的形状。
在手动阀(11)、过滤器(12)、调整器(13)和压力计(14)上，设有主体(11a)(12a)(13a)(14a)，所述主体(11a)(12a)(13a)(14a)在下端形成有具有开口的通路(省略图示)。
入口侧阻断开放器(15)由块状主体(23)和安装于其上的两个开关阀促动器(24)  (25)构成，在主体(23)的上面，设有管状连接部(26)。后侧的开关阀促动器(24)是三端阀，前侧的开关阀促动器(25)为二端阀。出口侧阻断开放器(17)由块状主体(27)和安装于其上的两个开关阀促动器(28)(29)构成。各阻断开放器(15)(17)的主体(23)(27)下面的前后端部分别由所对应的带V字形通路的块状连接部件(19)支承。
质量流量控制器(16)由主体(31)和在其后侧和前侧设置成伸出状的入口侧以及出口侧通路块(32)组成，该各通路块(32)下面分别由带V字形通路的块状连接部件(19)支承。
下段层(5)的上面与上段层(4)的下面分别共面，而且，基体部件(2)上，以规定间隔固定有作为下段层构成要素的连接部件(18)(19)(20)，横跨前后相邻的连接部件(18)(19)(20)配置有作为上段层构成要素的流体控制器(11)(12)(13)(14)(15)(16)(17)，通过螺栓部件(33)被固定到所对应的连接部件(18)(19)(20)，从而能够确保密封性的流体控制装置就组装好了。
用于提高热传导的垫片(22)分别配置于入口侧阻断开放器(15)的主体(23)下面与加热器(21)之间、出口侧阻断开放器(17)的主体(27)下面与加热器(21)之间、以及质量流量控制器(16)的主体(31)下面与加热器(21)之间。用于提高热传导的垫片(22)以形成下段层的方式，呈与各块状连接部件(18)(19)  (20)相同高度相同宽度的块状，其长度与入口侧阻断开放器(15)、出口侧阻断开放器(17)、以及质量流量控制器(16)的长度相对应。
在本实施方式中，三个用于提高热传导的垫片(22)全部为同一长度。因此，除面状加热器(21)以外增加的零件只有一种用于提高热传导的垫片(22)，此外，关于设置面积，不需加热的流体控制装置根本不需要增加设置面积，就能够得到带有加热装置(3)的流体控制装置。并且，由于用于提高热传导的垫片(22)呈简单的形状，因而当然也可以是两种以上。此外，图1所示的实施方式只是一个例子，上述加热装置(3)能够适用于各种结构的管线。
(工业实用性)
由于不必增加设置面积便能够进行充分的加热，这样将本发明适用于半导体制造装置等所使用的流体控制装置，能对半导体制造装置等的性能提高做出贡献。

Claims (3)

1.一种流体控制装置，由具有多个流体控制机构的上段层和具有多个块状连接部件的下段层构成的管线并列状地配置于基体部件，并且，设有对连接部件以及流体控制机构进行加热的加热装置，其特征在于，
加热装置包括：夹设在基体部件与下段层之间的面状加热器；夹设在上段层的至少一个流体控制机构与加热器之间的用于提高热传导的垫片。
2.如权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，上段层具有阻断开放器，所述阻断开放器具有块状主体以及安装于其上的两个开关促动器，所述阻断开放器的主体下面的各端部被连接部件支承，并且，在主体下面与加热器之间夹设有用于提高热传导的垫片。
3.如权利要1所述的流体控制装置，其特征在于，上段层具有质量流量控制器，所述质量流量控制器由主体和以伸出状设在其入口侧及出口侧的通路块构成，所述质量流量控制器的各通路块下面被连接部件支承，并且，在主体下面与加热器之间夹设有用于提高热传导的垫片。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102341760B (zh) * 2009-03-03 2013-10-09 东京毅力科创株式会社 流体控制装置
CN103511733A (zh) * 2012-06-25 2014-01-15 爱思科佑科玛蒂克股份有限公司 具有散热器的电动气动导向阀
CN103827560A (zh) * 2011-09-30 2014-05-28 株式会社富士金 气体供给装置
CN104822979A (zh) * 2012-11-29 2015-08-05 株式会社富士金 流体控制装置
CN109563942A (zh) * 2016-06-21 2019-04-02 株式会社富士金 流体控制装置
CN109690159A (zh) * 2016-09-12 2019-04-26 株式会社富士金 流体控制装置、其所使用的基块以及流体控制装置的制造方法
CN109891138A (zh) * 2016-10-24 2019-06-14 株式会社富士金 流体控制装置和使用该流体控制装置的制品制造方法

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008014390A (ja) * 2006-07-05 2008-01-24 Hitachi Metals Ltd 集積形流体制御装置
JP5340760B2 (ja) * 2009-02-12 2013-11-13 倉敷紡績株式会社 流体制御方法及び流体制御装置
WO2020261985A1 (ja) * 2019-06-28 2020-12-30 株式会社フジキン 流体制御装置

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3733459A (en) * 1971-02-09 1973-05-15 C Lengstorf Internal heating device for air valves
US4597412A (en) * 1982-09-29 1986-07-01 Stark Anton W Valve for sequential chemical operations
US5455014A (en) * 1993-07-20 1995-10-03 Hughes Aircraft Company Liquid deposition source gas delivery system
JP3997338B2 (ja) * 1997-02-14 2007-10-24 忠弘 大見 流体制御装置
JP3785516B2 (ja) * 1997-03-07 2006-06-14 株式会社フジキン 流体制御装置
JP3752578B2 (ja) * 1997-04-21 2006-03-08 株式会社フジキン 流体制御器用加熱装置
JP3774800B2 (ja) * 1997-09-24 2006-05-17 株式会社フジキン 下段部材の固定装置およびこれを備えた流体制御装置
US6152175A (en) * 1997-06-06 2000-11-28 Ckd Corporation Process gas supply unit
US5860676A (en) * 1997-06-13 1999-01-19 Swagelok Marketing Co. Modular block assembly using angled fasteners for interconnecting fluid components
JP4378553B2 (ja) * 1997-10-13 2009-12-09 忠弘 大見 流体制御装置
JPH11294615A (ja) * 1998-04-10 1999-10-29 Ckd Corp 集積弁
US7036528B2 (en) * 1998-05-18 2006-05-02 Swagelok Company Modular surface mount manifold assemblies
JP4110304B2 (ja) * 1998-06-30 2008-07-02 株式会社フジキン 流体制御装置および流体制御装置組立て方法
JP3921565B2 (ja) * 1998-07-10 2007-05-30 株式会社フジキン 流体制御装置
JP2000145979A (ja) * 1998-11-16 2000-05-26 Fujikin Inc 下段部材の固定装置およびこれを備えた流体制御装置
WO2000031462A1 (en) * 1998-11-20 2000-06-02 Mykrolis Corporation System and method for integrating gas components
JP3745547B2 (ja) * 1998-12-10 2006-02-15 シーケーディ株式会社 集積弁
US6129108A (en) * 1999-12-03 2000-10-10 United Semiconductor Corp Fluid delivering system
KR100714755B1 (ko) * 2000-03-10 2007-05-07 동경 엘렉트론 주식회사 유체 제어장치
JP2002089798A (ja) * 2000-09-11 2002-03-27 Ulvac Japan Ltd 流体制御装置およびこれを用いたガス処理装置
JP2002349797A (ja) * 2001-05-23 2002-12-04 Fujikin Inc 流体制御装置
JP4655423B2 (ja) * 2001-07-05 2011-03-23 株式会社フジキン 流体制御装置

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102341760B (zh) * 2009-03-03 2013-10-09 东京毅力科创株式会社 流体控制装置
CN103827560A (zh) * 2011-09-30 2014-05-28 株式会社富士金 气体供给装置
CN103827560B (zh) * 2011-09-30 2016-06-22 株式会社富士金 气体供给装置
CN103511733B (zh) * 2012-06-25 2018-01-19 爱思科佑科玛蒂克股份有限公司 具有散热器的电动气动导向阀
CN103511733A (zh) * 2012-06-25 2014-01-15 爱思科佑科玛蒂克股份有限公司 具有散热器的电动气动导向阀
CN104822979A (zh) * 2012-11-29 2015-08-05 株式会社富士金 流体控制装置
CN104822979B (zh) * 2012-11-29 2016-12-28 株式会社富士金 流体控制装置
CN109563942A (zh) * 2016-06-21 2019-04-02 株式会社富士金 流体控制装置
CN109563942B (zh) * 2016-06-21 2020-04-10 株式会社富士金 流体控制装置
CN109690159A (zh) * 2016-09-12 2019-04-26 株式会社富士金 流体控制装置、其所使用的基块以及流体控制装置的制造方法
US10895329B2 (en) 2016-09-12 2021-01-19 Fujikin Incorporated Fluid control system, base block used for same, and method for manufacturing fluid control system
CN109690159B (zh) * 2016-09-12 2021-04-23 株式会社富士金 流体控制装置以及流体控制装置的制造方法
CN109891138A (zh) * 2016-10-24 2019-06-14 株式会社富士金 流体控制装置和使用该流体控制装置的制品制造方法
CN109891138B (zh) * 2016-10-24 2020-07-07 株式会社富士金 流体控制装置和使用该流体控制装置的制品制造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2006266275A (ja) 2006-10-05
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EP1860361A1 (en) 2007-11-28
JP4677805B2 (ja) 2011-04-27
KR20070118628A (ko) 2007-12-17
TW200643673A (en) 2006-12-16
US20090212039A1 (en) 2009-08-27

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