CN109563942A

CN109563942A - 流体控制装置

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Publication number: CN109563942A
Application number: CN201780039064.4A
Authority: CN
Inventors: 相川献治; 篠原努; 中川�; 中川一; 松田隆博; 原田章弘
Original assignee: Fujikin Inc
Current assignee: Fujikin Inc
Priority date: 2016-06-21
Filing date: 2017-06-19
Publication date: 2019-04-02
Anticipated expiration: 2037-06-19
Also published as: US11156305B2; TWI656292B; JPWO2017221891A1; US20190162323A1; TW201805555A; WO2017221891A1; CN109563942B; KR102149689B1; KR20190006004A; JP6681630B2

Abstract

本发明提供一种流体控制装置，其能够在不减少流体的供给流量的前提下进一步实现小型化、集成化，并且能够大幅度削减组装工时，还能够改善维护性能。上游侧接头块体(20)的螺纹孔(25a)仅形成于在长度方向上比其流路口(24a)靠上游侧的位置，下游侧接头块体(20)的螺纹孔(25a)仅形成于在长度方向上比其流路口(24a)靠下游侧的位置，在引导部(55)与卡合部(22)之间具有排列机构(55f、22f)，该排列机构(55f、22f)利用克服在互相连结的上游侧接头块体(20)、下游侧接头块体(20)和主体(113)上因紧固螺栓(BT)的紧固力而产生的弯曲力的反作用力(R1、R2)的一部分，使上游侧接头块体(20)和下游侧接头块体(20)的在与引导部(55)的长度方向正交的横向上的位置排列于引导部(55)的中央位置(CP)。

Description

流体控制装置

技术领域

本发明涉及流体设备集成化了的流体控制装置和利用该流体控制装置进行的半导体装置等的制造方法。

背景技术

例如，作为为了向半导体制造装置等的腔室供给各种工艺气体而使用的流体控制装置，公知有在下述引用文献1、2等中公开的装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002-206700号公报

专利文献2：日本特开2015-175502号公报

发明内容

发明要解决的问题

在上述那样的流体控制装置的领域中，工艺气体的供给控制要求较高的响应性，因此，需要使流体控制装置尽可能小型化、集成化，并设置在距流体的供给目标即腔室更近的位置。

此外，半导体晶圆的大口径化等处理对象物的大型化有所发展，与此相应地，也需要增加从流体控制装置向腔室内供给的流体的供给流量。

此外，若使流体控制装置小型化、集成化，则组装作业变得困难，组装工时增多。此外，装置的维护性也下降。

本发明的一个目的在于提供在不减少流体的供给流量的前提下进一步实现小型化、集成化的流体控制装置。

本发明的另一目的在于提供能够大幅度削减组装工时、还能够改善维护性能的流体控制装置。

用于解决问题的方案

本发明的流体控制装置具有：上游侧接头块体和下游侧接头块体，它们各自具有互相相对的上表面和底面、以及从所述上表面向所述底面侧延伸的侧面，并划定出流体流路，并且，划定有该流体流路的在所述上表面开口的流路口，在所述底面侧分别具有卡合部；

支承构件，其具有引导部，该引导部沿长度方向以直线状延伸，并且上游侧接头块体和下游侧接头块体的卡合部能够卡合于该引导部；以及

流体设备，其借助所述上游侧接头构件和下游侧接头构件支承于所述支承构件，

该流体控制装置的特征在于，

所述引导部容许所述上游侧接头块体和下游侧接头块体沿引导方向移动，并且将该上游侧接头块体和下游侧接头块体约束在所述支承构件上，

所述流体设备具有划定出流体流路的主体，该主体具有在其底面开口的两个流路口，

从所述上游侧接头块体和下游侧接头块体的上表面朝向底面侧地形成有供紧固螺栓螺纹结合的螺纹孔，该紧固螺栓用于对在互相对接的所述上游侧接头块体的流路口、下游侧接头块体的流路口与所述基块的两个流路口的周围配置的密封构件施压，并且将所述主体连结于所述上游侧接头块体以及下游侧接头块体，

所述上游侧接头块体的螺纹孔仅形成于在长度方向上比该上游侧接头块体的流路口靠上游侧的位置，

所述下游侧接头块体的螺纹孔仅形成于在长度方向上比该下游侧接头块体的流路口靠下游侧的位置，

在所述引导部与所述卡合部之间具有排列机构，该排列机构利用克服在互相连结的所述上游侧接头块体、下游侧接头块体和所述主体上因所述紧固螺栓的紧固力而产生的弯曲力的反作用力的一部分进行作用，以使所述上游侧接头块体和下游侧接头块体的在与所述引导部的长度方向正交的横向上的位置排列于所述引导部的中央位置。

发明的效果

根据本发明，通过使接头块体的卡合部卡合于支承构件的引导部而约束在支承构件上，从而不需要接头块体与支承构件之间的使用螺栓进行的连结作业，能够大幅度削减组装工时。

根据本发明，上游侧接头块体的螺纹孔仅形成于在长度方向上比其流路口靠上游侧的位置，下游侧接头块体的螺纹孔仅形成于在长度方向上比其流路口靠下游侧的位置。优选的是，利用单一的紧固螺栓将各接头块体和流体设备的基块连结起来。即，将紧固螺栓相对于各密封构件仅设于一侧，因此，能够大幅度地减少紧固螺栓的数量和占有面积。

根据本发明，仅通过将紧固螺栓紧固，就能够利用排列机构的作用来自动地进行上游侧接头块体和下游侧接头块体的对位，从而使它们排列于引导部的中央位置，因此，流体控制装置的组装作业变得非常容易。

根据本发明，在流体设备、接头块体发生了故障的情况下，仅更换发生了故障的流体设备、接头块体即可，因此维护性得到大幅度改善。

根据本发明，能够整体上使流体控制装置大幅度地小型化、集成化，因此，能够使流体控制装置尽可能地靠近处理腔室的附近，其结果是，能够提高流体控制的响应性。

附图说明

图1A是本发明的一实施方式的流体控制装置的外观立体图。

图1B是图1A的流体控制装置的俯视图。

图1C是图1A的流体控制装置的后视图。

图2A是提取出图1A的流体控制装置的一部分所得到的组装体的外观立体图。

图2B是图2A的组装体的侧视图。

图2C是沿图2B的IIC-IIC线剖切得到的局部剖视图。

图3A是导轨构件的外观立体图。

图3B是图3A的导轨构件的俯视图。

图3C是图3A的导轨构件的主视图。

图3D是图3A的导轨构件的侧视图。

图4A是接头块体的外观立体图。

图4B是图4A的接头块体的俯视图。

图4C是沿图4B的虚拟中央平面CP2剖切得到的剖视图。

图4D是图4B的接头块体的左视图。

图4E是图4B的接头块体的右视图。

图5A是开闭阀的立体图。

图5B是图5A的开闭阀的主体的仰视图。

图5C是图5A的开闭阀的主体的局部剖视图。

图6A是垫片的外观立体图。

图6B是垫片的俯视图。

图6C是垫片的剖视图。

图7A是紧固螺栓的立体图。

图7B是表示紧固螺栓的头部的俯视图。

图8A是不使用导轨构件地配置在基准面上的紧固前的状态的组装体的示意图。

图8B是表示利用紧固螺栓将图8A的组装体紧固了的状态的示意图。

图8C是表示使用导轨构件并利用紧固螺栓将组装体紧固了的状态的示意图。

图9A是表示在紧固螺栓的紧固之前会发生的接头块体的错位的一例的示意图。

图9B是表示在紧固螺栓的紧固之前会发生的接头块体的错位的另一例子的示意图。

图10是用于说明由紧固螺栓的紧固引起的排列机构的动作的示意图。

图11A是表示卡合部和引导部的变形的一例的示意图。

图11B是表示卡合部和引导部的变形的另一例子的示意图。

图11C是表示卡合部和引导部的变形的又一其他例子的示意图。

图12A是表示卡合部和引导部的变形的又一其他例子的示意图。

图12B是表示卡合部和引导部的变形的又一其他例子的示意图。

具体实施方式

以下参照附图来说明本发明的实施方式。

参照图1A～图10来详细说明本发明的一实施方式的流体控制装置。

如图1A～图1C所示，在流体控制装置1中，在金属制的基板10上设有沿宽度方向W、W2排列并沿长度方向G1、G2延伸的5根导轨构件50。另外，W1表示正面侧的方向，W2表示背面侧的方向，G1表示上游侧的方向，G2表示下游侧的方向。仅在5根导轨构件50中的处于两端部和中央部的导轨构件50上设置有各种构件，在第2根和第4根导轨构件50上没有设置任何构件而是成为空置状态，但能够在该两根导轨构件50上追加设置各种构件，在不需要该两根导轨构件50的情况下，也能够将它们从基板10拆下而使处于两端部和中央部的这3根导轨构件50相邻地排列。

在本发明中，附设于基板10的导轨构件50并不限定为多根，也可以是1根，但根数越多本发明的效果就越显著。

如图1A所示，在配置于正面侧和中央部的两根导轨构件50上借助多个接头块体20、30设置有各种流体设备110A～110E，分别利用多个接头块体20、30形成有供流体从上游侧向下游侧流通的流路。在背面侧的导轨构件50上借助多个接头块体20、30设置有连通管330和除了流体设备110E之外的流体设备110A～110D，并形成有供流体从上游侧向下游侧流通的流路。

在此，本发明的“流体设备”是指在控制流体的流动的流体控制装置中使用的设备，是具有能够划定流体流路的主体、并具有在该主体的底面开口的至少两个流路口的设备。具体而言，包括开闭阀(双通阀)110A、调节器110B、压力计110C、开闭阀(三通阀)110D、质量流量控制器110E等，但并不限定于这些。

导入管310利用接头构件300与形成于接头块体30的未图示的两个流路口中的上游侧的流路口相连接。未图示的密封构件介于接头构件300与接头块体30之间。作为密封构件，能够列举出金属制或树脂制等的垫片。

作为垫片，能够列举出软质垫片、半金属垫片、金属垫片等。具体而言，优选使用以下的构件。

(1)软质垫片

·橡胶O形环

·橡胶片(全面座用)

·接合片

·膨胀石墨片

·PTFE片

·PTFE夹套形

(2)半金属垫片

·螺旋状垫片(Spiral-wound gaskets)

·金属夹套垫片

(3)金属垫片

·金属扁平形垫片

·金属中空O形环

·环接合件

通过从上述未图示的垫片的两侧将两根紧固螺栓BT2紧固，从而垫片被施压，接头构件300与接头块体30之间被密封。形成于接头块体30的流体流路的结构与后述的接头块体20相同，因此，在此省略说明。接头块体30的未图示的下游侧的流路口与开闭阀110A相连接。该部分的连接构造同后述的接头块体20与流体设备110A～110E之间的后述的连接构造相同，因此省略详细说明。

对于流体控制装置1的3个系统的流路，例如经过正面侧的导入管310导入氨气等工艺气体，经过中央部的导入管310导入例如氢气等工艺气体，经过背面侧的导入管310导入氮气等吹扫气体。

3个开闭阀(三通阀)110D利用连通管320互相连接，能够将吹扫气体导入工艺气体的流路。

由于在吹扫气体的流路系统不需要质量流量控制器110E，因此，连通管330替代质量流量控制器110E设于流路的中途。

供给管340将配置于下游侧的3个接头构件300之间连接起来，并且与未图示的处理腔室相连接。

在正面侧、中央部以及背面侧各自的上游侧和下游侧的端部，分别有止挡件400利用紧固螺栓BT2固定于引导部55的底面，用于限制在各流路系统互相连结的流体设备110A～110E沿长度方向G1、G2的移动。止挡件400能够根据流体设备的数量等适当变更调整固定位置。

图2A～图2C是构成流体控制装置1的一个系统流路的一部分组装体200，

图2A为立体图，图2B为侧视图，图2C为图2B的IIC-IIC线剖视图。

组装体200具有导轨构件50、配置于该导轨构件50上的上游侧接头块体20和下游侧接头块体20、以及配置于上游侧接头块体20和下游侧接头块体20上的、作为流体设备的开闭阀110A。此外，在开闭阀110A的主体113与上游侧接头块体20、下游侧接头块体20之间设有作为密封构件的垫片120、120。并且，组装体200具有两根紧固螺栓BT，该两根紧固螺栓BT用于将开闭阀110A的主体113连结于上游侧接头块体20和下游侧接头块体20。

图3A～图3D是表示导轨构件50的图，图3A为外观立体图，图3B为俯视图，图3C为主视图，图3D为侧视图。

导轨构件50例如是不锈钢合金等金属制的长条构件，其截面形成为矩形状，划定有上表面51、与该上表面51正交的两个侧面52、与上表面51平行并与侧面52正交的底面53以及长度方向上的两端面54。在上表面51延伸设有沿长度方向呈槽状形成的引导部55。如图3D所示，该引导部55形成为关于虚拟中央平面CP对称，该虚拟中央平面CP经过导轨构件50的上表面51和底面53的中央位置并沿长度方向延伸，引导部55具有底面55b和朝向底面55b以逐渐展开状倾斜的两个承受面55f。两个承受面55f彼此反向地倾斜。承受面55f相对于底面55b以57度左右的角度倾斜，但并不限定于此。导轨构件50的上表面51作为能够支承接头块体20、接头块体30和止挡件400的支承面发挥功能。在引导部55的底面55b的长度方向上的两端部形成有用于将导轨构件50固定于基板10的紧固螺栓用的贯通孔56。导轨构件50的尺寸如下，宽度和高度为10mm左右，全长为300mm左右，但并不限定于此。止挡件400能够利用紧固螺栓BT2固定在引导部55的长度方向上的任意位置，固定构造采用周知的构造，因此省略详细说明。

图4A～图4E是表示接头块体20的图，图4A为外观立体图，图4B为俯视图，图4C为沿图4B的虚拟中央平面CP2剖切得到的剖视图，图4D为长度方向的一端面图，图4E为长度方向的另一端面图。

接头块体20是不锈钢合金等金属制的构件，其具有互相相对的、由平面构成的上表面20a和由平面构成的底面20b、以及分别相对于上表面20a正交的4个侧面21a、21b、21c、21d。在4个侧面21a、21b、21c、21d中，相邻的两个侧面彼此正交。侧面21a、侧面21b是位于长度方向上的两端的平面，侧面21c、侧面21d是沿长度方向延伸的平面。另外，对于接头块体20，举出了长方体形状的情况的例子，但也能够采用其他形状。

底面20b作为被导轨构件50的上表面51支承的被支承面发挥功能，卡合部22以突出的方式一体形成在该底面20b。卡合部22从底面20b朝向下方地呈逐渐展开状地形成，具有彼此反向地倾斜的卡合面22f。卡合部22形成为关于虚拟中央平面CP2对称，卡合面22f相对于底面22b的倾斜角度与导轨构件50的承受面55f的倾斜角度大致相同，但并不限定于此。卡合部22具有能嵌合于导轨构件50的引导部55的形状，能够分别从导轨构件50的长度方向上的两端部插入。引导部55容许卡合部22沿长度方向移动，并且将接头块体20约束于导轨构件50上。从加工和组装的观点出发，在卡合部22与引导部55之间存在设定的公差范围内的空隙，该空隙能够设定在后述的排列机构可靠地进行工作的范围内。

接头块体20所划定的流体流路23包括：第1垂直流路23a，其从上表面20a向底面20b侧延伸，并具有在上表面20a开口的流路口24a；第2垂直流路23b，其在长度方向上与第1垂直流路23a间隔开的位置从上表面20a朝向底面20b侧延伸，并且具有在上表面20a开口的流路口24b；以及水平流路23c，其在接头块体20的内部沿长度方向以直线状延伸，并与第1垂直流路23a和第2垂直流路23b相连接。另外，第1垂直流路23a和第2垂直流路23b相对于上表面20a垂直地形成，水平流路23c相对于上表面20a平行地形成，但并不限定于此，也能够不设为垂直、水平。

第1垂直流路23a和第2垂直流路23b的加工方法例如利用钻头在与接头块体20的上表面20a垂直的方向上穿孔来形成盲孔即可。水平流路23c通过利用钻头在与接头块体20的侧面21a垂直的方向上穿孔来形成盲孔即可。这时，在与第1垂直流路23a和第2垂直流路23b的顶端部相连接的高度位置加工水平流路23c。若从接头块体20的侧面21a开设用于形成水平流路23c的孔，则在侧面21a形成开口。因此，在侧面21a的开口的周围形成保持凹部28，使金属制的圆盘状的封闭构件150嵌入该保持凹部28，并利用焊接将封闭构件150的外周缘部密封，从而封堵开口。由此，形成包括第1垂直流路23a、第2垂直流路23b以及水平流路23c的U状流路。

在开口于接头块体20的上表面20a侧的流路口24a、24b的周围形成有用于分别保持垫片120的保持凹部26、26。也可以是，为了压溃垫片120，在保持凹部26、26的底面的处于流路口24a、24b外周的部位形成未图示的圆环状的突起，该圆环状的突起被施加了硬化处理以使其硬度充分高于垫片120的硬度。

在接头块体20上，在长度方向上形成有两个在上表面20a开口并向底面20b侧延伸的螺纹孔25a、25b。螺纹孔25a、25b位于在上表面20a开口的两个流路口24a、24b之间。螺纹孔25a、25b例如是M5，至少具有3个螺纹牙，深度为3mm左右，但并不限定于此。此外，螺纹孔25a、25b的中心轴线位于虚拟中央平面CP2上，但并不限定于此，也可以偏向宽度方向上的一方，此外，也可以是，螺纹孔25a和螺纹孔25b中的一者配置于靠侧面21c侧，另一者配置于靠侧面21d侧。此外，关于接头块体20的尺寸规格，例如，宽度为10mm左右，长度为30mm左右，流体流路23的直径为2.6mm左右。高度为13mm左右，但并不限定于此。接头块体20和导轨构件50的宽度大致一致，约为10mm。

螺纹孔25a位于水平流路23c的上方，在图4B所示的俯视视角下，螺纹孔25a与水平流路23c重合。并且，螺纹孔25a相对于流路口24a位于侧面21a侧而不是侧面21b侧，此外，在接头块体20的长度方向上，螺纹孔25a相对于流路口24a只形成于一侧。通过设为这样的结构，能够确保流体流路23的截面积，此外，能够利用一根紧固螺栓BT的紧固力将对流路口24a的周围进行密封的垫片120压溃，并且能够将接头块体20与开闭阀110A的主体113连结起来。其结果是，能够大幅度地缩窄接头块体20的宽度。同样地，螺纹孔25b位于水平流路23c的上方，在图4B所示的俯视视角下，螺纹孔25b与水平流路23c重合。并且，螺纹孔25b相对于流路口24b位于侧面21a侧而不是侧面21b侧，并相对于流路口24b只形成于一侧。通过设为这样的结构，能够确保流体流路23的截面积，此外，能够利用一根紧固螺栓BT将对流路口24b的周围进行密封的垫片120压溃，并且能够将接头块体20与其他流体设备的主体113连结起来。

并且，根据图4C和图4E可以明确的是，水平流路23c在上表面20a与底面20b之间偏靠于底面20b侧。通过采用这样的结构，能够充分地确保供紧固螺栓BT螺纹结合的螺纹孔25a、25b的深度。

图5A～图5C是表示开闭阀(流体设备)110A的图，图5A为立体图，图5B为仰视图，图5C为图5B的VC-VC线方向的局部剖视图。

开闭阀110A具有致动器内置部111、阀内置部112以及主体113，开闭阀110A借助接头块体20支承于导轨构件50。

主体113的宽度与接头块体20的宽度相匹配，例如是10mm左右，但并不限定于此。

主体113划定流体流路117，并且该流体流路117具有在底面113b侧开口的两个流路口117a，在两个流路口117a分别形成有用于保持垫片120的保持用凹部116。也可以是，为了压溃垫片120，在保持用凹部116形成未图示的圆环状的突起，该圆环状的突起被施加了硬化处理以使其硬度充分高于垫片120的硬度。

在主体113的长度方向上的两端部分别形成有贯通孔114，该贯通孔114供紧固螺栓BT从上表面113a朝向底面113b地贯穿。

图6A～图6C是垫片120的立体图、俯视图以及剖视图。

垫片能够利用不锈钢合金等与主体113相同的材料形成，但是需要进行热处理以使垫片的硬度充分低于主体113的硬度。除金属材料之外，还能够使用树脂制的垫片。

图7A是紧固螺栓BT的立体图，图7B是紧固螺栓BT的头部的俯视图。紧固螺栓BT将主体113与接头块体20连结起来，并且利用一根来承担压溃垫片120的力，因此，使用比其他地方使用的紧固螺栓BT2(例如M4)的直径大的紧固螺栓(例如M5)，但也可以将所有紧固螺栓设为共同的尺寸。

在此，对本发明的导轨构件50的作用和排列机构进行说明。

在上述实施方式中，排列机构包括导轨构件50的引导部55的两个承受面55f和接头块体20的卡合部22的两个卡合面22f。

图8A表示如下的状态，即，将两个接头块体20、20放置在基准面BS上而不是导轨构件50上，将垫片120配置在预定部位，在这之上放置作为流体设备的开闭阀110A的主体113。

在该状态下，垫片120未被按压，因此，在主体113的底面113b与两个接头块体20的上表面20a之间形成大致固定的间隙GP。

接着，如图8B所示，使紧固螺栓BT经过主体113的贯通孔114拧入上游侧接头块体20的螺纹孔25a和下游侧接头块体20的螺纹孔25a并紧固，这时，在螺纹孔25a、25a对上游侧接头块体20和下游侧接头块体20作用由箭头F1A、F2A所示的方向的提拉力，并且从垫片120、120对上游侧接头块体20和下游侧接头块体20作用由箭头F1B、F2B所示的向下的力。因而，上游侧接头块体20的上游侧端部相对于基准面BS朝D1方向翘起，下游侧接头块体20的下游侧端部也相对于基准面BS朝D2方向翘起。

垫片在紧固螺栓BT的紧固力的作用下被施压，因此，远离垫片120的位置处的间隙GP2小于图8A的间隙GP，还小于垫片120的附近的间隙GP1。因此，对互相连结的上游侧接头块体20、下游侧接头块体20与主体113作用使上游侧接头块体20和下游侧接头块体20彼此向反方向倾斜的弯曲力。

如图8C所示，将上游侧接头块体20的卡合部22和下游侧接头块体20的卡合部22插入导轨构件50的引导部55，与图8B同样地将紧固螺栓BT紧固，这时，上游侧接头块体20和下游侧接头块体20从克服上述弯曲力的导轨构件50的引导部55的承受面55f受到由箭头F1C、F2C所示的向下的方向的反作用力，上游侧接头块体20和下游侧接头块体20不会倾斜。若将紧固螺栓BT紧固成成为所需的轴力，则主体113的底面113b与两个接头块体20的上表面20a之间的间隙GP3变为零或者大致变为零，主体113的底面113b与两个接头块体20的上表面20a实质上相接触。

在此，若像上述那样在导轨构件50的引导部55与上游侧接头块体20的卡合部22、下游侧接头块体20的卡合部22之间存在少许空隙，则在未将紧固螺栓BT紧固的状态下，例如，卡合部22的虚拟中央平面CP2相对于导轨构件50的引导部55的虚拟中央平面CP有可能如图9A所示向左侧方向L错位，或者如图9B所示向右侧方向R错位。

若发生例如图9A、图9B那样的横向(与长度方向正交的方向)的错位，则多个流体设备110A～110E在导轨构件50上有可能蜿蜒曲折，或者向左右方向中的一侧倾斜，垫片120的密封性能有可能下降。

在本实施方式中，像上述那样，在引导部55与卡合部22之间设有排列机构。排列机构利用克服在互相连结的上游侧接头块体20、下游侧接头块体20和主体113上因紧固螺栓BT的紧固力而产生的弯曲力的反作用力的一部分进行作用，以使上游侧接头块体20和下游侧接头块体20的在与引导部50的长度方向正交的横向上的位置排列于引导部50的中央位置。由此，在组装过程中，上述的横偏移会自动修正(从当初位置自动地向标准位置移动)。

具体而言，如图10所示，若由于弯曲力对接头块体20作用提拉力F，则引导部55的两个承受面55f对卡合部22的两个卡合面22f作用反作用力R1、R2。由于引导部55形成为关于虚拟中央平面CP对称，卡合部22形成为关于虚拟中央平面CP2对称，因此反作用力R1、R2成为相同的大小。并且，反作用力R1的水平方向分力R1x和反作用力R2的水平方向分力R2x彼此方向相反且是相同的大小，因此，该分力R1x、R2x进行作用以使卡合部22的虚拟中央平面CP2与引导部55的虚拟中央平面CP一致。

此外，反作用力R1的垂直方向分力R1y和反作用力R2的垂直方向分力R2y彼此是相同的大小，克服提拉力F地进行作用，以将接头块体20约束在导轨构件50上(导轨构件作为支承构件发挥功能，将接头块体20在标准位置固定地支承)。

这样，根据本实施方式，若使接头块体20插入导轨构件50的引导部55，利用紧固螺栓BT将流体设备的主体113与接头块体20连结起来，则接头块体20自动地排列在引导部55的中央位置，因此组装作业变得非常容易，组装的自动化也变得更容易。

在上述实施方式中，卡合部22的卡合面22f和引导部55的承受面55f仅以斜面形成，但如图11A所示，也能够利用倾斜面和垂直面构成卡合部22_1和引导部55_1。此外，如图11B、图11C所示，也可以对卡合部22_2、22_3和引导部55_2、55_3使用弯曲面。并且，如图12A、12B所示，也可以将卡合部22_4、22_5设为凹状，将引导部55_4、55_5设为凸状。

在上述实施方式中，说明了利用一根紧固螺栓BT将接头块体20与主体113连结起来的情况，但若螺纹孔相对于流路口24a存在于水平流路23c侧，则也能够使用多根紧固螺栓BT。

也可以在接头块体20与主体113之间使用定位销，但在上述实施方式中没有使用。

在上述实施方式中，使水平流路23c偏靠于接头块体20的底面20b侧，但并不限定于此，也可以使水平流路23c形成于中心部。

在上述实施方式中，作为支承构件，使用了形成有一条引导部55的导轨构件50，但并不限定于此，也可以将在一片板上形成有多条引导部55的构件设为支承构件。在该情况下，也能够设为不使用基板10的结构。

在上述实施方式中，在接头块体20形成有两个流路口24a、24b，并且在它们之间形成有两个螺纹孔25a、25b，但本发明并不限定于此。本发明也能够应用于存在3个流路口的情况，还能够应用于一个流路口24a开口于接头块体20的上表面20a、其他流路口开口于接头块体20的侧面21b的情况。

在上述实施方式中，作为本发明的第1流路和第2流路，举出了垂直流路和水平流路的例子，但并不限定于此，第1流路和第2流路也可以相对于垂直方向或水平方向倾斜。

附图标记说明

1、流体控制装置；10、基板；20A-20E、接头块体；20a、上表面；20b、底面；21a～21d、侧面；22、卡合部；22b、底面；22f、卡合面(排列机构)；23、流体流路；23a、23b、垂直流路；23c、水平流路；24a、24b、流路口；25a、25b、螺纹孔；26、保持凹部；30、接头块体；50、导轨构件；55、引导部；55f、承受面(排列机构)；110A、开闭阀(双通阀)(流体设备)；110B、调节器(流体设备)；110C、压力计(流体设备)；110D、开闭阀(三通阀)(流体设备)；110E、质量流量控制器(流体设备)；111、致动器内置部；112、阀内置部；113、主体；113a、上表面；113b、底面；114、贯通孔；300、接头构件；310、导入管；320、连通管；330、连通管；340、供给管；400、止挡件；BT、紧固螺栓；BT2、紧固螺栓；GP、GP1、GP2、GP3、间隙。

Claims

1.一种流体控制装置，其具有：

上游侧接头块体和下游侧接头块体，它们各自具有互相相对的上表面和底面、以及从所述上表面向所述底面侧延伸的侧面，并划定出流体流路，并且，划定有该流体流路的在所述上表面开口的流路口，在所述底面侧分别具有卡合部；

该流体控制装置的特征在于，

2.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，

所述卡合部形成为关于与所述上表面正交且沿长度方向延伸的虚拟中央平面对称，

所述引导部形成为关于与所述支承构件的上表面正交且沿长度方向延伸的虚拟中央平面对称，

在所述卡合部和引导部中的至少一者具有关于沿长度方向延伸的所述虚拟中央平面对称的倾斜面或弯曲面。

3.根据权利要求1或2所述的流体控制装置，其特征在于，

所述上游侧接头块体和下游侧接头块体分别利用单一的紧固螺栓连结于所述流体设备的主体。

4.一种半导体制造方法，其特征在于，

将权利要求1～3中任一项所述的流体控制装置应用于对在半导体制造工艺中使用的流体的控制。

5.一种平板显示器的制造方法，其特征在于，

将权利要求1～3中任一项所述的流体控制装置应用于对在平板显示器的制造工艺中使用的流体的控制。

6.一种太阳能电池板的制造方法，其特征在于，

将权利要求1～3中任一项所述的流体控制装置应用于对在太阳能电池板的制造工艺中使用的流体的控制。