WO2006100960A1 - 流体制御装置 - Google Patents

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fluid control
control device
heater
main body
block
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Inventor
Izuru Shikata
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Fujikin Incorporated
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K49/00—Means in or on valves for heating or cooling
    • F16K49/002—Electric heating means

Definitions

  • the present invention relates to a fluid control device used in a semiconductor manufacturing apparatus or the like, and particularly to a heatable fluid control device.
  • Patent Document 1 discloses a device that heats a fluid control device in which a plurality of fluid control devices are arranged in series in front and back and fixed to a base member. Consists of tape heaters arranged on at least one side of the left and right sides of the control device, a bottom wall fixed to the base member by screws, and a plurality of brackets comprising side walls that contact the tape heater with each fluid control device are disclosed.
  • a fluid control device used in a semiconductor manufacturing apparatus, integration is progressing in which a plurality of lines are compactly installed on one base member.
  • a fluid control device is, for example, As shown in Figure 2, it has multiple lines (P1) (P2) (P3) (P4) (P5) without bypass passages and multiple lines (Q1XQ2XQ3) with nopass passages.
  • Each bypass passage-free line (P1) (P2) (P3) (P4) (P5) consists of a mass flow controller (91) and an open / close valve (92) provided via a filter (93) on the inlet side.
  • each bypass passage line (Q1XQ2XQ3) is provided via a mass flow controller (91) and a filter (93) on the inlet side thereof.
  • a block-shaped joint member (not shown in the drawing) as a lower layer is attached to the base member (100) with screws, and then the upper layer is configured so as to straddle these joint members. It is assembled by attaching fluid control devices (91) (92) (93) (94) (95) (96) (97) (98) such as mass flow controllers, filters, and on-off valves.
  • the tape heater can be provided along each fluid control device even when the side surface of the fluid control device is uneven as viewed from above. This has the advantage that the fluid control device can be heated uniformly without being affected by unevenness.
  • the base member needs a part for attaching the bottom wall of the bracket, it is necessary to increase the installation area of the base member and therefore the flow control device in order to use this heating device. .
  • the increase in the installation area should be suppressed as much as possible by installing a heating device that does not increase the installation area.
  • the heating device of Patent Document 1 is troublesome to adjust the position of the bracket and screw it to the base member. There was also.
  • Patent Document 2 discloses a fluid control device in which a line composed of an upper layer having a plurality of fluid control devices and a lower layer having a plurality of block-like joint members is arranged in parallel with a base member.
  • a left and right tape heater is disposed on both sides of at least one line, and these left and right tape heaters are held by corresponding joint members by a plurality of clips.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 10-246356
  • Patent Document 2 Japanese Patent Laid-Open No. 2003-0221262
  • Patent Document 2 In the fluid control device of Patent Document 2, although the problem of Patent Document 1 is greatly improved, since it is configured to heat from the side, it is possible to completely suppress an increase in installation area. There was a problem that I could not.
  • An object of the present invention is to provide a fluid control device capable of performing sufficient heating without increasing the installation area.
  • a line composed of an upper layer having a plurality of fluid control devices and a lower layer having a plurality of block-like joint members is arranged in parallel to the base member, and the joint member and
  • the heating means includes a planar heater interposed between the base member and the lower layer, at least one fluid control device and a heater in the upper layer. Intervened between It is characterized by comprising a spacer for improving heat conduction.
  • each line is based on a configuration in which on-off valves are provided on both sides of the mass flow controller, and various fluid control devices such as filters and regulators are added as necessary.
  • the lower layer of each line is, for example, a block-shaped joint member with a pipe connection portion provided at each of an inlet and an outlet, and a plurality of blocks with V-shaped channels that allow adjacent fluid control devices to communicate with each other. It is preferable that all of the block-shaped joint members with V-shaped passages have the same shape.
  • the heater may be provided on almost the entire surface of the base member, which may be provided only on a line having the same width and the same length as one line and requiring heating.
  • the heater is temperature-controlled, for example, by voltage ON-OFF control by a temperature controller.
  • a temperature controller for example, a platinum thin film temperature sensor or a sheath type K type thermocouple is used.
  • the heater is not limited to, for example, a force that uses a ceramic heater.
  • the spacer for improving thermal conductivity is made of a metal such as stainless steel or aluminum, and has a block shape having the same height and width as the block joint member.
  • Some fluid control devices have different front and rear lengths due to their properties, and this heat conduction improving spacer is provided for a fluid control device having a relatively long front and rear length.
  • the upper layer has a circuit breaker composed of a block-shaped main body and two on-off valve actuators attached thereto, and each end of the lower surface of the body of the circuit breaker is supported by the joint member.
  • a spacer for improving heat conduction may be interposed between the lower surface of the main body and the heater, and the upper layer is provided in a protruding manner on the main body and its inlet and outlet sides.
  • the mass flow controller is composed of a passage block, and the lower surface of each passage block of the mass flow controller is supported by a joint member, and a spacer for improving heat conduction is interposed between the lower surface of the main body and the heater.
  • Block-shaped joint members can have the same shape as when there is no heating means, so it is only necessary to add spacers that do not require passages, without increasing the types of joint members that require passages. In addition, it is possible to suppress an increase in cost due to the attachment of the heating means.
  • the fluid control device of the present invention since heating is performed by the heater interposed between the base member and the lower layer, it is not necessary to install a heating configuration on the side of the line. Heating can be carried out without increasing. In addition, since a spacer is interposed between the fluid control device and the heater, even if a fluid control device having a large length in the longitudinal direction of the line is included, heating can be performed without reducing the heating efficiency. it can.
  • FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing one embodiment of a fluid control apparatus according to the present invention.
  • FIG. 2 is a plan view showing a conventional control device.
  • FIG. 1 the top and bottom in FIG. 1 are referred to as the top and bottom, the right in FIG.
  • This front and back 'up / down' is for convenience and may be used with the front / rear reversed or up / down left / right.
  • the fluid control device is formed by arranging a plurality of lines (1) in parallel with the base member (2) with their inlets and outlets oriented in the same direction. At least one of the lines (1) is provided with heating means (3).
  • the line (1) shown in FIG. 1 includes an upper layer (4) having a plurality of fluid control devices (11) (12) (13) (14) (15) (16) (17) and a plurality of blocks. And a lower layer (5) having a joint member (18X19X20).
  • the heating means (3) is interposed between the base member (2) of the at least one line (1) and the lower layer (5), and the fluid control device (11) (12) (13) (14 ) (15) (16) (17) and the planar heater (21) that heats the joint member (18X19X20), and at least one fluid control device (15X16X17) in the upper layer (4) and the heater (21) And at least one (three in this embodiment) metal spacers (22) for improving thermal conductivity.
  • the upper layer (4) includes a mass flow controller (16), a manual valve (11) provided on the rear side (inlet side) of the mass flow controller (16), a filter (12), a regulator (13), a pressure It consists of a total (14) and an inlet-side shut-off opener (15), and an outlet-side shut-off opener (17) provided on the front side (outlet side) of the mass flow controller (16).
  • the lower layer (5) includes a block-like joint member (18X20) with pipe connections provided at the inlet and the outlet, and an adjacent fluid control device (11) (12) (13) (14) (15) A block-shaped joint member (19) with a V-shaped passage that communicates with each other (16) and (17).
  • the block-shaped joint members (19) with multiple V-shaped passages are all the same shape.
  • the inlet-side circuit breaker (15) includes a block-shaped main body (23) and two opening / closing valve actuators (24X25) attached to the block-shaped main body (23). 26) is provided.
  • the rear opening / closing valve actuator (24) is a 3-port valve, and the front opening / closing valve actuator
  • the Ueta (25) is a 2-port valve.
  • the outlet side opener (17) is composed of a block-shaped main body (27) and two on-off valve actuators (28X29) attached thereto.
  • Each shut-off release device (15X17) is supported by a block-like joint member (19) with a V-shaped passage corresponding to the front and rear ends of the lower surface of the main body (23X27).
  • the mass flow controller (16) includes a main body (31) and an inlet side and outlet side passage block (32) provided in a protruding manner on the rear side and the front side of the main body (31). Each is supported by a block-like joint member (19) with a letter-shaped passage.
  • the upper surface of the lower layer (5) and the lower surface of the upper layer (4) are flush with each other, and the base member (2) is a joint member as a lower layer component at a predetermined interval ( 18X19X20) is fixed, and the flow system control device (11) (12) (13) (14) (15) (16) (17) as the upper layer component straddles the joint members (18X19X20) adjacent to each other
  • the fluid control device in which the sealing performance is secured is assembled by being arranged and fixed to the corresponding joint member (18X19X20) by the screw member (33).
  • the spacer (22) for improving heat conduction is provided between the lower surface of the main body (23) of the inlet side circuit breaker (15) and the heater (21), and the main body (27) of the outlet side circuit breaker (17). ) Between the lower surface and the heater (21), and between the lower surface of the main body (31) of the mass flow controller (16) and the heater (21).
  • the spacer (22) for improving heat transfer is formed into a block shape with the same height and width as each block joint member (18X19X20) so as to form a lower layer, and its length is open on the inlet side. It corresponds to the length of the vessel (15), outlet-side cutoff opener (17), and mass flow controller (16).
  • all of the three heat-conducting spacers (22) have the same length. Therefore, the only component added in addition to the planar heater (21) is a single type of heat conduction improving spacer (22), and the installation area is a fluid control device that does not require heating. On the other hand, a fluid control device with a heating means (3) that does not increase at all is obtained. Note that the spacer (22) for improving heat conduction has a simple shape, so of course it can be more than two types. The embodiment shown in FIG. 1 is only an example, and the heating means (3) can be applied to lines having various configurations.
  • Sufficient heating can be performed without increasing the installation area. By applying it to a fluid control device used for the installation, etc., it can contribute to improving the performance of semiconductor manufacturing equipment.

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Abstract

　設置面積を増加させることなく、十分な加熱を行うことができる流体制御装置を提供する。 　加熱手段3は、ベース部材2と下段層5との間に介在された面状ヒータ21と、上段層4の遮断開放器15,17およびマスフローコントローラ16とヒータ21との間に介在された熱伝導向上用スペーサ22とからなる。

Description

明 細 書
流体制御装置
技術分野
[0001] この発明は、半導体製造装置等に使用される流体制御装置に関し、特に、加熱可 能な流体制御装置に関する。
背景技術
[0002] 流体制御装置用の加熱手段として、特許文献 1には、複数の流体制御機器が前後 に直列状に配されてベース部材に固定された流体制御装置を加熱する装置であつ て、流体制御装置左右両側の少なくとも一側に配されたテープヒータと、ねじによりべ 一ス部材に固定される底壁およびテープヒータを各流体制御機器に当接させる側壁 よりなる複数個のブラケットとよりなるものが開示されている。
[0003] 一方、半導体製造装置で使用される流体制御装置においては、複数のラインを 1 つのベース部材上にコンパクトに設置するという集積化が進んでおり、このような流体 制御装置は、例えば、図 2に示すように、バイパス通路無しの複数のライン (P1)(P2)(P 3)(P4)(P5)と、ノ ィパス通路有りの複数のライン (Q1XQ2XQ3)とを有しており、各バイパ ス通路無しライン (P1)(P2)(P3)(P4)(P5)は、マスフローコントローラ (91)と、その入口側に フィルター (93)を介して設けられた開閉弁 (92)と、同出口側に設けられた開閉弁 (94)と を備えており、各バイパス通路有りライン (Q1XQ2XQ3)は、マスフローコントローラ (91) と、その入口側にフィルター (93)を介して設けられた 2つの開閉弁 (95X96)と、同出口 側に設けられた 2つの開閉弁 (97X98)と、マスフローコントローラ (91)の入口側接続部 と出口側接続部とを接続する開閉弁 (99a)付きバイパス配管 (99)とを備えている。この 流体制御装置は、ベース部材 (100)に、まず、下段層としてのブロック状継手部材（図 には現れず）をねじで取り付け、次いで、これらの継手部材にまたがるようにして上段 層を構成するマスフローコントローラ、フィルター、開閉弁などの流体制御機器 (91)(9 2)(93)(94)(95)(96)(97)(98)を取り付けることにより組み立てられている。
[0004] 上記特許文献 1の流体制御装置用加熱装置では、流体制御装置の側面に平面か ら見て凹凸がある場合でも、テープヒータを各流体制御機器に沿わせることができ、 凹凸の影響を受けずに流体制御機器を均一に加熱することができるという利点を有 してレ、る。し力しながら、ブラケットの底壁を取り付けるための部分がベース部材に必 要となることから、この加熱装置を使用するためには、ベース部材したがって流体制 御装置の設置面積を広げる必要がある。一方、流体制御装置の集積化のためには、 その設置面積の増加は好ましくなぐ加熱装置を設置することによる設置面積の増加 は極力抑えるべきという課題がある。また、集積化された流体制御装置では、ラインと ラインとの間が狭いため、特許文献 1の加熱装置では、ブラケットを位置調整してこれ をベース部材にねじ止めする作業が面倒であるという問題もあった。
[0005] そこで、特許文献 2には、複数の流体制御機器を有する上段層および複数のブロッ ク状継手部材を有する下段層からなるラインがベース部材に並列状に配置されてい る流体制御装置であって、少なくとも 1つのラインの両側に左右テープヒータが配され ており、これらの左右テープヒータが複数のクリップによって対応する継手部材に保 持されているものが開示されている。
特許文献 1 :特開平 10— 246356号公報
特許文献 2 :特開 2003— 021262号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0006] 上記特許文献 2の流体制御装置では、特許文献 1のものの問題点が大幅に改良さ れているものの、側面から加熱する構成であるため、設置面積の増加を完全に抑え ることはできないという問題があった。
[0007] この発明の目的は、設置面積を増加させることなぐ十分な加熱を行うことができる 流体制御装置を提供することにある。
課題を解決するための手段
[0008] この発明による流体制御装置は、複数の流体制御機器を有する上段層および複数 のブロック状継手部材を有する下段層からなるラインがベース部材に並列状に配置 されているとともに、継手部材および流体制御機器を加熱する加熱手段が設けられ ている流体制御装置において、加熱手段は、ベース部材と下段層との間に介在され た面状ヒータと、上段層の少なくとも 1つの流体制御機器とヒータとの間に介在された 熱伝導向上用スぺーサとからなることを特徴とするものである。
[0009] 各ラインの上段層は、マスフローコントローラの両側にそれぞれ開閉弁が設けられ た構成を基本とし、必要に応じて、フィルター、レギユレータなどの各種流体制御機 器が追加されて構成される。
[0010] 各ラインの下段層は、例えば、入口および出口にそれぞれ設けられた管接続部付 きのブロック状継手部材と、隣り合う流体制御機器同士を連通させる複数の V字状通 路付きブロック状継手部材とから構成され、 V字状通路付きブロック状継手部材は、 すべて同じ形状とされていることが好ましい。
[0011] ヒータは、 1つのラインとほぼ同じ幅およびほぼ同じ長さとされて加熱が必要なライン にだけ設けられていてもよぐベース部材のほぼ全面にわたって設けられていてもよ レ、。ヒータは、例えば、温度コントローラによる電圧 ON— OFF制御により温度制御さ れる。温度制御用のセンサとしては、例えば、白金薄膜温度センサやシース型 Kタイ プサーモカップルなどが使用される。ヒータとしては、例えば、セラミックヒータが使用 される力 これに限られるものではない。
[0012] 熱伝導向上用スぺーサは、ステンレス鋼、アルミニウムなどの金属製とされ、高さお よび幅がブロック状継手部材と同じブロック状とされる。流体制御機器は、その性質 上、前後長さが異なるものがあり、相対的に前後長さの長い流体制御機器に対してこ の熱伝導向上用スぺーサが設けられる。
[0013] 例えば、上段層は、ブロック状本体およびこれに取り付けられた 2つの開閉弁ァクチ ユエータからなる遮断開放器を有しており、遮断開放器の本体下面の各端部が継手 部材に支持されるとともに、本体下面とヒータとの間に熱伝導向上用スぺーサが介在 されていることがあり、また、上段層は、本体およびこれの入口側および出口側に張り 出し状に設けられた通路ブロックからなるマスフローコントローラを有しており、マスフ ローコントローラの各通路ブロック下面が継手部材に支持されるとともに、本体下面と ヒータとの間に熱伝導向上用スぺーサが介在されていることがある。前者のものでは 、各開閉弁ごとに本体を設けるものに比べて部品数を低減することができ、後者のも のでは、相対的に前後長さが長いために加熱効率が低下しやすいマスフローコント ローラについても、効率よい加熱が行われる。いずれのものでも、下段層を構成する ブロック状継手部材については、加熱手段がない場合と同じ形状にすることができる ので、通路が必要な継手部材の種類を増加させずに、通路が不要なスぺーサを追 加するだけで済み、加熱手段の付設に伴うコストの増加を抑えることができる。
発明の効果
[0014] この発明の流体制御装置によると、ベース部材と下段層との間に介在されたヒータ による加熱であるので、ラインの側方に加熱のための構成を設置しなくて済み、設置 面積を増加させずに加熱を行うことができる。また、流体制御機器とヒータとの間にス ぺーサが介在されることにより、ライン長手方向の長さが大きい流体制御機器が含ま れている場合でも、加熱効率を落とさずに加熱することができる。
図面の簡単な説明
[0015] [図 1]図 1は、この発明による流体制御装置の 1実施形態を示す縦断面図である。
[図 2]図 2は、従来の制御装置を示す平面図である。
符号の説明
[0016] (1) ライン
(2) ベース部材
(3) 加熱手段
(4) 上段層
(5) 下段層
(10X11X12X13X14) 流体制御機器
(15X17) 遮断開放器 (流体制御機器）
(16) マスフローコントローラ（流体制御機器）
(18X19X20) ブロック状継手部材
(21) 面状ヒータ
(22) 熱伝導向上用スぺーサ
(23X27) 本体
(24)(25)(28)(29) 開閉弁ァクチユエータ
(31) 本体
(32) 通路ブロック 発明を実施するための最良の形態
[0017] この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。以下の説明において、 図 1の上下を上下といい、図 1の右を前、左を後というものとする。この前後'上下は便 宜的なもので、前後が逆になつたり、上下が左右になったりして使用されることもある
[0018] この発明による流体制御装置は、複数のライン (1)がその入口および出口を同じ方 向に向けてベース部材 (2)に並列状に配置されることにより形成されるもので、複数の ライン (1)のうちの少なくとも 1つに、加熱手段 (3)が設けられている。
[0019] 図 1に示すライン (1)は、複数の流体制御機器 (11)(12)(13)(14)(15)(16)(17)を有する 上段層 (4)および複数のブロック状継手部材 (18X19X20)を有する下段層 (5)からなる。
[0020] 加熱手段 (3)は、少なくとも 1つのライン (1)のベース部材 (2)と下段層 (5)との間に介在 されて流体制御機器 (11)(12)(13)(14)(15)(16)(17)および継手部材 (18X19X20)を加熱 する面状ヒータ (21)と、上段層 (4)の少なくとも 1つの流体制御機器 (15X16X17)とヒータ (21)との間に介在された少なくとも 1つ（この実施形態では 3つ）の金属製熱伝導向上 用スぺーサ (22)とからなる。
[0021] 上段層 (4)は、マスフローコントローラ (16)と、マスフローコントローラ (16)の後側（入口 側）に設けられた手動弁 (11)、フィルター (12)、レギユレータ (13)、圧力計 (14)および入 口側遮断開放器 (15)と、マスフローコントローラ (16)の前側（出口側）に設けられた出 口側遮断開放器 (17)とからなる。
[0022] 下段層 (5)は、入口および出口にそれぞれ設けられた管接続部付きのブロック状継 手部材 (18X20)と、隣り合う流体制御機器 (11)(12)(13)(14)(15)(16)(17)同士を連通させ る複数の V字状通路付きブロック状継手部材 (19)とからなる。複数の V字状通路付き ブロック状継手部材 (19)は、すべて同じ形状とされてレ、る。
[0023] 手動弁 (11)、フィルター (12)、レギユレータ (13)および圧力計 (14)には、下端に開口 を有する通路（図示略）が形成された本体 (1 la)(12a)(13a)(14a)が設けられている。
[0024] 入口側遮断開放器 (15)は、ブロック状本体 (23)と、これに取り付けられた 2つの開閉 弁ァクチユエータ (24X25)とからなり、本体 (23)の上面に、管状接続部 (26)が設けられ ている。後側の開閉弁ァクチユエータ (24)は、 3ポート弁とされ、前側の開閉弁ァクチ ユエータ (25)は、 2ポート弁とされている。出口側遮断開放器 (17)は、ブロック状本体 (2 7)と、これに取り付けられた 2つの開閉弁ァクチユエータ (28X29)とからなる。各遮断開 放器 (15X17)は、その本体 (23X27)下面の前後端部がそれぞれ対応する V字状通路 付きブロック状継手部材 (19)に支持されている。
[0025] マスフローコントローラ (16)は、本体 (31)およびこれの後側および前側に張り出し状 に設けられた入口側および出口側通路ブロック (32)からなり、その各通路ブロック (32) 下面力 字状通路付きブロック状継手部材 (19)にそれぞれ支持されている。
[0026] 下段層 (5)の上面および上段層 (4)の下面は、それぞれ面一とされており、そして、ベ 一ス部材 (2)に所定間隔で下段層構成要素としての継手部材 (18X19X20)が固定され 、前後に隣り合う継手部材 (18X19X20)にまたがって上段層構成要素としての流体制 御機器 (11)(12)(13)(14)(15)(16)(17)が配置されてねじ部材 (33)で対応する継手部材 (1 8X19X20)に固定されることで、シール性が確保された流体制御装置が組み立てられ ている。
[0027] 熱伝導向上用スぺーサ (22)は、入口側遮断開放器 (15)の本体 (23)下面とヒータ (21) との間、出口側遮断開放器 (17)の本体 (27)下面とヒータ (21)との間、およびマスフロー コントローラ (16)の本体 (31)下面とヒータ (21)との間にそれぞれ配置されている。熱伝 導向上用スぺーサ (22)は、下段層を形成するように、各ブロック状継手部材 (18X19X2 0)と同じ高さ同じ幅のブロック状とされ、その長さが入口側遮断開放器 (15)、出口側遮 断開放器 (17)およびマスフローコントローラ (16)の長さに対応させられている。
[0028] この実施形態では、 3つの熱伝導向上用スぺーサ (22)は、すべて同じ長さとされて いる。したがって、面状ヒータ (21)以外に追加される部品は、 1種類の熱伝導向上用 スぺーサ (22)だけとされ、また、設置面積については、加熱の必要がない流体制御装 置に対して全く増加させることなぐ加熱手段 (3)付きの流体制御装置が得られている 。なお、熱伝導向上用スぺーサ (22)は、簡単な形状であるから 2種類以上としてももち ろんよレ、。また、図 1に示した実施形態は、ほんの一例であり、上記加熱手段 (3)は、 種々の構成のラインに対して適用することができる。
産業上の利用可能性
[0029] 設置面積を増加させることなぐ十分な加熱を行うことができるので、半導体製造装 置等に使用される流体制御装置に適用することにより、半導体製造装置等の性能向 上に寄与できる。

Claims

請求の範囲
[1] 複数の流体制御機器を有する上段層および複数のブロック状継手部材を有する下 段層からなるラインがベース部材に並列状に配置されているとともに、継手部材およ び流体制御機器を加熱する加熱手段が設けられてレ、る流体制御装置におレ、て、 加熱手段は、ベース部材と下段層との間に介在された面状ヒータと、上段層の少な くとも 1つの流体制御機器とヒータとの間に介在された熱伝導向上用スぺーサとから なることを特徴とする流体制御装置。
[2] 上段層は、ブロック状本体およびこれに取り付けられた 2つの開閉弁ァクチユエータ 力 なる遮断開放器を有しており、遮断開放器の本体下面の各端部が継手部材に 支持されるとともに、本体下面とヒータとの間に熱伝導向上用スぺーサが介在されて いる請求項 1の流体制御装置。
[3] 上段層は、本体およびこれの入口側および出口側に張り出し状に設けられた通路 ブロックからなるマスフローコントローラを有しており、マスフローコントローラの各通路 ブロック下面が継手部材に支持されるとともに、本体下面とヒータとの間に熱伝導向 上用スぺーサが介在されている請求項 1の流体制御装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020261985A1 (ja) * 2019-06-28 2020-12-30 株式会社フジキン 流体制御装置

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008014390A (ja) * 2006-07-05 2008-01-24 Hitachi Metals Ltd 集積形流体制御装置
JP5340760B2 (ja) * 2009-02-12 2013-11-13 倉敷紡績株式会社 流体制御方法及び流体制御装置
JP5216632B2 (ja) * 2009-03-03 2013-06-19 東京エレクトロン株式会社 流体制御装置
WO2013046660A1 (ja) * 2011-09-30 2013-04-04 株式会社フジキン ガス供給装置
FR2992397B1 (fr) * 2012-06-25 2014-08-01 Asco Joucomatic Sa Vanne pilote electropneumatique avec drain thermique
JP5753831B2 (ja) * 2012-11-29 2015-07-22 株式会社フジキン 流体制御装置
US11156305B2 (en) * 2016-06-21 2021-10-26 Fujikin Incorporated Fluid control system
CN109690159B (zh) * 2016-09-12 2021-04-23 株式会社富士金 流体控制装置以及流体控制装置的制造方法
WO2018079288A1 (ja) * 2016-10-24 2018-05-03 株式会社フジキン 流体制御装置およびこの流体制御装置を用いた製品製造方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11294615A (ja) * 1998-04-10 1999-10-29 Ckd Corp 集積弁
JP2000145979A (ja) * 1998-11-16 2000-05-26 Fujikin Inc 下段部材の固定装置およびこれを備えた流体制御装置
JP2000170955A (ja) * 1998-12-10 2000-06-23 Ckd Corp 集積弁

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3733459A (en) * 1971-02-09 1973-05-15 C Lengstorf Internal heating device for air valves
US4597412A (en) * 1982-09-29 1986-07-01 Stark Anton W Valve for sequential chemical operations
US5455014A (en) * 1993-07-20 1995-10-03 Hughes Aircraft Company Liquid deposition source gas delivery system
JP3997338B2 (ja) * 1997-02-14 2007-10-24 忠弘 大見 流体制御装置
JP3785516B2 (ja) * 1997-03-07 2006-06-14 株式会社フジキン 流体制御装置
JP3752578B2 (ja) * 1997-04-21 2006-03-08 株式会社フジキン 流体制御器用加熱装置
JP3774800B2 (ja) * 1997-09-24 2006-05-17 株式会社フジキン 下段部材の固定装置およびこれを備えた流体制御装置
US6152175A (en) * 1997-06-06 2000-11-28 Ckd Corporation Process gas supply unit
US5860676A (en) * 1997-06-13 1999-01-19 Swagelok Marketing Co. Modular block assembly using angled fasteners for interconnecting fluid components
JP4378553B2 (ja) * 1997-10-13 2009-12-09 忠弘 大見 流体制御装置
US7036528B2 (en) * 1998-05-18 2006-05-02 Swagelok Company Modular surface mount manifold assemblies
JP4110304B2 (ja) * 1998-06-30 2008-07-02 株式会社フジキン 流体制御装置および流体制御装置組立て方法
JP3921565B2 (ja) * 1998-07-10 2007-05-30 株式会社フジキン 流体制御装置
WO2000031462A1 (en) * 1998-11-20 2000-06-02 Mykrolis Corporation System and method for integrating gas components
US6129108A (en) * 1999-12-03 2000-10-10 United Semiconductor Corp Fluid delivering system
KR100714755B1 (ko) * 2000-03-10 2007-05-07 동경 엘렉트론 주식회사 유체 제어장치
JP2002089798A (ja) * 2000-09-11 2002-03-27 Ulvac Japan Ltd 流体制御装置およびこれを用いたガス処理装置
JP2002349797A (ja) * 2001-05-23 2002-12-04 Fujikin Inc 流体制御装置
JP4655423B2 (ja) * 2001-07-05 2011-03-23 株式会社フジキン 流体制御装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11294615A (ja) * 1998-04-10 1999-10-29 Ckd Corp 集積弁
JP2000145979A (ja) * 1998-11-16 2000-05-26 Fujikin Inc 下段部材の固定装置およびこれを備えた流体制御装置
JP2000170955A (ja) * 1998-12-10 2000-06-23 Ckd Corp 集積弁

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020261985A1 (ja) * 2019-06-28 2020-12-30 株式会社フジキン 流体制御装置

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