CN101033116A

CN101033116A - 薄化玻璃衬底的设备

Info

Publication number: CN101033116A
Application number: CNA2007100798204A
Authority: CN
Inventors: 李起元; 崔承珠; 成珖柱
Original assignee: Jiwontech Co Ltd
Current assignee: Jiwontech Co Ltd
Priority date: 2006-02-17
Filing date: 2007-02-14
Publication date: 2007-09-12
Also published as: TW200732264A; US20070194145A1; JP2007217276A; KR100732019B1

Abstract

本发明提供一种薄化玻璃衬底的设备，其包含至少一个化学物喷射部件、化学物供应部件以及浴槽。化学物喷射部件包含第一管和包围所述第一管的第二管。第一管具有沿着第一方向设置的多个第一喷射孔。第二管具有沿着第二方向设置在第二管的侧部处的至少一个第二喷射孔。化学物供应部件包含连接管以及压泵。连接管耦合到化学物喷射部件，且压泵设置在连接管的端部处。浴槽包含用于存储化学物的化学物容纳部件以及设置在化学物容纳部件上的围栏。围栏容纳化学物喷射部件。

Description

薄化玻璃衬底的设备

技术领域

本发明的实例性实施例涉及一种薄化玻璃衬底的设备。更具体地说，本发明的实例性实施例涉及一种薄化平板显示装置的玻璃衬底的设备。

背景技术

例如液晶显示(liquid crystal display，LCD)装置、等离子显示面板(plasma display panel，PDP)装置、电致发光显示(electroluminescentdisplay，ELD)装置和真空荧光显示(vacuum fluorescent display，VFD)装置的平板显示装置通常包含氧化硅玻璃衬底。由于平板显示装置的整体重量是由玻璃衬底的重量确定的，因而不断减小玻璃衬底的重量以便获得具有较轻重量的平板显示装置。

一般来说，通过薄化玻璃衬底的厚度来减小用于平板显示装置的玻璃衬底的重量。对于LCD装置中使用的玻璃衬底来说，可将玻璃衬底的厚度从约1.2mm减小到约0.8mm。近来，LCD装置的玻璃衬底具有低于约0.6mm的超薄厚度。

在薄化玻璃衬底的过程中，经处理的玻璃衬底应具有较薄且均匀的厚度，因为当经处理的玻璃衬底具有不规则表面时，包含所述经处理的玻璃衬底的平板显示装置可能具有较差的显示质量。

在薄化玻璃衬底的一个常规方法中，将玻璃衬底浸渍到存储在浴槽中的化学物中，且接着由所述化学物蚀刻玻璃衬底。然而，因为在将玻璃衬底浸渍在化学物中时玻璃衬底遭到蚀刻，所以玻璃衬底可能不具有所需的均匀厚度。

根据薄化玻璃衬底的另一常规方法，在浴槽的底面上提供起泡器或喷射嘴，且接着使化学物起泡或朝向垂直设置在浴槽中的玻璃衬底喷射。玻璃衬底可能具有均匀的厚度，然而，由化学物与玻璃衬底之间的反应产生的反应副产物会频繁地附着到玻璃衬底上。当反应副产物附着到玻璃衬底上时，会引起玻璃衬底的失效，且包含此类玻璃衬底的平板显示装置会具有劣化的特征，例如较差的显示质量、低可靠性、减少的使用寿命等。

发明内容

本发明的实例性实施例提供一种薄化玻璃衬底的设备，其能够获得具有理想的均匀且较薄厚度的玻璃衬底，且同时防止反应副产物附着到玻璃衬底上。

根据本发明的一个方面，提供一种薄化玻璃衬底的设备，其包含至少一个化学物喷射部件(chemical spray member)、化学物供应部件(chemicalsupply member)以及浴槽(bath)。所述化学物喷射部件包含第一管和包围所述第一管的第二管。所述第一管具有沿着第一方向设置的多个第一喷射孔(spray hole)。所述第二管具有沿着第二方向设置在第二管的侧部处的至少一个第二喷射孔。所述化学物供应部件包含连接管(connectiontube)和压泵(press pump)。所述连接管耦合到所述化学物喷射部件，且所述压泵设置在连接管的端部处。所述浴槽包含用于存储化学物的化学物容纳部件(chemical receiving member)以及设置在所述化学物容纳部件上的围栏(fence)。所述围栏容纳所述化学物喷射部件。使用压泵将化学物均匀地喷射在设置在所述围栏中的至少一个玻璃衬底的整个表面上，以在薄化玻璃衬底时移除附着在玻璃衬底上的反应副产物。由化学物容纳部件收集喷射在玻璃衬底上的化学物。

在本发明的实例性实施例中，所述第一方向可实质上平行于所述第一管的纵长方向。另外，所述第一方向可实质上平行于所述第二方向。

在本发明的实例性实施例中，所述第一管可具有实质上圆形的横截面或实质上椭圆形的横截面，且所述第二管可具有多边形横截面。

在本发明的实例性实施例中，所述第一管的外表面可与所述第二管的内表面进行接触。

在本发明的实例性实施例中，连接管可包含具有可变长度的软管(flexible tube)，且所述化学物喷射部件可根据连接管的长度变化，沿着垂直方向和/或水平方向移动。

在本发明的实例性实施例中，所述第二管可包含设置在所述第二管的一个侧部处的一个第二喷射孔，且所述设备可包含设置在所述玻璃衬底的上表面和下表面附近处的两个化学物喷射部件。所述第一管的第一喷射孔可朝向所述第二管的第二喷射孔设置。

在本发明的实例性实施例中，第二管可包含设置在第二管的相对侧部处的两个第二喷射孔，且两个玻璃衬底可分别设置在所述第二喷射孔附近处。第一孔可以预定间隔均匀设置。

在本发明的实例性实施例中，所述化学物可包含例如氟化氢铵(NH₄HF₂)的氟化盐。

根据本发明的另一方面，提供一种薄化玻璃衬底的设备，其包含至少一个空气喷射部件和至少一个化学物供应部件。所述空气喷射部件包含第一管和第二管。所述第一管具有沿着第一方向设置的多个第一喷射孔，且所述第二管具有沿着第二方向通过所述第二管的至少一个侧部设置的至少一个第二喷射孔。所述化学物供应部件设置在玻璃衬底的侧面附近处。从化学物供应部件提供的化学物向下流动到玻璃衬底的上表面和下表面上，且将空气从空气喷射部件提供到玻璃衬底的上表面和下表面上，以便在薄化玻璃衬底时从玻璃衬底处移除反应副产物。

在本发明的实例性实施例中，所述空气喷射部件可相对于玻璃衬底沿着垂直方向移动。

在本发明的实例性实施例中，所述空气喷射部件可相对于化学物供应部件垂直设置。

在本发明的实例性实施例中，可将两个空气喷射部件提供在玻璃衬底的上表面和下表面附近处。这里，可将两个化学物供应部件提供在玻璃衬底的一个侧面附近处。

根据本发明，通过使用所述薄化玻璃衬底的设备可在薄化玻璃衬底时从玻璃衬底处移除反应副产物。因此，通过防止反应副产物附着到玻璃衬底上，玻璃衬底可理想地具有均匀且较薄的厚度。因此，可在例如LCD装置、PDP装置、ELD装置、VFD装置等的平板显示装置中良好地使用所述玻璃衬底。

附图说明

在结合附图来考虑时通过参考以下详细描述，将易于了解本发明的上述和其它特征和优点，在附图中：

图1是说明根据本发明的实例性实施例的薄化玻璃衬底的设备的透视图。

图2是说明图1中的所述薄化玻璃衬底的设备的化学物喷射部件的横截面图。

图3是说明图2中的化学物喷射部件的第一管的放大透视图。

图4是说明根据本发明的实例性实施例的薄化玻璃衬底的设备的化学物喷射部件的横截面图。

图5是说明根据本发明的实例性实施例的薄化玻璃衬底的设备的横截面图。

具体实施方式

下文将参考附图来详细描述本发明。

图1是说明根据本发明的实例性实施例的薄化玻璃衬底的设备的透视图。图2是说明图1中的薄化玻璃衬底的设备的化学物喷射部件的横截面图。图3是说明图2中的化学物喷射部件的第一管的放大透视图。

参看图1和图2，薄化玻璃衬底的设备包含化学物喷射部件10。所述化学物喷射部件10包含第一管100和第二管110。

参看图2和图3，化学物喷射部件10的第一管100包含多个第一喷射孔100a，且化学物喷射部件10的第二管110包含至少一个第二喷射孔110a。

第一管100安装在第二管110中。因此，第一管100可对应于内部管，而第二管可对应于包围所述内部管的外部管。在某些实例性实施例中，第一管100可具有圆形横截面、椭圆形横截面或任何其它合适的横截面。第二管110可具有例如六边形横截面的多边形横截面。第一管100的外圆周面可与第二管110的内表面进行接触。举例来说，两个接触点可设置在第一管100的外圆周面与第二管110的内表面之间。

化学物喷射部件10可具有根据玻璃衬底40的状态和/或薄化玻璃衬底的设备的尺寸而变化的长度。在实例性实施例中，化学物喷射部件10可在薄化玻璃衬底40时具有与玻璃衬底40的长度实质上相同的长度。当化学物喷射部件10的长度短于玻璃衬底40的长度时，不能将化学物均匀地喷射到玻璃衬底40的整个表面上。当化学物喷射部件10的长度长于玻璃衬底40的长度时，可降低薄化玻璃衬底的设备的效率。

在本发明的某些实例性实施例中，第一管100的第一喷射孔100a沿着第一方向设置。第一方向可实质上平行于第一管100的纵长方向。两个第二喷射孔110a设置在第二管110的相应侧部处。第二喷射孔110a可沿着实质上平行于第一方向的第二方向延伸。也就是说，第二喷射孔110a可具有延伸通过第二管110的相对侧部的直线形状。第二管110的第二喷射孔110a可经定位以便将化学物垂直地喷射到玻璃衬底40上。当通过第二管110的两个侧部形成第二喷射孔110a时，可以预定间隔来均匀设置第一喷射孔100a。

在本发明的某些实例性实施例中，由于化学物喷射部件10的特定配置，可将化学物均匀地提供到玻璃衬底40的整个表面上。具体地说，由于包含多个第一喷射孔100a的第一管100设置在第二管110中，且第二管110包含具有直线形状的第二喷射孔110a，因而在薄化玻璃衬底40时可将化学物均匀地喷射到玻璃衬底40的整个表面上。

参看图4，化学物喷射部件10′包含具有多个第一喷射孔100a′的第一管100′以及具有一个第二喷射孔110a′的第二管110′。

第一管100′设置在第二管110′中。第一和第二管100′和110′可具有实质上与图2所示的第一和第二管100和110的配置相同的配置。

第二喷射孔110a′可设置在第二管110′的一个侧部处。第二喷射孔110a′可面向玻璃衬底。第一喷射孔100a′也可形成在第一管100′的一个侧部处。第一管100′的第一喷射孔100a′可朝向第二管110′的第二喷射孔110a′设置。举例来说，第一喷射孔100a′可以预定间隔均匀地定位在第一管100′的一个侧部处。在某些实例性实施例中，薄化玻璃衬底的设备可包含多个化学物喷射部件。这里，化学物喷射部件中的第二管的第二喷射孔中的每一者可朝向玻璃衬底的整个表面定位。

在本发明的某些实例性实施例中，如图2所示，当从化学物喷射部件的两个侧部提供化学物时，可将两个玻璃衬底设置在一个化学物喷射部件的两个侧部附近处。

在本发明的某些实例性实施例中，如图4所示，当分别从化学物喷射部件的每一侧部喷射化学物时，可将两个化学物喷射部件设置在玻璃衬底的上表面和下表面附近处。

现参看图1，薄化玻璃衬底的设备进一步包含化学物供应部件20。化学物供应部件20包含连接管210和压泵200。

连接管210耦合到化学物喷射部件10，且压泵200连接到连接管210的端部。在某些实例性实施例中，连接管210可包含具有可变长度的软管。也就是说，可根据化学物喷射管10的移动来适当调节连接管210的长度。举例来说，当在用于薄化玻璃衬底40的过程中沿着垂直方向或水平方向移动化学物喷射部件10时，可增加或减小连接管210的长度。也就是说，可根据连接管210的长度变化来上下或左右移动化学物喷射部件10。

化学物供应部件20的压泵200向化学物加压，且接着通过连接管210将经加压的化学物提供到化学物喷射部件10中。当将经加压的化学物提供到玻璃衬底40的整个表面上时，可有效地进行用于薄化玻璃衬底40的过程。

薄化玻璃衬底的设备可包含用于在垂直方向和/或水平方向上移动玻璃衬底40的转移部件(未图示)。也就是说，在薄化玻璃衬底40时，可由转移部件上下和/或左右移动玻璃衬底40。

在本发明的某些实例性实施例中，当将至少一个玻璃衬底40固定在至少一个化学物喷射部件10附近时，所述化学物喷射部件10可相对于所述玻璃衬底40在垂直方向和/或水平方向上移动。或者，在将至少一个化学物喷射部件10固定在至少一个玻璃衬底40附近时，所述玻璃衬底40可相对于所述化学物喷射部件10沿着垂直方向和/或水平方向移动。

如图1所示，薄化玻璃衬底的设备另外包含具有化学物容纳部件300和围栏310的浴槽30。

所述化学物容纳部件300耦合到化学物供应部件20。可通过化学物供应部件20将存储在化学物容纳部件300中的化学物提供到化学物喷射部件10中。围栏310设置在化学物容纳部件300的外围部分上。化学物喷射部件10安装在围栏310中。

在薄化玻璃衬底40的过程中，化学物喷射部件10可通过化学物供应部件20的连接管210向位于浴槽30的围栏310中的玻璃衬底40的整个表面均匀地提供由压泵200加压的化学物。因此，玻璃衬底40可具有较薄且均匀的厚度，且同时有效地从玻璃衬底40移除反应副产物。

在本发明的某些实例性实施例中，在将化学物喷射到玻璃衬底40上之后，可将提供在玻璃衬底40上的化学物收集在浴槽30的化学物容纳部件300中。因此，可在用于薄化玻璃衬底40的过程中很大程度上减少了化学物的量。当经收集的化学物中包含反应副产物时，薄化玻璃衬底的设备可包含用于净化经收集的化学物的过滤器部件(未图示)。所述过滤器部件可安装在浴槽30与化学物供应部件20之间，或安装在化学物供应部件20与化学物喷射部件10之间。

当化学物存储在围栏310中时，可执行用于薄化玻璃衬底40的过程。也就是说，可将玻璃衬底40浸渍在由围栏310容纳的化学物中，且接着可另外通过化学物喷射部件10将化学物喷射到玻璃衬底40的整个表面上。当在将玻璃衬底40浸渍在存储在围栏310中的化学物中的同时执行薄化玻璃衬底40的过程时，因为围栏310中的化学物可向玻璃衬底40提供浮力，所以可更稳定地处理玻璃衬底40。

在本发明的某些实例性实施例中，化学物可包含例如氟化氢铵(NH₄HF₂)的氟化盐。当化学物包含氟化盐时，可有利地减少所收集的化学物中沉淀物的量。

参看图5，薄化玻璃衬底的设备包含至少一个空气喷射部件60。空气喷射部件60可具有与图2所示的化学物喷射部件10或与图4所示的化学物喷射部件10′的配置实质上相同的配置。空气喷射部件60可将空气而不是化学物喷射到玻璃衬底40上。

空气喷射部件40包含具有多个第一喷射孔的第一管以及具有至少一个第二喷射孔的第二管。第一喷射孔可沿着实质上平行于第一管的纵长方向的方向延伸。第二喷射孔可设置在第二管的侧部处。如上所述，第二喷射孔可具有直线形状。

在本发明的某些实例性实施例中，薄化玻璃衬底的设备除空气喷射部件60之外进一步包含至少一个化学物供应部件70。举例来说，两个化学物供应部件70可设置在玻璃衬底40的上表面和下表面附近处。从化学物供应部件70提供的化学物可向下流动到玻璃衬底40的上表面和下表面上。

在本发明的某些实例性实施例中，两个空气喷射部件60可分别相对于两个化学物供应部件70垂直设置。举例来说，空气喷射部件60可相对于玻璃衬底40的上表面和下表面垂直定位，而化学物供应部件70可相对于玻璃衬底40的一个侧面垂直设置。

在本发明的一个实例性实施例中，空气喷射部件60可相对于玻璃衬底40沿着垂直方向移动，如图5所示。或者，空气喷射部件60可相对于玻璃衬底40沿着水平方向移动。也就是说，在薄化玻璃衬底40时，空气喷射部件60可相对于玻璃衬底40上下或左右移动。这里，在移动空气喷射部件60时，可将玻璃衬底40固定住。

在本发明的另一实例性实施例中，在固定住空气喷射部件60时，玻璃衬底40可相对于空气喷射部件60沿着垂直方向或水平方向移动。

在本发明的又一实例性实施例中，在薄化玻璃衬底40时，玻璃衬底40和空气喷射部件60可相对于彼此移动。

当将化学物从至少一个化学物供应部件70提供到玻璃衬底40上且将空气从至少一个空气喷射部件60喷射到玻璃衬底40上时，玻璃衬底40可具有均匀且较薄的厚度，且同时有效地从玻璃衬底40处移除反应副产物。

在本发明的某些实例性实施例中，所述空气喷射部件60可向玻璃衬底40提供化学物而不是空气。

如上所述，化学物可包含例如氟化氢铵(NH₄HF₂)的氟化盐，以使得可有利地减少所收集的化学物中沉淀物的量。

根据本发明，一种薄化玻璃衬底的设备可提供具有理想的较薄且均匀厚度的玻璃衬底。另外，当可由化学物与玻璃衬底之间的反应产生反应副产物时，反应副产物不会在用于薄化玻璃衬底的过程中附着到玻璃衬底上。因此，可有效防止由反应副产物引起的玻璃衬底的失效。此外，具有较薄且均匀厚度的玻璃衬底可有利地用于平板显示装置，以便确保平板显示装置的高质量。

前述是对本发明的说明，且不应理解为对其进行限制。尽管已描述本发明的数个实例性实施例，但所属领域的技术人员将易于了解，在不显著脱离本发明的新颖教示和优点的情况下，实例性实施例中的许多修改都是可能的。因此，期望所有此类修改都包含在如权利要求书中所界定的本发明范围中。在权利要求书中，期望构件+功能分句涵盖本文中被描述为执行所述功能的结构，且不仅涵盖结构等效物，而且涵盖等效结构。因此，应了解，前述是对本发明的说明，且不应理解为限于所揭示的特定实施例，且期望对所揭示的实施例以及其它实施例的修改包含在所附权利要求书的范围中。本发明由所附权利要求书界定，且其中包含权利要求书的等效物。

Claims

1、一种薄化玻璃衬底的设备，其特征在于包括：

至少一个化学物喷射部件，其包含第一管以及包围所述第一管的第二管，所述第一管具有沿着第一方向设置的多个第一喷射孔，所述第二管具有沿着第二方向设置在所述第二管的侧部处的至少一个第二喷射孔；

化学物供应部件，其包含连接管以及压泵，所述连接管耦合到所述化学物喷射部件，所述压泵设置在所述连接管的端部处；以及

浴槽，其包含用于存储化学物的化学物容纳部件以及设置在所述化学物容纳部件上的围栏，所述围栏容纳所述化学物喷射部件，

其中通过使用所述压泵将所述化学物均匀地喷射在设置在所述围栏中的至少一个玻璃衬底的整个表面上，以在薄化所述玻璃衬底时移除附着在所述玻璃衬底上的反应副产物，且由所述化学物容纳部件收集喷射在所述玻璃衬底上的所述化学物。

2、根据权利要求1所述的设备，其特征在于其中所述第一方向实质上平行于所述第一管的纵长方向，且所述第一方向实质上平行于所述第二方向。

3、根据权利要求1所述的设备，其特征在于其中所述第一管具有实质上圆形的横截面或实质上椭圆形的横截面，且所述第二管具有多边形横截面。

4、根据权利要求1所述的设备，其特征在于其中所述第一管的外表面与所述第二管的内表面进行接触。

5、根据权利要求1所述的设备，其特征在于其中所述连接管包括具有可变长度的软管，且所述化学物喷射部件根据所述连接管的长度变化而沿着垂直方向和/或水平方向移动。

6、根据权利要求1所述的设备，其特征在于其中所述第二管包括设置在所述第二管的一个侧部处的一个第二喷射孔，且所述设备包括设置在所述玻璃衬底的上表面和下表面附近处的两个化学物喷射部件。

7、根据权利要求1所述的设备，其特征在于其中所述第一管的所述第一喷射孔朝向所述第二管的所述第二喷射孔设置。

8、根据权利要求1所述的设备，其特征在于其中所述第二管包括设置在所述第二管的相对侧部处的两个第二喷射孔，且两个玻璃衬底分别设置在所述第二喷射孔附近处。

9、根据权利要求8所述的设备，其特征在于其中所述第一孔以预定间隔均匀地设置。

10、根据权利要求1所述的设备，其特征在于其中所述化学物包括氟化盐。

11、一种薄化玻璃衬底的设备，其特征在于其包括：

至少一个空气喷射部件，其包含第一管以及第二管，所述第一管具有沿着第一方向设置的多个第一喷射孔，所述第二管具有沿着第二方向通过所述第二管的至少一个侧部设置的至少一个第二喷射孔；以及

至少一个化学物供应部件，其设置在玻璃衬底的侧面附近处，

其中从所述化学物供应部件处提供的化学物向下流动到所述玻璃衬底的上表面和下表面上，且将空气从所述空气喷射部件提供到所述玻璃衬底的所述上表面和所述下表面上以在薄化所述玻璃衬底时从所述玻璃衬底移除反应副产物。

12、根据权利要求11所述的设备，其特征在于其中所述空气喷射部件相对于所述玻璃衬底沿着垂直方向移动。

13、根据权利要求11所述的设备，其特征在于其中所述空气喷射部件相对于所述化学物供应部件垂直设置。

14、根据权利要求11所述的设备，其特征在于其中将两个空气喷射部件提供在所述玻璃衬底的所述上表面和所述下表面附近处。

15、根据权利要求14所述的设备，其特征在于其中将两个化学物供应部件提供在所述玻璃衬底的一个侧面附近处。