CN111434390B - 一种狭缝式涂布装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种狭缝式涂布装置,包括涂布模头,在所述涂布模头内设置容纳涂布液的配液模腔,以及狭缝流道和涂布口,所述涂布口通过狭缝流道与配液模腔相连通,在所述涂布模头内还分别设置进液流道和出液流道,所述进液流道和出液流道分别与配液模腔相连通,所述进液流道和出液流道还分别通过进液管路和出液管路对应地与进液泵和出液泵相连通,在所述出液管路上设置出液阀。本发明通过对低粘度涂覆溶液的输送系统进行优化,减少涂布装置模腔内气体的产生,还能够简单快速的将模腔内气泡排出,节省时间,减少涂覆溶液的浪费和保持涂布的均匀性。

Description

一种狭缝式涂布装置
技术领域
本发明属于低粘度液体涂覆技术领域,特别涉及一种狭缝式涂布装置。
背景技术
在制备钙钛矿薄膜时,经常使用狭缝涂布的方式,狭缝涂布具有涂膜均匀性高,可适用的溶液的粘度范围广、涂布速度快,以及可制作大面积涂膜的特点。对于低粘度溶液体系的涂布,当溶液的表面张力、黏着力以及溶液外侧的大气压力不足以克服溶液的自身重力时,溶液会从模头的狭缝处滴落,外部的空气从而进入模腔。当模腔内含有空气时,涂布后的薄膜容易出现空气夹带的问题,造成注液流量不够稳定,难以大规模重复制备得到均匀的薄膜。
现有的一些解决低粘度流体的涂布问题的方法和装置,如公布号为CN204320588U的中国专利公开了一种用于低粘度流体超薄涂布的狭缝涂布头,通过泵等装置提供动力后,由涂布头腔体中上游模侧面的流体进口进入,依次经过半圆截面结构的分配主腔、以及狭缝流道,然后经流体出口后涂布到基底上。该狭缝涂布头还存在以下缺陷:模头狭缝处的溶液依然可能会从模头的狭缝处滴落,从而外部的空气从狭缝处进入模腔,影响涂布质量。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于,提供一种狭缝式涂布装置,通过对低粘度涂覆溶液的输送系统进行优化,减少涂布装置模腔内气体的产生,还能够简单快速的将模腔内气泡排出,节省时间,减少涂覆溶液的浪费和保持涂布的均匀性。
本发明是这样实现的,提供一种狭缝式涂布装置,包括涂布模头,在所述涂布模头内设置容纳涂布液的配液模腔,以及狭缝流道和涂布口,所述涂布口通过狭缝流道与配液模腔相连通,在所述涂布模头内还分别设置进液流道和出液流道,所述进液流道和出液流道分别与配液模腔相连通,所述进液流道和出液流道还分别通过进液管路和出液管路对应地与进液泵和出液泵相连通,在所述出液管路上设置出液阀,在所述进液管路上设置进液阀。
进一步地,所述进液泵和出液泵分别为双向泵。
进一步地,在所述出液阀与出液流道之间的出液管路上设置了缓冲瓶。
进一步地,在所述涂布口设置密封罩。
与现有技术相比,本发明的狭缝式涂布装置具有以下特点:
1、快速和高效地排出涂布模头内的气体,适用于涂布低粘度溶液;
2、减少配液模腔内气体产生的量,保持涂布的均匀性;
3、减去封堵涂布模头狭缝的操作,在实际生产过程中节省时间和涂覆液体原料。
附图说明
图1为本发明第一较佳实施例和第二实施例的结构平面示意图;
图2为本发明第三实施例的结构平面示意图;
图3为本发明第四实施例的结构平面示意图。
具体实施方式
为了使本发明所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
实施例1
请参照图1所示,本发明狭缝式涂布装置的较佳实施例,包括涂布模头1,在所述涂布模头1内设置容纳涂布液的配液模腔2,以及狭缝流道3和涂布口4。所述涂布口4通过狭缝流道3与配液模腔2相连通。
在所述涂布模头1内还分别设置进液流道5和出液流道6。所述进液流道5和出液流道6分别与配液模腔2相连通。所述进液流道5和出液流道6还分别通过进液管路7和出液管路8对应地与进液泵9和出液泵10相连通。在所述出液管路8上设置出液阀11。在所述进液管路7上设置进液阀12。
本发明在实际使用时,进液泵9将涂布液沿进液管路7通过进液流道5注入涂布模头1内的配液模腔2。当涂布液将配液模腔2注满后,多余涂布液通过出液流道6沿出液管路8被挤出。出液泵10的作用是将配液模腔2内的空气或者多余涂布液抽出。当进液泵9开启时,出液泵10同时启动,两个泵的运输效率相同,使低粘度的涂布液不会在被装载至填充满模头内腔体的过程中从涂布模头1的涂布口4处滴出。或者使进液泵9的运输效率略大于出液泵,涂布口4处有少部分涂布液滴出,防止空气从涂布口4沿狭缝流道3进入模腔2。
在涂布过程中,所述出液阀11将出液管路8关闭,进液泵9运输涂布液进入配液模腔2使涂布模头1的涂布口4处有涂布液挤出并涂布在物料上。涂布模头1进行一段时间的涂布后,配液模腔2内有空气渗入,此时将出液阀11打开,出液管路8通畅。进液泵9和出液泵10同时启动,使配液模腔2的气体从出液流道6沿出液管路8排出,气体排出后,关闭进液泵9和出液泵10,然后再关闭出液阀11和出液管路8,可继续进行涂布操作。
实施例2
请参照图1所示,作为本发明的第二实施例,所述狭缝式涂布装置的所述进液泵和出液泵分别为双向泵,进液流向和出液流向根据需要相互切换,进液管路7上的进液阀12和进液泵9与出液管路8上的出液阀11和出液泵10相互对称设置。流向切换后可以将配液模腔2内大部分的涂布液从进液流道5和进液管路7处流回溶液储存装置内进行回收。其它结构及其作用与实施例1相同,不再赘述。
实施例3
请参照图2所示,作为本发明的第三实施例,所述狭缝式涂布装置在所述出液阀11与出液流道6之间的出液管路8上设置了缓冲瓶13,进一步提高排气体操作的效率。在涂布模头1需要进行排气体的操作时,关闭进液管路7,开启出液阀11,调节缓冲瓶13内的压力,使配液模腔2内的空气从出液流道6沿出液管路8进入缓冲瓶13。缓冲瓶13内涂布液沿出液管路8流入配液模腔2内,将配液模腔2重新注满。将出液阀11和出液管路8关闭,打开进液管路7,可继续涂布操作。出液阀11安装在缓冲瓶13和出液管路8之间。关闭出液阀11后,配液模腔2相连的出液管路8内处于注满溶液的状态。其它结构及其作用与第一实施例相同,不再赘述。
实施例4
请参照图3所示,作为本发明的第四实施例,所述狭缝式涂布装置在所述涂布口4设置密封罩14,避免涂布液在注入或者进行排气体时,从狭缝流道3的涂布口4处滴落涂布液。密封罩14将涂布口4封闭,隔绝外界空气。即使在涂布口4处有涂布液滴落时,使配液模腔2内部空间气压增大,使涂布口4处涂布液受到的重力的作用效果减弱,涂布液的滴落逐渐减少直至停止。密封罩14不与涂布口4接触,避免对涂布口4的结构和狭缝流道3内的涂布液产生影响。其它结构及其作用与实施例3相同,不再赘述。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (1)

1.一种狭缝式涂布装置,包括涂布模头,在所述涂布模头内设置容纳涂布液的配液模腔,以及狭缝流道和涂布口,所述涂布口通过狭缝流道与配液模腔相连通,其特征在于,在所述涂布模头内还分别设置进液流道和出液流道,所述进液流道和出液流道分别与配液模腔相连通,所述进液流道和出液流道还分别通过进液管路和出液管路对应地与进液泵和出液泵相连通,在所述出液管路上设置出液阀,在所述进液管路上设置进液阀;出液泵的作用是将配液模腔内的空气或者多余涂布液抽出,当进液泵开启时,出液泵同时启动,两个泵的运输效率相同,使低粘度的涂布液不会在被装载至填充满配液模腔的过程中从涂布模头的涂布口处滴出,或者使进液泵的运输效率略大于出液泵,涂布口处有少部分涂布液滴出,防止空气从涂布口沿狭缝流道进入配液模腔;所述进液泵和出液泵分别为双向泵,在所述出液阀与出液流道之间的出液管路上设置了缓冲瓶,在所述涂布口设置密封罩。
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114100958B (zh) * 2020-08-26 2023-01-10 湖北万度光能有限责任公司 狭缝涂布模头
CN114100957B (zh) * 2020-08-26 2023-03-24 湖北万度光能有限责任公司 含料液回吸通道的狭缝涂布系统
CN114100956B (zh) * 2020-08-26 2023-04-18 湖北万度光能有限责任公司 压力传感器在狭缝涂布系统中的应用
CN113649225B (zh) * 2021-09-07 2022-10-04 深圳市曼恩斯特科技股份有限公司 一种涂布模头及涂布设备
CN114453191B (zh) * 2021-12-23 2022-10-18 黄山金瑞泰科技股份有限公司 一种ctp版材生产过程挤压式涂布工段涂布头
CN116408242A (zh) * 2023-06-09 2023-07-11 季华实验室 涂布设备及电气元件制作系统

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0581331A2 (en) * 1990-10-17 1994-02-02 FABIO PERINI S.p.A. Glue Dispenser
JP2005205363A (ja) * 2004-01-26 2005-08-04 Shin Sti Technology Kk 枚葉塗膜形成装置及び枚葉塗膜形成方法
CN102527578A (zh) * 2012-01-11 2012-07-04 深圳市信宇人科技有限公司 新型狭缝式喷头及其喷涂机机头
CN204320588U (zh) * 2014-12-01 2015-05-13 深圳市旭合盛科技有限公司 一种用于低粘度流体超薄涂布的狭缝涂布头
CN206897742U (zh) * 2017-04-26 2018-01-19 东旭(昆山)显示材料有限公司 涂布机喷嘴及涂布机
CN107999334A (zh) * 2017-12-26 2018-05-08 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 一种高粘度液体供排装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0581331A2 (en) * 1990-10-17 1994-02-02 FABIO PERINI S.p.A. Glue Dispenser
JP2005205363A (ja) * 2004-01-26 2005-08-04 Shin Sti Technology Kk 枚葉塗膜形成装置及び枚葉塗膜形成方法
CN1680045A (zh) * 2004-01-26 2005-10-12 新Sti科技株式会社 单张涂膜形成装置及单张涂膜形成方法
CN102527578A (zh) * 2012-01-11 2012-07-04 深圳市信宇人科技有限公司 新型狭缝式喷头及其喷涂机机头
CN204320588U (zh) * 2014-12-01 2015-05-13 深圳市旭合盛科技有限公司 一种用于低粘度流体超薄涂布的狭缝涂布头
CN206897742U (zh) * 2017-04-26 2018-01-19 东旭(昆山)显示材料有限公司 涂布机喷嘴及涂布机
CN107999334A (zh) * 2017-12-26 2018-05-08 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 一种高粘度液体供排装置

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