CN101121161A - 药液供给方法 - Google Patents

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Abstract

一种可减少排出到排气罐的涂敷液的量，且高效的药液供给方法。在t1时刻，开启开关阀(11)的同时，使泵的电机正转，逐渐扩大储存空间的容积。经过了除气模块(8)的涂敷液，通过涂敷液供给管(10)供给至定量泵的储存空间。然后在涂敷液储存空间达到规定容积的t2时刻，暂时停止泵的电机，同时关闭开关阀(11)，在经过t2时刻约2秒后，再次使泵的电机正转，由此扩大涂敷液储存空间的容积，填充涂敷液。此时因为开关阀(14，17)也为关闭状态，故涂敷液储存空间变为密闭空间，随着涂敷液储存空间的容积扩大，涂敷液储存空间内的压力降低。此后，在t5时刻打开开关阀(17)，开放涂敷液储存空间内的剩余压力，将剩余的涂敷液回收至罐(19)。

Description

药液供给方法
技术领域
本发明涉及一种向玻璃基板等被处理基板的表面供给用于形成被膜等的涂敷液等药液的方法。
背景技术
使用狭缝喷头等，在被处理基板的表面形成均匀厚度的被膜时，需要在一定时间范围内向被处理基板的表面供给一定量的涂敷液，作为此种技术，已知有专利文献1、2。
在专利文献1中，公开了使用注射泵(syringe pump)的涂敷装置，并提出了一种先测定被涂敷的涂敷剂的流量或重量，再把该测定值利用到下次涂敷液的涂敷条件的修正中的技术。
驱动注射泵(定量泵)而完成第一次喷涂(涂敷)后，到进行下次喷涂之间，如果注射泵的涂敷液储存空间内为负压的话，就会把空气从外部卷入。因此，专利文献1中，使涂敷液储存空间内的涂敷液压带有剩余压力(正压)，但是这种剩余压力在进行连续喷涂时，每次喷涂时都不相同，其结果，无法在每次喷涂时均喷出一定量的涂敷液。
为解决上述专利文献1中的问题，在专利文献2中，提出了在与涂敷液储存空间相连接的排气管上设置开关阀，并且在涂敷前暂时开启此开关阀，把涂敷液储存空间内的剩余压力，通过排气罐而开放的方案。
专利文献1：日本专利特开2001-121062号公报
专利文献2：日本专利特开2006-43584号公报
就专利文献2所公开的方法而言，每一次喷涂时能够喷出一定量的涂敷液。然而，在通过排气罐开放剩余压力时，会导致大量的涂敷液也同剩余压力一起被排出。举个例子，使用狭缝喷头对玻璃基板每次喷出2cc的涂敷液时，大约有2cc的涂敷液会同剩余压力一起被排出。
由此可知，使用狭缝喷头的涂敷方法，虽然与以往的离心法相比可以大幅度减少所用涂敷液(药液)的量，但是，如果考虑到同剩余压力一起被损失掉的涂敷液的话，则不能说是有效利用，这是个应急需改善的课题。
发明内容
为了解决上述课题，本发明涉及的药液供给方法，是一种把储存罐内的药液，通过药液供给管，输送到泵的药液储存空间，并通过驱动泵使上述药液储存空间的体积减少，而从设置于上述药液储存空间的下游侧的喷头中喷出药液的方法，其中，在上述药液供给管上设置有开关阀，在该开关阀下游侧的药液供给管上连接有排气管，在该排气管上设置有开关阀，在药液向上述泵的药液储存空间的填充完成前，暂时停止填充，接着关闭上述药液供给管的开关阀，其后，再次进行药液向上述泵的药液储存空间的填充，填充后打开设置于上述排气管的开关阀，从而排出药液储存空间的剩余压力。
在关闭药液供给管的开关阀的状态、即药液储存空间成为密闭空间的状态下，当向填充方向驱动泵时，药液储存空间的容积会变大，使泵的内压达到例如10KPa以下。
以往，为了不使注射泵的药液储存空间内变为负压，直到该药液储存空间内被药液完全填充为止，需维持药液储存空间内的正压，因此一旦打开排气管的阀门，就会有大量药液同剩余压力一起被排出来，但是就本发明而言，在药液完全被填充到药液储存空间内之前，暂时停止填充，同时关闭上述药液供给管的开关阀，其后，再次进行药液向上述泵的药液储存空间的填充，而降低泵内压力，填充后，打开设置于上述排气管的开关阀而排出药液储存空间的剩余压力，因此，由剩余压力排出的充满药液储存空间内的量的药液量减少，能够有效地涂敷药液。
具体而言，由于排出剩余压力而被排出的药液量，减少至2cc～0.5cc。
附图说明
图1为实施本发明的药液供给方法的装置的构成图。
图2为定量泵及各开关阀的时间图。
符号说明：
1...液储存罐；2...上升管；3，11，14，17，21...开关阀；
4...涂敷液供给管；5...排气部分；6...排气罐；
7...过滤器；8...除气模块；9...定量泵(注射泵)；
10...涂敷液供给管；12...狭缝喷头；13...涂敷液供给管；
15...排气管；16...压力管路；18...止回阀；
19...排气罐；20...返回管；S...涂敷液储存空间。
具体实施方式
以下根据附图对用于实施本发明的实施方式进行说明。图1为实施本发明涉及的药液供给方法的装置的构成图。图2为注射泵及各阀门的时间图。在本实施例中，作为药液，以形成保护膜或S0G膜的涂敷液为例来说明。
图中1为涂敷液储存罐，在从涂敷液储存罐1出来的上升管2上，设置有开关阀3，上升管2与涂敷液供给管4相连。在涂敷液储存罐1的下游侧，设有排气部分5。在该排气部分5中，依次配置有排气罐6，过滤器7以及除气模块8。此外，在排气罐6中还插入有压力管路(pressure line)16，以能够切换大气开放和加压。
在除气模块8的下游侧，配置有作为定量泵的注射泵9，在连接该注射泵9和除气模块8的涂敷液供给管10的中途，设有开关阀11，并且在注射泵9的下游侧，配置有狭缝喷头12，在连接该狭缝喷头12和注射泵9的涂敷液供给管13上，与狭缝喷头12接近的端部处，设有开关阀14。
另外，在上述注射泵9中，还设置了依据活塞的移动而使其容积改变的涂敷液储存空间S，此外，实际的涂敷液储存空间还包括上述开关阀11的下游侧、开关阀14上游侧的管路内的空间。
另外，从上述涂敷液供给管10的开关阀11的下游侧、注射泵9的上游侧位置处，分支出了排气管15。在该排气管15上设有开关阀17及止回阀18，最终与排气罐19相连。
还有，上述狭缝喷头12内和罐19之间用返回管20相连，在该返回管20上，也设置了开关阀21。
以上所述中，以所有的开关阀3，11，14，17，21均处于关闭状态的时刻，作为开始进行说明。
由上述状态开始打开开关阀3，把涂敷液储存罐1内的涂敷液，按规定量送入排气罐6中，再关闭开关阀3。此时排气罐6向大气开放，送入排气罐6的涂敷液中的气泡被除去。
接着，把排气罐6的大气开放切换为加压，将排气罐6内的涂敷液，通过过滤器7送入除气模块8，并利用减压而除去溶解于涂敷液中的气体。
接下来，如图2所示，在t1时刻打开开关阀11的同时，使泵9的电机正转，而渐渐的扩大储存空间S的容积。于是经过了除气模块8的涂敷液，通过涂敷液供给管10，被供给到定量泵9的储存空间S中，进而直至开关阀14为止的涂敷液供给管13中也被涂敷液充满。即，包括管路内的涂敷液储存空间S内，全部被涂敷液充满。
此时，因为如果管路内以及涂敷液储存空间S内变为负压的话，会把空气卷入，所以为了使管路内及涂敷液储存空间S内成为正压，设定为与通过使泵9的电机正转而引起的涂敷液储存空间S的容积的扩大速度相比，使通过开关阀11供给的涂敷液的供给量更多。
然后，在涂敷液储存空间S到达规定的容积的时刻t2，暂时停止泵9的电机，同时关闭开关阀11。实施例中，虽然同时进行电机9的停止和开关阀11的关闭动作，但是这些时机也可以多少有些出入。
然后，在经过时刻t 2约2秒后，通过再次使泵9的电机正转来扩大涂敷液储存空间S的容积，并填充涂敷液。此时，因为开关阀14，17也为关闭状态，故涂敷液储存空间S变为密闭空间，涂敷液储存空间S的容积扩大，会使涂敷液储存空间S内的压力降低。但是必要的是，即使压力降低，也不能使其变为负压。
作为标准，在泵9的内压变为20kPa以下的时刻t4，停止泵9。
此后，在t5时刻打开开关阀17，把涂敷液储存空间S内的剩余压力开放，并将剩余的涂敷液向罐19回收。
此后，在t6时刻驱动(逆转)定量泵9，同时打开开关阀14。这样，直至停止定量泵9的时刻t7为止，和涂敷液储存空间S的体积减少的部分相当的量的涂敷液，将从狭缝喷头12喷出，进行第一次的喷涂。另外，仅在最初引入液体时，打开开关阀21，将多余的涂敷液通过返回管20，送入排气罐19。
上述第一次喷涂结束了的话，关闭开关阀14，21，打开开关阀11，并且将定量泵9恢复到原始的位置，通过脱气模块8再次把涂敷液输送到涂敷液储存空间S内。此时，涂敷液储存空间S内，为了防止从外部卷入空气，而如前所述，剩余压力变为正压。
此外，图示例中，虽然表示的泵为定量泵，但并不仅局限于此。并且，对于喷头也不仅局限于狭缝喷头。甚至，尽管将分支管路15从开关阀11和定量泵9之间分支的，但也可以从定量泵9和开关阀14之间的涂敷液供给管13分支。
[产业上的可利用性]
本发明涉及的涂敷装置及涂敷方法，能够利用于用狭缝喷头在玻璃基板表面形成一定厚度的保护膜和SOG膜的工序。

Claims (2)

1.一种药液供给方法，把储存罐内的药液，通过药液供给管，输送到泵的药液储存空间，并通过驱动泵，使上述药液储存空间的体积减少，从而将药液从设置于上述药液储存空间的下游侧的喷头中喷出，其特征在于，在上述药液供给管上设置有开关阀，在该开关阀下游侧的药液供给管上连接有排气管，在该排气管上设置有开关阀，在药液向上述泵的药液储存空间的填充完成前，暂时停止填充，而关闭上述药液供给管的开关阀，其后，再次进行药液向上述泵的药液储存空间的填充，填充后打开设置于上述排气管的开关阀，从而排出药液储存空间的剩余压力。
2.根据权利要求书1所述的药液供给方法，其特征在于，通过暂时停止药液向上述药液储存空间的填充，其后在关闭药液供给管的开关阀的状态下再次开始填充，而使泵的内压为20kPa以下。
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