CN101128777A - 图像数据存储方法及控制装置以及程序、帧数据生成方法及装置以及程序、数据获得方法及装置、描绘方法及装置 - Google Patents

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Abstract

使空间光调制元件相对描绘面向规定的扫描方向相对移动，同时对应其向扫描方向的移动依次向空间光调制元件输入帧数据，通过以时间序列依次形成描绘点组而在描绘面上形成由多个描绘点构成的图像，被用于形成上述图像的上述帧数据被更高速地生成。在可以向地址连续的方向依次读出按照使上述地址连续的方向与存储描绘点数据的排列方向一致的方式存储的描绘点数据的储存机构中存储描绘点数据，在上述地址连续的方向依次读出存储于上述储存机构的描绘点数据，从该读出的多个描绘点数据获得属于相同帧数据的描绘点数据，生成各帧数据，其中，所述描绘点数据与在上述扫描方向以时间序列并列描绘的各描绘点对应。

Description

图像数据存储方法及控制装置以及程序、帧数据生成方法及装置以及程序、数据获得方法及装置、描绘方法及装置
技术领域
本发明涉及一种在相对描绘面向规定的扫描方向相对移动空间光调制元件之类的描绘点形成部来形成图像时使用的图像数据的存储方法及装置以及程序、使用用该图像数据存储方法及装置存储的图像数据获得被输入到描绘点形成部中的数据的数据获得方法及装置、使用用图像数据存储方法及装置存储的图像数据生成被输入到描绘点形成部的帧数据的帧数据生成方法及装置以及程序、使用用该帧数据生成方法及装置以及程序生成并获得的帧数据进行描绘的描绘方法及装置。
背景技术
以往已知各种在描绘面上形成图像数据所表现的需要的二维图案的描绘装置。
作为如上所述的描绘装置，提出了各种建议，即：例如利用数字·微镜·器件(以下称为DMD)等空间光调制元件，对应图像数据，利用空间光调制元件调制光束，从而进行曝光的曝光装置。DMD的结构为在硅等半导体基板上的存储器单元(SRAM阵列)二维状配置多个微小的微镜。接着，可以通过利用在存储器单元中蓄积的电荷控制静电力来使微镜倾斜，改变反射面的角度，可以利用该反射面的角度变化在需要的位置形成描绘点从而形成图像。
接着，作为使用如上所述的DMD的曝光装置，例如提出了如下所述的曝光装置，即：相对曝光面使DMD向规定的扫描方向相对移动，对应其向扫描方向的移动而在DMD的存储器单元中输入由对应微镜组的多个描绘点数据构成的帧数据，以时间序列依次形成对应DMD的微镜组的描绘点组，由此在曝光面形成需要的图像(特开2003-50469号公报)。另外，为了提高在曝光面上形成的图像的析像度，还提出了使DMD相对扫描方向倾斜规定角度来进行如上所述的曝光的曝光装置。
在使用如上所述的曝光装置进行曝光时，必需对应DMD向扫描方向的相对移动向DMD输入帧数据，所以必需在曝光之前预先生成对应DMD相对曝光面的位置的多个帧数据。
在此，例如对在曝光面上描绘如图11所示的数字的“2”的情况下的以往的帧数据的生成方法进行说明。其中，图11所示的圆1～圆8模式地表示DMD的微镜，接着，在图11A～O的下部所示的帧1～帧15在各图中所示的位置存在DMD时，模式地表示应输入到DMD的帧数据。
以往，例如首先临时在DRAM(动态随机存取存储器(DynamicRandom Access Memory))等存储器中存储对应图11所示的各描绘点的描绘点数据(图像数据)，如图11A～O所示，在DMD的各位置，通过从上述存储器依次读出对应DMD的各微镜圆1～圆8的描绘点数据来生成各帧数据。其中，对应图11所示的白四角和斜线四角的描绘点的描绘点数据为关断(OFF)数据“0”，对应黑四角的描绘点的描绘点数据为开(ON)数据“1”。另外，斜线四角部分的范围表示在描绘面上描绘的图像的实际范围，作为描绘点数据，与白四角同样，为“0”。
但是，如果如上所述从圆1～圆8依次读出对应各微镜的描绘点数据来生成帧数据，例如向图11的各图中的与扫描方向正交的方向连续的地址被分摊，控制向该连续的地址方向依次读出描绘点数据的存储器的读出的情况下，存储有对应各微镜的描绘点数据的地址在从控制存储器的控制机构来看的存储器的地址空间中被离散配置，一个一个地存取(access)这样配置的地址的同时读出描绘点数据，在存储器的控制上非常耗时，获得全部的帧数据非常耗时。
发明内容
本发明正是鉴于上述情况而提出的，其目的在于提供一种可以更高速地生成如上所述的帧数据的图像数据存储方法及控制装置以及程序、数据获得方法及装置、帧数据生成方法及装置以及程序，同时其目的还在于提供一种利用上述图像数据存储方法等的描绘方法及装置。
本发明的第1图像数据存储方法，利用该方法获得为形成多个描绘点而向描绘点形成部赋予的描绘点数据，其特征在于，在储存机构中按照所述储存机构的地址连续的方向、和与所述描绘点形成部与所述描绘面的相对扫描方向相对应的所述图像数据上的数据排列方向一致的方式存储所述图像数据。
另外，在上述本发明的第1图像数据存储方法中，其特征在于，所述储存机构按照在读出所述图像数据时沿着所述地址连续的方向集中读出多个位(bit)的方式构成或设定。
另外，还可以使所述地址连续的方向为，在从所述储存机构读出所述图像数据时作为依次读出多个位的路径而构成或设定的方向。
另外，还可以对所述图像数据，在与所述扫描方向对应的所述数据排列方向上实施压缩处理，同时，按照使已实施该压缩处理的压缩处理后的图像数据的排列方向与所述地址连续方向相同的方式在所述储存机构中存储所述压缩处理后的图像数据。
另外，还可以使图像数据为二值数据，同时所述压缩处理为行程长度(run-length)压缩处理。
另外，还可以使描绘点形成部排列有多个调制入射光的调制元件。
另外，还可以使描绘点形成部为GLV(光栅光阀(Grating LightValve))。
另外，还可以使所述描绘点形成部为数字微镜器件。
另外，还可以使所述描绘点形成部排列有多个发光元件。
本发明的第1数据获得方法的特征在于，在所述地址连续的方向读出使用本发明的第1图像数据存储方法存储于所述储存机构中的所述图像数据，获得所述描绘点数据或含有多个所述描绘点数据的中间数据。
另外，在上述本发明的数据获得方法中，还可以使在每个描绘点形成部的元件读出描绘点数据或中间数据。
本发明的第2数据获得方法的特征在于，在所述地址连续的方向读出使用上述本发明的第1图像数据存储方法存储于所述储存机构中的所述压缩处理后的图像数据，扩展该已读出的压缩处理后的图像数据，获得所述描绘点数据。
本发明的第1帧数据生成方法是一种从使用上述本发明的第1图像数据存储方法存储于储存机构中的图像数据中读出描绘点数据，生成帧数据的帧数据生成方法，其特征在于，从存储于所述储存机构中的所述图像数据中在所述地址连续的方向读出所述描绘点数据，从所述已读出的多个描绘点数据获得属于相同所述帧数据的描绘点数据，生成所述各帧数据。
另外，在上述本发明的第1帧数据生成方法中，还可以使用可以在地址连续的方向依次读出已存储的所述描绘点数据的帧数据用储存机构，按照所述地址连续方向与存储所述属于相同帧数据的描绘点数据的排列方向一致的方式，在所述帧用储存机构中存储所述描绘点数据，然后依次读出所述属于相同帧数据的描绘点数据，生成所述各帧数据。
本发明的第2帧数据生成方法特征在于，在所述地址连续的方向依次读出使用上述本发明的第1图像数据存储方法存储于储存机构中的压缩处理后的图像数据，扩展该已读出的压缩处理后的图像数据，生成多个描绘点数据，然后从该生成的多个描绘点数据获得属于相同所述帧数据的描绘点数据，生成所述各帧数据。
另外，在上述本发明的第2帧数据生成方法中，还可以使用可以在地址连续的方向依次读出已存储的所述描绘点数据的帧数据用储存机构，按照所述地址连续方向与存储所述扩展后的所述属于相同帧数据的描绘点数据的排列方向一致方式在所述帧用储存机构中存储所述描绘点数据，然后，依次读出所述属于相同帧数据的描绘点数据，生成所述各帧数据。
本发明的第1描绘方法的特征在于，使用上述本发明的第1或第2数据获得方法，获得描绘点数据，使所述描绘点形成部相对所述描绘面向规定的扫描方向进行相对移动，并同时对应其向扫描方向的移动依次向所述描绘点形成部输入所述各描绘点数据，形成所述描绘点，在所述描绘面上形成图像。
本发明的第2描绘方法的特征在于，使用上述本发明的第1或第2帧数据生成方法，获得各帧数据，使所述描绘点形成部相对所述描绘面向规定的扫描方向进行相对移动，并同时对应向该扫描方向的移动依次向所述描绘点形成部依次输入所述各帧数据，以时间序列形成所述多个描绘点，在所述描绘面上形成图像。
本发明的第1图像数据存储控制装置，利用该装置将用于获得为形成多个描绘点而向描绘点形成部赋予的描绘点数据的图像数据存储到存储装置中，其特征在于，具备如下所述的存储控制机构，即：在所述储存机构中按照使所述储存机构的地址连续的方向与所述图像数据上的数据排列方向一致存储所述图像数据，其中，该所述图像数据上的数据排列方向对应所述多个描绘点形成部与所述描绘面的相对扫描方向。
另外，在上述本发明的第1图像数据存储控制装置中，所述储存机构被构成或设定为在读出所述图像数据时沿着所述地址连续的方向集中读出多个位(bit)。
另外，还可以使所述地址连续的方向为，在从所述储存机构读出所述图像数据时作为依次读出多个位的路径而构成或设定的方向。
另外，还可以还具备对所述图像数据，在对应所述扫描方向的所述数据排列方向上实施压缩处理的压缩处理机构，所述存储控制机构，按照使已利用所述压缩处理机构实施该压缩处理的压缩处理后的图像数据的排列方向与所述地址连续方向相同的方式，在所述储存机构中存储所述压缩处理后的图像数据。
另外，还可以使图像数据为二值数据，同时压缩处理为行程长度压缩处理。
另外，还可以描绘点形成部排列有多个调制入射光的调制元件。
另外，还可以使描绘点形成部为GLV(光栅光阀(Grating LightValve))。
另外，还可以使描绘点形成部为数字微镜器件。
另外，还可以使描绘点形成部排列有多个发光元件。
本发明的第1数据获得装置的特征在于，具备：上述本发明的第1图像数据存储控制装置；和在所述地址连续的方向读出使用该图像数据存储控制装置存储于所述储存机构中的所述图像数据，获得所述描绘点数据或含有多个所述描绘点数据的中间数据的数据获得部。
另外，在本发明的第1数据获得装置中，还可以使所述数据获得部在每个所述描绘点形成部的元件读出所述描绘点数据或所述中间数据。
本发明的第2数据获得装置的特征在于，具备：上述本发明的第1图像数据存储控制装置；和在所述地址连续的方向读出使用所述图像数据存储控制装置存储于所述储存机构中的所述压缩处理后的图像数据，扩展该已读出的压缩处理后的图像数据，获得所述描绘点数据的数据获得部。
本发明的第1帧数据生成装置是一种具备上述本发明的第1图像数据存储控制装置和从使用该图像数据存储控制装置存储于所述储存机构中的所述图像数据中读出所述描绘点数据，生成帧数据的帧数据生成机构的帧数据生成装置，所述帧数据生成机构是从存储于所述储存机构中的所述图像数据中在所述地址连续的方向读出所述描绘点数据，从所述已读出的多个描绘点数据获得属于相同所述帧数据的描绘点数据，生成所述各帧数据。
另外，在上述本发明的第1帧数据生成装置中，还可以具备可以在地址连续的方向依次读出已存储的所述描绘点数据的帧数据用储存机构，所述帧数据生成机构按照使所述地址连续方向与存储所述属于相同帧数据的描绘点数据的排列方向一致的方式在所述帧用储存机构中存储所述描绘点数据，然后，依次读出所述属于相同帧数据的描绘点数据，生成所述各帧数据。
本发明的第2帧数据生成装置的特征在于，具备上述本发明的第1图像数据存储控制装置；和在所述地址连续的方向依次读出使用该图像数据存储控制装置存储于所述储存机构中的所述压缩处理后的图像数据，扩展该已读出的压缩处理后的图像数据，生成多个描绘点数据，然后从该生成的多个描绘点数据获得属于相同所述帧数据的描绘点数据，生成所述各帧数据的帧数据生成机构。
另外，在上述本发明的第2帧数据生成装置中，具备可以在地址连续的方向依次读出已存储的所述描绘点数据的帧数据用储存机构，所述帧数据生成机构按照使所述地址连续方向与存储所述扩展后的所述属于相同帧数据的描绘点数据的排列方向一致的方式在所述帧用储存机构中存储所述描绘点数据，然后，依次读出所述属于相同帧数据的描绘点数据，生成所述各帧数据。。
本发明的第1描绘装置的特征在于，具备：上述本发明的第1或第2数据获得装置；基于已输入的所述描绘点数据在描绘面上形成描绘点的描绘点形成部，使该描绘点形成部相对所述描绘面向规定的扫描方向相对移动的移动机构，和对应利用该移动机构向扫描方向的移动，向所述描绘点形成部依次输入在所述数据获得装置中获得的描绘点数据，向所述描绘点形成部依次形成所述描绘点，在所述描绘面上形成图像的图像形成控制机构。
本发明的第2描绘装置的特征在于，具备：上述本发明的第1或第2帧数据生成装置，基于已输入的所述帧数据在描绘面上形成多个描绘点的描绘点形成部，使该描绘点形成部相对所述描绘面向规定的扫描方向相对移动的移动机构，和对应利用该移动机构向扫描方向的移动，向所述描绘点形成部依次输入在所述帧数据生成装置中生成的帧数据，在所述描绘点形成部以时间序列依次形成所述多个描绘点，在所述描绘面上形成图像的图像形成控制机构。
本发明的图像数据存储程序，其是在计算机中执行将如下所述的图像存储于储存机构的过程的图像数据存储程序，其中的图像用于得到为了在描绘面形成多个描绘点而应向描绘点形成部给予的描绘点数据的图像，其特征在于，在计算机中执行按照使所述储存机构的地址连续的方向与所述图像数据上的数据排列方向一致的方式在所述储存机构中存储所述图像数据的过程，该所述图像数据上的数据排列方向对应所述多个描绘点形成部与所述描绘面的相对扫描方向。
另外，在上述本发明的图像数据存储程序中，还可以利用计算机还执行对所述图像数据在对应所述扫描方向的所述数据排列方向实施压缩处理的过程，在计算机中执行按照使该已实施压缩处理的压缩处理后的图像数据的排列方向与所述地址连续方向一致的方式在所述储存机构中存储所述压缩处理后的图像数据的过程。
另外，还可以使图像数据为二值数据，同时压缩处理为行程长度压缩处理。
本发明的帧数据生成程序是一种帧数据生成程序，其是一种在计算机中执行读出使用上述本发明的图像数据存储程序存储于所述储存机构中的所述描绘点数据，从而生成帧数据的过程的帧数据生成程序，其特征在于，在计算机中执行如下所述的过程，即：从存储于所述储存机构中的所述图像数据中在所述地址连续的方向读出所述描绘点数据，从所述已读出的多个描绘点数据获得属于相同所述帧数据的描绘点数据，生成所述各帧数据的过程。
另外，在上述本发明的帧数据生成程序中，在计算机中执行如下所述的过程，即：在可以在地址连续方向依次读出已存储的所述描绘点数据的帧数据用储存机构中，按照使所述地址连续方向与存储所述属于相同帧数据的描绘点数据的排列方向一致的方式存储所述描绘点数据，然后依次读出所述属于相同帧数据的描绘点数据，生成所述各帧数据。
本发明的第2图像数据存储方法的特征在于，准备用于得到利用多个描绘元件的各描绘元件在描绘面上描绘沿相对扫描方向连续的描绘点从而形成图像时应给予所述各描绘元件的描绘点数据的图像数据，对储存机构，按照使所述储存机构的地址连续方向与所述图像数据上的数据排列方向一致的方式存储所述图像数据，其中所述图像数据上的数据排列方向对应所述描绘点连续形成的方向。
本发明的第3图像数据存储方法的特征在于，准备用于得到利用多个描绘元件的各描绘元件在描绘面上描绘沿相对扫描方向连续的描绘点从而形成图像时应给予所述各描绘元件的描绘点数据的图像数据，向对应连续形成所述描绘点的方向的数据排列方向压缩所述图像数据，在储存机构中存储该已压缩的图像数据。
另外，在上述本发明的第3图像数据存储方法中，在所述储存机构中按照使该压缩方向与所述储存机构的地址连续的方向一致的方式存储所述已压缩的图像数据。
本发明的第3描绘方法的特征在于，对于多个描绘元件的每个描绘元件，从存储于储存机构中的图像数据读出描绘点数据，基于该读出的描绘点数据，利用所述多个描绘元件的各描绘元件，在描绘面上描绘向扫描方向连续的描绘点，形成图像。
本发明的第4描绘方法的特征在于，从存储于储存机构中的图像数据，按对应多个描绘元件的各描绘元件的地址的每排，读出描绘点数据，基于该读出的描绘点数据，利用所述多个描绘元件的各描绘元件，在描绘面上描绘向扫描方向连续的描绘点，形成图像。
另外，在上述第3及第4的描绘方法中，读出描绘点数据时，还可以集中读出多个位。
另外，还可以预先在所述储存机构中按照使所述储存机构的地址连续的方向与所述图像数据上的数据排列方向一致的方式存储所述图像数据，所述图像数据上的数据排列方向对应所述描绘点连续形成的方向。
本发明的第2图像数据存储控制装置的特征在于，具备：获得图像数据的图像数据获得机构，其中的图像数据是用于得到利用多个描绘元件的各描绘元件在描绘面上描绘向相对扫描方向连续的描绘点从而形成图像时应给予所述各描绘元件的描绘点数据的图像数据，和对储存机构，按照使所述储存机构的地址连续方向与所述图像数据上的数据排列方向一致的方式存储所述图像数据，其中所述图像数据上的数据排列方向对应所述描绘点连续形成的方向的存储控制机构。
本发明的第3图像数据存储控制装置的特征在于，具备：获得图像数据的图像数据获得机构，其中的图像数据是用于得到利用多个描绘元件的各描绘元件在描绘面上描绘向相对扫描方向连续的描绘点从而形成图像时应给予所述各描绘元件的描绘点数据的图像数据，在与所述描绘点连续形成的方向对应的数据排列方向上压缩所述图像数据的压缩处理机构，和在储存机构中存储该已压缩的图像数据的存储控制机构。
另外，在本发明的第3图像数据存储控制装置中，所述存储控制机构是在所述储存机构中按照使该压缩方向与所述储存机构的地址连续的方向一致的方式存储所述已压缩的图像数据。
本发明的第3描绘装置的特征在于，具备：从存储于储存机构的图像数据在多个描绘元件的每个描绘元件读出并获得描绘点数据的描绘点数据获得机构，和基于利用该描绘点数据获得机构获得的描绘点数据，利用所述多个描绘元件的各描绘元件在描绘面上描绘在扫描方向连续的描绘点从而形成图像的描绘机构。
本发明的第4描绘装置的特征在于，具备：从存储于储存机构的图像数据，在对应多个描绘元件的各描绘元件的地址的每排读出并获得描绘点数据的描绘点数据获得机构，和基于利用该描绘点数据获得机构获得的描绘点数据，利用所述多个描绘元件的各描绘元件在描绘面描绘向扫描方向连续的描绘点从而形成图像的描绘机构。
另外，在上述第3及第4的描绘装置中，还可以使描绘点数据获得机构在读出描绘点数据时集中读出多个位。
另外，还可以具备预先在所述储存机构中按照使所述储存机构的地址连续的方向与所述图像数据上的数据排列方向一致的方式存储所述图像数据且使所述图像数据上的数据排列方向对应所述描绘点连续形成的方向的存储控制机构。
另外，上述储存机构与上述帧数据用储存机构可以分开设置，也可以利用相同的机构。
利用本发明的实施方式中的图像数据存储方法及控制装置以及程序、数据获得方法及装置、帧数据生成方法及装置以及程序、描绘方法及装置，可以从上述储存机构高速及/或有效地读出上述描绘点数据。
另外，通过利用上述图像数据存储方法等的描绘方法及装置，可以高速地生成帧数据，所以可以缩短从图像数据的输入到描绘结束的描绘时间。
另外，在上述图像数据存储方法等中，对与在上述扫描方向排列并描绘的多个描绘点对应的多个描绘点数据在上述排列方向实施压缩处理，并同时在储存机构中存储压缩处理后的描绘点数据，并使存储已实施该压缩处理的压缩处理后的描绘点数据的排列方向与所述地址连续方向相同，在这种情况下，被压缩的部分可以削减从储存机构中读出的数据量，所以该部分可以缩短读出时间，可以进一步高速地生成帧数据。
附图说明
图1是表示使用本发明的描绘装置的一个实施方式的曝光装置的外观立体图。
图2是表示图1所示的曝光装置的扫描器的结构的立体图。
图3A是表示在感光材料中形成的已曝光的区域的俯视图。
图3B是表示利用各曝光头的曝光范围的排列的图。
图4是表示图1的曝光装置的DMD的结构的部分放大图。
图5A是用于说明DMD的动作的立体图。
图5B是用于说明DMD的动作的立体图。
图6是表示图1所示的曝光装置中的控制系统的模块图。
图7是用于说明从存储控制机构观察的图像数据储存机构中的地址空间与存储于图像数据储存机构中的图像数据之间的关系的模式图。
图8A是用于说明图1所示的曝光装置中的帧数据生成方法的图。
图8B是用于说明图1所示的曝光装置中的帧数据生成方法的图。
图8C是用于说明图1所示的曝光装置中的帧数据生成方法的图。
图8D是用于说明图1所示的曝光装置中的帧数据生成方法的图。
图8E是用于说明图1所示的曝光装置中的帧数据生成方法的图。
图8F是用于说明图1所示的曝光装置中的帧数据生成方法的图。
图8G是用于说明图1所示的曝光装置中的帧数据生成方法的图。
图8F是用于说明图1所示的曝光装置中的帧数据生成方法的图。
图8G是用于说明图1所示的曝光装置中的帧数据生成方法的图。
图8H是用于说明图1所示的曝光装置中的帧数据生成方法的图。
图9是用于说明从帧数据生成机构观察的帧数据储存机构中的地址空间与存储于帧数据储存机构中的帧数据之间的关系的模式图。
图10是使用本发明的描绘装置的其他实施方式的曝光装置中的控制系统的模块图。
图11A是用于说明以往的帧数据生成方法的图。
图11B是用于说明以往的帧数据生成方法的图。
图11C是用于说明以往的帧数据生成方法的图。
图11D是用于说明以往的帧数据生成方法的图。
图11E是用于说明以往的帧数据生成方法的图。
图11F是用于说明以往的帧数据生成方法的图。
图11G是用于说明以往的帧数据生成方法的图。
图11H是用于说明以往的帧数据生成方法的图。
图11I是用于说明以往的帧数据生成方法的图。
图11J是用于说明以往的帧数据生成方法的图。
图11K是用于说明以往的帧数据生成方法的图。
图11L是用于说明以往的帧数据生成方法的图。
图11M是用于说明以往的帧数据生成方法的图。
图11N是用于说明以往的帧数据生成方法的图。
图11O是用于说明以往的帧数据生成方法的图。
具体实施方式
以下参照附图对使用本发明的图像数据存储方法及控制装置以及程序、数据获得方法及装置、帧数据生成方法及装置以及程序、描绘方法及装置的一个实施方式的曝光装置进行详细说明。
本曝光装置是作为本发明中的描绘点形成部使用DMD的曝光装置，在向该DMD中输入的帧数据等描绘点数据的生成方法中具有特征，首先对本实施方式的曝光装置的整体结构进行说明。图1是表示本实施方式的曝光装置的概略结构的立体图。
如图1所示，本实施方式的曝光装置10具备在表面吸附并保持感光材料12(也可以为已涂敷或粘贴感光材料12的基板)的平板状的移动载物台14。接着，在被4根脚部16支撑的厚板状的设置台18的上面，设置沿着载物台移动方向延伸的2根导轨20。载物台14被配置成其长径方向朝向载物台移动方向，同时被导轨20可以来回移动地支撑。
在设置台18的中央部，设有コ字状的门(gate)22，横跨移动载物台14的移动路径。コ字状的门22的端部分别被固定于设置台18的两侧面。在该门22的一侧夹持设置扫描器24，在另一侧设置探测感光材料12的顶端及后端的多个(例如2个)的传感器26。扫描器24及传感器26分别被安装于门22上，被固定配置于载物台14的移动路径的上方。此外，扫描器24及传感器26与控制它们的后述的控制部连接。另外，通过用CCD等感受器读取设置于感光材料12的标记(mark)或图案，测定感光材料12的位置。
如图2及图3B所示，扫描器24具备被排列成2行5列的近似矩阵状的10个曝光头30。此外，在以下中，表示排列在第m行的第n列的各曝光头时，标记为曝光头30mn。曝光头30的数目可以对应需要曝光的感光材料12的尺寸变更。
各曝光头30具备作为空间光调制元件的DMD36。DMD36是将作为描绘元件的微镜向正交的方向排列成二维状的构件，在曝光头30上被安装成其微镜的排列方向与扫描方向成规定的设定倾斜角度θ。因而，如图2及图3B所示，利用各曝光头30的曝光范围32成为相对扫描方向倾斜的矩形状的区域。在该区域内，微镜的像被排列成二维状。此外，在以下中，表示利用排列在第m行第n列的各曝光头的曝光范围时，标记为曝光范围32mn。此外，在本实施方式的曝光装置中，如上所述将DMD36倾斜规定的设定倾斜角度θ设置，但不限于此，也可以不倾斜设置。另外，也可以将DMD36的各微镜(或其像)配置成平行四边形状或曲折状。另外，也可以在相对DMD36的微镜(或其像)的排列方向倾斜的方向扫描载物台。
在DMD36的光入射侧，设置：将光纤的发光点沿着与曝光范围32的长边方向对应的方向排列成一列的光纤阵列光源(省略图示)；和使从光纤阵列光源射出的激光平行光化，修正该已平行光化的激光的光量分布使其均一并聚光于DMD36上的聚光透镜系(省略图示)。
另外，在DMD36的光反射侧配置使在DMD36反射的激光在感光材料12的描绘面成像的成像透镜系(省略图示)。
接着，如图3A所示，随着载物台14的移动，在感光材料12中以每个曝光头30形成带状的已曝光区域34，该带状的已曝光区域34分别与相邻的已曝光区域34部分重叠地排列成线状的各行的曝光头30分别在其排列方向错开规定间隔配置。所以，在第1行的曝光区域3211与曝光区域3212之间的不能曝光的部分可以利用第2行的曝光区域3221曝光。
如图4所示，DMD36是在SRAM阵列(存储单元(memory cell))56上微镜58由支柱支撑配置的构件，构成如上所述的像素的多个(例如间距(pitch)13.68μm，1024个×768个)微镜58是在正交的方向被排列成二维状而构成的镜器件。接着，在如上所述的微镜58的正下方，借助包括铰链(hinge)及轭(yoke)的支柱，配置在通常的半导体存储器的制造线上制造的硅栅(silicon gate)的CMOS的SRAM阵列56。
如果向DMD36的SRAM阵列56写入作为控制信号的数字信号，则对应该数字信号的控制电压被施加在每个微镜58设置的电极部(未图示)，在该控制电压的施加下产生的静电力的作用下，被支柱支撑的微镜58，在以对角线为中心，以±α度(例如±10度)的范围倾斜。图5A表示微镜58处于作为接通(ON)状态的向+α度倾斜的状态，图5B表示微镜58处于作为关断(OFF)状态的向-α度倾斜的状态。那么，在微镜58处于接通状态时向微镜58入射的光B被向感光材料12反射，在微镜58处于关断状态时向微镜58入射的光B被向感光材料12以外的光吸收材料反射。
那么，如图6所示，曝光装置10设置具备控制曝光装置整体的CPU的整体控制部60。整体控制部60接受从图像数据输出装置70输出的图像数据，基于该图像数据生成帧数据，通过向DMD控制器61输出该帧数据来控制各曝光头30的利用DMD36的曝光。另外，整体控制部60驱动控制使载物台14移动的载物台驱动装置80或光纤阵列光源90。
接着，如图6所示，曝光装置10具备：接受从图像数据输出装置70输出的图像数据，将该已接受的图像数据存储在图像数据储存机构62的存储控制机构61；从已存储于图像数据储存机构62的图像数据读出描绘点数据，存储于帧数据储存机构63，基于存储于帧数据储存机构63的描绘点数据生成并输出帧数据的帧数据生成机构64；基于从帧数据生成机构64输出的帧数据向DMD36输出控制信号的DMD控制器65。其中，在存储控制机构61及帧数据生成机构64中分别存储执行规定的过程的计算机程序，整体控制部60按照该程序的过程来控制装置的动作。对于各程序执行的规定的过程，在后面详述。
作为图像数据储存机构62及帧数据储存机构63，例如可以使用DRAM，但只要能够向地址连续的方向依次高速地读出已存储的数据，可以使用任意机构。例如，也可以利用在地址连续的方向利用所谓的脉冲(burst)传输读出已存储的数据的储存机构。在此，地址连续的方向是指从控制图像数据储存机构或帧数据储存机构中的数据的存储及读出的CPU等控制机构来看的存储器空间的地址的连续方向或可以高速存取的地址的排列方向。另外，地址连续的方向也可以为沿着在读出数据时可以依次读出连续的多个位的路径的方向。其中，图像数据之类的尺寸大的数据大多被储存于DRAM上，结果，存在相对随机存取为低速的缺点。
接着，对本曝光装置10的作用进行详细说明。
首先，在计算机等图像数据输出装置70中，生成对应在曝光材料12中应曝光的图像的图像数据，该图像数据被输出到本曝光装置10。接着，上述图像数据在本曝光装置10的存储控制机构61中被接受。
接着，例如在曝光面上曝光上述数字“2”时，如图7所示，存储控制机构61将上述图像数据存储于图像数据储存机构62中时，使图像数据储存机构62中的地址连续的方向与应读出对应在DMD36的扫描方向并列并描绘的多个描绘点的多个描绘点数据的排列方向(即，对应扫描方向的数据排列方向)在图像数据整体或至少一部分一致。此外，图7是用于说明从存储控制机构61观察的图像数据储存机构62中的地址空间与存储于图像数据储存机构中的图像数据之间的关系的模式图。另外，在从图像数据输出装置70输出的图像数据为矢量(vector))数据的情况下，存储控制机构61在将该矢量数据转换成位图(bit map)数据之后，如上所述进行描绘点数据的存储。这种情况下，存储控制机构61可以通过使从矢量数据光栅(raster)化的数据旋转，或者通过在使其从矢量数据旋转的状态下进行光栅化，来实现图7所示的存储状态。
接着，如上所述地进行，全部(或一部分)的图像数据被存储于图像数据储存机构62之后，存储于该图像数据储存机构62的图像数据利用帧数据生成机构64读出。此时，如图8A～H所示，帧数据生成机构64向地址连续的方向依次读出存储于图像数据储存机构62的图像数据，获得每个微镜的描绘点数据组。此时，在每个微镜进行数据的读出。另外，在对应各微镜的(包括应给予各微镜的数据)地址的每排进行数据的读出。通过这样读出图像数据，特别是在电子束光电的移动间距小于描绘面上的电子束光电(beam spot)间的间距的情况下，字节(byte)存取中的无效位数少，高速及/或有效地读出数据成为可能。
此外，图8所示的符号的意思与图11所示的符号的意思相同。另外，作为读出存储于图像数据储存机构62的图像数据的方法，不限于1次读出1个描绘点数据的方法，例如也可以通过以规定的间距取样并同时读出图像数据，1个描绘点数据多次读出，或者拉长间隔读出描绘点数据。通过如上所述读出，图像数据的析像度转换是可能的。另外，也可以从以任意数据间距生成的图像数据读出描绘点数据。这种情况下，也可以将包括成为有效的描绘点数据与成为无效的描绘点数据的连续位作为中间数据集中读出，从其中抽出成为有效的需要的描绘点数据。
接着，帧数据生成机构64将如上所述获得的每个微镜的描绘点数据组的各描绘点数据存储于帧数据储存机构63。此时，如图9所示，帧数据生成机构64将描绘点数据存储于帧数据储存机构63，使帧数据储存机构63中的地址连续的方向与存储属于相同帧数据的描绘点数据的排列方向一致。此外，图9是用于说明从帧数据生成机构64观察的帧数据储存机构63中的地址空间与存储于帧数据储存机构63中的帧数据之间的关系的模式图。另外，通过如上所述将每个微镜的描绘点数据存储于帧数据储存机构63中，帧数据生成机构64相对储存于图像数据储存机构62中的图像数据实施实际上90度的旋转处理或行列的转置处理。
接着，如上所述将每个微镜的描绘点数据存储于帧数据储存机构63之后，帧数据生成机构64以帧单位向地址连续的方向依次读出储存于帧数据储存机构63的描绘点数据，生成各帧数据1～15，依次输出到DMD控制器65，DMD控制器65生成对应输入的帧数据的控制信号。此外，如上所述的帧数据在每个曝光头30的DMD36生成。另外，也可以在每个微镜以规定的时间进行描绘点数据的读出，依次输入到DMD控制器65。
接着，如上所述生成每个曝光头30的控制信号，同时从整体控制部60在载物台驱动装置80输出载物台驱动控制信号，载物台驱动装置80对应载物台驱动控制信号使移动载物台14沿着导轨20向载物台移动方向以需要的速度移动。接着，移动载物台14通过门22时，如果利用安装于门22的感受器26检测感光材料12的前端，从DMD控制器65向各曝光头30的DMD36输出控制信号，开始每个曝光头30的描绘。
接着，感光材料12与移动载物台14一起以一定速度移动，感光材料12被扫描器24向与载物台移动方向相反的方向扫描，在每个曝光头30形成带状的已曝光区域34。此外，也可以与移动载物台14的移动控制并行、依次进行帧数据的生成。
如上所述，利用扫描器24的感光材料12的扫描结束，如果用感受器26检测感光材料12的后端，则移动载物台14在载物台驱动装置80的作用下，沿着导轨158回归到位于门22的最上游侧的原点，设置新的感光材料12之后，重新沿着导轨20从门22的上游侧向下游侧以恒定速度移动。
此外，在上述实施方式的曝光装置10中也可以具备如图10所示的压缩处理机构61a和解冻处理机构64a。接着，对利用存储控制机构61接受的图像数据，在对应在扫描方向上排列并描绘的多个描绘点的排列方向实施压缩处理(或者准备从矢量数据被压缩的状态下光栅化的图像数据)，在图像数据储存机构62中存储压缩处理后的图像数据，并使存储已实施该压缩处理的压缩处理后的图像数据的排列方向与图像数据储存机构62的地址连续的方向相同。接着，在生成帧数据时，也可以利用帧数据生成机构64，从图像数据储存机构62向地址连续方向依次读出上述压缩处理后的图像数据，利用解冻处理机构64a对该读出的压缩处理后的图像数据实施解冻处理，然后在每个微镜读出描绘点数据，与上述同样地进行，存储于帧数据储存机构63。对于将描绘点数据存储于帧数据储存机构63之后的处理，与上述同样。此外，图像数据的间距与描绘点数据的读出间距相同的情况下，被读出并已被解冻处理的压缩处理后的图像数据成为描绘点数据。这样，通过向沿着扫描方向的方向压缩图像数据，在每个微镜读出数据时，可以容易地特定成为其对象的数据的范围。例如，即使没有全部解冻已被压缩的图像数据，也可以特定对应将要读出的微镜的数据的范围而且只对其范围进行解冻处理，得到描绘点数据。
另外，在上述说明中，在对图像数据实施压缩处理之后，将压缩处理后的图像数据储存于图像数据储存机构62，但也可以与上述同样地临时将图像数据储存于图像数据储存机构62，然后对在向图像数据储存机构62的地址62连续的方向存储的图像数据实施压缩处理，再将该压缩处理后的图像数据存储于图像数据储存机构62。
另外，作为图像数据使用二值数据时，作为上述压缩处理可以利用行程长度压缩处理。
另外，在上述实施方式中，可以分开设置图像数据储存机构62和帧数据储存机构63，但也可以利用相同的存储器等。
另外，在上述实施方式中，对作为空间光调制元件具备DMD的曝光装置进行了说明，但除了这样的反射型空间光调制元件以外，也可以使用透过型空间光调制元件。另外，也可以使用GLV(光栅光阀(Grating LightValve))。光源也可以使用灯(lamp)。
另外，作为本发明的描绘点形成部，不限于空间光调制元件，也可以利用排列多个发光元件或射出电子束的元件的构件。例如，可以使用LD(激光器二极管(Laser Diode))、LED(发光二极管(Light Emitting Diode))阵列、光纤阵列等。
另外，在上述实施方式中，将所谓的平台(flad bed)型的曝光装置作为来自举出，也可以为具有卷绕感光材料的卷筒、所谓的外(outer)(或者内(inner))卷筒型的曝光装置。
另外，作为上述实施方式的曝光对象的感光材料12可以为印制电路板或显示器用的过滤器(滤色片或黑矩阵)、TFT面板。另外，感光材料12的形状可以为薄片状，也可以为长尺状(柔性基板等)。
另外，本发明中的描绘方法及装置也可以适用于喷墨方式等的打印机中的描绘控制。例如，可以用与本发明同样的方法控制墨液的喷出中的描绘点。就是说，可以考虑将本发明中的描绘元件置换成利用墨液的喷出等打描绘点的元件。
同样地，还可以适用于点冲击(dot impact)型的描绘装置。
另外，作为用于储存图像数据的存储器，也可以使用SRAM(静态随机存取存储器(Static Random Access Memory))等随机存取也高速的存储器。这种情况下，也可以将存储器上的地址的连续方向定义为与对应已存储(或应存储)数据中的DMD36的扫描方向的排列方向一致，而且沿着该连续方向进行数据的读出。这种情况下，存储器也可以为为了沿着地址的连续方向进行数据的读出而预先布线或编程的存储器。

Claims (55)

1.一种图像数据存储方法，利用该方法获得为形成多个描绘点而向描绘点形成部赋予的描绘点数据，其特征在于，
在储存机构中按照所述储存机构的地址连续的方向、和与所述描绘点形成部与所述描绘面的相对扫描方向相对应的所述图像数据上的数据排列方向一致的方式存储所述图像数据。
2.根据权利要求1所述的图像数据存储方法，其特征在于，
所述储存机构按照在读出所述图像数据时沿着所述地址连续的方向集中读出多个位的方式构成或设定。
3.根据权利要求1或2所述的图像数据存储方法，其特征在于，
所述地址连续的方向为，在从所述储存机构读出所述图像数据时作为依次读出多个位的路径而构成或设定的方向。
4.根据权利要求1～3中任意一项所述的图像数据存储方法，其特征在于，
对所述图像数据，在与所述扫描方向对应的所述数据排列方向上实施压缩处理，同时，
按照使已实施该压缩处理的压缩处理后的图像数据的排列方向与所述地址连续方向相同的方式在所述储存机构中存储所述压缩处理后的图像数据。
5.根据权利要求4所述的图像数据存储方法，其特征在于，
所述图像数据为二值数据，并且所述压缩处理为行程长度压缩处理。
6.根据权利要求1～5中任意一项所述的图像数据存储方法，其特征在于，
所述描绘点形成部排列有多个调制入射光的调制元件。
7.根据权利要求6所述的图像数据存储方法，其特征在于，
所述描绘点形成部为GLV(光栅光阀(Grating Light Valve))。
8.根据权利要求6所述的图像数据存储方法，其特征在于，
所述描绘点形成部为数字微镜器件(Digital Micromirror Device)。
9.根据权利要求1～5中任意一项所述的图像数据存储方法，其特征在于，
所述描绘点形成部排列有多个发光元件。
10.一种数据获得方法，其特征在于，
在所述地址连续的方向读出使用权利要求1所述的图像数据存储方法存储于所述储存机构中的所述图像数据，获得所述描绘点数据或含有多个所述描绘点数据的中间数据。
11.根据权利要求10所述的数据获得方法，其特征在于，
在每个所述描绘点形成部的元件读出所述描绘点数据或所述中间数据。
12.一种数据获得方法，其特征在于，
在所述地址连续的方向读出使用权利要求4所述的图像数据存储方法存储于所述储存机构中的所述压缩处理后的图像数据，
扩展该已读出的压缩处理后的图像数据，获得所述描绘点数据。
13.一种帧数据生成方法，该方法从使用权利要求1所述的图像数据存储方法存储于所述储存机构中的所述图像数据中读出所述描绘点数据，生成帧数据，其特征在于，
从存储于所述储存机构中的所述图像数据中在所述地址连续的方向读出所述描绘点数据，从所述已读出的多个描绘点数据获得属于相同所述帧数据的描绘点数据，生成所述各帧数据。
14.根据权利要求13所述的帧数据生成方法，其特征在于，
使用可以在地址连续的方向依次读出已存储的所述描绘点数据的帧数据用储存机构，
按照所述地址连续方向与存储所述属于相同帧数据的描绘点数据的排列方向一致的方式，在所述帧用储存机构中存储所述描绘点数据，然后
依次读出所述属于相同帧数据的描绘点数据，生成所述各帧数据。
15.一种帧数据生成方法，其特征在于，
在所述地址连续的方向依次读出使用权利要求4所述的图像数据存储方法存储于所述储存机构中的所述压缩处理后的图像数据，
扩展该已读出的压缩处理后的图像数据，生成多个描绘点数据，然后从该生成的多个描绘点数据获得属于相同所述帧数据的描绘点数据，生成所述各帧数据。
16.根据权利要求15所述的帧数据生成方法，其特征在于，
使用可以在地址连续的方向依次读出已存储的所述描绘点数据的帧数据用储存机构，
按照所述地址连续方向与存储所述扩展后的所述属于相同帧数据的描绘点数据的排列方向一致方式在所述帧用储存机构中存储所述描绘点数据，然后，
依次读出所述属于相同帧数据的描绘点数据，生成所述各帧数据。
17.一种描绘方法，其特征在于，
使用权利要求10～12中任意一项所述的数据获得方法，获得所述描绘点数据，
使所述描绘点形成部相对所述描绘面向规定的扫描方向进行相对移动，并同时对应其向扫描方向的移动依次向所述描绘点形成部输入所述各描绘点数据，形成所述描绘点，在所述描绘面上形成图像。
18.一种描绘方法，其特征在于，
使用权利要求13～16中任意一项所述的帧数据生成方法，获得所述各帧数据，
使所述描绘点形成部相对所述描绘面向规定的扫描方向进行相对移动，并同时对应向该扫描方向的移动依次向所述描绘点形成部依次输入所述各帧数据，以时间序列形成所述多个描绘点，在所述描绘面上形成图像。
19.一种图像数据存储控制装置，利用该装置将用于获得为形成多个描绘点而向描绘点形成部赋予的描绘点数据的图像数据存储到存储装置中，其特征在于，
具备如下所述的存储控制机构，即：在所述储存机构中按照使所述储存机构的地址连续的方向与所述图像数据上的数据排列方向一致存储所述图像数据，其中，该所述图像数据上的数据排列方向对应所述多个描绘点形成部与所述描绘面的相对扫描方向。
20.根据权利要求19所述的图像数据存储控制装置，其特征在于，
所述储存机构被构成或设定为在读出所述图像数据时沿着所述地址连续的方向集中读出多个位。
21.根据权利要求19或者20所述的图像数据存储控制装置，其特征在于，
所述地址连续的方向为，在从所述储存机构读出所述图像数据时作为依次读出多个位的路径而构成或设定的方向。
22.根据权利要求19～21中任意一项所述的图像数据存储控制装置，其特征在于，
还具备对所述图像数据，在对应所述扫描方向的所述数据排列方向上实施压缩处理的压缩处理机构，
所述存储控制机构，按照使已利用所述压缩处理机构实施该压缩处理的压缩处理后的图像数据的排列方向与所述地址连续方向相同的方式，在所述储存机构中存储所述压缩处理后的图像数据。
23.根据权利要求22所述的图像数据存储控制装置，其特征在于，
所述图像数据为二值数据，同时所述压缩处理为行程长度压缩处理。
24.根据权利要求19～23中任意一项所述的图像数据存储控制装置，其特征在于，
所述描绘点形成部排列有多个调制入射光的调制元件。
25.根据权利要求24所述的图像数据存储控制装置，其特征在于，
所述描绘点形成部为GLV(光栅光阀(Grating Light Valve))。
26.根据权利要求24所述的图像数据存储控制装置，其特征在于，
所述描绘点形成部为数字微镜器件。
27.根据权利要求19～23中任意一项所述的图像数据存储控制装置，其特征在于，
所述描绘点形成部排列有多个发光元件。
28.一种数据获得装置，其特征在于，
具备：
权利要求19所述的图像数据存储控制装置，和
在所述地址连续的方向读出使用该图像数据存储控制装置存储于所述储存机构中的所述图像数据，获得所述描绘点数据或含有多个所述描绘点数据的中间数据的数据获得部。
29.根据权利要求28所述的数据获得装置，其特征在于，
所述数据获得部在每个所述描绘点形成部的元件读出所述描绘点数据或所述中间数据。
30.一种数据获得装置，其特征在于，
具备：
权利要求22所述的图像数据存储控制装置，和
在所述地址连续的方向读出使用所述图像数据存储控制装置存储于所述储存机构中的所述压缩处理后的图像数据，扩展该已读出的压缩处理后的图像数据，获得所述描绘点数据的数据获得部。
31.一种帧数据生成装置，其特征在于，其是一种具备权利要求19所述的图像数据存储控制装置和从使用该图像数据存储控制装置存储于所述储存机构中的所述图像数据中读出所述描绘点数据，生成帧数据的帧数据生成机构的帧数据生成装置，
所述帧数据生成机构是从存储于所述储存机构中的所述图像数据中在所述地址连续的方向读出所述描绘点数据，从所述已读出的多个描绘点数据获得属于相同所述帧数据的描绘点数据，生成所述各帧数据。
32.根据权利要求31所述的帧数据生成装置，其特征在于，
具备可以在地址连续的方向依次读出已存储的所述描绘点数据的帧数据用储存机构，
所述帧数据生成机构按照使所述地址连续方向与存储所述属于相同帧数据的描绘点数据的排列方向一致的方式在所述帧用储存机构中存储所述描绘点数据，然后，依次读出所述属于相同帧数据的描绘点数据，生成所述各帧数据。
33.一种帧数据生成装置，其特征在于，
具备权利要求22所述的图像数据存储控制装置，和
在所述地址连续的方向依次读出使用该图像数据存储控制装置存储于所述储存机构中的所述压缩处理后的图像数据，扩展该已读出的压缩处理后的图像数据，生成多个描绘点数据，然后从该生成的多个描绘点数据获得属于相同所述帧数据的描绘点数据，生成所述各帧数据的帧数据生成机构。
34.根据权利要求33所述的帧数据生成装置，其特征在于，
具备可以在地址连续的方向依次读出已存储的所述描绘点数据的帧数据用储存机构，
所述帧数据生成机构按照使所述地址连续方向与存储所述扩展后的所述属于相同帧数据的描绘点数据的排列方向一致的方式在所述帧用储存机构中存储所述描绘点数据，然后，
依次读出所述属于相同帧数据的描绘点数据，生成所述各帧数据。
35.一种描绘装置，其特征在于，
具备：
权利要求28～30中任意一项所述的数据获得装置，
基于已输入的所述描绘点数据在描绘面上形成描绘点的描绘点形成部，
使该描绘点形成部相对所述描绘面向规定的扫描方向相对移动的移动机构，和
对应利用该移动机构向扫描方向的移动，向所述描绘点形成部依次输入在所述数据获得装置中获得的描绘点数据，向所述描绘点形成部依次形成所述描绘点，在所述描绘面上形成图像的图像形成控制机构。
36.一种描绘装置，其特征在于，
具备：
权利要求31～34中任意一项所述的帧数据生成装置，
基于已输入的所述帧数据在描绘面上形成多个描绘点的描绘点形成部，
使该描绘点形成部相对所述描绘面向规定的扫描方向相对移动的移动机构，和
对应利用该移动机构向扫描方向的移动，向所述描绘点形成部依次输入在所述帧数据生成装置中生成的帧数据，在所述描绘点形成部以时间序列依次形成所述多个描绘点，在所述描绘面上形成图像的图像形成控制机构。
37.一种图像数据存储程序，其是在计算机中执行将如下所述的图像存储于储存机构的过程的图像数据存储程序，其中的图像用于得到为了在描绘面形成多个描绘点而应向描绘点形成部给予的描绘点数据的图像，其特征在于，
在计算机中执行按照使所述储存机构的地址连续的方向与所述图像数据上的数据排列方向一致的方式在所述储存机构中存储所述图像数据的过程，该所述图像数据上的数据排列方向对应所述多个描绘点形成部与所述描绘面的相对扫描方向。
38.根据权利要求38所述的图像数据存储程序，其特征在于，
利用计算机还执行对所述图像数据在对应所述扫描方向的所述数据排列方向实施压缩处理的过程，
在计算机中执行按照使该已实施压缩处理的压缩处理后的图像数据的排列方向与所述地址连续方向一致的方式在所述储存机构中存储所述压缩处理后的图像数据的过程。
39.根据权利要求38所述的图像数据存储程序，其特征在于，
所述图像数据为二值数据，并且所述压缩处理为行程长度压缩处理。
40.一种帧数据生成程序，其是一种在计算机中执行读出使用权利要求37所述的图像数据存储程序存储于所述储存机构中的所述描绘点数据，从而生成帧数据的过程的帧数据生成程序，其特征在于，
在计算机中执行如下所述的过程，即：从存储于所述储存机构中的所述图像数据中在所述地址连续的方向读出所述描绘点数据，从所述已读出的多个描绘点数据获得属于相同所述帧数据的描绘点数据，生成所述各帧数据的过程。
41.如权利要求40所述的帧数据生成程序，其特征在于，
在计算机中执行如下所述的过程，即：在可以在地址连续方向依次读出已存储的所述描绘点数据的帧数据用储存机构中，按照使所述地址连续方向与存储所述属于相同帧数据的描绘点数据的排列方向一致的方式存储所述描绘点数据，然后
依次读出所述属于相同帧数据的描绘点数据，生成所述各帧数据。
42.一种图像数据存储方法，其特征在于，
准备用于得到利用多个描绘元件的各描绘元件在描绘面上描绘沿相对扫描方向连续的描绘点从而形成图像时应给予所述各描绘元件的描绘点数据的图像数据，
对储存机构，按照使所述储存机构的地址连续方向与所述图像数据上的数据排列方向一致的方式存储所述图像数据，其中所述图像数据上的数据排列方向对应所述描绘点连续形成的方向。
43.一种图像数据存储方法，其特征在于，
准备用于得到利用多个描绘元件的各描绘元件在描绘面上描绘沿相对扫描方向连续的描绘点从而形成图像时应给予所述各描绘元件的描绘点数据的图像数据，
向对应连续形成所述描绘点的方向的数据排列方向压缩所述图像数据，
在储存机构中存储该已压缩的图像数据。
44.根据权利要求43所述的图像数据存储方法，其特征在于，
在所述储存机构中按照使该压缩方向与所述储存机构的地址连续的方向一致的方式存储所述已压缩的图像数据。
45.一种描绘方法，其特征在于，
对于多个描绘元件的每个描绘元件，从存储于储存机构中的图像数据读出描绘点数据，
基于该读出的描绘点数据，利用所述多个描绘元件的各描绘元件，在描绘面上描绘向扫描方向连续的描绘点，形成图像。
46.一种描绘方法，其特征在于，
从存储于储存机构中的图像数据，按对应多个描绘元件的各描绘元件的地址的每排，读出描绘点数据，
基于该读出的描绘点数据，利用所述多个描绘元件的各描绘元件，在描绘面上描绘向扫描方向连续的描绘点，形成图像。
47.根据权利要求45或46所述的描绘方法，其特征在于，
读出所述描绘点数据时，集中读出多个位。
48.根据权利要求45或46所述的描绘方法，其特征在于，
预先在所述储存机构中按照使所述储存机构的地址连续的方向与所述图像数据上的数据排列方向一致的方式存储所述图像数据，所述图像数据上的数据排列方向对应所述描绘点连续形成的方向。
49.一种图像数据存储控制装置，其特征在于，
具备：
获得图像数据的图像数据获得机构，其中的图像数据是用于得到利用多个描绘元件的各描绘元件在描绘面上描绘向相对扫描方向连续的描绘点从而形成图像时应给予所述各描绘元件的描绘点数据的图像数据，和
对储存机构，按照使所述储存机构的地址连续方向与所述图像数据上的数据排列方向一致的方式存储所述图像数据，其中所述图像数据上的数据排列方向对应所述描绘点连续形成的方向的存储控制机构。
50.一种图像数据存储控制装置，其特征在于，
具备：
获得图像数据的图像数据获得机构，其中的图像数据是用于得到利用多个描绘元件的各描绘元件在描绘面上描绘向相对扫描方向连续的描绘点从而形成图像时应给予所述各描绘元件的描绘点数据的图像数据，
在与所述描绘点连续形成的方向对应的数据排列方向上压缩所述图像数据的压缩处理机构，和
在储存机构中存储该已压缩的图像数据的存储控制机构。
51.根据权利要求50所述的图像数据存储控制装置，其特征在于，
所述存储控制机构是在所述储存机构中按照使该压缩方向与所述储存机构的地址连续的方向一致的方式存储所述已压缩的图像数据。
52.一种描绘装置，其特征在于，
具备：
从存储于储存机构的图像数据在多个描绘元件的每个描绘元件读出并获得描绘点数据的描绘点数据获得机构，和
基于利用该描绘点数据获得机构获得的描绘点数据，利用所述多个描绘元件的各描绘元件在描绘面上描绘在扫描方向连续的描绘点从而形成图像的描绘机构。
53.一种描绘装置，其特征在于，
具备：
从存储于储存机构的图像数据，在对应多个描绘元件的各描绘元件的地址的每排读出并获得描绘点数据的描绘点数据获得机构，和
基于利用该描绘点数据获得机构获得的描绘点数据，利用所述多个描绘元件的各描绘元件在描绘面描绘向扫描方向连续的描绘点从而形成图像的描绘机构。
54.根据权利要求52或53所述的描绘装置，其特征在于，
所述描绘点数据获得机构在读出所述描绘点数据时集中读出多个位。
55.根据权利要求52或53所述的描绘装置，其特征在于，
还具备预先在所述储存机构中按照使所述储存机构的地址连续的方向与所述图像数据上的数据排列方向一致的方式存储所述图像数据且使所述图像数据上的数据排列方向对应所述描绘点连续形成的方向的存储控制机构。
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