CN105562289A - 涂布装置以及滞留空气去除方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够容易地去除配管内的滞留空气的涂布装置以及滞留空气去除方法。本发明的涂布装置构成为：通过使多个配管连结而将蓄留涂布液的涂布液容器与喷出涂布液的涂布单元连接，并通过涂布单元喷出涂布液容器中的涂布液，其中，所述配管通过用于将配管彼此连结的配管连结部而被连结，在所述涂布单元与配置于最接近所述涂布单元的位置上的所述配管连结部之间具有逆流送液装置，该逆流送液装置通过所述配管向所述涂布液容器侧进行送液。

Description

涂布装置以及滞留空气去除方法

技术领域

本发明涉及在基板上涂布涂布液的涂布装置以及滞留空气去除方法，特别涉及能够容易地将存在于从涂布装置的涂布液容器连结到涂布喷嘴的配管内的空气去除的涂布装置以及滞留空气去除方法。

背景技术

在液晶显示器或等离子显示器等平板显示器中使用在由玻璃等构成的基板上涂布抗蚀剂液而成的基板(称之为涂布基板)。该涂布基板通过均匀地涂布抗蚀剂液(以下称之为涂布液)的涂布装置而形成。也就是说，涂布装置具有用于载置基板的工作台以及具有喷出涂布液的接口部的涂布单元，该涂布装置进行一边使涂布液从接口部的狭缝喷嘴喷出一边使基板和涂布单元相对移动的涂布动作，由此，在基板上形成具有规定的厚度的涂布膜。

这里，图6中示出了涂布装置的配管102路径。被供给到涂布单元100的涂布液蓄留在涂布液容器101中，通过用于连结涂布液容器101和涂布单元100的管状配管102进行供给。该配管102由用于对配管102接头和阀等的配管102彼此连接的配管连结部103连结而形成。并且，送液加压装置(未图示)对涂布液容器101进行加压，由此，涂布液容器101的涂布液被输送到设置于配管102路径上的泵104中。接着，通过使泵104工作而从涂布单元100的接口部喷出涂布液，从而在基板上形成涂布膜。

一般而言，在这样的涂布装置中，作为进行涂布动作的准备工序而进行液体流通工序。该液体流通工序是使涂布液在处于干燥状态的配管102内流通而向配管102内填充涂布液的工序，在最初使涂布装置运转的情况下以及更换涂布液的情况下进行该工序。具体而言，使容纳了涂布液的涂布液容器101内变为低压而充分地进行涂布液的脱气处理(例如参考下述专利文献1)。由此，能够抑制当在涂布液中存在空气而喷出涂布液时由于喷出压力发生变动而导致产生涂布不匀的现象。并且，将涂布液通过配管102从涂布液容器101输送到涂布单元100侧(液体流通工序)。由此，存在于配管102内的滞留空气与涂布液一同被输送到涂布单元100(接口部)，并且，与涂布液一同从接口部的狭缝喷嘴被废弃。接着，最后进行将残留在接口部内的气泡去除的排气处理(例如，参考下述专利文献2)。由此去除涂布液中的空气之后，通过进行涂布动作，在基板上形成稳定的涂布膜。

专利文献1：日本特开2011-139972号公报

专利文献2：日本特开2005-144376号公报

然而，只是通过上述脱气处理和排气处理很难完全去除涂布液中的空气。也就是说，在配管102上设置有多处配管102接头和阀等的配管连结部103，在该配管连结部103形成滞留空气。具体而言，如图7所示，配管连结部103中存在凹凸部或弯曲部等死角105，因此，容易在该死角105处形成滞留空气106(图7的(a))。因此，在液体流通工序中，即使输送已经完成上述脱气处理的涂布液107，配管102内的空气也会跑到死角105处而形成滞留空气106。并且，一旦在死角105处形成滞留空气106，则即使在送液过程中滞留空气106也会继续滞留在死角105处(图7的(b))，即使在结束送液动作之后进行排气处理也无法去除配管102内的滞留空气106，其结果是，存在对涂布精度造成影响的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述问题点而完成的，其目的在于，提供一种能够容易地去除配管内的滞留空气的涂布装置以及滞留空气去除方法。

为了解决上述课题，本发明的涂布装置，通过使多个配管连结而将蓄留涂布液的涂布液容器与喷出涂布液的涂布单元连接，并通过所述涂布单元喷出所述涂布液容器中的涂布液，所述涂布装置的特征在于，所述配管通过用于将配管彼此连结的配管连结部而被连结，在所述涂布单元与配置于最接近所述涂布单元的位置上的所述配管连结部之间具有逆流送液装置，所述逆流送液装置通过所述配管向所述涂布液容器侧进行送液。

根据上述涂布装置，由于设置有逆流送液装置，因此能够去除液体流通工序中残留在配管内的滞留空气。也就是说，在液体流通工序中，通过从涂布液容器向涂布液单元侧(顺流方向)输送涂布液而使配管内充满涂布液，之后，通过逆流送液装置将配管内的涂布液输送到涂布液容器侧(逆流方向)。接着，再次沿顺流方向输送涂布液，以上述方式在顺流方向和逆流方向上交替重复涂布液的送液，最后将涂布液从涂布液单元废弃，从而能够去除滞留在配管连结部的死角处的滞留空气。也就是说，通过在顺流方向进行送液而被卡在配管连结部的死角(凹凸部或弯曲部)而滞留的滞留空气通过在逆流方向进行送液而从一定方向(顺流方向)的推压中释放出来，因此，被卡住的状态被解除，该滞留空气向逆流方向移动。接着，通过再次沿顺流方向进行送液，滞留空气以与沿逆流方向的移动相应的量加速，越过凹凸部或弯曲部，与涂布液一同沿顺流方向被输送。并且，由于所有配管连结部均位于比逆流送液装置更靠近涂布液容器侧的位置上，因此，能够在所有配管连结部中获得通过逆流而实现的上述滞留空气的移动的效果。即使是在假设通过一次逆流方向的送液无法越过凹凸部或弯曲部的情况下，滞留空气也能够通过交替重复在顺流方向和逆流方向的送液而越过凹凸部或弯曲部，从而可以容易地从死角去除滞留空气。

另外，作为具体的所述逆流送液装置的方式，所述逆流送液装置也可以构成为具有：逆流用配管连结部，其配置在所述涂布单元与配置于最接近所述涂布单元的位置上的所述配管连结部之间；逆流用容器，在该逆流用容器中蓄留涂布液，且该逆流用容器通过配管与该逆流用配管连结部连接；以及送液加压装置，其对该逆流用容器施以加压力而进行送液。

例如，通过使用三通阀作为上述逆流配管连结部，能够容易地对逆流送液装置和涂布容器的连通与逆流送液装置和涂布单元的连通进行切换，因此能够通过简单的结构在顺流方向和逆流方向之间切换涂布液的流向。

另外，为了解决上述课题，本发明的滞留空气去除方法，是涂布装置的滞留空气去除方法，所述涂布装置通过用于使配管彼此连结的配管连结部使多个配管连结而将蓄留涂布液的涂布液容器与喷出涂布液的涂布单元连接，并且，在所述涂布单元与配置于最接近所述涂布单元的位置上的所述配管连结部之间连结有逆流送液装置，所述逆流送液装置通过所述配管向所述涂布液容器侧进行送液，所述滞留空气去除方法的特征在于，包括如下的工序：顺流送液工序，从所述涂布液容器向所述涂布单元输送至少比各个所述配管连结部的容量中的最大容量多的涂布液；逆流送液工序，从所述逆流送液装置向所述涂布液容器输送至少比各个所述配管连结部的容量中的最大容量多的涂布液；以及排气工序，将存在于所述涂布单元内的空气排出，在将所述顺流送液工序和所述逆流送液工序交替重复至少1次以上之后，进行所述排气工序。

根据上述滞留空气去除方法，通过将顺流送液工序和逆流送液工序交替重复至少1次以上，能够去除在液体流通工序中残留在配管内的滞留空气。也就是说，通过顺流方向送液工序涂布液被卡在配管连结部的死角(凹凸部或弯曲部)而形成滞留空气，通过逆流送液工序涂布液在逆流方向进行输送，从而该滞留空气从一定方向(顺流方向)的推压中释放出来，被卡住的状态被解除而滞留空气沿逆流方向移动。此时，通过在顺流送液工序和逆流送液工序中输送至少比配管连结部中的最大容量多的涂布液，滞留空气能够通过接下来的送液工序(顺流送液工序或逆流送液工序)可靠地越过配管连结部。也就是说，通过再次沿顺流方向进行送液，滞留空气以与沿逆流方向的移动相应的量加速，越过凹凸部或弯曲部，与涂布液一同沿顺流方向被输送。即使假设在通过一次逆流方向的送液无法越过凹凸部或弯曲部的情况下，滞留空气也能够通过交替重复在顺流方向和逆流方向的送液而越过凹凸部或弯曲部，从而可以容易地从死角去除滞留空气。

根据本发明的涂布装置以及滞留空气去除方法，能够容易地去除配管内的滞留空气。

附图说明

图1是示意性地示出本发明的涂布装置的配管系统图。

图2是涂布装置主体的示意性的立体图。

图3是示出涂布装置的涂布单元的腿部附近的图。

图4是示出配管连结部中的死角和滞留空气的图，图4的(a)是示出通过涂布液填充工序刚刚对配管内填充涂布液后的图；图4的(b)是示出在逆流方向上进行送液的状态的图；图4的(c)是示出在顺流方向上进行送液的状态的图。

图5是示出本发明的滞留空气去除方法的流程图。

图6是现有的涂布装置的配管系统图。

图7是示出现有的配管连结部中的死角和滞留空气的图，图7的(a)是示出通过液体流通工序刚刚向配管内填充涂布液后的图；图7的(b)是示出从图7的(a)的状态进一步进行送液的状态的图。

标号说明

2：涂布液容器；3：涂布单元；4：配管；5：配管连结部；7：逆流送液装置；8：逆流用配管连结部；71：逆流用容器；72：送液加压装置(逆流用)。

具体实施方式

使用附图对本发明的实施方式进行说明。

图1是示意性地示出本发明的涂布装置的配管系统图。图2是涂布装置主体的示意性的立体图。图3是示出涂布装置的涂布单元的腿部附近的图。

如图1～图3所示，涂布装置1具有：用于蓄留涂布液的涂布液容器2；以及涂布装置主体10，其具有涂布单元3，该涂布单元3用于喷出从该涂布液容器2供给的涂布液。这些涂布液容器2和涂布装置主体10分别通过使多个配管4连结而连接起来，并且，在配管4彼此的连接部分通过阀和配管接头连结起来。在本发明中，将为了使配管4彼此连结而使用的阀和配管接头等总称为配管连结部5。并且，在涂布液容器2和涂布单元3之间设置有涂布液泵6，在从涂布液容器2向该涂布液泵6填充所需量的涂布液之后，使涂布液泵6工作，而从涂布装置主体10的涂布单元3喷出涂布液，从而在固定于涂布装置主体10的基板上形成涂布膜。

涂布液容器2用于蓄留作为形成在基板W上的涂布膜的材料的药液或抗蚀剂液等液状物(以下称之为涂布液)。涂布液容器2具有气泡去除机构而能够防止气泡等混入到蓄留的涂布液内。该涂布液容器2中设置有送液加压装置21，通过使该送液加压装置21工作，能够将涂布液容器2内的涂布液输送到下游侧。也就是说，在涂布液容器2的底面部连接有配管4，通过送液加压装置21对涂布液容器2内进行加压，从而能够将涂布液通过配管4输送到位于下游侧的涂布液泵6和涂布单元3等。在本实施方式中，作为送液加压装置21，向涂布液容器2内供给洁净干燥气体(CDA)，通过向涂布液容器2内供给CDA而对涂布液容器2内进行加压从而能够输送涂布液。另外，在涂布液容器2上设置有安全阀22，在对涂布液容器2内进行加压后，打开安全阀22，通过将涂布液容器2内恢复为大气压而将涂布液容器2内释放。

涂布装置主体10用于在基板W上形成药液或抗蚀剂液等液状物(以下称之为涂布液)的涂布膜，并且，该涂布装置主体10具有用于载置基板W的工作台11以及构成为能够相对于该工作台11在特定方向上移动的涂布单元3。

另外，涂布单元3用于将涂布液喷出至基板W上而形成涂布膜。该涂布单元3具有如图2和图3所示那样能够沿X轴方向移动的腿部31和在Y轴方向上延伸的接口部34，接口部34被支承为能够相对于保持在工作台11上的基板W接触或分离。该接口部34用于喷出涂布液从而在基板W上形成涂布膜。本实施方式的接口部34是具有单向延伸形状的柱状部件，其设置为与涂布单元3的腿部31的行进方向大致正交。另外，在该接口部34上形成有沿长度方向延伸的狭缝喷嘴34a，供给到接口部34的涂布液从狭缝喷嘴34a被均匀地喷出到整个长度方向上。

具体而言，在接口部34中形成有用于蓄留涂布液的歧管，能够暂时蓄留从涂布液供给口所供给的涂布液。也就是说，涂布液供给口与配管4连接，从下述的涂布液泵6输送来的涂布液通过涂布液供给口被供给到歧管内，通过进一步使涂布液泵6工作，歧管内的涂布液通过狭缝喷嘴34a被喷出。因此，通过在使涂布液从该狭缝喷嘴34a喷出的状态下使涂布单元3在X轴方向上行进，从而在基板W上的狭缝喷嘴34a的整个长度方向上形成具有一定厚度的涂布膜。

另外，在接口部34上形成有排气孔，通过进行排气处理而将蓄留在歧管内的涂布液中所包含的气泡和滞留空气等气体从排气孔排出。

另外，涂布液泵6将从涂布液容器2供给的涂布液输送到涂布装置主体10。该涂布液泵6与配管4连接，并通过作为T字形配管接头51的配管连结部5而与涂布液容器2和涂布单元3连通并连接。在本实施方式中，设置有注射泵，该注射泵能够通过抽吸动作容纳1张基板所需的量的涂布液，并且，通过喷出动作将涂布液输送到涂布装置主体10。

另外，涂布液容器2、涂布液泵6以及涂布装置10(涂布单元3)是通过使多个配管4连结而连接的。具体而言，多个配管4通过阀和配管接头等配管连结部5被连结。在图1的例子中，配管4路径在直角弯曲的地方设置有L字形配管接头52，在与涂布液泵6的连接部分设置有T字形配管接头51。也就是说，根据需要设置适当的配管接头，从而形成将涂布液容器2、涂布液泵6以及涂布装置主体10连通的流路。

另外，在配管4的路径上设置有阀，在图1的例子中，在涂布液容器2和涂布液泵6之间设置有抽吸阀53，在涂布液泵6和涂布装置主体10之间设置有喷出阀54。这些抽吸阀53和喷出阀54例如使用膜片阀。通过对该抽吸阀53和喷出阀54进行开闭动作，能够切换由配管4形成的流路。例如，通过打开抽吸阀53并关闭喷出阀54而使涂布液容器2和涂布液泵6连通并连接，因此能够从涂布液容器2向涂布液泵6供给涂布液。另外，通过关闭抽吸阀53并打开喷出阀54而使涂布液容器6和涂布液泵3连通并连接，因此能够从涂布液泵6向涂布单元3供给涂布液。

另外，本发明的涂布装置1具有在逆流方向上输送涂布液的逆流送液装置7。该逆流送液装置7相对于涂布液从涂布液容器2侧流向涂布单元3侧流动的顺流方向，在从涂布单元3侧向涂布液容器2侧的逆流方向上输送涂布液。该逆流送液装置7具有逆流用容器71、对逆流用容器71进行加压的送液加压装置72以及逆流用配管连结部8。具体而言，在喷出阀54和涂布单元3之间设置有逆流用配管连结部8，从该逆流用配管连结部8通过配管4与逆流用容器71连通并连接。由此，逆流用容器71的涂布液通过配管4被输送到涂布液容器2侧。

逆流用容器71与上述涂布液容器2具有相同结构，用于蓄留涂布液。与涂布液容器2相同，逆流用容器71具有气泡去除机构，能够防止气泡等混入蓄留的涂布液内。另外，在该逆流用容器71中也设置有送液加压装置72，通过使该送液加压装置72工作，能够将逆流用容器71内的涂布液输送到上游侧。也就是说，在涂布液容器2的底面部上连接有配管4，通过使用送液加压装置72对涂布液容器2内进行加压，能够通过配管4将涂布液输送(使之逆流)到位于上游侧的涂布液容器2侧。另外，在逆流用容器71上设置有安全阀73，在对逆流用容器71内进行加压后，打开安全阀73，由此，通过使逆流用容器71内恢复到大气压而将逆流用容器71内释放。

另外，逆流用配管连结部8使连接于逆流用容器71的配管4和用于连接涂布液容器2和涂布单元3的配管4连通并连接，并且，该逆流用配管连结部8对连接有逆流用容器71和涂布液容器2的流路与连接有逆流用容器71和涂布单元3的流路进行切换。该逆流用配管连结部8虽然在连结配管4这一点上与上述配管连结部5相同，但是在本发明中两者是不同概念的部件，逆流用配管连结部8仅用于使逆流用容器71连接。

该逆流用配管连结部8配置在配置于最接近涂布单元3的位置上的喷出阀54(配管连结部5)和涂布单元3之间。也就是说，在使涂布液从逆流用容器71向涂布液容器2逆流的情况下，从逆流用容器71输送的涂布液通过逆流用配管连结部8然后通过比该逆流用配管连结部8靠近上游侧(涂布液容器2侧)的所有配管连结部5而被输送到涂布液容器2。

该逆流用配管连结部8在本实施方式中使用三通阀81，逆流用容器71、涂布单元3以及涂布液容器2通过该三通阀81而连通并连接。也就是说，通过操作三通阀81，能够对逆流用容器71和涂布单元3的连接与逆流用容器71和涂布液容器2的连接进行切换。另外，该逆流用配管连结部8也可以是使T字形配管接头51与膜片阀相组合而成的部件。也就是说，通过使来自涂布液容器2、涂布单元3以及逆流用容器71的配管4分别与T字形配管接头51连接、并在逆流用容器71和T字形配管接头51之间设置膜片阀，能够对逆流用容器71和涂布单元3的连接与逆流用容器71和涂布液容器2的连接进行切换。

接着，基于图5所示的流程图对该涂布装置1的滞留空气去除方法进行说明。通过该滞留空气去除，能够在从所有的配管4处于干燥的状态开始最初向涂布装置1供给涂布液的情况、以及更换涂布液的情况下去除滞留于配管4内的滞留空气。

首先，通过步骤S1进行涂布液填充工序(液体流通工序)。该涂布液填充工序是用于使充满空气的配管4内充满涂布液的处理工序。在本实施方式中，在排出从逆流用容器71到喷出阀54的流路中的空气后，阶段性地排出从涂布液容器2到三通阀81的流路中的空气。具体而言，在对蓄留于逆流用容器71的涂布液进行脱气处理后，将三通阀81打开至逆流方向(在从逆流用容器71到涂布单元3的方向上关闭，在从逆流用容器71到涂布液容器2的方向上打开)，将喷出阀54和抽吸阀53设为打开状态而使逆流用容器71的加压送液装置工作从而将涂布液从逆流用容器71输送到涂布液容器2侧(逆流方向)。由此，涂布液从逆流用容器71经过三通阀81被输送到涂布液容器2侧。此时，配管4内的空气被涂布液在逆流方向上推动而排出到涂布液容器2。接着，确认配管4内的送液情况，在从逆流用容器71到喷出阀54为止的配管内填充有涂布液的状态下，使逆流用容器71的加压送液装置停止，之后，打开安全阀73，将逆流用容器71释放至大气压。

接着，在向涂布液容器2内供给涂布液并对蓄留于涂布液容器2内的涂布液进行脱气处理之后，切换三通阀81使涂布液从涂布液容器2向涂布单元3侧流动。进而，使涂布液容器2的加压送液装置工作而在顺流方向上输送涂布液。也就是说，虽然有较多的空气存在于没有因之前沿逆流方向输送涂布液而被涂布液充满的部分、即比喷出阀54靠近涂布液容器2侧的位置，但通过从涂布液容器2沿顺流方向输送涂布液，涂布液与空气一同经过涂布单元3的歧管并从狭缝喷嘴被排出。由此，涂布液被填充到从涂布液容器2到逆流用容器71的配管4内。接着，在使涂布液容器的加压送液装置停止之后，打开安全阀22将涂布液容器2释放至大气压。

接着，通过步骤S2进行逆流送液工序。通过该逆流送液工序和接下来的顺流送液工序进行配管4内的滞留空气的去除。也就是说，通过上述的涂布液填充工序，存在于配管4内的空气被去除，并且，从涂布液容器2到逆流用容器71的配管4内几乎被涂布液填充。然而，空气容易滞留在配管连结部5的死角处从而形成少量滞留空气，因此，需要排除该滞留空气。

具体而言，将三通阀81设定为逆流方向，并设定为从逆流用容器71向涂布液容器2流动。接着，使逆流用容器71的送液加压装置72工作，沿逆流方向输送涂布液。此时，对送液量比配管连结部5的最大容量多的涂布液进行输送。这里，配管连结部5的容量是从作为配管连结部5的配管接头和阀等的一侧的与配管4的连结部分到另一侧的与配管4的连结部分的容量。接着，输送比配管4路径中使用的所有配管连结部5中最多的容量还多的涂布液。在图1的例子中，输送喷出阀54、抽吸阀53以及各配管接头中最多容量的涂布液。由此，滞留在死角的滞留空气的空气向逆流方向移动。

接着，通过步骤S3进行顺流送液工序。具体而言，使逆流用容器71的送液加压装置72停止并且释放安全阀73之后，将三通阀81切换为顺流方向即从涂布液容器2流动到涂布单元3侧。进而，使涂布液容器2的送液加压装置21工作从而沿顺流方向输送涂布液。对送液量比配管连结部5的最大容量多的涂布液进行输送。由此，能够将滞留空气91从配管连结部5的死角去除。也就是说，如图4所示，通过涂布液填充工序进行涂布液的输送，并且，如果在配管连结部5的死角9处形成滞留空气91，则滞留空气91被卡在死角9处，即使在涂布液填充工序中沿输送方向进行送液，由于对滞留空气91施加的推压方向是相同的，因此滞留空气91无法越过死角9而是滞留在该位置(图4的(a))。因此，通过逆流送液工序而在配管4内沿逆流方向输送涂布液，由此，对于形成于死角9处的滞留空气91而言，顺流方向的推压力被释放，通过输送比配管连结部5中最多容量还多的涂布液，滞留空气移动至沿逆流方向远离死角9的位置，从而解除了被卡在死角9处的状态(图4的(b))。接着，通过顺流送液工序，在配管4内沿顺流方向输送涂布液，从而，已从死角9移动的滞留空气91在顺流方向上移动。此时，通过输送比配管连结部5中最多容量还多的涂布液，在逆流送液工序中移动的滞留空气91与涂布液一同被输送至比之前被卡住的死角9的位置更靠近顺流方向侧，由此，能够越过之前被卡住的死角9(图4的(c))。另外，逆流送液装置7的三通阀81配置在配置于最靠近涂布单元3的位置上的配管连结部5和涂布单元3之间，因此，所有的配管连结部5均位于比三通阀81更靠近涂布单元3侧的位置，因而，在所有的配管连结部5中滞留空气91能够越过之前被卡住的死角9。并且，即使假设在三通阀81(逆流用配管连结部8)的死角9处形成滞留空气91的情况下，也能够与配管连结部5同样获得上述效果。

接着，对死角9处的气泡的有无进行确认(步骤S4)。通过上述的逆流送液工序和顺流送液工序，当在死角9处存在气泡的情况下，在步骤S4沿“否”的方向继续，再次进行步骤S2的逆流送液工序和步骤S3的顺流送液工序，重复上述动作直到死角9的气泡消失。接着，如果死角9处的气泡消失，那么在步骤S4中沿“是”的方向继续，进行下一工序即排气工序。另外，该确认工序可以通过目测进行，也可以构成为设置传感器等来检测死角9处有无气泡的结构从而进行确认。另外，如果通过事先对涂布装置1的调整实验而获知通过进行规定的次数的逆流送液工序和顺流送液工序能够去除死角9处的气泡，也可以在重复该次数的逆流送液工序和顺流送液工序之后进入下一工序。通过这样多次重复，即使假设在一次的逆流送液工序和顺流送液工序中滞留空气91被卡在死角9处的情况下，也能够提高滞留空气91越过死角9的可能性，能够去除滞留于死角9处的滞留空气。

接着，通过步骤S5进行排气工序。将三通阀81切换为沿顺流方向流动之后，从涂布液容器2输送涂布液，并且使涂布液从涂布单元3的狭缝喷嘴排出。此时，在上述的逆流送液工序和顺流送液工序中越过了死角9的滞留空气91与涂布液一同被输送到涂布单元3的歧管，并且从狭缝喷嘴或排气孔排出。由此，能够形成在从涂布液容器2到涂布单元3的配管4中不存在滞留空气91的状态。

如上所述，通过将顺流送液工序和逆流送液工序交替重复至少1次以上，能够去除在液体流通工序中残留在配管4内的滞留空气91。也就是说，通过顺流送液工序，涂布液被卡在配管连结部5的死角9(凹凸部或弯曲部)从而形成滞留空气91，通过逆流送液工序沿逆流方向输送涂布液，从而将滞留空气91从一定方向(顺流方向)的推压中释放，因此，解除其被卡住的状态，滞留空气91向逆流方向移动。此时，在顺流送液工序和逆流送液工序中输送至少比配管连结部5中最大容量多的涂布液，由此，通过接下来的送液工序(顺流送液工序或逆流送液工序)，滞留空气91能够可靠地越过配管连结部5。也就是说，通过再次沿顺流方向进行送液，滞留空气91以与沿逆流方向的移动相应的量加速，越过凹凸部或弯曲部，与涂布液一同沿顺流方向被输送。即使是在假设通过一次逆流方向的送液无法越过凹凸部或弯曲部的情况下，滞留空气91也能够通过交替重复在顺流方向和逆流方向的送液而越过凹凸部或弯曲部，从而可以容易地从死角9去除滞留空气91。

另外，在上述实施方式中，虽然针对在涂布液填充工序之后按照逆流送液工序、顺流送液工序的顺序进行的例子进行了说明，但也可以在涂布液填充工序之后按照顺流送液工序、逆流送液工序的顺序进行。

另外，在上述实施方式中，虽然针对通过重复工序而多次进行逆流送液工序和顺流送液工序的例子进行了说明，但是在只进行一次逆流送液工序和顺流送液工序就能够去除滞留空气91的情况下，也可以只进行一次逆流送液工序和顺流送液工序，并且省略上述步骤S4的确认工序。

Claims (3)

1.一种涂布装置，通过使多个配管连结而将蓄留涂布液的涂布液容器与喷出涂布液的涂布单元连接，并通过所述涂布单元喷出所述涂布液容器中的涂布液，所述涂布装置的特征在于，

所述配管通过用于将配管彼此连结的配管连结部而被连结，

在所述涂布单元与配置于最接近所述涂布单元的位置上的所述配管连结部之间具有逆流送液装置，所述逆流送液装置通过所述配管向所述涂布液容器侧进行送液。

2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，

所述逆流送液装置具有：

逆流用配管连结部，其配置在所述涂布单元与配置于最接近所述涂布单元的位置上的所述配管连结部之间；

逆流用容器，在该逆流用容器中蓄留涂布液，且该逆流用容器通过配管与该逆流用配管连结部连接；以及

送液加压装置，其对该逆流用容器施以加压力而进行送液。

3.一种滞留空气去除方法，是涂布装置的滞留空气去除方法，所述涂布装置通过用于使配管彼此连结的配管连结部使多个配管连结而将蓄留涂布液的涂布液容器与喷出涂布液的涂布单元连接，并且，在所述涂布单元与配置于最接近所述涂布单元的位置上的所述配管连结部之间连结有逆流送液装置，所述逆流送液装置通过所述配管向所述涂布液容器侧进行送液，所述滞留空气去除方法的特征在于，包括如下的工序：

顺流送液工序，从所述涂布液容器向所述涂布单元输送至少比各个所述配管连结部的容量中的最大容量多的涂布液；

逆流送液工序，从所述逆流送液装置向所述涂布液容器输送至少比各个所述配管连结部的容量中的最大容量多的涂布液；以及

排气工序，将存在于所述涂布单元内的空气排出，

在将所述顺流送液工序和所述逆流送液工序交替重复至少1次以上之后，进行所述排气工序。