KR20170053232A - 기판 처리 장치 - Google Patents

Abstract

개시된 기판 처리 장치는 기판 이송부 및 유체 분사부를 포함할 수 있다. 상기 기판 이송부는 기판을 일 방향으로 이송시킬 수 있다. 상기 유체 분사부는 상기 기판 이송부에 의해 이송되는 상기 기판을 향하여 유체를 분사하도록 상기 기판 이송부 상부에 배치될 수 있다. 특히, 상기 유체 분사부는 밴딩 구조를 갖도록 구비될 수 있다.

Description

기판 처리 장치{Apparatus for treating a substrate}

본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로써, 이송하는 기판을 향하여 유체를 분사하는 유체 분사부를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.

액정 디스플레이 소자 등과 같은 평판 디스플레이 소자의 제조에서는 대면적 유리 기판(이하, '기판'이라 함)을 대상으로 박막 형성 공정, 패턴 형성 공정, 세정 공정, 건조 공정 등의 수행이 이루어지고 있다.

상기 세정 공정 및 상기 건조 공정에서는 상기 기판을 일 방향으로 이송시키는 기판 이송부 및 상기 기판 이송부에 의해 이송되는 상기 기판을 향하여 유체를 분사하는 에어 나이프(air knife) 등과 같은 유체 분사부를 포함하는 기판 처리 장치를 사용한다. 상기 유체 분사부는 상기 기판의 이송 방향과 수직 방향을 기준으로 소정 각도로 기울어진 사선 방향으로 배치되도록 구비된다. 상기 유체 분사부를 사선 방향을 배치되도록 구비하는 것은 직선 방향보다 길게 배치되는 구조를 가질 수 있고, 그 결과 상기 직선 방향에 비해 보다 많은 유체를 분사할 수 있기 때문이다.

그리고 상기 기판의 대면적화를 요구하는 최근에는 상기 유체 분사부의 크기에 대형화되고 있다. 이에, 최근의 상기 대형화되는 유체 분사부를 포함하는 기판 처리 장치의 레이아웃을 증가시키는 문제점을 초래하고 있다.

본 발명은 목적은 기존 대비 레이아웃을 증가시키지 않음에도 불구하고 기판을 향하여 분사되는 유체의 분사량을 충분하게 확보할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는데 있다.

언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치는 기판을 일 방향으로 이송시키는 기판 이송부; 및 상기 기판 이송부에 의해 이송되는 상기 기판을 향하여 유체를 분사하도록 상기 기판 이송부 상부에 배치되는 유체 분사부를 포함하고, 상기 유체 분사부는 밴딩 구조를 갖도록 구비될 수 있다.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치에서, 상기 유체 분사부는 상기 밴딩 부분이 상기 기판의 이송 방향을 향하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치에서, 상기 유체 분사부는 상기 밴딩 부분이 모서리 구조를 갖도록 구비되거나 또는 곡선 구조를 갖도록 구비될 수 있다.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치에서, 상기 유체 분사부는 상기 밴딩 부분이 한 군데 이상을 갖도록 구비될 수 있다.

본 발명의 기판 처리 장치는 유체 분사부가 밴딩 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 본 발명에서와 같이 상기 유체 분사부가 밴딩 구조를 가짐에 따라 상기 유체 분사부의 배치로 인한 레이아웃을 기존 대비 충분하게 감소시킬 수 있다. 또한, 상기 유체 분사부가 밴딩 구조를 가짐에 따라 적어도 상기 기판의 양쪽 방향에서 유체를 분사할 수 있기 때문에 상기 기판을 향하여 분사되는 유체의 분사량을 충분하게 확보할 수 있다.

따라서 본 발명의 기판 처리 장치는 기존 대비 레이아웃을 증가시키지 않음에도 불구하고 기판을 향하여 분사되는 유체의 분사량을 충분하게 확보할 수 있는 것이다.

이에, 본 발명은 평판 디스플레이 소자를 제조하기 위한 제조 공간 자체를 축소시킬 수 있기 때문에 평판 디스플레이 소자의 제조에 따른 비용을 절감할 수 있고, 그리고 상기 유체를 사용한 기판 처리 공정에서 상기 유체의 분사량을 충분하게 확보할 수 있기 때문에 평판 디스플레이 소자의 제조에 따른 공정 신뢰도를 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 개략적인 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 개략적인 도면이다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 발명의 명확성을 기하기 위해 실제보다 확대하거나, 개략적인 구성을 설명하기 위하여 실제보다 축소하여 도시한 것이다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

이하, 첨부하는 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치에 대하여 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 개략적인 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 개략적인 도면이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 기판 처리 장치(100)는 기판 이송부(13), 유체 분사부(15, 25) 등을 포함할 수 있다.

그리고 본 발명의 기판 처리 장치(100)를 사용하는 기판 처리 공정의 예로서는 기판(11) 상에 잔류하는 불순물 등을 제거하기 위한 세정 공정, 식각 또는 세정 후 상기 기판(11)을 대상으로 린스 처리하기 위한 린스 공정, 상기 기판(11) 상에 잔류하는 물기 등을 건조시키기 위한 건조 공정 등을 들 수 있다.

따라서 본 발명의 기판 처리 장치(100)에 구비되는 상기 유체 분사부(15, 25)는 상기 세정 공정의 수행시 상기 기판(11)으로 세정액 등을 분사하는 부재, 상기 린스 공정의 수행시 상기 기판(11)으로 린스액 등을 분사하는 부재, 또는 상기 건조 공정의 수행시 상기 기판(11)으로 건조용 에어 등을 분사하는 부재 등을 포함할 수 있다.

본 발명의 기판 처리 장치(100)에서 상기 기판 이송부(13)는 상기 기판(11)을 일 방향으로 이송시키는 부재이다.

상기 기판 이송부(13)는 상기 기판(11)의 이송 방향과 교차하는 방향, 즉 상기 기판(11)의 이송 방향과 수직한 방향으로 연장되고, 상기 기판(11)의 이송 방향을 따라 상호 평행하게 배열된 다수의 회전축들로 이루어질 수 있다. 상기 회전축들에는 각각이 상기 기판(11)의 이면에 직접 접촉하고, 상기 회전축들의 회전에 따라 함께 회전하여 상기 기판(11)을 이송하는 다수의 이송 롤러들이 구비될 수 있다. 상기 다수의 이송 롤러들은 상기 회전축들의 길이 방향을 따라 동일한 간격을 두고 배열될 수 있다.

이와 달리, 상기 기판 이송부(13)는 컨베이어 벨트 등과 같은 다양한 구조로도 이루어질 수 있다.

도시하지는 않았지만, 본 발명의 기판 처리 장치(100)는 상기 기판 이송부(13)를 사용하여 상기 기판(11)을 이송할 때 상기 기판(11)의 이송을 가이드하는 이송 가이드부를 더 포함할 수 있다.

상기 이송 가이드부는 상기 기판(11)의 폭 방향에 대한 양측 에지를 가이드하여 상기 기판(11)이 안정적으로 이송되도록 가이드할 수 있는 것으로써. 가이드 롤러, 상기 가이드 롤러를 회전 가능하도록 지지하는 가이드 몸체부 등으로 이루어질 수 있다.

상기 가이드 롤러는 회전 중심축이 수직하게 배치되도록 구비될 수 있다. 상기 가이드 롤러는 한 쌍으로 이루어지고, 상기 기판(110의 폭 방향에 대하여 양측 에지 방향에 각각 배치될 수 있다. 상기 가이드 롤러는 상기 기판 이송부(13)에 의해 이송되는 상기 기판(11)의 에지에 접촉할 수 있고, 아이들(idle) 회전을 통해서 상기 기판(11)이 이송 방향을 따라 안정적으로 이송될 수 있도록 가이드할 수 있는 것이다.

이와 달리, 상기 가이드 롤러가 별도의 동력원에 의해 회전하도록 구비될 수도 있다. 상기 가이드 롤러는 상기 기판의 손상 방지를 위하여 유연한 재질로 이루어질 수 있고, 또는 표면에 유연 재질로 코팅된 구조를 가질 수 있다.

상기 가이드 몸체부는 상기 가이드 롤러를 회전 가능하게 지지한다. 상기 가이드 롤러가 한 쌍으로 구비되므로 상기 가이드 몸체부도 한 쌍으로 구비될 수 있다. 상기 가이드 몸체부의 형상을 제한적이지 않고, 상기 기판(11)의 이송을 방해하지 않으면서 상기 가이드 롤러를 회전 가능하게 지지할 수 있는 구조면 충분하다.

또한, 상기 가이드 몸체부는 다양한 폭 사이즈를 갖는 상기 기판(11)에 대응할 수 있도록 구비될 수 있다. 즉, 상기 가이드 몸체부가 상기 기판(11)의 폭 방향으로 이동할 수 있도록 구비됨으로써, 상기 가이드 몸체부가 안쪽으로 이동할 경우 작은 사이즈의 폭을 갖는 상기 기판(11)에 대응할 수 있고, 상기 가이드 몸체부가 바깥쪽으로 이동할 경우 큰 사이즈의 폭을 갖는 상기 기판(11)에 대응할 수 있는 것이다.

상기 유체 분사부(15, 25)는 상기 기판 이송부(13)에 의해 이송되는 상기 기판(11)을 향하여 유체를 분사하도록 상기 기판 이송부(13) 상부에 배치될 수 있다. 이에, 본 발명의 기판 처리 장치(100)가 상기 세정 공정에 이용될 경우 상기 유체 분사부(15, 25)는 상기 기판(11)을 향하여 세정액을 분사할 수 있고, 상기 린스 공정에 이용될 경우 상기 유체 분사부(15, 25)는 상기 기판(11)을 향하여 린스액을 분사할 수 있고, 상기 건조 공정에 이용될 경우 상기 유체 분사부(15, 25)는 상기 기판(11)을 향하여 에어를 분사할 수 있도록 구비될 수 있다.

그리고 상기 유체 분사부(15, 25)는 단위 시간당 상기 기판(11)으로 보다 많은 유체를 분사할 수 있도록 상기 기판(11)의 이송 방향과 수직한 방향을 기준으로 사선 방향을 기울어지게 배치되도록 구비될 수 있다.

특히, 본 발명의 기판 처리 장치(100)에서 상기 유체 분사부(15, 25)는 밴딩 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 즉, 상기 유체 분사부(15, 25)는 상기 기판(11)의 이송 방향과 수직한 방향을 기준으로 사선 방향을 기울어지게 배치됨과 아울러 밴딩 구조를 갖도록 구비되는 것이다.

이에, 본 발명에서의 상기 유체 분사부(15, 25)는 밴딩 부분이 상기 기판(11)의 이송 방향을 향하는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다. 따라서 상기 유체 분사부(15, 25)가 밴딩 구조를 갖도록 구비됨에도 불구하고 본 발명의 기판 처리 장치(100)를 사용한 공정 수행에서도 상기 기판(11)의 폭 방향으로 유체를 분사할 수 있다.

이와 같이, 본 발명에서는 상기 유체 분사부(15, 25)를 밴딩 구조를 갖도록 구비할 수 있기 때문에 상기 기판(11)의 이송 방향과 수직한 방향으로 배치할 때 보다 짧은 길이를 갖는 구조로 상기 유체 분사부(15, 25)를 구비할 수 있다. 그러므로 본 발명의 기판 처리 장치(100)는 상기 유체 분사부(15, 25)의 길이를 짧게 할 수 있기 때문에 기판 처리 장치(100) 자체에 대한 크기를 축소시킬 수 있는 것이다.

그리고 본 발명의 기판 처리 장치(100)에서 상기 유체 분사부(15, 25)는 상기 밴딩 부분이 모서리 구조를 갖도록 구비되거나 또는 곡선 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 즉, 상기 밴딩이 이루어지는 부분이 도 1에서와 같이 일정한 각도를 갖는 꺾어진 구조로 이루어지거나 또는 도 2에서와 같이 일정한 곡률 반경을 갖는 라운딩 구조로 이루어질 수 있는 것이다.

이와 같이, 상기 유체 분사부(15, 25)는 상기 밴딩 구조를 갖도록 이루어짐으로써 한쪽 방향으로만 유체를 분사하는 것과는 달리 양쪽 방향으로 유체를 분사할 수 있기 때문에 상기 유체의 분사량을 충분하게 확보할 수 있고, 그 결과 상기 유체의 분사를 이용하는 공정 수행시 공정 효율을 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명의 기판 처리 장치(100)에서 상기 유체 분사부(15, 25)는 상기 밴딩 부분이 한 군데 이상을 갖도록 구비될 수 있다. 이와 같이, 본 발명의 기판 처리 장치(100)는 상기 유체 분사부(15, 25)의 밴딩 부분을 임의로 조정할 수 있다. 따라서 본 발명의 기판 처리 장치(100)는 기판 처리 장치(100) 자체에 대한 크기를 적절하게 조절할 수도 있을 것이다.

언급한 바와 같이, 본 발명의 기판 처리 장치(100)는 상기 유체 분사부(15, 25)가 밴딩 구조를 갖도록 구비될 수 있기 때문에 상기 유체 분사부(15, 25)의 배치로 인한 레이아웃을 기존 대비 충분하게 감소시킬 수 있고, 상기 기판(11)을 향하여 분사되는 유체의 분사량을 충분하게 확보할 수 있다.

그러므로 본 발명의 기판 처리 장치(100)는 기존 대비 레이아웃을 증가시키지 않음에도 불구하고 상기 기판(11)을 향하여 분사되는 유체의 분사량을 충분하게 확보할 수 있는 것이다.

이에, 본 발명은 평판 디스플레이 소자를 제조하기 위한 제조 공간 자체를 축소시킬 수 있기 때문에 평판 디스플레이 소자의 제조에 따른 비용을 절감할 수 있고, 그 결과 평판 디스플레이 소자의 가격 경쟁력의 확보를 기대할 수 있다. 또한, 본 발명의 기판 처리 장치를 이용한 공정 수행시 유체의 분사량을 충분하게 확보할 수 있기 때문에 평판 디스플레이 소자의 제조에 따른 공정 신뢰도를 향상시킬 수 있고, 그 결과 평판 디스플레이 소자의 품질 경쟁력의 확보를 기대할 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

11 : 기판 13 : 기판 이송부
15, 25 : 유체 분사부 100 : 기판 처리 장치

Claims (4)

1. 기판을 일 방향으로 이송시키는 기판 이송부; 및
   상기 기판 이송부에 의해 이송되는 상기 기판을 향하여 유체를 분사하도록 상기 기판 이송부 상부에 배치되는 유체 분사부를 포함하고, 상기 유체 분사부는 밴딩 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
2. 제1 항에 있어서, 상기 유체 분사부는 상기 밴딩 부분이 상기 기판의 이송 방향을 향하는 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
3. 제1 항에 있어서, 상기 유체 분사부는 상기 밴딩 부분이 모서리 구조를 갖도록 구비되거나 또는 곡선 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
4. 제1 항에 있어서, 상기 유체 분사부는 상기 밴딩 부분이 한 군데 이상을 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.

Images