CN205136685U - 一种高效率组装的流体控制装置 - Google Patents

Abstract

一种高效率组装的流体控制装置，主要将损坏率较高的一压力监控单元及一流量控制器设计成通过相对应的一耦接件可与相对应的一基座固定和分离，将损坏率较低的一开关设计成与相对应的该基座一体成形，并通过一连接单元将每个该基座固定，当该压力监控单元及该流量控制器损坏时，只需取出相对应的该耦接件即可单独更换，由于该开关损坏率较低，所以只需于更换该压力监控单元及该流量控制器时一并取出该连接单元即可更换，而达到有效减少设备的维护时间。

Description

一种高效率组装的流体控制装置

技术领域

本实用新型为涉及一种流体控制装置，尤其涉及一种用于半导体工艺且具有高组装效率的流体控制装置。

背景技术

在半导体工艺中需要将流体输送至特定的机器中，该流体必须在特定的情况下被输送至反应器中，其中，该流体可藉由流体控制装置来完成输送任务。

如中国台湾专利公告第591184号中，提出一种流体控制装置，其基部元件上并列地配置有多个线，每一个线是由配置在上段的流体控制机器及配置在下段的多个块状接头所形成，特征为至少在一条线的两侧上的线长度方向，长且连续地配置有左右带状加热器，该些左右带状加热器被多个夹件固定在对应的接头元件上，各夹件是由以预定间隔而成对向的一对侧壁，以及连接各侧壁的上下的中间部的连接壁所形成，在两侧壁的上部施加使其接近的方向的力时，使各侧壁的下部隔离，并且在力量被去除的时候，使两侧壁可复归到原来位置。

然而，上述传统的流体控制装置，其组装结构复杂，导致使用者组装上的不便，而需耗费大量的时间来拆解与组装，影响半导体制造的产能。

实用新型内容

本实用新型的主要目的，在于解决现有流体控制装置的组装结构过于复杂，而造成维护上耗时及不便的问题。

为达上述目的，本实用新型提供一种高效率组装的流体控制装置，该装置包含有：

一压力监控组件，包括一第一基座、一设置于该第一基座上的第一压力监控单元以及一供该第一压力监控单元能够拆卸地耦接于该第一基座的第一耦接件；

一第一开关组件，该第一开关组件与该压力监控组件相邻设置并包括一第二基座以及一设置于该第二基座上并和该第二基座一体成型的第一开关；

一流量控制组件，该流量控制组件与该第一开关组件相邻设置并包括一第三基座、一设置于该第三基座上的流量控制器以及一供该流量控制器能够拆卸地耦接于该第三基座的第二耦接件；以及

一第二开关组件，该第二开关组件与该流量控制组件相邻设置并包括一第四基座以及一设置于该第四基座上并和该第四基座一体成型的第二开关。

上述的高效率组装的流体控制装置，其中该压力监控组件更包括一设置于该第一基座和该第二基座之间的第五基座、一设置于该第五基座上的第二压力监控单元及一供该第二压力监控单元能够拆卸地耦接于该第五基座的第三耦接件。

上述的高效率组装的流体控制装置，其中更包括一设置于该压力监控组件与该第一开关组件之间的第三开关组件，该第三开关组件包括一第六基座及一设置于该第六基座上并和该第三基座一体成型的第三开关。

上述的高效率组装的流体控制装置，其中该第一压力监控单元与该第二压力监控单元为一压力控制阀或一压力监测器。

上述的高效率组装的流体控制装置，其中该第一压力监控单元、该第二压力监控单元和该流量控制器分别具有一上流体通道，该第一基座、该第三基座和该第五基座分别具有一下流体通道，该上流体通道与该下流体通道彼此相通。

上述的高效率组装的流体控制装置，其中该第一基座、该第二基座、该第三基座、该第四基座、该第五基座和该第六基座是通过一横向设置的连接单元能够拆卸地彼此耦接。

上述的高效率组装的流体控制装置，其中该第三基座包括一入口承载部及一出口承载部，该入口承载部及该出口承载部相隔设置且用于支撑该流量控制器。

上述的高效率组装的流体控制装置，其中该第一基座具有一用于导入一处理气体的第一接头，该第二基座具有一用于导入一清洗气体的第二接头，该第四基座具有一用于导出该处理气体及该清洗气体的第三接头。

为达上述目的，本实用新型还提供一种高效率组装的流体控制装置，该装置包含有：

一压力监控组件，包括一第一基座、一设置于该第一基座上的第一压力监控单元以及一供该第一压力监控单元能够拆卸地耦接于该第一基座的第一耦接件；

一第一开关组件，该第一开关组件与该压力监控组件相邻设置并包括一第二基座以及一设置于该第二基座上并和该第二基座一体成型的第一开关，该第二基座包括一第一本体以及一自该第一本体横向突出的第一延伸部；

一第二开关组件，该第二开关组件与该第一开关组件相隔设置并包括一第四基座以及一设置于该第四基座上并和该第四基座一体成型的第二开关，该第四基座包括一第二本体以及一自该第二本体横向突出并和该第一延伸部相隔的第二延伸部；以及

一流量控制组件，该流量控制组件设置于该第一开关和该第二开关之间，包括一设置于该第一延伸部和该第二延伸部上的流量控制器以及一供该流量控制器能够拆卸地耦接于该第一延伸部和该第二延伸部上的第二耦接件。

上述的高效率组装的流体控制装置，其中该压力监控组件更包括一设置于该第一基座和该第二基座之间的第五基座、一设置于该第五基座上的第二压力监控单元及一供该第二压力监控单元能够拆卸地耦接于该第五基座的第三耦接件，该第五基座包括一第三本体以及一自该第三本体横向突出的第三延伸部，该第一压力监控单元通过该第一耦接件能够拆卸地耦接于该第三延伸部。

上述的高效率组装的流体控制装置，其中更包括一设置于该压力监控组件与该第一开关组件之间的第三开关组件，该第三开关组件包括一第六基座、一设置于该第六基座上并和该第六基座一体成型的第三开关，该第六基座包括一第四本体以及一自该第四本体横向突出的第四延伸部，该第二压力监控单元通过该第三耦接件能够拆卸地耦接于该第四延伸部。

上述的高效率组装的流体控制装置，其中该第一压力监控单元与该第二压力监控单元为一压力控制阀或一压力监测器。

上述的高效率组装的流体控制装置，其中该第一压力监控单元及该第二压力监控单元分别具有一上流体通道，该第一基座和该第五基座分别具有一下流体通道，该上流体通道与该下流体通道彼此相通。

上述的高效率组装的流体控制装置，其中该第一基座、该第二基座、该第五基座和该第六基座是通过一横向设置的连接单元能够拆卸地耦接彼此。

上述的高效率组装的流体控制装置，其中该第一基座具有一用于导入一处理气体的第一接头，该第二基座具有一用于导入一清洗气体的第二接头，该第四基座具有一用于导出该处理气体及该清洗气体的第三接头。

由以上可知，本实用新型相较于现有技术可达到的功效在于，利用本实用新型得到的该流体控制装置，其中该压力监控组件、该开关组件及该流量控制组件所相对应的该基座为单一层设置，当较容易损坏的该压力监控单元及该流量控制器需要更换时，只需将由上方设置的该耦接件取出即可单独更换，而较不容易损坏的该开关只需在维护或更换该压力监控单元及该流量控制器时一并维护或更换即可，综合前述的组装结构，在维护时可减少维护时间及简单化组装方式。

以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细描述，但不作为对本实用新型的限定。

附图说明

图1，为本实用新型第一实施例的剖视示意图。

图2，为本实用新型第一实施例的俯视示意图；

图3，为本实用新型第二实施例的剖视示意图。

具体实施方式

涉及本实用新型的详细说明及技术内容，现就配合附图说明如下：

请搭配参阅图1及图2所示，分别为本实用新型第一实施例的剖视示意图以及俯视示意图，本实用新型为一种高效率组装的流体控制装置1，包含一压力监控组件10、一第一开关组件20、一流量控制组件30及一第二开关组件40，该压力监控组件10包括一第一基座11、一第一压力监控单元12及一第一耦接件13，该第一压力监控单元12设置于该第一基座11上，该第一耦接件13连接该第一压力监控单元12和该第一基座11，以让该第一压力监控单元12可拆卸地耦接于该第一基座11，该第一基座11包括一第一下流体通道111及一用于导入一处理气体的第一接头112，该第一压力监控单元12具有一第一上流体通道121，该第一下流体通道111分别与该第一接头112和该第一上流体通道121彼此相通。

该第一开关组件20与该压力监控组件10相邻设置并包括一第二基座21以及一第一开关22，该第一开关22设置于该第二基座21上并和该第二基座21一体成型，该第二基座21包括一第一内部通路211及一第二接头212，该第二接头212用于导入一清洗气体，该第一内部通路211与该第二接头212彼此相通。

该流量控制组件30设置于该第一开关组件20远离该压力监控组件10一侧并包括一第三基座31、一流量控制器32及一第二耦接件33，该流量控制器32设置于该第三基座31上，该第二耦接件33连接该流量控制器32和该第三基座31，以让该流量控制器32可拆卸地耦接于该第三基座31，该第三基座31包括一入口承载部311、一出口承载部312及一第二下流体通道313，该入口承载部311及该出口承载部312相隔设置且用于支撑该流量控制器32，该流量控制器32具有一第二上流体通道321，该第二上流体通道321与该第二下流体通道313彼此相通。

该第二开关组件40设置于该流量控制组件30远离该第一开关组件20一侧并包括一第四基座41以及一第二开关42，该第二开关42设置于该第四基座41上并和该第四基座41一体成型，该第四基座41包括一第二内部通路411及一第三接头412，该第三接头412用于导出该处理气体及该清洗气体，该第二内部通路411与该第三接头412彼此相通。

于本实用新型的第一实施例中，该压力监控组件10更包括一第五基座51、一第二压力监控单元52及一第三耦接件53，该第五基座51设置于该第一基座11和该第二基座21之间，该第三耦接件53连接该第二压力监控单元52和该第五基座51，以让该第二压力监控单元52可拆卸地耦接于该第五基座51，该第五基座51包括一第三下流体通道511，该第二压力监控单元52具有一第三上流体通道521，该第三上流体通道521与该第三下流体通道511彼此相通。于本新型中，该第一压力监控单元12与该第二压力监控单元52可为一压力控制阀或一压力监测器。于本新型的第一实施例中，该流体控制装置1更包括一第三开关组件60，该第三开关组件60设置于该压力监控组件10与该第一开关组件20之间，该第三开关组件60包括一第六基座61及一第三开关62，该第三开关62设置于该第六基座61上并和该第六基座61一体成型，该第六基座61包括一第三内部通路611。其中，该第一下流体通道111、该第三下流体通道511、该第三内部通路611、该第一内部通路211、该第二下流体通道313及该第二内部通路411彼此相通。

另外，该第一基座11、该第二基座21、该第三基座31、该第四基座41、该第五基座51及该第六基座61由一横向设置的连接单元70可拆卸地彼此耦接。于本新型的第一实施例中，该连接单元70包括一第一连接件701及一第二连接件702，该第一连接件701供该第一基座11、该第二基座21、该入口承载部311、该第五基座51及该第六基座61可拆卸地彼此耦接；该第二连接件702供该第四基座41及该出口承载部312可拆卸地彼此耦接。

实际应用时，该第一压力监控单元12、该流量控制器32及该第二压力监控单元52较容易耗损，当需要单独更换时，使用者只需分别将该第一耦接件13、该第二耦接件33及该第三耦接件53由上取出，该第一压力监控单元12、该流量控制器32及该第二压力监控单元52即可分别与该第一基座11、该第三基座31及该第五基座51分离而进行更换；另一方面，由于该第一开关22、该第二开关42及该第三开关62较不易耗损，所以分别与该第二基座21、该第四基座41及该第六基座61一体成形设置。当需要进一步更换该第一基座11、该第二基座21、该入口承载部311、该第五基座51或该第六基座61时，只需将该第一连接件701横向取出；如需要进一步更换该第四基座41及该出口承载部312时，只需将该第二连接件702横向取出。

请搭配参阅图3所示，为本实用新型第二实施例的剖视示意图，该高效率组装的流体控制装置1包含一压力监控组件10、一第一开关组件20、一第二开关组件40及一流量控制组件30，该压力监控组件10包括一第一基座11、一第一压力监控单元12及一第一耦接件13，该第一压力监控单元12设置于该第一基座11上，该第一耦接件13连接该第一压力监控单元12和该第一基座11，以让该第一压力监控单元12可拆卸地耦接于该第一基座11，该第一基座11包括一第一下流体通道111及一第一接头112，该第一接头112用于导入一处理气体，该第一压力监控单元12具有一第一上流体通道121，该第一下流体通道111分别与该第一接头112和该第一上流体通道121彼此相通。

该第一开关组件20与该压力监控组件10相邻设置并包括一第二基座21以及一第一开关22，该第一开关22设置于该第二基座21上并和该第二基座21一体成型，该第二基座21包括一第一内部通路211、一第一本体213以及一第一延伸部214，该第一延伸部214自该第一本体213横向突出。

该第二开关组件40与该第一开关组件20相隔设置并包括一第四基座41以及一第二开关42，该第二开关42设置于该第四基座41上并和该第四基座41一体成型，该第四基座41包括一第二内部通路411、一第三接头412、一第二本体413及一第二延伸部414，该第三接头412用于导出该处理气体及该清洗气体，该第二延伸部414自该第二本体413横向突出并和该第一延伸部214相隔，该第二内部通路411与该第三接头412彼此相通。

该流量控制组件30设置于该第一开关组件20和该第二开关组件40之间并包括一流量控制器32及一第二耦接件33，该流量控制器32设置于该第一延伸部214和该第二延伸部414上，该第二耦接件33连接该流量控制器32、该第一延伸部214和该第二延伸部414，以让该流量控制器32可拆卸地耦接于该第一延伸部214和该第二延伸部414，该流量控制器32具有一第二上流体通道321，该第二上流体通道321分别与该第一内部通路211及该第二内部通路411彼此相通。

于本实用新型的第二实施例中，该压力监控组件10更包括一第五基座51、一第二压力监控单元52及一第三耦接件53，该第五基座51设置于该第一基座11和该第二基座21之间，该第三耦接件53连接该第二压力监控单元52和该第五基座51，以让该第二压力监控单元52可拆卸地耦接于该第五基座51，该第五基座51包括一第三下流体通道511、一第三本体512以及一第三延伸部513，该第三延伸部513自该第三本体512横向突出，该第一压力监控单元12通过该第一耦接件13可拆卸地耦接于该第三延伸部513，该第二压力监控单元52具有一第三上流体通道521，该第三下流体通道511分别与该第三上流体通道521和该第一上流体通道121彼此相通。于本新型中该第一压力监控单元12与该第二压力监控单元52可为一压力控制阀或一压力监测器。于本新型的第二实施例中，该流体控制装置1更包括一设置于该压力监控组件10与该第一开关组件20之间的第三开关组件60，该第三开关组件60包括一第六基座61及一第三开关62，该第三开关62设置于该第六基座61上并和该第六基座61一体成型，该第六基座61包括一第三内部通路611、一第四本体612及一第四延伸部613，该第四延伸部613自该第四本体612横向突出，该第二压力监控单元52通过该第三耦接件53可拆卸地耦接于该第四延伸部613，该第三内部通路611与该第三上流体通道521彼此相通。其中，该第一下流体通道111、该第三下流体通道511、该第三内部通路611、该第一内部通路211、该第二下流体通道313及该第二内部通路41彼此相通。另外，于该第一基座11、该第二基座21、该第五基座51及该第六基座61由一横向设置的第一连接件701可拆卸地彼此耦接。

实际应用时，该第一压力监控单元12、该第二压力监控单元52及该流量控制器32较容易耗损，当需要单独更换时，使用者只需分别将该第一耦接件13、该第三耦接件53及该第二耦接件33由上取出，该第一压力监控单元12、该流量控制器32及该第二压力监控单元52即可分别与该第一基座11、该第二基座21、该第四基座41、该第五基座51及该第六基座61分离而进行更换；另一方面，由于该第一开关22、该第二开关42及该第三开关62较不易耗损，所以分别与该第二基座21、该第四基座41及该第六基座61一体成形设置。当需要进一步更换该第一基座11、该第二基座21、该第五基座51或该第六基座61时，只需将该第一连接件701横向取出；如需要更进一步更换该第四基座41时，只需将该第二耦接件33由上取出即可，由于该第一延伸部214及该第二延伸部414取代第一实施例中的该入口承载部311及该出口承载部312而用于支撑该流量控制器32，将使该基座的总数减少，而更进一步的解决较多的模组数量的问题。

综上所述，本实用新型将较容易损坏的该压力监控组件及该流量控制组件设计成可与各自对应的该基座分离，当需要更换时经由取出各自对应的该耦接件即可单独更换，若需进一步更换该基座时只要取出该连接单元即可更换，经由上述的组装结构可达到有效的解决现有流体控制组件的过于复杂的组装方式，而使维护时减少组装时间。

当然，本实用新型还可有其它多种实施例，在不背离本实用新型精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本实用新型作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本实用新型所附的权利要求的保护范围。

Claims (15)

1.一种高效率组装的流体控制装置，其特征在于，该装置包含有：

一压力监控组件，包括一第一基座、一设置于该第一基座上的第一压力监控单元以及一供该第一压力监控单元能够拆卸地耦接于该第一基座的第一耦接件；

一第一开关组件，该第一开关组件与该压力监控组件相邻设置并包括一第二基座以及一设置于该第二基座上并和该第二基座一体成型的第一开关；

一流量控制组件，该流量控制组件与该第一开关组件相邻设置并包括一第三基座、一设置于该第三基座上的流量控制器以及一供该流量控制器能够拆卸地耦接于该第三基座的第二耦接件；以及

一第二开关组件，该第二开关组件与该流量控制组件相邻设置并包括一第四基座以及一设置于该第四基座上并和该第四基座一体成型的第二开关。

2.如权利要求1所述的高效率组装的流体控制装置，其特征在于，该压力监控组件更包括一设置于该第一基座和该第二基座之间的第五基座、一设置于该第五基座上的第二压力监控单元及一供该第二压力监控单元能够拆卸地耦接于该第五基座的第三耦接件。

3.如权利要求2所述的高效率组装的流体控制装置，其特征在于，更包括一设置于该压力监控组件与该第一开关组件之间的第三开关组件，该第三开关组件包括一第六基座及一设置于该第六基座上并和该第三基座一体成型的第三开关。

4.如权利要求2所述的高效率组装的流体控制装置，其特征在于，该第一压力监控单元与该第二压力监控单元为一压力控制阀或一压力监测器。

5.如权利要求2所述的高效率组装的流体控制装置，其特征在于，该第一压力监控单元、该第二压力监控单元和该流量控制器分别具有一上流体通道，该第一基座、该第三基座和该第五基座分别具有一下流体通道，该上流体通道与该下流体通道彼此相通。

6.如权利要求3所述的高效率组装的流体控制装置，其特征在于，该第一基座、该第二基座、该第三基座、该第四基座、该第五基座和该第六基座是通过一横向设置的连接单元能够拆卸地彼此耦接。

7.如权利要求1所述的高效率组装的流体控制装置，其特征在于，该第三基座包括一入口承载部及一出口承载部，该入口承载部及该出口承载部相隔设置且用于支撑该流量控制器。

8.如权利要求1所述的高效率组装的流体控制装置，其特征在于，该第一基座具有一用于导入一处理气体的第一接头，该第二基座具有一用于导入一清洗气体的第二接头，该第四基座具有一用于导出该处理气体及该清洗气体的第三接头。

9.一种高效率组装的流体控制装置，其特征在于，该装置包含有：

一压力监控组件，包括一第一基座、一设置于该第一基座上的第一压力监控单元以及一供该第一压力监控单元能够拆卸地耦接于该第一基座的第一耦接件；

一第一开关组件，该第一开关组件与该压力监控组件相邻设置并包括一第二基座以及一设置于该第二基座上并和该第二基座一体成型的第一开关，该第二基座包括一第一本体以及一自该第一本体横向突出的第一延伸部；

一第二开关组件，该第二开关组件与该第一开关组件相隔设置并包括一第四基座以及一设置于该第四基座上并和该第四基座一体成型的第二开关，该第四基座包括一第二本体以及一自该第二本体横向突出并和该第一延伸部相隔的第二延伸部；以及

一流量控制组件，该流量控制组件设置于该第一开关和该第二开关之间，包括一设置于该第一延伸部和该第二延伸部上的流量控制器以及一供该流量控制器能够拆卸地耦接于该第一延伸部和该第二延伸部上的第二耦接件。

10.如权利要求9所述的高效率组装的流体控制装置，其特征在于，该压力监控组件更包括一设置于该第一基座和该第二基座之间的第五基座、一设置于该第五基座上的第二压力监控单元及一供该第二压力监控单元能够拆卸地耦接于该第五基座的第三耦接件，该第五基座包括一第三本体以及一自该第三本体横向突出的第三延伸部，该第一压力监控单元通过该第一耦接件能够拆卸地耦接于该第三延伸部。

11.如权利要求10所述的高效率组装的流体控制装置，其特征在于，更包括一设置于该压力监控组件与该第一开关组件之间的第三开关组件，该第三开关组件包括一第六基座、一设置于该第六基座上并和该第六基座一体成型的第三开关，该第六基座包括一第四本体以及一自该第四本体横向突出的第四延伸部，该第二压力监控单元通过该第三耦接件能够拆卸地耦接于该第四延伸部。

12.如权利要求10所述的高效率组装的流体控制装置，其特征在于，该第一压力监控单元与该第二压力监控单元为一压力控制阀或一压力监测器。

13.如权利要求10所述的高效率组装的流体控制装置，其特征在于，该第一压力监控单元及该第二压力监控单元分别具有一上流体通道，该第一基座和该第五基座分别具有一下流体通道，该上流体通道与该下流体通道彼此相通。

14.如权利要求11所述的高效率组装的流体控制装置，其特征在于，该第一基座、该第二基座、该第五基座和该第六基座是通过一横向设置的连接单元能够拆卸地耦接彼此。

15.如权利要求9所述的高效率组装的流体控制装置，其特征在于，该第一基座具有一用于导入一处理气体的第一接头，该第二基座具有一用于导入一清洗气体的第二接头，该第四基座具有一用于导出该处理气体及该清洗气体的第三接头。