CN101108554A - 液滴喷出头、液滴喷出装置及喷出控制方法 - Google Patents

Abstract

液滴喷出头(11)的喷嘴板12)，具有形成与喷嘴(20)对应的贯通孔的基体板(26)，和在基体板(26)表面形成的表面层(27)。喷嘴(20)具有从喷嘴开口(21)起直线形成的直线部(22)和继直线部(22)之后的锥部(23)，在直线部(22)的内壁，设置着作为不具有表面层(27)的区域形成的凹部(30)。提供考虑了喷出特性的稳定性的液滴喷出头、液滴喷出装置及其喷出控制方法。

Description

液滴喷出头、液滴喷出装置及喷出控制方法

技术领域

[0001]

本发明涉及喷墨式记录装置、显示器制造装置、电极形成装置、生物芯片制造装置等液滴喷出装置及搭载在液滴喷出装置上的液滴喷出头及其喷出控制方法。

背景技术

[0002]

近几年来，将液态体液滴化后从微小的喷嘴喷出的液滴喷出头(头)，在印刷及工业用途等中，得到广泛利用。例如，专利文献1记述的头，具备使与喷嘴连通的液腔的容积可变的压电元件，能够利用施加给该压电元件的电信号(驱动信号)，准确地控制(喷出控制)喷出的液滴的量及速度(喷出特性)。

[0003]

专利文献1：JP特开2002-1951号公报

[0004]

上述喷出控制，利用驱动信号，升降施加给压电元件的电压，从而使喷嘴内的液面(弯月面)前进(向喷嘴的开口方向移动)或后退(向液腔方向移动)。这时，如果喷嘴内的弯月面对于驱动信号而言的位置的再现性不佳，那么每次喷出的喷出特性就会出现离差(不一致)，所以为了获得喷出特性的稳定性，最好对这一点也给予充分考虑。

发明内容

[0005]

本发明就是针对上述情况研制的，其目的在于提供考虑了喷出特性的稳定性的液滴喷出头、液滴喷出装置及其喷出控制方法。

[0006]

本发明的液滴喷出头，其特征在于，具备：喷嘴，该喷嘴被供给液态体；弯月面移动单元，该弯月面移动单元旨在使所述液态体的弯月面移动；弯月面限制部，该弯月面限制部设置在该喷嘴的内壁，位于到所述喷嘴的开口为规定的距离的深度中，旨在该深度中限制所述喷嘴内的所述弯月面的边缘的移动。

[0007]

采用本发明的液滴喷出头后，因为能够在喷出控制中，使弯月面的边缘再现性良好地移动到弯月面限制部涉及的喷嘴内的深度之后喷出液滴，所以喷出特性的稳定性优异。

[0008]

另外，首选的方式，其特征在于：在所述液滴喷出头中，所述弯月面限制部，沿着所述喷嘴的内周方向设置。

采用本发明的液滴喷出头后，因为沿着喷嘴的内周方向设置弯月面限制部，所以能够等方向地限制弯月面的边缘的移动，不会给弯月面的形状带来不良影响。

[0009]

另外，首选的方式，其特征在于：在所述液滴喷出头中，所述弯月面限制部，具有在所述喷嘴的内壁形成的凹部乃至凸部。

采用本发明的液滴喷出头后，虽然弯月面限制部的结构简单，但是在效果上却可以获得上述效果。

[0010]

另外，首选的方式，其特征在于：在所述液滴喷出头中，所述弯月面限制部，具有在所述喷嘴的内壁形成的斥液化区域。

采用本发明的液滴喷出头后，虽然弯月面限制部的结构简单，但是在效果上却可以获得上述效果。

[0011]

另外，首选的方式，其特征在于，在所述的液滴喷出头中，具备：第1所述弯月面限制部；第2所述弯月面限制部，该第2所述弯月面限制部在和第1所述弯月面限制部不同的深度设置。

采用本发明的液滴喷出头后，能够利用使弯月面的边缘向第1弯月面限制部涉及的深度移动后喷出液滴的喷出控制，和使弯月面的边缘向第2弯月面限制部涉及的深度移动后喷出液滴的喷出控制，从而使单一的液滴喷出头喷出不同的喷出特性涉及的液滴。另外，设置多个后，还能够进行更精确的控制。

[0012]

本发明的液滴喷出头，其特征在于：具有在基体上形成的喷出面，液腔，在所述基体上形成的、连接所述喷出面和所述液腔的贯通孔；所述贯通孔，包含与所述喷出面相接的第1部和与所述液腔相接的第2部；在所述第1部的内壁，形成轮状的弯月面限制部，所述弯月面限制部，对在和所述喷出面之间的所述第1部的内壁而言，可以是凹或凸。这样，能够提高弯月面的边缘的形状的再现性。

[0013]

本发明的特征在于：是具备所述液滴喷出头和喷出控制单元(该喷出控制单元控制所述弯月面移动单元，使液滴从所述喷嘴喷出)的液滴喷出装置，所述喷出控制单元，实行使所述弯月面的边缘朝着所述喷嘴的内方，移动到所述弯月面限制部涉及的深度为止的A步，和在所述A步之后，使所述弯月面朝着所述喷嘴的开口移动，喷出所述液滴的B步。

[0014]

采用本发明的液滴喷出装置后，因为能够使弯月面的边缘再现性良好地移动到弯月面限制部涉及的喷嘴内的深度(A步)后喷出液滴，所以喷出特性的稳定性优异。

[0015]

本发明的特征在于：是具有第1及第2弯月面限制部的所述液滴喷出头和喷出控制单元(该喷出控制单元控制所述弯月面移动单元，使液滴从所述喷嘴喷出)的液滴喷出装置，所述喷出控制单元，具有第1控制模式和第2控制模式。该第1控制模式执行使所述弯月面的边缘朝着所述喷嘴的内方，移动到所述第1弯月面限制部涉及的深度为止的A1步，和在所述A1步之后，使所述弯月面朝着所述喷嘴的开口移动，喷出所述液滴的B1步。该第2控制模式执行使所述弯月面的边缘朝着所述喷嘴的内方，移动到所述第2弯月面限制部涉及的深度为止的A2步，和在所述A2步之后，使所述弯月面朝着所述喷嘴的开口移动，喷出所述液滴的B2步。

[0016]

采用本发明的液滴喷出装置后，因为能够使弯月面的边缘再现性良好地移动到第1或第2弯月面限制部涉及的喷嘴内的深度(A1步/A2步)后喷出液滴，所以喷出特性的稳定性优异。另外，分开使用第1控制模式和第2控制模式后，能够使单一的液滴喷出头喷出不同的喷出特性涉及的液滴。

[0017]

本发明的特征在于：是在具备喷嘴(该喷嘴被供给液态体)、弯月面移动单元(该弯月面移动单元旨在使所述液态体的弯月面移动)、弯月面限制部(该弯月面限制部设置在该喷嘴的内壁，位于到所述喷嘴的开口为规定的距离的深度中，旨在该深度中限制所述喷嘴内的所述弯月面的边缘的移动)的液滴喷出头中，控制所述弯月面移动单元，使液滴从所述喷嘴喷出的喷出控制方法，具有：使所述弯月面的边缘朝着所述喷嘴的内方，移动到所述弯月面限制部涉及的深度为止的A步；在所述A步之后，使所述弯月面朝着所述喷嘴的开口移动，喷出所述液滴的B步。

[0018]

采用本发明的喷出控制方法后，因为能够使弯月面的边缘再现性良好地移动到弯月面限制部涉及的喷嘴内的深度(A步)后喷出液滴，所以喷出特性的稳定性优异。

附图说明

图1是表示液滴喷出装置的主要部位结构的立体图。

图2是表示液滴喷出装置的主要部位结构的剖面图。

图3是表示液滴喷出装置的电气结构的图形。

图4是表示喷嘴板的制造过程的剖面图。

图5是表示驱动信号的时刻和喷嘴内的弯月面的动态的关系的图形。

图6是表示变形例涉及的喷嘴板的制造过程的剖面图。

图7是表示第2实施方式涉及的驱动信号的时刻和喷嘴内的弯月面的动态的关系的图形。

具体实施方式

[0019]

下面，参照附图，讲述本发明的适当的实施方式。

此外，以下讲述的实施方式，由于是本发明的适当的具体例子，所以虽然在技术上给予各种理想的限定，但是本发明的范围，在以下的讲述中，除了特别限定本发明的记述以外，不局限于这些方式。另外，在以下讲述中参照的图纸，为了便于图示，有些部件乃至局部的纵横比例，与实际的尺寸不同。

[0020]

(第1实施方式)

(液滴喷出装置)

首先，参照图1、图2、图3，讲述液滴喷出装置的结构。

图1是表示液滴喷出装置的主要部位结构的立体图。图2是表示液滴喷出装置的主要部位结构的剖面图。图3是表示液滴喷出装置的电气结构的图形。

[0021]

如图1所示，液滴喷出装置200，具备直线性设置的一对导轨201，和在导轨201的内部设置的气动滑板和线形电动机(未图示)的作用下向主扫描方向移动的主扫描移动台203。另外，还具备在导轨201的上方与导轨201正交地直线性设置的一对导轨202，和在导轨202的内部设置的气动滑板和线形电动机(未图示)的作用下向副扫描方向移动的副扫描移动台204。

[0022]

在主扫描移动台203上，设置着载物台205，以便放置成为喷出对象物的基板P。载物台205采用能够吸附固定基板P的结构，另外还能够利用旋转机构207，使基板P内的基准轴准确地与主扫描方向、副扫描方向吻合。

[0023]

副扫描移动台204，具备通过旋转机构208做媒介，垂挂式安装的托架209。另外，托架209具备将液态体的喷出面10a朝着基板P的一侧的头组件10，向头组件10供给液态体的液态体供给机构(未图示)，和旨在对头组件10进行电气控制的控制电路基板211(参照图3)。

[0024]

头组件10，将图2所示的液滴喷出头11多个组合后构成。液滴喷出头11在一个面上成为规定的排列，层叠形成喷嘴20的喷嘴板12、形成成为与喷嘴20连通的流道的槽的流道板13、可挠性膜14、具有部分分离的岛部15a的顶盖板15后构成。这些板中的某几个，可以成为一体化。

[0025]

本实施方式的喷嘴板12，具有形成与喷嘴20对应的贯通孔的基体板26，和在基体板26的表面的形成的表面层27。另外，流道板13可以使用硅基板，可挠性膜14可以使用树脂薄膜，顶盖板15可以使用USU板。

[0026]

头组件10，具备作为分别与各喷嘴20连通的液腔的空腔17，和作为多个空腔17共同的液态体存储腔的贮存器18。然后，通过未图示的流道，被供给贮存器18的液态体L，由贮存器18供给各空腔17及喷嘴20。在被供给液态体L的喷嘴20内，形成弯曲的弯月面25。

[0027]

喷嘴20，包含与开口面24(喷出面)相接的第1部和与液腔相接的第2部，例如作为第1部，具有从喷嘴开口21起，直线形成的直线部22；作为第2部，具有在直线部22之后锥状形成的锥部23。在本实施方式中，直线部的内径为10μm，其长度为20μm，另外锥部23的扩大的角度为45度。在直线部22的内壁，设置着凹部30，该凹部30成为在不具有表面层27的区域形成的弯月面限制部。本实施方式的凹部30，在到喷嘴开口21为10μm的深度中，沿着直线部22的内周方向，轮状形成。另外，其深度(相当于表面层27的厚度)为1μm。

[0028]

在形成喷嘴开口21的开口面24上，形成斥液膜(未图示)。作为斥液膜，例如可以使用使以被开口面24组织化的状态结合氟代烷基硅烷(fluoroalkylsilane)等具有斥液性的官能团的化合物分子的膜(自我组织化膜)及氟素树脂共析(共晶)的镀敷(メツキ)等。该斥液膜，起着防止开口面24上附着的液态体在开口21的周围散开而不能形成正常的弯月面25的作用。

[0029]

在空腔17的顶盖部中，作为弯月面移动单元压电元件16的一端，与通过可挠性膜14做媒介可动式地配置的岛部15a接合。这样，通过驱动压电元件16，控制空腔17内的容积及液压，从而能够控制弯月面25的动态(形状及位置)。此外，利用施加给压电元件16的电极(未图示)的电信号(以下称作“驱动信号”)，驱动压电元件16。

[0030]

在图3中，液滴喷出装置200，具备对整个装置进行统一控制的控制计算机210，和作为对液滴喷出头11进行电气性控制的喷出控制单元的控制电路基板211。控制电路基板211，通过柔软的电缆212做媒介，与液滴喷出头11各电连接。另外，液滴喷出头11与各喷嘴20(参照图2)设置的压电元件16对应，具备移位寄存器(SL)50、门闩电路(LAT)51、电平移位器(LS)52、开关(SW)53。

[0031]

控制计算机210将表示基板P(参照图12)上的液滴的配置的位映射形式的描绘图案数据传输给控制电路基板211后，控制电路基板211就将描绘图案数据译码，生成各喷嘴20的ON/OFF(喷出/非喷出)信息——喷嘴数据。然后，将喷嘴数据串行信号(SI)化，与时钟脉冲信号(CK)同步，传输给各移位寄存器50。

[0032]

输给各移位寄存器50的喷嘴数据，在门闩信号(LAT)输入门闩电路51的时刻被锁住，进而被电平移位器52变换成开关53用的栅极信号。就是说，在喷嘴数据为“ON”时，开关53打开，驱动信号(COM)被供给压电元件16；在喷嘴数据为“OFF”时，开关53闭合，驱动信号(COM)不能够供给压电元件16。然后，在与“ON”对应的喷嘴20中，对与驱动信号(COM)对应的弯月面25(参照图2)进行控制(以下称作“喷出控制”)，液态体L(参照图2)被液滴化后喷出。

[0033]

在以上的结构中，头组件10，在扫描方向和喷嘴20的排列方向的关系，被旋转机构208正确地规定的基础上，还对于基板P而言朝着主扫描方向及副扫描方向相对性地移动(扫描)。另外，在与头组件10的扫描同步的适当的时刻，从液滴喷出头11的喷嘴20中喷出液滴。这样，可以用微小量单位，在基板P上的所需位置，配置液态体。此外，在液态体中，可以按照用途，采用水及有机溶剂等液体，以及使各种功能性材料(金属、半导体、颜色材料、有机EL材料等)分散乃至溶解到它们中的物质。

[0034]

(喷嘴板的制造方法)

下面，参照图4，讲述喷嘴板的制造方法。

图4是表示喷嘴板的制造过程的剖面图。

[0035]

首先，如图4(a)所示，在成为喷嘴板12的基础的基体板26上，形成成为喷嘴20的贯通孔。具体地说，对于金属(SUS等)制的基体板26，能够采用使用冲孔机的机械加工技术形成；而对于硅基板的基体板，则能够采用已知的半导体加工技术形成；或者对于树脂制的基体板，则能够采用激光加工技术形成。

[0036]

接着，如图4(b)所示，将抗蚀剂膜31粘贴到喷嘴板12的锥面28的一侧，给予适当的温度和压力后，将抗蚀剂膜31压入喷嘴20内的规定的深度为止。然后，在基体板26的露出面，形成表面层27后，再除去抗蚀剂膜31。表面层27，例如能够使用镀敷法及溅射法等形成，其原料能够广泛使用金属及半导体或它们的氧化物等。

[0037]

再接着，如图4(c)所示，将抗蚀剂膜31粘贴到喷嘴板12的开口面24的一侧，给予适当的温度和压力后，将抗蚀剂膜31压入喷嘴20内的规定的深度为止。这时，抗蚀剂膜31的端面31a，被压入比上道工序中形成的表面层27的端部27a稍深的位置为止。

[0038]

最后，如图4(d)所示，在基体板26的露出面，形成表面层27，除去抗蚀剂膜31。这样，就在喷嘴20内，作为没有形成表面层27的区域，形成凹部30。然后，采用上文讲述的那种方法，在开口面24上形成斥液膜，完成喷嘴板12的制造。

[0039]

此外，反复进行上述那种抗蚀剂膜31的挤压量的管理，和表面层27的选择性的形成及腐蚀后，就能够在互不相同的深度形成多个凹部30。另外，作为形成凹部30的其它的方法，还可以考虑对浸入镀敷液的深度进行精确管理的镀敷法等。

[0040]

(喷出控制方法)

接着参照图5，讲述液滴喷出头的喷出控制方法。

图5是表示驱动信号的时刻和喷嘴内的弯月面的动态的关系的图形。

[0041]

图5所示的驱动信号(COM)，包含由多个脉冲构成的脉冲组PS，将一个脉冲组PS供给压电元件16(参照图2)后，就喷出一个液滴。驱动信号(COM)的电位和压电元件16的变位量，大致为线性关系，在本实施方式的液滴喷出头11(参照图2)中，电位上升则空腔17(参照图2)就被减压；电位下降则空腔17就被加压。

[0042]

脉冲组PS，具有使电位上升的充电脉冲p1、使电位下降的放电脉冲p3、p5、与它们连接的等电位的水平脉冲p2、p4。在施加脉冲组PS前的时刻，喷嘴20内的弯月面25，位于比喷嘴开口21稍深的位置(以下将该位置称作“通常位置”)。

[0043]

施加充电脉冲p1，使空腔17减压后，弯月面25被从通常位置拉向喷嘴20的内方(锥部23(参照图2)一侧的方向)(A步)。以下，将这时的弯月面25的位置，称作“预备喷出位置”。

[0044]

经过水平脉冲p2后，施加陡峭的放电脉冲p3，使空腔17加压后，弯月面25被朝着喷嘴开口21推出，弯月面25的中央部25b从喷嘴开口21向外方突出(B步)。突出的弯月面25的中央部25b，不久便在其势头的作用下，与喷嘴20内的液态体L断开，被作为液滴喷出。

[0045]

放电脉冲p5，起着使放电脉冲p3(水平脉冲p4)的终端的电位返回脉冲组PS的始点的电位的作用。另外，放电脉冲p5，还应该起着使充电脉冲p1及放电脉冲p3引起的空腔17及喷嘴20内的压力振动(残余振动)尽快衰减的作用，被设计成在抵消残余振动的时刻施加。

[0046]

在上述的喷出控制中，施加充电脉冲p1后的弯月面25的位置、即预备喷出位置，是与喷出的液滴的量(喷出量)密切相关的要素。例如：预备喷出位置靠近喷嘴20的内方后，喷出量就相对减少；预备喷出位置靠近喷嘴开口21后，喷出量就相对增加。就是说，使预备喷出位置稳定化，成为进行稳定的喷出控制的重要事项。

[0047]

本实施方式涉及的喷嘴20内的凹部30，就是鉴于这种情况设置的，起着在弯月面25被拉入之际，在该位置(深度)中限制弯月面25的边缘25a的移动，从而使预备喷出位置稳定化的作用。最好适当地设计充电脉冲p1的大小，以便在对这种液滴喷出头11进行喷出控制之际，使施加充电脉冲p1后的弯月面25的边缘25a成为凹部30的形成位置(深度)。另外，在本实施方式中，沿着喷嘴20的内周方向轮状地设置凹部30后，可以等方向地限制弯月面25的边缘25a的移动，不会给弯月面25的形状带来不良影响。

[0048]

(变形例)

接着，参照图6，以和刚才的实施方式的不同之处为中心，讲述变形例。

图6是表示变形例涉及的喷嘴板的制造过程的剖面图。

[0049]

如图6(d)所示，该变形例涉及的喷嘴板12的喷嘴20，具备作为局部形成的表面层27的凸部33。该凸部33，和刚才的实施方式中的凹部30(参照图5)同样，在喷出控制的过程中，起着限制弯月面的边缘的移动的作用，成为本发明的弯月面限制部。具有这种凸部33的喷嘴板12，可以采用以下讲述的方法制造。

[0050]

首先，如图6(a)所示，将抗蚀剂膜31粘贴到形成喷嘴20的喷嘴板12(基体板26)的锥面28的一侧，给予适当的温度和压力后，将抗蚀剂膜31压入喷嘴20内的规定的深度为止。然后，在基体板26的露出面，形成表面层27后，再除去抗蚀剂膜31。

[0051]

接着，如图6(b)所示，再次将抗蚀剂膜31粘贴到喷嘴板12的锥面28的一侧，给予适当的温度和压力后，将抗蚀剂膜31压入喷嘴20内的规定的深度为止。这时，抗蚀剂膜31的端面31a，被压入覆盖上道工序中形成的表面层27的端部27a的位置为止。

[0052]

再接着，如图6(c)所示，通过腐蚀除去表面层27的露出部分，除去抗蚀剂膜31。进而，在开口面24上形成斥液膜，完成图6(d)所示喷嘴板12的制造。

[0053]

此外，作为上述工序的应用，可以取代表面层27，形成氟代烷基硅烷(fluoroalkylsilane)等自我组织化膜，取代腐蚀，进行采用Ar等离子体照射等的表面活性化处理后，将相当于凸部33的区域斥液化，将接受Ar等离子体照射的区域亲液化。在形成这种斥液化区域(斥液膜)的喷嘴20中，弯月面被拉入之际，弯月面的边缘的移动，就被斥液化区域/亲斥液化区域的交界限制，就是说，利用这种斥液化区域，也能构成本发明的弯月面限制部。

[0054]

综上所述，本发明中的弯月面限制部的结构、形状等，只要能够在喷嘴内壁中限制弯月面的边缘的移动就行，没有特别的限定。例如：可以将刚才的实施方式中的凹部30(参照图5)，变更成断面为V字形的形状，或者将凸部33作成断面为楔形的形状。该弯月面限制部，最好是没有接缝的轮状的结构体。如果是这种形状，就能够与弯月面的边缘均匀地接触，所以能够使弯月面的移动稳定。

[0055]

(第2实施方式)

(液滴喷出装置)

接着，参照图7，以和第1实施方式的不同之处为中心，讲述第2实施方式。

图7是表示第2实施方式涉及的驱动信号的时刻和喷嘴内的弯月面的动态的关系的图形。

[0056]

如图7所示，第2实施方式涉及的喷嘴20，具有在互不相同的深度形成的作为第1弯月面限制部的第1凹部41和作为第2弯月面限制部的第2凹部42。另外，在该第2实施方式中，准备着包含脉冲组PS1的第1控制模式的驱动信号(COM1)和包含脉冲组PS2的第2控制模式的驱动信号(COM2)，能够选择某一个模式后使用。脉冲组PS1包含充电脉冲p11和放电脉冲p13，脉冲组PS2包含充电脉冲p21和放电脉冲p23。

[0057]

在第1控制模式中，施加充电脉冲p11后，弯月面25被从通常位置拉向喷嘴20的内方(A1步)。这时的弯月面25的边缘25a的位置(深度)，成为形成第1凹部41的位置(深度)，接着施加放电脉冲p13后，就喷出液滴弯(B1步)。

[0058]

在第2控制模式中，施加充电脉冲p21后，弯月面25被从通常位置拉向喷嘴20的内方(A2步)。充电脉冲p21比第1控制模式涉及的充电脉冲p11大得多，这时的弯月面25的边缘25a，超过第1凹部41的位置(深度)，被拉到更深处，其移动被用第2凹部42的位置限制。接着施加放电脉冲p23后，就喷出液滴弯(B2步)。

[0059]

在两模式中，比较喷出量时，反映弯月面25的预备喷出位置的不同，第2控制模式涉及的喷出量，小于第1控制模式涉及的喷出量。这样，在喷嘴内的不同深度设置弯月面限制部的第2实施方式，可以在利用预备喷出位置的稳定化，控制稳定性高的喷出控制的同时，还能够按照模式使喷出量变化。

[0060]

此外，向压电元件16(参照图3)供给第1控制模式涉及的驱动信号(COM1)、第2控制模式涉及的驱动信号(COM2)，能够以喷出周期单位进行切换。另外，还可以在一个驱动信号内，配置第1控制模式涉及的脉冲组PS1和第2控制模式涉及的脉冲组PS2，二者择一地选择各自的脉冲组，从而时间分割地进行喷出量的切换。

[0061]

本发明并不局限于上述实施方式。实施方式的各构成，可以将它们适当地组合，或者省略，或者与未图示的其它构成组合。

Claims (9)

1.一种液滴喷出头，具备：

喷嘴，该喷嘴被供给液态体；

弯月面移动单元，该弯月面移动单元用于使所述液态体的弯月面在所述喷嘴内移动；以及

弯月面限制部，该弯月面限制部设置在该喷嘴的内壁，位于自所述喷嘴的开口起的规定距离的深度，用于将所述喷嘴内的所述弯月面的边缘的移动限制在该深度中。

2.如权利要求1所述的液滴喷出头，其特征在于：所述弯月面限制部，沿着所述喷嘴的内周方向设置。

3.如权利要求1或2所述的液滴喷出头，其特征在于：所述弯月面限制部，具有在所述喷嘴的内壁形成的凹部或凸部。

4.如权利要求1或2所述的液滴喷出头，其特征在于：所述弯月面限制部，具有在所述喷嘴的内壁形成的斥液化区域。

5.如权利要求1～3任一项所述的液滴喷出头，其特征在于，具备：第1所述弯月面限制部；和

第2所述弯月面限制部，该第2所述弯月面限制部设置在与第1所述弯月面限制部不同的深度。

6.一种液滴喷出头，具有：

在基体上形成的喷出面；

液腔；以及

在所述基体上形成的、连接所述喷出面与所述液腔的贯通孔；

所述贯通孔，包含与所述喷出面相接的第1部和与所述液腔相接的第2部；

在所述第1部的内壁，形成轮状的弯月面限制部，所述弯月面限制部，相对与所述喷出面之间的所述第1部的内壁，是凹或凸。

7.一种液滴喷出装置，其特征在于，具备：

权利要求1～5任一项所述的液滴喷出头、和

喷出控制单元，该喷出控制单元控制所述弯月面移动单元，使液滴从所述喷嘴喷出，

所述喷出控制单元，执行以下步骤：

A步骤，使所述弯月面的边缘朝着所述喷嘴的内方，移动到所述弯月面限制部的深度，和

B步骤，在所述A步骤之后，使所述弯月面朝着所述喷嘴的开口移动，喷出所述液滴。

8.一种液滴喷出装置，其特征在于：具备：

权利要求5所述的液滴喷出头、和

喷出控制单元，该喷出控制单元控制所述弯月面移动单元，使液滴从所述喷嘴喷出，

所述喷出控制单元，具有第1控制模式和第2控制模式，

所述第1控制模式执行以下步骤：

A1步骤，使所述弯月面的边缘朝着所述喷嘴的内方，移动到所述第1弯月面限制部的深度，和

B1步骤，在所述A1步之后，使所述弯月面朝着所述喷嘴的开口移动，喷出所述液滴，

所述第2控制模式执行以下步骤：

A2步骤，使所述弯月面的边缘朝着所述喷嘴的内方，移动到所述第2弯月面限制部的深度，和

B2步骤，在所述A2步之后，使所述弯月面朝着所述喷嘴的开口移动，喷出所述液滴。

9.一种喷出控制方法，其特征在于：在具备：喷嘴，该喷嘴被供给液态体、弯月面移动单元，该弯月面移动单元用于使所述液态体的弯月面移动、以及弯月面限制部，该弯月面限制部设置在该喷嘴的内壁，位于自所述喷嘴的开口起的规定距离的深度，用于将所述喷嘴内的所述弯月面的边缘的移动限制在该深度中的液滴喷出头中，控制所述弯月面移动单元，使液滴从所述喷嘴喷出，

所述喷出控制方法具有：

A步骤，使所述弯月面的边缘朝着所述喷嘴的内方，移动到所述弯月面限制部的深度，和

B步骤，在所述A步骤之后，使所述弯月面朝着所述喷嘴的开口移动，喷出所述液滴。

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