CN101009996A - 支持单元与具有该支持单元的拾取装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及支持单元与具有该支持单元的拾取装置，依据本发明所提供的支持单元包含：贴附有保护膜的作业物；具有驱动部的主体；设置在所述主体以支持贴附在所述作业物上的所述保护膜的支持部；多级分离器，以用于根据所述驱动部的驱动从所述支持部的板面突出而依次加压所述保护膜，以从所述保护膜分离所述作业物。由此，可以预防作业物受损并可以迅速而稳定地分离及拾取各种作业物。

Description

支持单元与具有该支持单元的拾取装置

技术领域

本发明涉及一种支持单元与具有该支持单元的拾取装置，尤其涉及可以预防作业物受损并迅速而稳定地分离及拾取各种作业物的支持单元和具有该支持单元的拾取装置。

背景技术

通常，拾取装置用于拾取各种零部件而在各工序之间进行传递或分离装载零部件。

作为拾取装置的一种，包含用于将晶片等芯片(Die)贴(Attach)在基片(Substrate)上的芯片焊接机(Die Bonder)的芯片拾取装置。在此，为了防止芯片在搬运或保管过程中发生刮擦等损伤，芯片被塑料(vinyl)等保护膜包住。并且，晶片随着高集成化、高密度化、多功能化等要求，呈现出厚度变得越来越薄而且更加小型化的趋势。

这种拾取装置包含：利用预定的真空压力拾取芯片的芯片传递(DieTransfer)单元；分离器(ejector)，该分离器(ejector)具有支持芯片以通过分离贴附在芯片上的保护膜使芯片处于可以被拾取的状态的支座和设置在支座内部并可以通过升降而突出的一个顶针(pin)。

根据上述结构，在由分离器的支座支持贴附塑料的芯片的状态下，设在支座内部的顶针上升使芯片与塑料的接触面积减少而降低芯片与塑料的附着力。据此，芯片与塑料分离，并由芯片传递单元拾取芯片而移送到基片的预定位置。

但是，因为现有技术通过一个顶针向保护膜施压而从芯片分离塑料，因此可能使非常薄的芯片等受损。并且，由于只有一个顶针，因此难以对各种大小的芯片进行迅速而简单的操作。

发明内容

本发明是为了解决如上所述的问题而提出的，其目的在于提供一种预防作业物受损并迅速而稳定地分离及拾取各种作业物的支持单元和具有该支持单元的拾取装置。

为了实现上述目的依据本发明所提供的支持贴附有保护膜的作业物的支持单元，包含：具有驱动部的主体；设置在所述主体以支持贴附在所述作业物上的所述保护膜的支持部；多级分离器，以用于根据所述驱动部的驱动从所述支持部的板面突出而依次加压所述保护膜，从所述保护膜分离所述作业物。

在此，所述多级分离器最好包含：第一分离器，该第一分离器被容纳在所述主体并可以从所述支持部板面突出；第二分离器，该第二分离器被布置在所述第一分离器的下部并被容纳在所述主体，而且可以从所述第一分离器的板面突出；第三分离器，该第三分离器由所述第一分离器及第二分离器引导升降并可以从所述第一分离器的板面突出。

并且，最好包含被容纳在所述第一分离器的一侧并由所述第一分离器的另一侧支持而从所述支持部的板面突出的多个第一顶针。

并且，最好包含被容纳在所述第一分离器及所述第二分离器并由所述第二分离器支持而比所述第一顶针更加突出的多个第二顶针。

并且，所述第一分离器上贯通而形成容纳所述第一顶针及所述第二顶针并引导其进行升降的第一顶针容纳部及第二顶针容纳部。

并且，所述第一顶针及所述第二顶针的上部截面积均小于下部截面积，从而可以较稳定地进行升降。

并且，所述第一顶针容纳部及第二顶针容纳部分别对应于所述第一顶针及所述第二顶针而使其上部截面积小于下部截面积。

并且，所述第一分离器最好包含：上部罩壳，该上部罩壳被容纳在所述主体内部而进行升降；下部罩壳，该下部罩壳具有用于限制下部罩壳相对于所述主体的升降范围的升降限制单元。

并且，所述升降限制单元最好包含设置在所述下部罩壳及所述主体中的某一个上的卡入部和设置在所述下部罩壳及所述主体中的另一个上并啮合于所述卡入部的啮合部。

并且，所述第二分离器最好包含布置在所述第一分离器的下部并被容纳在所述第一分离器的外部罩壳、被容纳在所述外部罩壳而可以进行升降的内部罩壳、设在所述下部罩壳与所述内部罩壳之间的第一弹性部件。

并且，所述第三分离器最好包含被容纳在第一分离器及第二分离器的中央区域而被引导升降的升降杆、设在所述升降杆与所述内部罩壳之间并朝所述驱动部方向对所述升降杆施加压力的第二弹性部件。

并且，所述主体最好包含支持所述驱动部的基座、一侧设置支持部而另一侧结合于所述基座并容纳所述多级分离器的主体外壳。

并且，所述支持部最好包含贯通而形成的吸附孔，以用于通过预定的真空压力将保护膜吸附到板面。

并且，所述驱动部最好包含：驱动电机；将所述驱动电机的旋转运动变换为直线运动的运动变换单元；结合于所述运动变换单元和所述多级分离器而进行连接的升降传递轴，以用于将直线运动传递到所述多级分离器。

并且，所述运动变换单元最好包含连接于所述驱动电机进行旋转的凸轮、与所述凸轮配合朝加压所述保护膜的方向进行升降的凸轮从动件(Camfollower)。

并且，最好包含控制所述驱动部操作的控制部，以调节所述多级分离器从所述支持部板面突出的高度。

另外，依据本发明所提供的抓持贴附有保护膜的作业物的拾取装置包含具有用于抓持所述作业物的抓持部的移送单元和用于支持所述作业物的保护膜的支持单元。

并且，最好包含控制部，以用于在所述抓持部抓持所述作业物的状态下，对应于所述多级分离器从所述支持部的板面突出的高度而控制所述抓持部进行升降。

附图说明

图1为本发明所提供的拾取装置的正视图；

图2为支持单元主要部分的分解示意图；

图3为支持单元的剖视图；

图4为表示凸轮与凸轮从动件的关系的概略图；

图5为表示拾取装置控制过程的控制框图；

图6至图10为表示作业物的分离及抓持过程的剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图详细说明本发明所提供的支持单元和具有该支持单元的拾取装置的实施例。

本发明提供支持单元20和具有该支持单元20的拾取装置1，本发明所提供的拾取装置1如图1至图3所示，包含具有用于抓持作业物15的抓持部11的移送单元10和支持贴附着保护膜16的作业物15的支持单元20。拾取装置1包含控制部90，该控制部90在抓持部11抓持作业物15的状态下，控制抓持部11使其对应于从支持部35的板面突出的多级分离器40的高度而进行升降。

移送单元10如图1至图6所示，包含用于抓持作业物15的抓持部11和可以使抓持部11升降和移动的移送部93。移送单元10可以包括自动臂等形态。

作业物15具有圆形形状，如图1及图2所示，并可以根据需要采用四角形等形状。作业物15包含贴装在基片上的芯片(Die)，芯片因为非常小和薄，在从保护膜16分离而被抓持的过程中容易受到破损等损伤。因此，作业物15最好阶段性地与保护膜16分离。

保护膜16包含塑料等材质，也可以由各种薄膜构成，以用于保护作业物15的表面，防止作业物15在搬运或保管的过程中因刮擦等受到损伤。保护膜16通过形成在支持部35的吸附孔37的真空压力来支持。从保护膜16分离作业物15的过程中，尤其在作业物15较小的情况下，应该在从保护膜16依次分离作业物15使得保护膜16与作业物15之间的附着力变弱的状态下施加最小的力分离作业物15，由此才能预防作业物15受损。

支持单元20包含：支持保护膜16并具有驱动部80的主体30；设置在主体30以支持贴附在作业物15的保护膜16的支持部35；多级分离器40，以用于通过驱动部80的驱动从支持部35的板面突出而依次加压保护膜16，从而由保护膜16分离作业物15。因此，作业物15依次从保护膜16分离，而且阶段性地消除附着力，因而施加最小的力也能进行相互分离而可以预防分离时的冲击等引起的损伤。

主体30如图2及图3所示，包含：用于支持驱动部80的基座31；用于容纳多级分离器40的主体外壳33，该主体外壳33一侧设有支持部35、另一侧结合于基座31；具有贯通而形成的吸附孔37的支持部35，吸附孔37根据预定的真空压力使保护膜16被吸附在板面上。

基座31如图1所示，一侧结合主体外壳33，另一侧与驱动部80结合，其形状可以为板状或其他各种形状。在此，基座31可以包含与支持部35的吸附孔37相连通的贯通孔(未图示)。

主体外壳33如图2及图3所示，在其一侧设置支持部35，另一侧结合于基座31，并容纳多级分离器40。主体外壳33具有圆形形状，并可以对应于作业物15而具有多种形状，而且在中央部分容纳多级分离器40，并在边沿部分具有支持部35，该支持部35上贯通而形成吸附孔37。

支持部35如图3所示，在主体外壳33的边沿部分具有多个吸附孔37。吸附孔37与基座31相连通，并根据预定的真空压力吸附保护膜16。

多级分离器40如图2所示，被容纳在主体外壳33的中央部分，并根据驱动部80的驱动从支持部35的板面突出而依次加压保护膜16，使作业物15从保护膜16分离。由此，作业物15依次并稳定地从保护膜16分离，从而在作业物15的分离及抓持过程中可以预防作业物15发生破损等现象。

第一分离器50如图2及图3所示，具有被容纳在支持单元20的主体外壳3中并从支持部35的板面突出的第一顶针57。第一分离器50包含被容纳在主体外壳33内部并容纳第一顶针57的上部罩壳51、具有限制第一顶针57相对于主体外壳33的升降范围的升降限制单元53的下部罩壳52。据此，在从支持部35的板面具有预定高度的位置对保护膜16施加压力，以从保护膜16分离作业物15。

上部罩壳51在一个区域贯通而形成容纳第一顶针57的第一顶针容纳部59，在另一区域贯通而形成容纳第二顶针67的第二顶针容纳部69a，在中央区域贯通而形成容纳升降杆71的升降杆通孔66a，这些通孔形成瓣状。

下部罩壳52设置在上部罩壳51的下部，其上部板面用于支持第一顶针57，而且对应于上部罩壳51分别贯通而形成第二顶针容纳部69b和升降杆通孔66b。

在下部罩壳52根据驱动部80的驱动而进行升降的过程中，升降限制单元53用于限制下部罩壳52相对于主体外壳33的升降范围，从而可以限制第一顶针57的突出范围。升降限制单元53具有设置在下部罩壳52的卡入部55和形成在主体外壳33并与卡入部55相啮合的啮合部56，还可以采用与该实施例不同的方式，即可以使卡入部55及啮合部56分别形成在主体外壳33和下部罩壳52。在这里，卡入部55结合在下部罩壳52，而且可以调节其长度。因此，可以限制从支持部35的板面突出的第一分离器50的高度。

第一顶针57如图2及图3所示，被容纳在贯通上部罩壳51的第一顶针容纳部59并由下部罩壳52的上部板面支持，而且设置为多个并根据第一分离器50的升降动作而从支持部35板面突出。第一顶针57的上部截面积小于下部截面积，以使其在升降过程中移动更加稳定。第一顶针57的形状设置为圆形，也可以具有四角形等多种形状。第一顶针57的突出高度可以通过调节下部罩壳52的卡入部55长度而进行调节。在此，第一顶针57的高度、数量、布置位置等是通过考虑保护膜16材质的特性及厚度及作业物15的大小及厚度等而设置的，因此可以迅速地适应各种作业物15。只是，因为第一顶针57的突出高度不高于第二顶针67，因此在上部罩壳51将第一顶针57设在第二顶针67的外侧，以预先防止对保护膜16施加压力时因施加过大压力导致保护膜16或作业物15受损。据此，第一顶针57与第二顶针67和升降杆71一起从支持部35的板面突出到预定高度而对保护膜16加压，使作业物15易于从保护膜16分离。

第一顶针容纳部59贯通而形成在上部罩壳51，以用于容纳第一顶针57并引导其进行升降。第一顶针容纳部59对应第一顶针57的形状，其上部截面积小于下部截面积。

第二分离器60设置在第一分离器50的下部并被容纳在第一分离器50中，而且具有可以从第一分离器50的板面突出的第二顶针67。第二分离器60具有被容纳在下部罩壳52的外部罩壳63、被容纳在外部罩壳63并可以相对于主体外壳33进行升降的内部罩壳61、设在下部罩壳52与内部罩壳61之间的第一弹性部件65。据此，使第二顶针67及升降杆71从支持部35的板面突出，而且其突出高度比第一顶针57的突出高度更高而对保护膜16加压，从而可以使作业物15从保护膜16依次分离。

内部罩壳61被容纳于外部罩壳63，并可以相对于主体外壳33进行升降。内部罩壳61具有通过容纳第二顶针67以引导第二顶针67的升降动作的第二顶针容纳部69c。在内部罩壳61的中央区域贯通而形成升降杆通孔66c，以用于引导第三分离器70的升降杆71进行升降。

外部罩壳63被容纳在下部罩壳52内。外部罩壳63的上部板面支持第二顶针67，其中央区域贯通而形成升降杆通孔66d，以用于引导第三分离器70的升降杆71进行升降。

第一弹性部件65设在下部罩壳52与内部罩壳63之间，以用于限制第二顶针67相对于第一顶针57的突出高度。即，当驱动部80进行驱动使第二分离器60升降而使下部罩壳52被限制升降时，第一顶针57、第二顶针67及升降杆71从支持部35的板面突出到相同高度而对保护膜16施加压力。在此，如果驱动部80进一步进行驱动而使升降传递轴89上升，则外部罩壳63对内部罩壳61施加压力并克服第一弹性部件65的弹性力而再上升与第一弹性部件65的收缩长度相同的高度。据此，第二顶针67可以比第一顶针57更加突出到第一弹性部件65的缩短高度而对保护膜16施加压力。在此，第一弹性部件65的种类、弹性力等可以根据保护膜16和作业物15的厚度、缩短的高度等设置为各种形态，而且第一弹性部件65的弹性力根据第二弹性部件75的弹性力而设定。即，使第一弹性部件65的弹性力比第二弹性部件75的弹性力弱，从而可以在第一弹性部件65被加压之后才使第二弹性部件75受压。

第二顶针67被容纳在分别贯通第一分离器50及内部罩壳61的第二顶针容纳部(69a至69c)并由外部罩壳63的上部板面支持，而且比第一顶针57更加突出。第二顶针67设置为上部截面积小于下部截面积的圆形，也可以具有四角形等多种形状。在此，第二顶针67的高度、数量、布置位置等是通过考虑保护膜16材质的特性、厚度及作业物15的大小与厚度等而设置的，因此可以迅速地适应各种作业物15。只是，由于第二顶针67的突出高度高于第一顶针57，因此在上部罩壳51第二顶针容纳部(69a至69c)形成在第一顶针容纳部59的内侧，以对保护膜16加压时预先防止因施加过大压力导致保护膜16或作业物15受损。据此，第二顶针67对保护膜16施加压力使其远离支持部35的距离比第一顶针57对保护膜16施加压力使其远离支持部35的距离更远，从而使作业物15更易于从保护膜16分离。

第二顶针容纳部(69a至69c)分别贯通而形成在上部罩壳51、下部罩壳52及内部罩壳61的内侧区域，以用于容纳第二顶针67并引导其进行升降。第二顶针容纳部(69a至69c)对应第二顶针67的形状，其上部截面积小于下部截面积。

第三分离器70通过第一分离器50及第二分离器60引导升降，可以从支持部35的板面突出。第三分离器70具有可以在第一分离器50及第二分离器60中央区域进行升降的升降杆71、设在升降杆71与外部罩壳63之间朝驱动部80侧对升降杆71进行弹性加压的第二弹性部件75。

升降杆71被容纳在贯通而形成于第一分离器50、第二分离器60中央区域的升降杆通孔(66a至66d)中而被引导升降，而且比第二顶针67更加突出。在此，升降杆71的突出高度可以通过控制驱动部80的凸轮85形状和驱动电机81的旋转角度来进行调节。升降杆71的上部截面积小于下部截面积，其下端具有支持第二弹性部件75的支持凸起77。

第二弹性部件75由升降杆71的支持凸起77支持，而介于支持凸起77与外部罩壳63之间朝驱动部80侧对升降杆71进行弹性加压。因此，在第三分离器70根据驱动部80的驱动而下降时，可以使升降杆71易于下降。第二弹性部件75通过考虑与第一弹性部件65的弹性力之间的关系而设定。第二弹性部件75与第一弹性部件65相同，包含卷簧或板簧等多种形态。第二弹性部件75的弹性力比第一弹性部件65的弹性力大。因此，在第二顶针67突出之后升降杆71的端部突出，并对保护膜16施加压力使其与支持部35隔离，从而可以很容易地将作业物15从保护膜16分离。

驱动部80如图1及图2所示，包含驱动电机81、将驱动电机81的旋转运动变换为直线运动的运动变换单元83、设在运行变换单元83与多级分离器40之间并通过相互连接将直线运动传递到多级分离器40的升降传递轴89。据此，驱动部80提供驱动力，将旋转运动变换为直线运动而使多级分离器40可以进行升降。

驱动电机81如图1所示，包含由基座31支持并提供驱动力进行旋转运动的电机。驱动电机81包含按预定速度减速而进行旋转的减速器。

运动变换单元83如图1及图4所示，将驱动电机81的旋转运动变换为直线运动，并包含连接于驱动电机81进行旋转的凸轮85和与凸轮85相配合而向加压保护膜16的方向进行升降的凸轮从动件(Cam follower)87。因此，运动变换单元83可以将驱动电机81的旋转运动变换为多级分离器40的升降直线运动。即，如图4所示，当离凸轮85中心最远的部分(参照“B”)位于X方向(未图示)横轴时，旋转驱动电机81而使该部分位于Y方向(未图示)纵轴(参照“B′”)，则凸轮从动件87的位置上升高度“H”。在此，可以根据需要调节凸轮85的形状或驱动电机81的旋转角度，以调节多级分离器40的初始位置和最终升降高度。并且，虽然本实施例中运动变换单元83采用了凸轮85和凸轮从动件87，但还可以采用曲柄和曲轴等公知手段。

升降传递轴89形成为长棒形状，如图1及图2所示，并设在运动变换单元83与多级分离器40之间，通过相互连接而将直线运动传递到多级分离器40。

控制部90如图5所示，控制驱动电机81的驱动，以调节第一顶针57、第二顶针67及升降杆71从支持部35的板面突出的高度。控制部90具有设定输入部91，以用于设定第一顶针57、第二顶针67及升降杆71的最初位置，并设定高度以调节升降杆71的最终突出高度。控制部90可以控制没有图示的真空发生装置的运行，从而在支持部35及抓持部11形成真空。控制部90在移送单元10的抓持部11抓持作业物15的状态下，对应于多级分离器40从支持部35的板面突出的高度状态控制抓持部11上升动作。因此，控制部90可以较简单地调节多级分离器40的初始位置及最终升降高度。

根据上述结构，下面参照图6至图10说明依据本发明所提供的拾取装置1的抓持及支持过程。

首先，向拾取装置1接通电源，如图6所示，控制部90控制移送部93使移送单元10的抓持部11抓持作业物15，并控制真空压力在支持单元20支持部35的吸附孔37中形成预定的真空压力而支持保护膜16。

当驱动电机81进行驱动而使凸轮85旋转时，如图7所示，下部罩壳52的卡入部55被啮合在啮合部56而限制第一分离器50的上升动作。因此，在上部罩壳51的下部支持第一顶针57的下部罩壳52也停止上升，使第一顶针57、第二顶针67及升降杆71从支持部35突出到相同的高度而对保护膜施加压力，使作业物15稍微与保护膜16分离而减少附着面积。此时，控制部90控制抓持部11使其上升到第一顶针57从支持部35突出的高度位置，并可以维持一定的抓持作业物15的抓持压力。

当驱动电机81再进行旋转而使凸轮85进一步旋转时，如图8所示，在下部罩壳52被限制升降的状态下内部罩壳61对第一弹性部件65施加压力。内部罩壳61上升的高度与第一弹性部件65缩短的距离相同。据此，由外部罩壳63的上部支持的第二顶针67和结合于升降传递轴89的升降杆71上升到比第一顶针57更高的位置而进一步对保护膜16施加压力，使保护膜16更远离支持部35。因此，作业物15从保护膜16分离的区域变得更大，使作业物15与保护膜16的附着面积减少。

当驱动电机81再进行旋转而使凸轮85进一步旋转时，如图9所示，升降杆71进一步上升而克服第二弹性部件75的弹性力进一步对保护膜16的中央区域施加压力，则升降杆71比第二顶针67更加突出。因此，作业物15的中央区域进一步从保护膜16脱离，使作业物15与保护膜16的附着面积显著减少而大幅度降低相互附着力。

然后，如图10所示，移送单元10的抓持部11简单地从保护膜16分离与保护膜16之间的附着力显著降低的作业物15，从而可以预防作业物15受损。

虽然上述实施例只说明了由三级式构成的分离器，但本发明并不限定于此，可以包含四级式、五级式等多级分离器。

因此，依据本发明可以简单地从保护膜分离作业物，而且在进行分离时使作业物受到的冲击最小而减少受损。并且，通过调节顶针的数量、高度等，可以简单并迅速地适应各种作业物。

综上所述，依据本发明可以简单地从保护膜分离作业物，并使作业物受到的冲击最小，从而预防产品受损。

并且，可以对应于各种作业物比较迅速并简单地进行分离及抓持动作。

Claims (18)

1、一种支持贴附有保护膜的作业物的支持单元，其特征在于包含：

具有驱动部的主体；

设置在所述主体以支持贴附在所述作业物上的所述保护膜的支持部；

多级分离器，以用于根据所述驱动部的驱动从所述支持部的板面突出而依次加压所述保护膜，以从所述保护膜分离所述作业物。

2、根据权利要求1所述的支持单元，其特征在于所述多级分离器包含：

第一分离器，该第一分离器被容纳在所述主体并可以从所述支持部板面突出；

第二分离器，该第二分离器被布置在所述第一分离器的下部并被容纳在所述主体，而且可以从所述第一分离器的板面突出；

第三分离器，该第三分离器由所述第一分离器及第二分离器引导升降并可以从所述第一分离器的板面突出。

3、根据权利要求2所述的支持单元，其特征在于包含被容纳在所述第一分离器的一侧并由所述第一分离器的另一侧支持而从所述支持部的板面突出的多个第一顶针。

4、根据权利要求3所述的支持单元，其特征在于包含被容纳在所述第一分离器及所述第二分离器并由所述第二分离器支持而比所述第一顶针更加突出的多个第二顶针。

5、根据权利要求4所述的支持单元，其特征在于所述第一分离器上贯通而形成容纳所述第一顶针及所述第二顶针并引导其进行升降的第一顶针容纳部及第二顶针容纳部。

6、根据权利要求5所述的支持单元，其特征在于所述第一顶针及所述第二顶针的上部截面积均小于下部截面积。

7、根据权利要求6所述的支持单元，其特征在于所述第一顶针容纳部及第二顶针容纳部分别对应于所述第一顶针及所述第二顶针而使其上部截面积小于下部截面积。

8、根据权利要求2所述的支持单元，其特征在于所述第一分离器包含：

上部罩壳，该上部罩壳被容纳在所述主体内部而进行升降；

下部罩壳，该下部罩壳具有用于限制下部罩壳相对于所述主体的升降范围的升降限制单元。

9、根据权利要求8所述的支持单元，其特征在于所述升降限制单元包含：

设置在所述下部罩壳及所述主体中的某一个上的卡入部；

设置在所述下部罩壳及所述主体中的另一个上并啮合于所述卡入部的啮合部。

10、根据权利要求8所述的支持单元，其特征在于所述第二分离器包含：

布置在所述第一分离器的下部并被容纳在所述第一分离器的外部罩壳；

被容纳在所述外部罩壳而可以进行升降的内部罩壳；

设在所述下部罩壳与所述内部罩壳之间的第一弹性部件。

11、根据权利要求10所述的支持单元，其特征在于所述第三分离器包含：

被容纳在第一分离器及第二分离器的中央区域而被引导升降的升降杆；

设在所述升降杆与所述内部罩壳之间并朝所述驱动部方向对所述升降杆施加压力的第二弹性部件。

12、根据权利要求1所述的支持单元，其特征在于所述主体包含：

支持所述驱动部的基座；

主体外壳，该主体外壳一侧设置支持部、另一侧结合于所述基座并容纳所述多级分离器。

13、根据权利要求1所述的支持单元，其特征在于所述支持部包含贯通而形成的吸附孔，以用于通过预定的真空压力将所述保护膜吸附到板面。

14、根据权利要求1所述的支持单元，其特征在于所述驱动部包含：

驱动电机；

将所述驱动电机的旋转运动变换为直线运动的运动变换单元；

结合于所述运动变换单元和所述多级分离器而进行连接的升降传递轴，以用于将直线运动传递到所述多级分离器。

15、根据权利要求14所述的支持单元，其特征在于所述运动变换单元包含：

连接于所述驱动电机进行旋转的凸轮；

与所述凸轮配合朝加压所述保护膜的方向进行升降的凸轮从动件。

16、根据权利要求1所述的支持单元，其特征在于包含控制所述驱动部操作的控制部，以调节所述多级分离器从所述支持部板面突出的高度。

17、一种抓持贴附有保护膜的作业物的拾取装置，其特征在于包含：

具有用于抓持所述作业物的抓持部的移送单元；

用于支持所述作业物的保护膜的如权利要求1至4所述的支持单元。

18、根据权利要求17所述的拾取装置，其特征在于包含控制部，以用于在所述抓持部抓持所述作业物的状态下，对应于所述多级分离器从所述支持部的板面突出的高度而控制所述抓持部进行升降。

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