CN100498541C - 带有色要素膜基板的制造方法及带有色要素膜基板 - Google Patents

Abstract

一种带有色要素膜基板的制造方法，包括：在支撑基板(12)上将第1层(13)及具有光硬化性的第2层(14)以该顺序层叠，经过曝光、显影，将第1层(13)及第2层(14)的一部分除去，将其剩余部分作为堤堰(16)的堤堰形成工序、向由堤堰划分出的分区中赋予色要素膜形成用的液状材料的液状材料赋予工序、通过使赋予分区的液状材料硬化或固化而形成色要素膜的色要素膜形成工序，第1层(13)可溶于显影的显影液中，第2层(14)可溶于显影液中，并且与第1层(13)相比向显影液中的溶解速度更慢，利用显影，使第2层(14)的剩余部分的宽度大于第1层(13)的剩余部分的宽度，形成堤堰。

Description

带有色要素膜基板的制造方法及带有色要素膜基板

技术领域

本发明涉及带有色要素膜基板的制造方法、带有色要素膜基板、电光学装置及电子机器。

背景技术

已知有通过使用喷墨装置，向由形成于基材上的堤堰划分出的分区中赋予墨液等液状材料，使其硬化或固化而形成色要素膜的方法。作为色要素膜，例如已知使用喷墨装置形成滤色片基板的过滤元件、矩阵型显示装置中被配置为矩阵状的发光部的方法(例如参照专利文献1。)。

例如，专利文献1中，形成分区的堤堰形成其宽度朝向基材连续地逐渐减少的锥面状，并且相对于液状材料的堤堰的下部的疏液性低于堤堰的上部。这样，在向分区赋予液状材料时，能够使液状材料到达分区的角落，在所得的滤色片基板中，实现对颜色不均或对比度的降低的防止。

如前所述的堤堰被使用光刻法制造。具体来说，在基材上形成1层光刻胶层，在对其进行了略为不足的曝光后，进行显影、后烘烤处理，地多锥面状的堤堰。此后，向由此种堤堰划分出的分区中，赋予液状材料，使其硬化或固化，形成色要素膜。

但是，在专利文献1的此种滤色片基板中，在使用光刻法形成堤堰时，由于需要由1层光刻胶层形成锥面状的堤堰，因此难以进行曝光条件的设定。另外，此种滤色片基板由于堤堰的宽度朝向基材连续地逐渐减少，因此堤堰和基材的接合部的面积窄，在使用光刻法形成堤堰之时，在显影时堤堰容易与基材剥离，从而有使滤色片基板的制造时的材料利用率变差的问题。

[专利文献1]特开2002—62422号公报

发明内容

本发明的目的在于，提供能够高生产效率地并且简单地制造高质量的带有色要素膜基板的带有色要素膜基板的制造方法、带有色要素膜基板、电光学装置及电子机器。

此种目的将由下述的本发明实现。

本发明的带有色要素膜基板的制造方法的特征是，具有：

在基材上层叠第1层及具有光硬化性的第2层，经过曝光、显影，将所述第1层及所述第2层的一部分除去，将所述第1层及所述第2层的剩余部分作为堤堰的堤堰形成工序、

向由所述堤堰划分出的分区中，赋予色要素膜形成用的液状材料的液状材料赋予工序、

通过使赋予所述分区的液状材料硬化或固化，形成色要素膜的色要素膜形成工序，

所述第1层可溶于所述显影的显影液中，所述第2层可溶于所述显影液中，并且与所述第1层相比向所述显影液中的溶解速度更慢，利用所述显影，使所述第2层的剩余部分的宽度大于所述第1层的剩余部分的宽度，形成堤堰。

这样，在堤堰形成工序中，即使不严格地设定曝光条件，也可以简单地形成具有宽度朝向基材逐渐减少的部分的堤堰。更具体来说，在堤堰形成工序中，利用曝光将第2层的一部分设为硬化状态，利用显影将第2层的未硬化部分和第1层的一部分除去。其结果是，第2层的剩余部分从第1层的剩余部分中突出的部分构成后述的本发明的带有色要素膜基板的突出部。

另外，在液状材料赋予工序中，当向由此种堤堰划分出的分区赋予液状材料时，在分区的周缘部，在形成于第2层的剩余部分从第1层的剩余部分中突出的部分(即突出部)、基材之间的微小的空隙中，因毛细管现象，液状材料被拉近而行进至分区的角落。其结果是，可以将所得的带有色要素膜基板制成高质量的产品。

另外，如前所述的堤堰由于宽度朝向基材阶段性地逐渐减少，因此可以使堤堰和基材的接合部的面积比较大。由此，就可以防止在堤堰形成工序的显影时堤堰从基材上剥离的情况。其结果是，可以用高生产效率制造带有色要素膜基板。

本发明的带有色要素膜基板的制造方法中，所述第2层最好含有光刻胶材料。

这样，就可以比较简单地并且可靠地使第2层的剩余部分的宽度大于第1层的剩余部分的宽度。

本发明的带有色要素膜基板的制造方法中，在所述堤堰形成工序中，最好在所述曝光之前，在所述第2层的与所述第1层相反一侧，形成具有光硬化性的第3层。

这样，在堤堰形成工序中，可以利用曝光将第2层及第3层的一部分设为硬化状态，利用显影将第2层及第3层的未硬化部分和第1层的一部分除去，使第2层的剩余部分的宽度大于第1层的剩余部分的宽度。

本发明的带有色要素膜基板的制造方法中，所述第2层最好由所述第1层的构成材料和所述第3层的构成材料的混合物构成。

这样，在堤堰形成工序中，仅通过向基材上依次涂布第1层的构成材料、第3层的构成材料，就可以在基材上形成第1层、第2层及第3层。

本发明的带有色要素膜基板的制造方法中，在所述堤堰形成工序中，最好利用所述曝光，使所述第2层变为硬化状态的部分的宽度大于所述第3层变为硬化状态的部分的宽度。

这样，就可以将所得的堤堰相对于突出部在堤堰的高度方向的上下设为较窄宽度。当向由此种堤堰划分出的分区中赋予液状材料时，液状材料不会超出堤堰而从分区中溢出，可以将液状材料赋予至突出部的上侧。其结果是，由于可以实现所得的色要素膜的使用部分的膜厚的均一化，因此就可以制造更高质量的带有色要素膜基板。

本发明的带有色要素膜基板的制造方法中，所述第3层最好相对于所述液状材料具有疏液性。

这样，在液状材料赋予工序中，即使向分区赋予的液状材料的液面在堤堰的高度以上，也可以防止液状材料超出堤堰而从分区中溢出的情况。

本发明的带有色要素膜基板的制造方法中，所述第1层最好具有遮光性。

这样，在所得的带有色要素膜基板中，可以使第1层的剩余部分作为黑矩阵发挥作用。

本发明的带有色要素膜基板的特征是，是利用本发明的带有色要素膜基板的制造方法制造。

这样，即使在色要素膜的周缘部产生了缺损，由于可以将该部分用突出部覆盖，因此就可以防止颜色不均或对比度的降低之类的问题。

本发明的带有色要素膜基板是具有基材、设于该基材上的堤堰、形成于由所述堤堰划分出的分区中的色要素膜的带有色要素膜基板，其特征是，

所述堤堰在所述堤堰的高度方向的中途，具有朝向所述分区的内侧突出的突出部。

这样，即使在色要素膜的周缘部产生缺损，由于可以将该部分用突出部覆盖，因此就可以防止颜色不均或对比度降低之类的问题。

本发明的带有色要素膜基板中，所述突出部最好被遍及所述分区的周缘的大致全周地形成。

这样，就可以更为可靠地防止颜色不均或对比度的降低之类的问题。

本发明的带有色要素膜基板中，所述堤堰最好相对于所述突出部在所述堤堰的高度方向上的上下，宽度变窄。

这样，就可以实现色要素膜的使用部分的膜厚的均一化，更为可靠地防止颜色不均或对比度的降低之类的问题。

本发明的电光学装置的特征是，具备本发明的带有色要素膜基板。

这样，即使在色要素膜的周缘部产生缺损，由于可以将该部分用突出部覆盖，因此也可以防止颜色不均或对比度的降低之类的问题。

本发明的电子机器的特征是，具备本发明的电光学装置。

这样，即使在色要素膜的周缘部产生缺损，由于可以将该部分用突出部覆盖，因此也可以防止颜色不均或对比度的降低之类的问题。

附图说明

图1是表示本发明的液滴喷出装置的实施方式的立体图。

图2是表示图1所示的液滴喷出装置的喷头组件及基体的俯视图。

图3是将液滴喷头的喷嘴面(喷嘴平板)的一部分、基体的分区放大表示的俯视图。

图4是表示图1所示的液滴喷出装置的液滴喷头的图，(a)为剖面立体图，(b)剖面图。

图5是图1所示的液滴喷出装置的方框图。

图6(a)是表示喷头驱动部的示意图，(b)是表示喷头驱动部的驱动信号、选择信号及喷出信号的时序图。

图7是表示滤色片基板的制造方法的剖面图。

图8是表示滤色片基板的制造方法的剖面图。

图9是表示有机电致发光显示装置的制造方法的剖面图。

图10是表示有机电致发光显示装置的制造方法的剖面图。

图11是表示使用了本发明的电子机器的移动型(或笔记本型)的个人电脑的构成的立体图。

图12是表示使用了本发明的电子机器的携带电话机(也包括PHS)的构成的立体图。

图13是表示使用了本发明的电子机器的数字式照相机的构成的立体图。

其中，1……液滴喷出装置，2……液滴喷头，13……第1层，14……第2层，15……第3层，17……麦克，13A……第1层的剩余部分，14A……第2层的一部分，15A……第3层的一部分，16A……第1部分，16B1……突出部，16B……第2部分，16C……第3部分，30B……基材，21R、21G、21B……第1喷头，22R、22G、22B……第2喷头，23R、23G、23B……第3喷头，24R、24G、24B……第4喷头，25……喷嘴，10A、30A……基体，101……液罐，103……喷头组件，104……承载架移动机构，105……承载架，106……台架，108……台架移动机构，110……管道，111(111R、111G、111B)、211(211R、211G、211B)……液状材料，112……控制手段，120……空腔，122……隔壁，124……振子，124A、124B……电极，124C……压电元件，126……振动板，128……喷嘴平板，129……贮液室，130……供给口，131……孔，200……扫描驱动部，208……喷头驱动部，AS……模拟开关，DS……驱动信号，SC……选择信号，ES……喷出信号，10……滤色片基板，32……支撑基板，16、40……堤堰，20……保护膜，…18(18R、18G、18B)、38(38R、38G、38B)……分区，111F(111FR、、111FG、111FB)……过滤层，30……有机电致发光显示装置，34……电路元件层，36……分区电极，40A……无机物层，40B……有机物堤堰，40B1……第1部分，40B2……第2部分，40B3……第3部分，40B21……突出部，42……绝缘膜，44……开关元件，44G……门电极，44S……源电极，44D……漏电极，44V……通孔，45……层间绝缘膜，46……对置电极，48……密封基板，49……惰性气体，51……第1层，52……第2层，53……第3层，54……掩模，51A……第1层的剩余部分，52A……第2层的一部分，53A……第3层的一部分，302……承载架位置检测手段，303……台架位置检测手段，1000……图像显示装置，1100……个人电脑，1102……键盘，1104……主体部，1106……显示组件，1200……携带电话机，1202……操作按钮，1204……听筒，1206……送话口，1300……数字式照相机，1302……盒套(机身)，1304……受光组件，1306……快门按钮，1308……电路基板，1312……视频信号输出端子，1314……数据通信用的输入输出端子，1430……电视监视器，1440……个人电脑，37R、37G、37B……空穴输送层，211F(211FR、211FG、211FB)……发光层

具体实施方式

下面将基于附图中所示的优选的实施方式，对本发明的带有色要素膜基板的制造方法、带有色要素膜基板、图像显示装置及电子机器进行详细说明。

本实施方式中，作为本发明的带有色要素膜基板的一个例子，以作为液晶显示装置的构成要素的滤色片基板10作为代表进行说明。

(液滴喷出装置的整体构成)

首先，基于图1至图6对本发明的带有色要素膜基板的制造中所使用的液滴喷出装置进行说明。

如图1所示，液滴喷出装置1具备：在承载架105上搭载多个液滴喷头2而成的喷头组件103、使喷头组件103沿水平的一个方向(以下称作「X轴方向」)移动的承载架移动机构(移动手段)104、保持后述的基体10A的台架106、使台架106沿与X轴方向垂直并水平的方向(以下称作「Y轴方向」)移动的台架移动机构(移动手段)108、控制手段112。

另外，在液滴喷出装置1的附近，设置有分别贮留红(R)、绿(G)、蓝(B)三色的液状材料111的3个液罐101。各液罐101与喷头组件103被借助成为输送液状材料111的流路的管道110连接。贮留于各液罐101中的液状材料111例如被利用压缩空气的力向喷头组件103的各液滴喷头2输送(供给)。

本发明中，所谓「液状材料」使之包括用于形成带有色要素膜基板的色要素膜的材料，并具有可以被从液滴喷头2的喷嘴25中喷出的粘度的材料。此时，材料为水性或油性都可以。另外，只要具有可以从喷嘴25中喷出的流动性(粘度)即可，即使分散有固体物质，只要作为整体为流体即可。即，液状材料也可以是溶解或分散色要素膜的构成材料而成的材料，无论是溶液还是分散液(悬浮液或乳液)都可以。

本实施方式的液状材料111是将用于形成滤色片基板10的分区的过滤层的颜料溶解或分散于有机溶剂中而成的有机溶剂墨液。而且，对于液状材料将在后面详细叙述。

而且，以下的说明中，在将红、绿、蓝的液状材料111区别提及时，使用111R、111G、111B的符号，在不区别颜色而总称时，简单地称作「液状材料111」。

承载架移动机构104的动作由控制手段112控制。本实施方式的承载架移动机构104具有使喷头组件103沿Z轴方向(垂直方向)移动而调整高度的功能。另外，承载架移动机构104还具有绕着与Z轴平行的轴旋转喷头组件103的功能，这样，就可以对喷头组件103的绕Z轴的角度进行微调。

台架106具有与X轴方向和Y轴方向双方平行的平面。另外，台架106可以将用于制造滤色片基板10的基体10A固定、保持于该平面上。

台架移动机构108沿着与X轴方向及Z轴方向双方正交的Y轴方向移动台架106，该动作由控制手段112控制。另外，本实施方式的台架移动机构108还具有绕着与Z轴平行的轴旋转台架106的功能，这样，就可以对放置于台架106上的基体10A的绕Z轴的倾斜进行微调而修正为完全垂直。

如上所述，喷头组件103被承载架移动机构104沿X轴方向移动。另一方面，台架106被台架移动机构108沿Y轴方向移动。即，利用承载架移动机构104及台架移动机构108改变喷头组件103相对于台架106的相对位置。

而且，控制手段112的详细的构成及功能将在后面叙述。

(喷头组件)

图2是表示图1所示的液滴喷出装置1的喷头组件103及基体10A的俯视图。

图2所示的喷头组件103形成在承载架105上搭载了多个液滴喷头2的构成。图2中，将承载架105用假想线(双点虚线)表示。另外，表示液滴喷头2的实线表示液滴喷头2的喷嘴面(喷嘴平板128)的位置。

在喷头组件103上，设置有喷出红色的液状材料111R的第1喷头21R、第2喷头22R、第3喷头23R、第4喷头24R这4个液滴喷头2、喷出绿色的液状材料111G的第1喷头21G、第2喷头22G、第3喷头23G、第4喷头24G这4个液滴喷头2、喷出蓝色的液状材料111B的第1喷头21B、第2喷头22B、第3喷头23B、第4喷头24B这4个液滴喷头2，共计12个液滴喷头2。

以下的说明中，在对这些液滴喷头2进行总称的情况下，称作「液滴喷头2」，在需要将各个区别说明的情况下，则按照「第1喷头21R、第2喷头22R、…」的方式称呼。

图2所示的基体10A是用于制造条纹排列的滤色片基板10的基体。在该基体10A上，分别设有多个红的分区(喷出区域)18R、绿的分区(喷出区域)18G、蓝的分区(喷出区域)18B。液滴喷出装置1按照向分区18R赋予红色的液状材料111R，向分区18G赋予绿色的液状材料111G，向分区18B赋予蓝色的液状材料111B的方式动作。

各分区18R、18G、18B近似形成长方形。基体10A被以如下的姿势保持在台架106上，即，分区18R、18G、18B的长轴方向与X轴方向平行，短轴方向与Y轴方向平行。在基体10A上，沿着Y轴方向以分区18R、18G、18B的顺序反复排列三色的分区，沿着X轴方向排列同色的分区。沿Y轴方向并列的一组分区18R、18G、18B相当于所制造的滤色片基板10的一个分区。

(液滴喷头)

图3是将液滴喷头2的喷嘴面(喷嘴平板128)的一部分、基体10A的分区放大表示的俯视图。而且，液滴喷头2的喷嘴面虽然被朝向与基体10A相面对的方向，即朝向垂直下方设置，但是在图3中，为了容易看到，将液滴喷头2的喷嘴面用实线表示。

在液滴喷头2的喷嘴面上，沿着X轴方向等间隔地直线并排形成有多个喷嘴(喷嘴孔)25，形成喷嘴列。本实施方式中，在一个液滴喷头2上，错开半个间距地并行地形成有2列的喷嘴列，一个液滴喷头2所具有的喷嘴列的数目既可以是1列，也可以是3列以上。另外，形成于一个液滴喷头2上的喷嘴25的数目虽然没有特别限定，但是通常被设为数十～数百个左右。

如图4(a)及(b)所示，液滴喷头2为喷墨头。更具体来说，液滴喷头2具备振动板126、喷嘴平板128。在振动板126和喷嘴平板128之间，设有总是被填充有从液罐101经过孔131而供给的液状材料111的贮液室129。

另外，在振动板126和喷嘴平板128之间，设有多个隔壁122。这样，由振动板126、喷嘴平板128、1对隔壁122包围的部分即为空腔120。空腔120由于被与喷嘴25对应地设置，因此空腔120的数目和喷嘴25的数目相同。经过位于1对隔壁122间的供给口130，从贮液室129向空腔120供给液状材料111。

在振动板126上，与各个空腔120对应地设有作为使填充于空腔120内的液状材料111的压力变化的驱动元件的振子124。振子124包括压电元件124C、夹持压电元件124C的1对电极124A、124B。通过向该1对电极124A、124B之间提供驱动电压，液状材料111就被从所对应的喷嘴25中喷出。而且，按照将液状材料111从喷嘴25沿Z轴方向喷出的方式，来调整喷嘴25的形状。

控制手段112(图1)也可以被按照向多个振子124的各自相互独立地提供信号的方式构成。即，从喷嘴25中喷出的材料111的体积也可以与来自控制手段112的信号对应地对每个喷嘴25进行控制。

而且，液滴喷头2并不限定于将如图所示的压电促动器作为驱动元件，也可以是使用静电促动器的构成，或使用电热转换元件利用液状材料111的热膨胀喷出液滴的构成。

(控制手段)

下面，对控制手段112的构成进行说明。如图5所示，控制手段112具备输入缓冲存储器200、存储手段202、处理部204、扫描驱动部206、喷头驱动部208、承载架位置检测手段302、台架位置检测手段303。

缓冲存储器200和处理部204被可以相互通信地连接。处理部204和存储手段202被可以相互通信地连接。处理部204和扫描驱动部206被可以相互通信地连接。处理部204和喷头驱动部208被可以相互通信地连接。另外，扫描驱动部206、承载架移动机构104及台架移动机构108被可以相互通信地连接。同样地，喷头驱动部208被与多个液滴喷头2的各自可以相互通信地连接。

输入缓冲存储器200从外部信息处理装置接收关于喷出液状材料11的液滴的位置的数据，即描绘图案数据。输入缓冲存储器200将该描绘图案数据向处理部204供给，处理部204将描绘图案数据储存于存储手段202中。存储手段202由RAM、磁性记录介质、光磁记录介质等构成。

承载架位置检测手段302检测承载架105即喷头组件103的X轴方向的位置(移动距离)，将该检测信号向处理部204输入。

承载架位置检测手段303检测台架106即基体10A的Y轴方向的位置(移动距离)，将该检测信号向处理部204输入。

承载架位置检测手段302、台架位置检测手段303例如由线性编码器、激光测长仪等构成。

处理部204基于承载架位置检测手段302及台架位置检测手段303的检测信号，借助扫描驱动部206，控制承载架移动机构104及台架移动机构108的动作(闭环控制)，控制喷头组件103的位置、基体10A的位置。

另外，处理部204通过控制台架移动机构108的动作，来控制台架106即基体10的移动速度。

另外，处理部204基于所述描绘图案数据，将指定每个喷出时刻的喷嘴25的开·关的选择信号SC向喷头驱动部208提供。喷头驱动部208基于选择信号SC，将在液状材料111的喷出中所必需的喷出信号ES向液滴喷头2提供。其结果是，从液滴喷头2的所对应的喷嘴25中，液状材料111被作为液滴喷出。

控制手段112也可以是包括CPU、ROM、RAM的计算机。该情况下，控制手段112的所述功能由利用计算机执行的软件程序来实现。当然，控制手段112也可以利用专用的电路(硬件)来实现。

下面，对控制手段112的喷头驱动部208的构成及功能进行说明。

如图6(a)所示，喷头驱动部208具有1个驱动信号生成部203、多个模拟开关AS。如图6(b)所示，驱动信号生成部203生成驱动信号DS。驱动信号DS的电位相对于基准电位L随时间而变化。具体来说，驱动信号DS包括被以喷出周期EP重复的多个喷出波形P。这里，为了从喷嘴25中喷出1个液滴，喷出波形P与应当施加在所对应的振子124的一对电极间的驱动电压波形对应。

驱动信号DS被向模拟开关AS的各个输入端子供给。模拟开关AS分别被与喷嘴25的各自对应地设置。即，模拟开关AS的数目与喷嘴25的数目相同。

处理部204将表示喷嘴25的开·关的选择信号SC向各个模拟开关AS提供。这里，选择信号SC能够对每个模拟开关AS独立地取得高电平及低电平的某一个状态。另一方面，模拟开关AS根据驱动信号DS和选择信号SC，向振子124的电极124A供给喷出信号ES。具体来说，在选择信号SC为高电平的情况下，模拟开关AS作为喷出信号ES向电极124传播驱动信号DS。另一方面，在选择信号SC为低电平的情况下，模拟开关AS所输出的喷出信号ES的电位就变为基准电位L。当驱动信号DS被提供给振子124的电极124A时，从与其振子124对应的喷嘴5中就喷出液状材料111。而且，向各个振子124的电极124B提供基准电位L。

图6(b)所示的例子中，在2个喷出信号ES的各自中，按照以喷出周期EP的2倍的周期2EP显现喷出波形P的方式，在2个选择信号SC的各自中设定有高电平的期间和低电平的期间。这样，就从所对应的2个喷嘴25的各自中，以周期2EP喷出液状材料111。另外，向与这2个喷嘴25对应的振子124的各自中，提供来自公共的驱动信号生成部203的公共的驱动信号DS。由此，从2个喷嘴25中在大致相同的时刻喷出液状材料111。

此种液滴喷出装置1中，利用台架移动机构108的动作，使保持于台架106上的基体10A沿Y轴方向移动，在使之在喷头组件103之下通过的同时，从喷头组件103的各液滴喷头2的喷嘴25中喷出液状材料111的液滴，按照向基体10A上的各分区18R、18G、18B提供(命中)的方式动作。以下，有时将该动作称作「喷头组件103和基体10A的主扫描」。

在与作为喷头组件103整体能够向基体10A喷出液状材料111的X轴方向的长度(后述的全喷出宽度W)相比，基体10A的X轴方向的宽度更小的情况下，通过进行1次喷头组件103和基体10A的主扫描，就可以向基体10A的整体赋予液状材料111。

与之相反，在与喷头组件103的全喷出宽度W相比，基体10A的X轴方向的宽度更大的情况下，通过将喷头组件103和基体10A的主扫描、利用承载架移动机构104的动作的喷头组件103的X轴方向的移动(将其称作「副扫描」)交互地反复进行，就可以向基体10A的整体赋予液状材料111。

(本发明的带有色要素膜基板的制造方法及带有色要素膜基板)

下面，作为本发明的带有色要素膜基板的制造方法的一个例子，对使用如上所述的液滴喷出装置1制造滤色片基板10的方法进行详细说明。

图7及图8是表示滤色片基板10的制造方法的剖面图。

滤色片基板10的制造方法具有形成划分出分区18的堤堰(即制成基体10A)的堤堰形成工序、向分区18赋予色要素膜形成用的液状材料111的液状材料赋予工序、将赋予分区18的液状材料111硬化或固化而形成作为色要素膜的过滤层的色要素膜形成工序。以下，将对各工序依次进行说明。

—堤堰形成工序—

在制造滤色片基板10时，首先，制成基体10A，即，在基材12上形成堤堰16。

基体10A如图7(c)所示，具备具有透光性的基材12、形成于基材12上的堤堰16。

基材12是相对于可见光具有透光性的基板，例如为玻璃基板。

堤堰16在基材12上层叠有第1部分16A，在其上层叠有第2部分16B，在其上层叠有第3部分16C。

第2部分16B具有比第1部分16A及第3部分16C的宽度更大的宽度。这样，第2部分16B相对于第1部分16A及第3部分16C突出的部分就构成突出部16B1(突棱)。即，堤堰16在其高度方向的中途，具有朝向分区18的内侧突出的突出部16B1。

另外，第3部分16C由于具有比第2部分16B的宽度更小的宽度，因此可以实现由堤堰16包围的区域的容积的大容量化。

被如此构成的堤堰16被按照在基材12上设定有矩阵状的多个透光部分，即矩阵状的多个分区18R、18G、18B的方式设置。即，利用基材12及堤堰16，划分形成分区18R、18G、18B。

分区18R是用于形成作为仅透过红色的波长区域的光线的色要素膜的过滤层111FR的区域，分区18G是用于形成作为仅透过绿色的波长区域的光线的色要素膜的过滤层111FG的区域，分区18B是用于形成作为仅透过蓝色的波长区域的光线的色要素膜的过滤层111FB的区域。

在制成此种基体10A时，即，在基材12上形成堤堰16时，依照以下的顺序。

即，首先，如图7(a)所示，利用溅射法或蒸镀法，在基材12上形成第1层13，在其上形成第2层14，继而在其上形成第3层15。

其后，利用光刻法，如图7(b)所示，利用使用了被以矩阵图案形成的掩模17的曝光，将第2层14及第3层15的一部分14A、15A设为硬化状态，如图7(c)所示，利用显影，将第2层14及第3层15的未硬化部分、第1层13的一部分除去，得到堤堰16。此时，相对于显影中所使用的显影液，由于第2层14与第1层13相比溶解速度更低，因此第2层14的剩余部分的宽度就大于第1层13的剩余部分的宽度。另外，本实施方式中，利用显影，第1层13的剩余部分13A变为第1部分16A，第2层14的一部分14A的大致全部变为第2层14的剩余部分，即变为第2部分16B，第3层15的一部分15A的大致全部变为第3层15的剩余部分，即变为第3部分16C。

在此种堤堰形成工序中，第1层13可溶于显影的显影液中，第2层14可溶于显影液中，并且与第1层13相比向显影液中的溶解速度更慢。所以，第2层14的剩余部分(一部分14A)的宽度就大于第1层13的剩余部分13A的宽度。

这样，在堤堰形成工序中，即使不严格地设定曝光条件，也可以简单地形成具有宽度朝向基材12逐渐减少的部分的堤堰16。更具体来说，在堤堰形成工序中，利用曝光将第2层14的一部分14A设为硬化状态，利用显影将第2层的14未硬化部分和第1层13的一部分除去。其结果是，第2层14的剩余部分从第1层13的剩余部分中突出的部分构成突出部16B1。

另外，如前所述的堤堰16由于宽度朝向基材12阶段性地逐渐减少，因此可以使堤堰16和基材12的接合部的面积比较大。由此，就可以防止在堤堰形成工序的显影时堤堰16从基材12上剥离的情况。其结果是，可以用高生产效率制造滤色片基板10。

此种堤堰形成工序中，第2层14及第3层15虽然只要具有光硬化性即可，然而在本实施方式中，含有光刻胶材料。这样，就可以比较简单地并且可靠地使第2层14的剩余部分(第2层14的一部分14A)的宽度大于第1层13的剩余部分13A的宽度。

本实施方式中，作为第2层14及第3层15的构成材料，使用负型的光刻胶材料。所以，曝光处理中所使用的掩模17具有与堤堰16的俯视形状对应的开口部17A。而且，作为第2层14及第3层15的构成材料，也可以使用正型的光刻胶材料。此时，取代掩模17，使用形成所述掩模17的图案的反转图案的掩模。

另外，本实施方式中，第3层15具有光硬化性。即，在堤堰形成工序中，在曝光之前，在第2层14的与第1层13相反一侧，形成具有光硬化性的第3层15。所以，在堤堰形成工序中，利用曝光将第2层14及第3层15的一部分14A、15A设为硬化状态，利用显影将第2层14及第3层15的未硬化部分和第1层13的一部分除去，就可以使第2层14的剩余部分(第2层14的一部分14A)的宽度大于第1层13的剩余部分13A的宽度。

另外，第2层14最好由第1层13的构成材料和第3层15的构成材料的混合物构成。这样，在堤堰形成工序中，就可以仅通过向基材12上依次涂布第1层13的构成材料、第3层15的构成材料，而简单地在基材12上形成第1层13、第2层14及第3层15。

另外，在堤堰形成工序中，利用曝光，使第2层14变为硬化状态的部分(即第2层14的一部分14A)的宽度大于第3层15变为硬化状态的部分(即第3层15的一部分15A)的宽度。这样，就可以使所得的堤堰16相对于第2层14相对于第1层13突出的部分(即突出部16B1)，在堤堰16的高度方向的上下宽度变窄。当向由此种堤堰16划分出的分区18中赋予液状材料111时，液状材料111就不会超出堤堰16而溢出，可以将液状材料111赋予至突出部16B1的上侧。其结果是，由于可以实现所得的过滤层111F的使用部分的膜厚的均一化，因此就可以制造更高质量的滤色片基板10。

另外，第3层14最好相对于液状材料111具有疏液性。这样，在后述的液状材料赋予工序中，即使被赋予分区18的液状材料111的液面在堤堰16的高度以上，也可以防止液状材料111从分区18中溢出。

另外，第1层13最好具有遮光性。这样，在所得的带有色要素膜基板中，就可以使第1层的剩余部分作为黑矩阵发挥作用。此时，例如第1层13可以用含有碳黑之类的材料构成。

利用以上的工序，就可以获得基体10A。

—液状材料赋予工序—

如上所述地形成了分区18R、18G、18B的基体10A被运至液滴喷出装置1的台架106上，被台架106保持。液滴喷出装置1使台架移动机构108动作，在使基体10A沿Y轴方向移动而在喷头组件103之下通过的同时，从各液滴喷头2喷出液状材料111的液滴，向各分区18R、18G、18B赋予。

更具体来说，如图8(a)～(c)所示，向分区18R喷出红色的液状材料(滤色片材料)111R，向分区18G喷出绿色的液状材料(滤色片材料)111G，向分区18B喷出蓝色的液状材料(滤色片材料)111B。这样，就如图8(d)所示，分别向分区18R赋予液状材料111R，向分区18G赋予液状材料111G，向分区18B赋予液状材料111B。此时，由于将液状材料111从喷嘴25中作为液滴喷出而赋予分区18，因此在液状材料赋予工序中，就可以将液状材料111以所需量更为正确地向分区18赋予。

液状材料111R、111G、111B如前所述，是作为滤色片基板10的分区的过滤层111FR、111FG、111FB的构成材料的颜料在有机溶剂中溶解或分散而成的有机溶剂墨液。

在此种液状材料赋予工序中，当向由如前所述的堤堰16划分出的分区18赋予液状材料111时，在分区18的周缘部，在第2层14的剩余部分从第1层的剩余部分中突出的部分(即突出部16B1)、基材12之间所形成的微小的空隙中，因毛细管现象液状材料111被拉近而行进至分区18的角落。其结果是，可以将所得的滤色片基板10制成高质量的产品。

—色要素膜形成工序—

然后，向各分区18R、18G、18B赋予了液状材料111R、111G、111B后，将基体10A向未图示的干燥装置搬送，使各分区18R、18G、18B内的液状材料111R、111G、111B干燥。这样，就如图8(d)所示，在各分区18R、18G、18B上得到过滤层111FR、111FG、111FB。而且，也可以通过反复进行利用液滴喷出装置1的液状材料111R、111G、111B的赋予、利用干燥装置的干燥而层叠，来形成最终的过滤层111FR、111FG、111FB。

其后，将基体10A向未图示的烤炉内搬送，用该烤炉对过滤层111FR、111FG、111FB进行再加热(后烘烤)。

然后，将基体10A向未图示的保护膜形成装置搬送，用该保护膜形成装置如图8(d)所示，形成覆盖过滤层111FR、111FG、111FB及堤堰16的保护膜(保护层)20。

在形成了覆盖过滤层111FR、111FG、111FB及堤堰16的保护膜20后，用干燥装置使保护膜20完全干燥。继而，通过用未图示的硬化装置加热保护膜20而使其完全硬化，基体10A就变为滤色片基板10。

如上所述获得的作为带有色要素膜基板的滤色片基板10由于即使在作为色要素膜的过滤层111F的周缘部产生缺损，也可以将该部分用突出部16B1覆盖，因此就可以防止颜色不均或对比度的降低之类的问题。

突出部16B1最好被遍及分区18的周缘的大致全周地形成。这样，就可以更为可靠地防止颜色不均或对比度的降低之类的问题。

另外，堤堰16最好相对于突出部16B1在堤堰16的高度方向的上下，宽度变窄。这样，就可以实现过滤层111F的使用部分的膜厚的均一化，更为可靠地防止颜色不均或对比度的降低之类的问题。

如上说明所示的本发明并不限定于滤色片基板10的制造，例如也可以适用于电致发光显示装置等其他方式的图像显示装置的制造中。

图9及图10是表示有机电致发光显示装置30的制造方法的剖面图。以下，虽然对利用本发明制造有机电致发光显示装置30的情况进行说明，然而将以与制造前面所述的滤色片基板10的情况的不同点为中心进行说明，对于相同的事项，将其说明省略。

图9及图10中所示的基体30A是用于制造有机电致发光显示装置30的基板。

一堤堰形成工序—

在制造有机电致发光显示装置30时，首先，制成基体30A，即，在基材30B上形成堤堰40。

该基体30A形成有被以矩阵状配置的多个分区(喷出区域)38R、38G、38B。

具体来说，基体30A具有基材30B、堤堰40B。基材30B具有支撑基板32、形成于支撑基板32上的电路元件层34、形成于电路元件层34上的多个分区电极36、处于多个分区电极36之间的无机物层40A。

支撑基板32是相对于可见光具有透光性的基板，例如为玻璃基板。多个分区电极36分别是相对于可见光具有透光性的电极，例如为ITO(Indium-Tin Oxide)电极。另外，多个分区电极36被以矩阵状配置于电路元件层34上，各自限定分区。这样，堤堰40B具有格子状的形状，将多个分区电极36分别包围。另外，堤堰40B是形成于无机物层40A上的有机物堤堰。

堤堰40B在基材30B上层叠有第1部分40B1，在其上层叠有第2部分40B2，在其上层叠有第3部分40B3。

第2部分40B2具有比第1部分40B1及第3部分40B3的宽度更大的宽度。这样，第2部分40B2相对于第1部分40B1及第3部分40B3突出的部分就构成突出部40B21(突棱)。即，堤堰40B在其高度方向的中途，具有朝向分区38的内侧突出的突出部40B21。

另外，第3部分40B3由于具有比第2部分40B2的宽度更小的宽度，因此就可以实现由堤堰40B包围的区域的容积的大容量化。

电路元件层34是具有在支撑基板32上沿给定的方向延伸的多个扫描电极、被覆盖多个扫描电极地形成的绝缘膜42、位于绝缘膜42上并且沿与多个扫描电极所延伸的方向正交的方向延伸的多个信号电极、位于扫描电极及信号电极的交点附近的多个开关元件44、被覆盖多个开关元件44地形成的聚亚酰胺等的层间绝缘膜45的层。各个开关元件44的门电极44G及源电极44S分别被与所对应的扫描电极及所对应的信号电极电连接。多个分区电极36位于层间绝缘膜45上。在层间绝缘膜45上，在与各开关元件44的漏电极44D对应的部位设有通孔44V，穿过该通孔44V，形成开关元件44与所对应的分区电极36之间的电连接。另外，各个开关元件44位于与堤堰40B对应的位置上。即，当从图10的上侧观察时，多个开关元件44各自覆盖于堤堰40B上。

由基体30A的分区电极36和堤堰40B限定的凹部与分区38R、分区38G、分区38B对应。分区38R是用于形成发出红色的波长区域的光线的发光层211FR的区域，分区38G是用于形成发出绿色的波长区域的光线的发光层211FG的区域，分区38B是用于形成发出蓝色的波长区域的光线的发光层211FB的区域。

此种基体30A可以与前面所述的滤色片基板10的基体10A的制造工序相同地形成堤堰40，并且可以使用公知的制膜技术和图案处理技术来制造。

即，首先，如图9(a)所示，利用溅射法和蒸镀法，在支撑基板32上形成了电路元件层34、分区电极36及无机物层40A的基材30B上形成第1层51，在其上形成第2层52，继而在其上形成第3层53。

其后，利用光刻法，如图9(b)所示，利用使用了被制成矩阵图案形状的掩模54的曝光，将第2层52及第3层53的一部分52A、53A设为硬化状态，如图9(c)所示，利用显影，将第2层52及第3层53的未硬化部分、第1层51的一部分除去，得到堤堰16。此时，相对于显影中所使用的显影液，由于第2层52与第1层51相比溶解速度更低，因此第2层52的剩余部分的宽度就大于第1层51的剩余部分的宽度。另外，本实施方式中，利用显影，第1层51的剩余部分51A变为第1部分40B1，第2层52的一部分52A的大致全部变为第2层52的剩余部分，即变为第2部分40B2，第3层53的一部分53A的大致全部变为第3层53的剩余部分，即变为第3部分40B3。

在此种堤堰形成工序中，第1层51可溶于显影的显影液中，第2层52可溶于显影液中，并且与第1层51相比向显影液中的溶解速度更慢。所以，第2层52的剩余部分的宽度就大于第1层51的剩余部分的宽度。

这样，在堤堰形成工序中，即使不严格地设定曝光条件，也可以简单地形成具有宽度朝向基材30B逐渐减少的部分的堤堰40。更具体来说，在堤堰形成工序中，利用曝光将第2层52的一部分52A设为硬化状态，利用显影将第2层的52未硬化部分和第1层51的一部分除去。其结果是，第2层52的剩余部分从第1层51的剩余部分51A中突出的部分构成突出部40B21。

另外，如前所述的堤堰40B由于宽度朝向基材30B阶段性地逐渐减少，因此可以使堤堰40B和基材30B的接合部的面积比较大。由此，就可以防止在堤堰形成工序的显影时堤堰40B从基材30B上剥离的情况。其结果是，可以用高生产效率制造有机电致发光显示装置30。

而且，也可以在多个分区电极36的各自之上，形成所对应的空穴输送层37R、37G、37B。如果空穴输送层37R、37G、37B位于分区电极36和后述的发光层211FR、211FG、211FB之间，则电致发光显示装置的发光效率就会提高。

—液状材料赋予工序一

对于被如上所述地形成了分区38R、38G、38B的基体30A，如图9(a)～(c)所示，与前面所述的滤色片基板10的情况相同，使用本发明的液滴喷出装置1，如图10(d)所示，向各分区38R、38G、38B中，分别赋予液状材料211R、211G、211B。

液状材料211R是含有红色的有机发光材料的材料，液状材料211G是含有绿色的有机发光材料的材料，液状材料211B是含有蓝色的有机发光材料的材料。

液状材料211R、211G、211B如前所述，是作为有机电致发光显示装置30的分区的发光层211FR、211FG、211FB的构成材料的发光材料溶解或分散于有机溶剂中而成的材料。

在此种液状材料赋予工序中，当向由如前所述的堤堰40划分出的分区38赋予液状材料211时，在分区38的周缘部，在第2层52的剩余部分从第1层51的剩余部分中突出的部分(即突出部40B21)、基材30B的分区电极36之间所形成的微小的空隙中，因毛细管现象液状材料211被拉近而行进至分区18的角落。其结果是，可以将所得的有机电致发光显示装置30制成高质量的产品。

—色要素膜形成工序—

其后，通过将基体30A向干燥装置移送，使赋予各分区38R、38G、38B的液状材料211R、211G、211B干燥，即如图10(e)所示，在各分区38R、38G、38B上得到发光层211FR、FG、FB。

然后，覆盖发光层211FR、211FG、211FB及堤堰40地设置对置电极46。对置电极46作为阴极发挥作用。

其后，通过将密封基板48和基体38在相互的周边部粘接，就得到图10(f)所示的有机电致发光显示装置30。而且，在密封基板48和基体30A之间封入了惰性气体49。

在有机电致发光显示装置30中，从发光层211FR、211FG、211FB中发出的光经过分区电极36、电路元件层34、支撑基板32而射出。像这样经过电路元件层34而射出光的电致发光显示装置被称作底发射型的显示装置。

以上虽然对将本发明应用于液晶显示装置(滤色片基板)的制造、电致发光显示装置的制造中的情况进行了说明，但是本发明并不限定于此，例如也可以应用于等离子体显示装置的背面基板的制造、具备电子发射元件的图像显示装置(有时也被称作SED(Surface-ConductionElectron-Emitter Display)或FED(Field Emission Display))的制造中。

<本发明的电子机器的实施方式>

具备了用如前所述的方法制造的滤色片基板10的液晶显示装置、用如前所述的方法制造的电致发光显示装置等图像显示装置1000可以用于各种电子机器的显示部中。

图11是表示使用了本发明的电子机器的移动型(或笔记本型)个人电脑的构成的立体图。

该图中，个人电脑1100由设置了键盘1102的主体部1104、显示组件1106构成，显示组件1106被借助合页构造部可以转动地支撑于主体部1104上。

在该个人电脑1100中，显示组件1106具备图像显示装置1000。

图12是表示使用了本发明的电子机器的携带电话机(也包括PHS)的构成的立体图。

该图中，携带电话机1200除了具备多个操作按钮1202、听筒1204及送话口1206以外，在显示部中还具备图像显示装置1000。

图13是表示使用了本发明的电子机器的数字式照相机的构成的立体图。而且，该图中，对于与外部机器的连接被简单地表示。

这里，通常的照相机是利用被拍摄体的光像将银盐胶片感光，与之相反，数字式照相机1300利用CCD(Charge Coupled Device)等拍摄元件对被拍摄体的光像进行光电转换而生成拍摄信号(图像信号)。

在数字式照相机1300的盒套(机身)1302的背面，在显示部中设有图像显示装置1000，形成基于CCD的拍摄信号进行显示的构成，作为将被拍摄体作为电子图像显示的取景器发挥作用。

在盒套的内部，设置有电路基板1308。该电路基板1308设有能够将拍摄信号收纳(储存)的存储器。

另外，在盒套1302的正面侧(图示的构成中为背面侧)，设有包括光学透镜(拍摄光学系统)或CCD等的受光组件1304。

当拍摄者确认在显示部中所显示的被拍摄体像，按下快门按钮1306时，该时刻的CCD的拍摄信号就被向电路基板1308的存储器传送·收纳。

另外，在该数字式照相机1300中，在盒套1302的侧面，设有视频信号输出端子1312、数据通信用的输入输出端子1314。这样，如图所示，分别根据需要将电视监视器1430与视频信号输出端子1312连接，将个人电脑1440与数据通信用的输入输出端子1314连接。另外，利用给定的操作，收纳于电路基板1308的存储器中的拍摄信号被向电视监视器1430、个人电脑1440输出。

而且，本发明的电子机器除了所述的个人电脑(移动型个人电脑)、携带电话机、数字式照相机以外，例如还可以适用于电视、摄影机、取景器型、监视器直视型的录像机、膝上型个人电脑、导航装置、寻呼机、电子记事簿(也包含附带通信功能)、电子辞典、桌式电脑、电子游戏机、文字处理器、工作站、电视电话、防范用电视监视器、电子双筒镜、POS终端、具备了触摸式面板的机器(例如金融机构的自动提款机、自动售货机)、医疗机器(例如电子体温计、血压计、血糖计、心电显示装置、超声波诊断装置、内窥镜用显示装置)、鱼群探测仪、各种测定仪器、计量仪表类(例如车辆、航空器、船舶的计量仪表类)、飞行模拟器、其他的各种监视器类、投影仪等投射型显示装置等中。

以上虽然对本发明的液滴喷出装置、面板的制造方法、图像显示装置及电子机器的图示的实施方式进行了说明，但是本发明并不限定于此。构成液滴喷出装置的各部可以与能够发挥相同的功能的任意的构成的部件置换。另外，也可以附加任意的构成物。

例如，在所述的带有色要素膜基板的制造方法的堤堰形成工序中，即使将第3层省略，在支撑基板上依次层叠第1层、第2层，将第1层及第2层的一部分经过曝光、显影而除去，将其剩余部分作为堤堰，也可以获得本发明的效果。

Claims (12)

1.一种带有色要素膜基板的制造方法，包括：

在基材上层叠第1层及具有光硬化性的第2层，经过曝光、显影，将所述第1层及所述第2层的一部分除去，将所述第1层及所述第2层的剩余部分作为堤堰的堤堰形成工序；

向由所述堤堰划分出的分区中赋予色要素膜形成用的液状材料的液状材料赋予工序；

通过使被赋予到所述分区的液状材料硬化或固化而形成色要素膜的色要素膜形成工序，

所述第1层可溶于所述显影的显影液中，所述第2层可溶于所述显影液中，并且与所述第1层相比向所述显影液中的溶解速度更慢，利用所述显影，使所述第2层的剩余部分的宽度大于所述第1层的剩余部分的宽度，形成堤堰。

2.根据权利要求1所述的带有色要素膜基板的制造方法，其特征是，所述第2层含有光刻胶材料。

3.根据权利要求2所述的带有色要素膜基板的制造方法，其特征是，在所述堤堰形成工序中，在所述曝光之前，在所述第2层的与所述第1层相反的一侧，形成具有光硬化性并且可溶于所述显影液中的第3层，利用所述曝光，使所述第2层变为硬化状态的部分的宽度大于所述第3层变为硬化状态的部分的宽度。

4.根据权利要求3所述的带有色要素膜基板的制造方法，其特征是，所述第2层由所述第1层的构成材料、和所述第3层的构成材料的混合物构成。

5.根据权利要求4所述的带有色要素膜基板的制造方法，其特征是，所述第3层具有对于所述液状材料的疏液性。

6.根据权利要求1至5中任意一项所述的带有色要素膜基板的制造方法，其特征是，所述第1层具有遮光性。

7.一种带有色要素膜基板，其特征是，利用权利要求1至6中任意一项所述的带有色要素膜基板的制造方法进行制造。

8.一种带有色要素膜基板，是具有基材、设于该基材上的堤堰、以及形成于由所述堤堰划分出的分区中的色要素膜的带有色要素膜基板，其特征是，所述堤堰在所述堤堰的高度方向的中途，具有朝向所述分区的内侧突出的突出部。

9.根据权利要求8所述的带有色要素膜基板，其特征是，所述突出部被遍及所述分区的周缘的大致全周而形成。

10.根据权利要求8或9所述的带有色要素膜基板，其特征是，所述堤堰相对于所述突出部在所述堤堰的高度方向的上下，宽度变窄。

11.一种电光学装置，其特征是，具备权利要求1至10中任意一项所述的带有色要素膜基板。

12.一种电子机器，其特征是，具备权利要求11中所述的电光学装置。

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