KR20140139358A - 롤러 어셈블리 및 이를 구비한 롤투롤 시스템 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 롤러 어셈블리와 이를 구비한 롤투롤 시스템을 개시한다. 본 발명은, 롤러바디부와, 상기 롤러바디부에 형성되어 유연한 이송부재의 표면으로 제 1 유체를 분사하는 제 1 분사부를 포함하고, 상기 이송부재의 표면에 대한 상기 제 1 유체의 입사각은 예각을 형성한다.
Description
본 발명은 롤러 어셈블리 및 이를 구비한 롤투롤 시스템에 관한 것이다.
필름 형태의 부재는 다양한 분야에서 사용될 수 있다. 구체적으로 필름 형태의 부재는 디스플레이 패널, 자동차 시트, 전자페이퍼 등과 같은 다양한 산업 분야에 사용될 수 있다. 이러한 필름 형태의 부재는 제조된 후 다른 전자 기기나 다른 형태의 제품을 생산하기 위하여 공급될 수 있다. 이때, 필름 형태의 부재는 롤투롤 시스템을 통하여 제조 장치에 공급될 수 있다. 특히 상기와 같은 필름 형태의 부재는 두께가 얇아 정밀한 전자 기기 등에 많이 사용되므로 표면에 흡착된 이물질을 제거하는 것이 가장 큰 이슈이다.
예를 들어 디스플레이 분야에 사용되는 다양한 필름 형태의 부재의 롤투롤 시스템을 통과하는 경우 롤러 어셈블리 또는 외부 요인에 의하여 이물질이 부재의 표면에 흡착하는 경우, 제조 시 형성되는 이물질이 부재의 표면에 흡착한 경우 등에는 필름 형태의 부재를 사용한 제품을 제조한 후 제조된 제품이 정상 작동하지 않거나 얼룩이 발생할 수 있다. 따라서 필름 형태의 부재의 표면에 흡착되는 이물질을 제거하여 제조 장치에 공급하는 것이 상당히 중요한 일이다.
본 발명의 실시예들은 이송 시 오염물질을 제거 가능한 롤러 어셈블리 및 이를 구비한 롤투롤 시스템을 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면은, 롤러바디부와, 상기 롤러바디부에 형성되어 유연한 이송부재의 표면으로 제 1 유체를 분사하는 제 1 분사부를 포함하고, 상기 이송부재의 표면에 대한 상기 제 1 유체의 입사각은 예각을 형성하는 롤러 어셈블리를 제공할 수 있다.
또한, 상기 롤러바디부의 내부에는 공간이 형성되고, 상기 제 1 유체는 상기 공간을 통하여 상기 제 1 분사부로 공급될 수 있다.
또한, 상기 이송부재의 이송 시 상기 롤러바디부는 회전할 수 있다.
또한, 상기 제 1 분사부는 상기 이송부재의 표면에 상기 제 1 유체를 분사하여 상기 롤러바디부로부터 상기 이송부재를 부양시킬 수 있다.
또한, 상기 롤러바디부로부터 이격되어 설치되며, 상기 제 1 분사부에서 상기 롤러바디부의 외부로 분사되는 상기 제 1 유체의 일부를 차단하는 유체차단부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 유체차단부는 상기 롤러바디부의 일부분을 커버할 수 있다.
또한, 상기 유체차단부는 상기 이송부재의 적어도 일부분과 대향하도록 설치될 수 있다.
또한, 상기 롤러바디부로부터 이격되어 설치되며, 상기 롤러바디부의 회전 시 상기 롤러바디부 주변의 제 1 유체를 흡입하는 적어도 하나 이상의 제 1 흡입부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 적어도 하나 이상의 제 1 흡입부는 상기 롤러바디부 주변의 제 1 유체를 상기 이송부재의 이송방향과 평행하게 흡입하도록 배치될 수 있다.
또한, 상기 롤러바디부의 적어도 일부분과 대향하도록 설치되어 상기 이송부재의 표면으로 제 2 유체를 분사하는 제 2 분사부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 이송부재의 표면에 대한 상기 제 2 유체의 입사각은 예각을 형성할 수 있다.
또한, 상기 제 2 분사부로부터 이격되어 설치되는 적어도 하나 이상의 제 2 흡입부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 적어도 하나 이상의 제 2 흡입부는 상기 롤러바디부의 회전 시 상기 이송부재 주변의 상기 제 2 유체를 흡입할 수 있다.
본 발명의 다른 측면은, 이송부재의 표면에 대하여 유체를 예각으로 분사하여 상기 이송부재를 부양시키는 적어도 하나 이상의 롤러 어셈블리와, 상기 적어도 하나 이상의 롤러 어셈블리를 통과하는 상기 이송부재와 접촉하여 상기 이송부재를 이송시키는 이송롤러 어셈블리를 포함하는 롤투롤 시스템을 제공할 수 있다.
또한, 상기 적어도 하나 이상의 롤러 어셈블리는, 롤러바디부와, 상기 롤러바디부에 형성되어 유연한 이송부재의 표면으로 제 1 유체를 분사하는 제 1 분사부를 구비할 수 있다.
또한, 상기 적어도 하나 이상의 롤러 어셈블리는, 상기 롤러바디부로부터 이격되어 설치되며, 상기 제 1 분사부에서 분사되는 상기 제 1 유체의 일부를 차단하는 유체차단부를 더 구비할 수 있다.
또한, 상기 적어도 하나 이상의 롤러 어셈블리는, 상기 롤러바디부로부터 이격되어 설치되며, 상기 롤러바디부의 회전 시 상기 롤러바디부 주변의 제 1 유체를 흡입하는 적어도 하나 이상의 제 1 흡입부를 더 구비할 수 있다.
또한, 상기 적어도 하나 이상의 롤러 어셈블리는, 상기 이송부재의 표면으로 제 2 유체를 분사하는 제 2 분사부를 구비할 수 있다.
또한, 상기 적어도 하나 이상의 롤러 어셈블리는, 상기 제 2 분사부로부터 이격되어 설치되며, 상기 이송부재 주변의 상기 제 2 유체를 흡입하는 적어도 하나 이상의 제 2 흡입부를 더 구비할 수 있다.
본 발명의 실시예들은 이송부재의 표면에 유체를 분사함으로써 이송부재 표면의 이물질을 효과적이고 신속하게 제거할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예들은 이송부재를 통하여 완제품 생산 시 이송부재 표면의 이물질로 인한 완제품의 불량률을 현저하게 저감시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 롤투롤 시스템을 보여주는 개념도이다.
도 2는 도 1에 도시된 롤투롤 시스템을 보여주는 정면도이다.
도 3은 도 1의 제 1 롤러 어셈블리의 일 실시예를 보여주는 개념도이다.
도 4는 도 3의 A부분을 확대하여 보여주는 확대도이다.
도 2는 도 1에 도시된 롤투롤 시스템을 보여주는 정면도이다.
도 3은 도 1의 제 1 롤러 어셈블리의 일 실시예를 보여주는 개념도이다.
도 4는 도 3의 A부분을 확대하여 보여주는 확대도이다.
본 발명은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 한편, 본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 롤투롤 시스템(1000)을 보여주는 개념도이다. 도 2는 도 1에 도시된 롤투롤 시스템(1000)을 보여주는 정면도이다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 롤투롤 시스템(1000)은 적어도 하나 이상의 롤러 어셈블리(미표기)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 롤러 어셈블리는 이송부재(F)의 표면에 대해서 유체를 예각으로 분사하여 이송부재(F)를 부양시킬 수 있다.
상기 롤러 어셈블리는 복수개 구비될 수 있다. 이때, 상기 복수개의 롤러 어셈블리는 제 1 롤러 어셈블리(100), 제 1 롤러 어셈블리(100)로부터 이격되어 배치되는 제 2 롤러 어셈블리(200)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 복수개의 롤러 어셈블리는 제 2 롤러 어셈블리(200)와 이격되어 배치되는 제 3 롤러 어셈블리(300)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 복수개의 롤러 어셈블리는 상기에 한정되지 않으며, 3개 이상의 롤러 어셈블리를 포함할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상기 복수개의 롤러 어셈블리는 제 1 롤러 어셈블리(100) 내지 제 3 롤러 어셈블리(300)를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
한편, 상기와 같은 제 1 롤러 어셈블리(100) 내지 제 3 롤러 어셈블리(300)는 서로 유사하게 형성될 수 있다. 또한, 제 1 롤러 어셈블리(100) 내지 제 3 롤러 어셈블리(300)는 다양한 위치에 배치될 수 있다.
예를 들면, 제 1 롤러 어셈블리(100) 내지 제 3 롤러 어셈블리(300)는 이송부재(F)의 이송 방향을 따라 일렬로 배치될 수 있다. 또한, 제 1 롤러 어셈블리(100) 내지 제 3 롤러 어셈블리(300)는 지그재그(zigzag) 형태로 배치될 수 있다. 이때, 제 1 롤러 어셈블리(100) 내지 제 3 롤러 어셈블리(300)는 상기에 한정되지 않으며, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제 1 롤러 어셈블리(100) 내지 제 3 롤러 어셈블리(300)가 지그재그 형태로 배치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
한편, 상기와 같이 배치되는 제 1 롤러 어셈블리(100) 내지 제 3 롤러 어셈블리(300)는 이송부재(F)의 이송방향을 절곡시키도록 배치될 수 있다. 특히 제 1 롤러 어셈블리(100)는 이송부재(F)를 제 1 경사방향에서 제 2 경사방향으로 이송부재(F)를 절곡시킬 수 있으며, 제 2 롤러 어셈블리(200)는 제 2 경사방향에서 다시 제 1 경사방향으로 이송부재(F)를 절곡시킬 수 있다. 또한, 제 3 롤러 어셈블리(300)는 제 1 경사방향에서 다시 제 2 경사방향으로 이송부재(F)를 절곡시킬 수 있다.
상기와 같이 형성되는 제 1 롤러 어셈블리(100) 내지 제 3 롤러 어셈블리(300)는 이송부재(F)의 표면에 부착되는 이물질을 제거할 수 있다. 이때, 제 1 롤러 어셈블리(100) 내지 제 3 롤러 어셈블리(300)는 제 1 유체 및 제 2 유체 중 적어도 하나를 이송부재(F)의 표면에 분사하여 이송부재(F) 표면의 이물질을 제거할 수 있다. 특히 제 1 롤러 어셈블리(100) 내지 제 3 롤러 어셈블리(300)는 상기 제 1 유체 및 상기 제 2 유체 중 적어도 하나를 이송부재(F)의 표면에 대하여 예각으로 분사하여 이송부재(F)를 부양시킬 수 있다. 이때, 제 1 롤러 어셈블리(100) 내지 제 3 롤러 어셈블리(300)는 상기 제 1 유체 및 상기 제 2 유체 중 적어도 하나를 이송부재(F)의 이송방향과 예각을 형성하도록 분사할 수 있다.
상기와 같은 제 1 롤러 어셈블리(100) 및 제 2 롤러 어셈블리(200)는 상기 제 1 유체 및 상기 제 2 유체 중 적어도 하나를 이송부재(F)의 표면에 대해서 서로 반대 방향으로 분사할 수 있다. 즉, 제 1 롤러 어셈블리(100)는 상기 제 1 유체 및 상기 제 2 유체 중 적어도 하나를 이송부재(F)의 이송방향과 반대방향으로 이송부재(F)의 표면에 분사할 수 있다. 반면, 제 2 롤러 어셈블리(200)는 상기 제 1 유체 및 상기 제 2 유체 중 적어도 하나를 이송부재(F)의 이송방향으로 이송부재(F)의 표면에 분사할 수 있다. 이때, 제 3 롤러 어셈블리(300)는 상기에서 설명한 제 1 롤러 어셈블리(100)와 유사하게 상기 제 1 유체 및 상기 제 2 유체 중 적어도 하나를 이송부재(F)의 표면에 분사할 수 있다.
또한, 상기와 같은 경우 제 1 롤러 어셈블리(100)의 제 1 롤러바디부(110), 제 2 롤러 어셈블리(200)의 제 2 롤러바디부(210) 및 제 3 롤러 어셈블리(300)의 제 3 롤러바디부(310)는 다양하게 회전할 수 있다. 특히 제 1 롤러바디부(110)와 제 2 롤러바디부(210)는 서로 다른 방향을 회전할 수 있다. 이때, 제 1 롤러바디부(110)가 시계방향으로 회전하는 경우 제 2 롤러바디부(210)는 반시계방향으로 회전할 수 있다. 또한, 제 1 롤러바디부(110)가 반시계방향으로 회전하는 경우 제 2 롤러바디부(210)는 시계방향으로 회전할 수 있다. 이때, 제 3 롤러바디부(310)는 제 1 롤러바디부(110)와 동일한 방향으로 회전할 수 있다.
다만, 제 1 롤러바디부(110) 내지 제 3 롤러바디부(310)는 상기에 한정되지 않으며, 서로 동일하거나 서로 상이할 있으며 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제 1 롤러바디부(110) 및 제 3 롤러바디부(310)는 반시계방향으로 회전하고, 제 2 롤러바디부(210)는 시계방향으로 회전하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
한편, 롤투롤 시스템(1000)은 상기 적어도 하나 이상의 롤러 어셈블리를 통과하는 이송부재(F)와 접촉하여 이송부재(F)를 이송시키는 이송롤러 어셈블리(400)를 포함할 수 있다. 이때, 이송롤러 어셈블리(400)는 제 1 이송롤러(410)와, 제 1 이송롤러(410)와 대향하도록 설치되는 제 2 이송롤러(420)를 포함할 수 있다.
제 1 이송롤러(410)와 제 2 이송롤러(420)는 일정 간격으로 배치되어 제 1 이송롤러(410)와 제 2 이송롤러(420) 사이의 간격으로 이송부재(F)가 삽입될 수 있다. 이때, 이송부재(F)는 제 1 이송롤러(410)와 제 2 이송롤러(420)와 접촉한 후 제 1 이송롤러(410) 및 제 2 이송롤러(420) 중 적어도 하나가 회전함으로써 이송될 수 있다.
상기와 같은 경우 제 1 이송롤러(410)와 제 2 이송롤러(420)는 이송부재(F)의 이송방향에 따라 서로 반대방향으로 회전할 수 있다. 구체적으로 제 1 이송롤러(410)는 반시계방향으로 회전할 수 있으며, 제 2 이송롤러(420)는 시계방향으로 회전할 수 있다. 또한, 제 1 이송롤러(410)는 시계방향으로 회전하고, 제 2 이송롤러(420)는 반시계방향으로 회전하는 것도 가능하다. 이때, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 이송부재(F)가 도 1의 왼쪽에서 오른쪽으로 이송되며, 제 1 이송롤러(410)는 반시계방향, 제 2 이송롤러(420)는 시계방향으로 회전화는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
한편, 롤투롤 시스템(1000)은 제 1 롤러 어셈블리(100) 내지 제 3 롤러 어셈블리(300)에 상기 제 1 유체 및 상기 제 2 유체를 공급하는 유체공급부(500)를 포함할 수 있다. 이때, 유체공급부(500)는 일반적인 실린더, 펌프 등을 포함할 수 있으며, 유체를 저장하는 유체저장부(미도시)를 포함할 수 있다.
롤투롤 시스템(1000)은 상기의 구성 이외에도 제 1 롤러 어셈블리(100) 내지 제 3 롤러 어셈블리(300), 이송롤러 어셈블리(400), 유체공급부(500)를 제어하는 제어부(600)를 포함할 수 있다. 이때, 제어부(600)는 일반적인 퍼스널 컴퓨터, 전자단말기, 휴대폰 등 신호를 입력하거나 저장된 데이터를 근거로 롤투롤 시스템(1000) 전반을 제어할 수 있는 모든 장치를 포함할 수 있다.
한편, 상기와 같은 롤투롤 시스템(1000)의 작동을 살펴보면, 이송부재(F)가 외부로부터 공급될 수 있다. 이때, 이송부재(F)는 상기에서 설명한 바와 같이 제 1 롤러바디부(110)에 의하여 1차적으로 절곡되며, 제 2 롤러바디부(210)에 의하여 2차적으로 절곡될 수 있다. 또한, 이송부재(F)는 제 3 롤러바디부(310)에 의하여 3차적으로 절곡되어 제 1 이송롤러(410) 및 제 2 이송롤러(420) 사이의 간격으로 삽입될 수 있다.
상기와 같이 이송부재(F)가 배치되면, 제 1 이송롤러(410) 및 제 2 이송롤러(420)가 회전하여 이송부재(F)를 이송시킬 수 있다. 이때, 제어부(600)는 제 1 이송롤러(410)와 제 2 이송롤러(420) 중 적어도 하나를 회전시키도록 제어할 수 있다.
한편, 이송부재(F)가 이송되는 동안 제어부(600)는 유체공급부(500)를 통하여 제 1 롤러 어셈블리(100) 내지 제 3 롤러 어셈블리(300)에 상기 제 1 유체 및 상기 제 2 유체를 공급할 수 있다. 이때, 상기 제 1 유체 및 상기 제 2 유체는 서로 동일한 유체일 수 있다.
상기와 같이 상기 제 1 유체 및 상기 제 2 유체가 공급되는 제 1 롤러 어셈블리(100) 내지 제 3 롤러 어셈블리(300)는 상기 제 1 유체 및 상기 제 2 유체 중 적어도 하나를 이송부재(F)의 표면에 분사하여 이송부재(F)를 부양시킬 수 있다. 이때, 제어부(600)는 제 1 롤러 어셈블리(100) 내지 제 3 롤러 어셈블리(300)에서 상기 제 1 유체 및 상기 제 2 유체 중 적어도 하나를 이송부재(F)에 분사시키도록 제어할 수 있다.
한편, 상기와 같이 상기 제 1 유체 및 상기 제 2 유체 중 적어도 하나를 이송부재(F)에 분사시키는 경우, 이송부재(F)는 상기에서 설명한 바와 같이 부양할 수 있다. 이때, 이송부재(F)는 제 1 롤러바디부(110) 내지 제 3 롤러바디부(310)의 외면으로부터 이격될 수 있다.
상기의 과정이 진행되는 동안 제어부(600)는 상기에서 설명한 바와 같이 제 1 이송롤러(410)와 제 2 이송롤러(420) 중 적어도 하나를 회전시키도록 제어하여 이송부재(F)를 이송시킬 수 있다. 이때, 이송부재(F)의 표면에 흡착된 이물질은 제 1 롤러 어셈블리(100) 내지 제 3 롤러 어셈블리(300)를 통하여 제거될 수 있다.
따라서 롤투롤 시스템(1000)은 이송부재(F)를 이송시키면서 이송부재(F) 표면의 이물질을 효과적이고 신속하게 제거할 수 있다. 또한, 롤투롤 시스템(1000)은 이물질이 제거된 이송부재(F)를 외부 장치로 공급됨으로써 이송부재(F)의 이물질로 인한 완제품의 불량률을 저감시킬 수 있다.
한편, 이하에서는 이송부재(F) 표면의 이물질을 제거하는 제 1 롤러 어셈블리(100) 내지 제 3 롤러 어셈블리(300)의 구성 및 작동에 대해서 보다 상세하게 설명하기로 한다. 이때, 제 1 롤러 어셈블리(100) 내지 제 3 롤러 어셈블리(300)는 서로 유사하게 형성되므로 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제 1 롤러 어셈블리(100)를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
도 3은 도 1의 제 1 롤러 어셈블리(100)의 일 실시예를 보여주는 개념도이다. 도 4는 도 3의 A부분을 확대하여 보여주는 확대도이다.
도 2 및 도 3을 참고하면, 제 1 롤러 어셈블리(100)는 상기에서 설명한 바와 같이 상기 제 1 유체 및 상기 제 2 유체 중 적어도 하나를 이송부재(F)의 표면으로 분사할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제 1 롤러 어셈블리(100)가 이송부재(F)의 제 1 표면에 상기 제 1 유체를 분사하고, 이송부재(F)의 제 2 표면에 상기 제 2 유체르를 분사하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제 1 롤러 어셈블리(100)는 제 1 롤러바디부(110)를 포함할 수 있다. 이때, 제 1 롤러바디부(110)는 원기둥 형태로 형성될 수 있으며, 제 1 롤러바디부(110)의 길이는 이송부재(F)의 폭과 유사하게 형성될 수 있다. 특히 제 1 롤러바디부(110)의 내부에는 공간이 형성될 수 있다. 이때, 제 1 유체는 제 1 롤러바디부(110)와 연결되는 유체공급부(500)로부터 제 1 롤러바디부(110)의 내부로 공급되어 후술할 제 1 분사부(120)로 공급될 수 있다.
또한, 제 1 롤러바디부(110)는 이송부재(F)의 이송 시 회전할 수 있다. 이때, 제 1 롤러바디부(110)의 회전 방향은 다양하게 형성될 수 있다. 예를 들면, 제 1 롤러바디부(110)의 회전 방향은 시계 방향 또는 반시계 방향일 수 있다.
제 1 롤러 어셈블리(100)는 제 1 롤러바디부(110)에 형성되는 제 1 분사부(120)를 포함할 수 있다. 이때, 제 1 분사부(120)는 상기 제 1 유체를 이송부재(F)의 표면으로 분사할 수 있다. 구체적으로 제 1 분사부(120)는 상기 제 1 유체를 이송부재(F)의 표면에 대하여 예각을 형성하도록 이송부재(F)의 표면에 분사할 수 있다. 특히 제 1 분사부(120)는 이송부재(F)의 이송방향에 대해서 입사각이 예각을 형성하도록 상기 제 1 유체를 이송부재(F)의 표면에 분사할 수 있다.
또한, 상기와 같은 제 1 분사부(120)는 제 1 롤러바디부(110)의 표면에 구비될 수 있다. 이때, 제 1 분사부(120)는 제 1 롤러바디부(110)의 외면에서 내부로 관통하는 홀 형태로 형성될 수 있다. 특히 홀 형태의 제 1 분사부(120)는 제 1 롤러바디부(110)의 외면으로부터 내부로 경사지게 형성될 수 있다. 즉, 제 1 분사부(120)는 제 1 롤러바디부(110)의 외면과 내면 사이의 최단거리인 방향과 일정 각도로 형성될 수 있다.
또한, 제 1 분사부(120)는 상기에 한정되지 않으며, 상기 제 1 유체를 제 1 롤러바디부(110)에 설치되어 상기 제 1 유체를 이송부재(F)의 표면에 분사하는 노즐 형태일 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제 1 분사부(120)가 홀 형태로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제 1 분사부(120)는 제 1 롤러바디부(110)의 외면에 복수개 형성될 수 있다. 이때, 복수개의 제 1 분사부(120)는 서로 이격되도록 형성될 수 있다.
한편, 제 1 롤러 어셈블리(100)는 제 1 롤러바디부(110)로부터 이격되어 설치되는 제 1 유체차단부(140)를 포함할 수 있다. 이때, 제 1 유체차단부(140)는 제 1 롤러바디부(110)의 외면 형상과 유사하게 곡면으로 형성될 수 있다. 특히 제 1 유체차단부(140)는 제 1 롤러바디부(110)의 회전 시 제 1 분사부(120)를 통하여 제 1 롤러바디부(110) 외부로 분사되는 상기 제 1 유체의 일부를 차단할 수 있다.
제 1 유체차단부(140)는 제 1 롤러바디부(110)의 일부분을 커버하도록 형성될 수 있다. 이때, 제 1 유체차단부(140)는 이송부재(F)의 적이도 일부분과 대향하도록 설치될 수 있다. 특히 제 1 유체차단부(140)는 제 1 롤러바디부(110)를 중심으로 절곡되는 이송부재(F) 부분과 대향하도록 배치될 수 있다.
한편, 제 1 롤러 어셈블리(100)는 제 1 롤러바디부(110)로부터 이격되어 설치되는 적어도 하나 이상의 제 1 흡입부(130)를 포함할 수 있다. 이때, 적어도 하나 이상의 제 1 흡입부(130)는 제 1 롤러바디부(110)의 회전 시 제 1 롤러바디부(110) 주변의 상기 제 1 유체를 흡입할 수 있다.
상기와 같은 적어도 하나 이상의 제 1 흡입부(130)는 제 1 롤러바디부(110) 주변의 제 1 유체를 이송부재(F)의 이송방향과 평행하게 흡입하도록 배치될 수 있다. 이때, 적어도 하나 이상의 제 1 흡입부(130)는 제 1 분사부(120)에 의해 이송부재(F)의 제 1 표면으로부터 이탈된 이물질을 흡입하여 이물질이 낙하는 것을 방지할 수 있다.
적어도 하나 이상의 제 1 흡입부(130)는 복수개 구비될 수 있으며, 복수개의 제 1 흡입부(130)는 서로 각도를 형성하도록 배치될 수 있다. 특히 각 제 1 흡입부(130)는 상기 제 1 유체를 흡입하는 제 1 흡입부(130)의 입구가 이송부재(F)의 외면과 평행하도록 배치될 수 있다.
한편, 제 1 롤러 어셈블리(100)는 제 1 롤러바디부(110)의 적어도 일부분과 대향하도록 설치되는 제 2 분사부(150)를 포함할 수 있다. 이때, 제 2 분사부(150)는 이송부재(F)의 표면에 상기 제 2 유체를 분사할 수 있다. 특히 제 2 분사부(150)는 이송부재(F)의 표면에 대한 상기 제 2 유체의 입사각을 예각으로 형성시킬 수 있다.
상기와 같은 제 2 분사부(150)는 이송부재(F)의 제 2 표면에 상기 제 2 유체를 분사할 수 있다. 또한, 제 1 분사부(120)는 이송부재(F)의 제 1 표면에 상기 제 1 유체를 분사할 수 있다. 이때, 상기 제 1 표면과 상기 제 2 표면은 이송부재(F)의 서로 상이한 표면일 수 있다. 따라서 제 1 분사부(120) 및 제 2 분사부(150)는 이송부재(F)의 양표면에 상기 제 1 유체 및 상기 제 2 유체를 분사함으로써 이송부재(F)의 제 1 표면에 부착된 이물질과 이송부재(F)의 제 2 표면에 부착된 이물질을 제거할 수 있다.
한편, 제 1 롤러 어셈블리(100)는 제 2 분사부(150) 주변에 설치되는 적어도 하나 이상의 제 2 흡입부(160)를 포함할 수 있다. 이때, 적어도 하나 이상의 제 2 흡입부(160)는 제 1 롤러바디부(110)의 회전 시 이송부재(F) 주변의 상기 제 2 유체를 흡입할 수 있다. 특히 적어도 하나 이상의 제 2 흡입부(160)는 이송부재(F)의 제 2 표면으로부터 이탈되어 상기 제 2 유체와 함께 유동하는 이물질을 흡입하여 제거할 수 있다.
적어도 하나 이상의 제 2 흡입부(160)는 복수개 구비될 수 있으며, 복수개의 제 2 흡입부(160)는 서로 각도를 형성하도록 배치될 수 있다. 또한, 복수개의 제 2 흡입부(160)는 제 2 분사부(150)를 중심으로 서로 대칭되게 배치될 수 있다.
한편, 상기와 같이 형성되는 제 1 롤러 어셈블리(100)는 롤투롤 시스템(1000)이 작동하는 동안 이송부재(F)를 부양시킬 수 있다.
구체적으로 상기에서 설명한 것과 같이 유체공급부(500)로부터 제 1 롤러바디부(110) 내부로 공급되는 상기 제 1 유체는 이송부재(F)의 제 1 표면에 분사될 수 있다. 이때, 상기 제 1 유체와 이송부재(F)의 제 1 표면 사이에는 예각이 형성되고, 상기 제 1 유체가 이송부재(F)의 제 1 표면과 수직한 방향으로 이송부재(F)의 제 1 표면에 가하는 힘은 상기 제 1 유체가 이송부재(F)의 제 1 표면으로 수직하게 분사될 때의 힘보다 작아지게 된다. 또한, 상기 제 1 유체가 이송부재(F)의 제 1 표면에 접선 방향으로 가하는 힘이 발생하여 이송부재(F)의 제 1 표면에 흡착된 이물질에 힘을 가할 수 있다.
한편, 상기와 같이 작동하는 동안, 제 1 흡입부(130)는 상기에서 설명한 바와 같이 상기 제 1 유체와 상기 제 1 유체에 의하여 제거되는 이물질을 흡입할 수 있다.
또한, 제 1 유체차단부(140)는 제 1 분사부(120)에서 상기에서 설명한 이송부재(F)의 절곡된 부분과 대향하는 부분으로 분사되는 상기 제 1 유체를 차단함으로써 상기와 같이 제거된 이물질이 비산하는 것을 방지할 수 있다.
한편, 상기와 같이 진행되는 동안 제 2 분사부(150)에서 분사되는 상기 제 2 유체는 제 1 분사부(120)에서 분사되는 상기 제 1 유체와 유사하게 이송부재(F)의 제 2 표면의 이물질을 제거할 수 있다.
구체적으로 상기 제 2 유체는 이송부재(F)의 제 2 표면에 흡착된 이물질에 이송부재(F)의 제 2 표면의 접선방향으로 힘을 가함으로써 이물질을 제거할 수 있다.
따라서 제 1 롤러 어셈블리(100)는 상기 제 1 유체 및 상기 제 2 유체 중 적어도 하나를 이송부재(F)의 표면에 분사함으로써 이송부재(F)의 표면에 흡착한 이물질을 효과적으로 제거할 수 있다.
비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되었지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위에는 본 발명의 요지에 속하는 한 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.
1000 : 롤투롤 시스템
100 : 제 1 롤러 어셈블리
200 : 제 2 롤러 어셈블리
300 : 제 3 롤러 어셈블리
100 : 제 1 롤러 어셈블리
200 : 제 2 롤러 어셈블리
300 : 제 3 롤러 어셈블리
Claims (19)
- 롤러바디부;
상기 롤러바디부에 형성되어 유연한 이송부재의 표면으로 제 1 유체를 분사하는 제 1 분사부;를 포함하고,
상기 이송부재의 표면에 대한 상기 제 1 유체의 입사각은 예각을 형성하는 롤러 어셈블리. - 제 1 항에 있어서,
상기 롤러바디부의 내부에는 공간이 형성되고,
상기 제 1 유체는 상기 공간을 통하여 상기 제 1 분사부로 공급되는 롤러 어셈블리. - 제 1 항에 있어서,
상기 이송부재의 이송 시 상기 롤러바디부는 회전하는 롤러 어셈블리. - 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 분사부는 상기 이송부재의 표면에 상기 제 1 유체를 분사하여 상기 롤러바디부로부터 상기 이송부재를 부양시키는 롤러 어셈블리. - 제 1 항에 있어서,
상기 롤러바디부로부터 이격되어 설치되며, 상기 제 1 분사부에서 상기 롤러바디부의 외부로 분사되는 상기 제 1 유체의 일부를 차단하는 유체차단부;를 더 포함하는 롤러 어셈블리. - 제 5 항에 있어서,
상기 유체차단부는 상기 롤러바디부의 일부분을 커버하는 롤러 어셈블리. - 제 5 항에 있어서,
상기 유체차단부는 상기 이송부재의 적어도 일부분과 대향하도록 설치되는 롤러 어셈블리. - 제 1 항에 있어서,
상기 롤러바디부로부터 이격되어 설치되며, 상기 롤러바디부의 회전 시 상기 롤러바디부 주변의 제 1 유체를 흡입하는 적어도 하나 이상의 제 1 흡입부;를 더 포함하는 롤러 어셈블리. - 제 8 항에 있어서,
상기 적어도 하나 이상의 제 1 흡입부는 상기 롤러바디부 주변의 제 1 유체를 상기 이송부재의 이송방향과 평행하게 흡입하도록 배치되는 롤러 어셈블리. - 제 1 항에 있어서,
상기 롤러바디부의 적어도 일부분과 대향하도록 설치되어 상기 이송부재의 표면으로 제 2 유체를 분사하는 제 2 분사부;를 더 포함하는 롤러 어셈블리. - 제 10 항에 있어서,
상기 이송부재의 표면에 대한 상기 제 2 유체의 입사각은 예각을 형성하는 롤러 어셈블리. - 제 10 항에 있어서,
상기 제 2 분사부로부터 이격되어 설치되는 적어도 하나 이상의 제 2 흡입부;를 더 포함하는 롤러 어셈블리. - 제 12 항에 있어서,
상기 적어도 하나 이상의 제 2 흡입부는 상기 롤러바디부의 회전 시 상기 이송부재 주변의 상기 제 2 유체를 흡입하는 롤러 어셈블리. - 이송부재의 표면에 대하여 유체를 예각으로 분사하여 상기 이송부재를 부양시키는 적어도 하나 이상의 롤러 어셈블리; 및
상기 적어도 하나 이상의 롤러 어셈블리를 통과하는 상기 이송부재와 접촉하여 상기 이송부재를 이송시키는 이송롤러 어셈블리;를 포함하는 롤투롤 시스템. - 제 14 항에 있어서,
상기 적어도 하나 이상의 롤러 어셈블리는,
롤러바디부;
상기 롤러바디부에 형성되어 유연한 이송부재의 표면으로 제 1 유체를 분사하는 제 1 분사부;를 구비하는 롤투롤 시스템. - 제 15 항에 있어서,
상기 적어도 하나 이상의 롤러 어셈블리는,
상기 롤러바디부로부터 이격되어 설치되며, 상기 제 1 분사부에서 분사되는 상기 제 1 유체의 일부를 차단하는 유체차단부;를 더 구비하는 롤투롤 시스템. - 제 15 항에 있어서,
상기 적어도 하나 이상의 롤러 어셈블리는,
상기 롤러바디부로부터 이격되어 설치되며, 상기 롤러바디부의 회전 시 상기 롤러바디부 주변의 제 1 유체를 흡입하는 적어도 하나 이상의 제 1 흡입부;를 더 구비하는 롤투롤 시스템. - 제 14 항에 있어서,
상기 적어도 하나 이상의 롤러 어셈블리는,
상기 이송부재의 표면으로 제 2 유체를 분사하는 제 2 분사부;를 구비하는 롤투롤 시스템. - 제 18 항에 있어서,
상기 적어도 하나 이상의 롤러 어셈블리는,
상기 제 2 분사부로부터 이격되어 설치되며, 상기 이송부재 주변의 상기 제 2 유체를 흡입하는 적어도 하나 이상의 제 2 흡입부;를 더 구비하는 롤투롤 시스템.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020130059928A KR102073764B1 (ko) | 2013-05-27 | 2013-05-27 | 롤러 어셈블리 및 이를 구비한 롤투롤 시스템 |
US14/197,568 US20140345656A1 (en) | 2013-05-27 | 2014-03-05 | Roller assembly and roll-to-roll system including the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020130059928A KR102073764B1 (ko) | 2013-05-27 | 2013-05-27 | 롤러 어셈블리 및 이를 구비한 롤투롤 시스템 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20140139358A true KR20140139358A (ko) | 2014-12-05 |
KR102073764B1 KR102073764B1 (ko) | 2020-02-06 |
Family
ID=51934557
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020130059928A KR102073764B1 (ko) | 2013-05-27 | 2013-05-27 | 롤러 어셈블리 및 이를 구비한 롤투롤 시스템 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20140345656A1 (ko) |
KR (1) | KR102073764B1 (ko) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114769216B (zh) * | 2022-04-18 | 2023-02-28 | 江苏瑞澜特新材料有限公司 | 一种用于水溶性pva膜的生产设备 |
CN115846281B (zh) * | 2023-02-28 | 2023-05-05 | 泰州衡川新能源材料科技有限公司 | 一种锂离子电池隔膜制作用清洗装置以及清洗方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10339020A1 (de) * | 2003-08-25 | 2005-03-24 | Fehring, Hannes, Dipl.-Ing. | Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung von Segeln |
-
2013
- 2013-05-27 KR KR1020130059928A patent/KR102073764B1/ko active IP Right Grant
-
2014
- 2014-03-05 US US14/197,568 patent/US20140345656A1/en not_active Abandoned
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102073764B1 (ko) | 2020-02-06 |
US20140345656A1 (en) | 2014-11-27 |
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