CN100498328C - 包含声表面波传感器的振荡器电路以及生物传感器设备 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种包括声表面波传感器的振荡器电路，该电路不大可能因为施加偏压而使电极膜分离，并且即使其上粘着液体也能够稳定操作。包括声表面波传感器的振荡器电路31具有形成在压电基片上的叉指式电极33和34，和为了覆盖叉指式电极33和34而形成的反应膜，该反应膜结合检测目标物质，或者结合要结合检测目标物质的结合材料。能够根据频率变化检测少量质量负荷的声表面波传感器32作为谐振器，连接在包括声表面波传感器的振荡器电路31中。隔直流电容器36和42串接声表面波传感器32，隔直流电容器36和42在包括声表面波传感器的振荡器电路31中分别形成阻抗匹配电路。

Description

包含声表面波传感器的振荡器电路以及生物传感器设备
技术领域
本发明涉及包含声表面波传感器的振荡器电路，所述声表面波传感器被用作例如生物传感器或者气体传感器、谐振器。特别是，本发明涉及使用声表面波传感器的振荡器电路，所述声表面波传感器根据归因于质量负荷的频率变化来对检测的目标物质进行检测；本发明还涉及一种使用包括声表面波传感器的振荡器电路的生物传感器设备。
背景技术
至今人们已经提出了使用声表面波器件的各种声表面波传感器，以便检测不同物质。例如，检测生物材料(如脱氧核糖核酸(DNA)或抗体)的声表面波传感器具有反应膜，该反应膜仅对声表面波器件上的特定生物材料如DNA或抗体起反应。在这样的声表面波传感器中，DNA或抗体对反应膜起反应，并且被结合(束缚)在反应膜上，以在声表面波器件上加载质量。根据归因于质量负荷的频率变化，检测DNA或抗体的存在或浓度。
专利文件1公开了这种类型的声表面波传感器的一个实例。相关技术中公开的声表面波传感器能够检测2-methylisoborneol(2-MIB)，它是水中含有的霉臭体。如图11所示，声表面波传感器101具有叉指式电极103和104，和形成在压电基片102上的金属薄膜105。放大器106和107被连接在叉指式电极103与叉指式电极104之间。混合器108连接输出侧的叉指式电极104和放大器106和107的下游。声表面波传感器101的这种构造，使得经由混合器108提供输出。
在相关技术公开的声表面波传感器101中，OVA樟脑复合体固定在电压电基片102上，该OVA樟脑复合体充当反应膜，并根据2-MIB对OVA樟脑复合体的反应，检测2-MIB。
特别是，具有类似于是霉臭体的2-MIB的结构的樟脑蛋白质复合体抗体原，在声表面波传感器101中丧失活力。声表面波传感器101被浸泡在待测溶液中，该溶液中包含特别结合在2-MIB上的一定浓度的抗-2-MIB-抗体，和浓度未知的2-MIB，它们竞相对樟脑蛋白质复合体抗体原起反应。根据归因于声表面波传感器上质量负荷的输出电平的变化，生产结合在声表面波传感器101上的丧失活性的樟脑蛋白质复合体抗体原的抗-2-MIB-抗体。结合在樟脑蛋白质复合体抗体原上的抗-2-MIB-抗体的量与当2-MIB不存在时的接合抗体的量之间的差被计算，以确定待测溶液中的2-MIB的浓度。
如上所述，在此类的声表面波传感器中，质量变化被检测为频率变化。特别是，声表面波传感器被包含在作为谐振器的振荡器电路中，并根据振荡器电路的频率变化检测质量变化。
在专利文件2和3公开了作为谐振器的使用声表面波器件的典型振荡器电路。专利文件2和3公开的振荡器电路用于无线电系统，比如压控振荡器或遥控器。图12是该类型的振荡器电路的典型电路图。
振荡器电路121使用作为谐振器的声表面波器件122。在振荡器电路121中，声表面波器件122是两端口声表面波谐振器。两端口声表面波谐振器122的第一端口连接场效应晶体管(FET)123的栅极。两端口声表面波谐振器122的第二端口连接FET 123的漏极。
经由连接FET 123栅极的输出端124提供振荡输出。
专利文件1：日本待审专利申请公开JP10-90270；
专利文件2：日本待审专利申请公开JP02-60211；
专利文件3：日本待审专利申请公开JP02-164121。
如在专利文件2和3中，图12中的振荡器电路121使用声表面波器件作为谐振器。然而，这种振荡器电路也用在无线系统中，如压控振荡器电路或遥控器，并且不用于目标物质的检测。
此外，在图12的振荡器电路121中，对应于FET 123的偏压的几伏DC电压通常被施加到连接FET123的声表面波器件122的叉指式电极部。
当在图12的振荡器电路121中使用如专利文件1公开的声表面波传感器时，造成以下问题。声表面波传感器通常被浸泡在液体如体液或血液中，以便用声表面波传感器对检测目标物质进行检测。所以，部分液体被粘到声表面波传感器的表面。此外，当使用声表面波传感器时，而不使用图12的振荡器电路121中的声表面波器件122时，DC偏压被施加到声表面波传感器的叉指式电极部(如上所述)。结果，由于施加了DC偏压，因此经由粘到声表面波传感器表面的液体造成电介质击穿，使得叉指式电极部的电极分离。
换言之，由于不能采用使用振荡器电路121或具有将浸泡在液体中的声表面波传感器的类似物，因此振荡器电路121中使用的声表面波传感器未被考虑。
发明内容
为了解决上述问题，本发明的目的是提供一种包括声表面波传感器的振荡器电路，该振荡器电路使用作为谐振器的声表面波传感器，该声表面波传感器能够根据质量负荷变化引起的频率变化来对检测目标物质进行检测，并且振荡器电路不大可能具有归因于施加DC偏压的诸如电极分离的缺点，因此能够可靠操作，并提供使用包括声表面波传感器的振荡器电路的生物传感器设备。
包括声表面波传感器的振荡器电路具有：压电基片；形成在压电基片上的用于激发声表面波的电极；反应膜，形成在压电基片上以便覆盖激发声表面波的电极，并且结合检测的目标物质或结合要结合检测的目标物质的结合材料。能够根据频率变化检测少量质量负荷的声表面波传感器作为谐振器连接在包括声表面波传感器的振荡器电路中。包括声表面波传感器的振荡器电路的特征在于，包括串接声表面波传感器的隔直流电容器，和形成包含隔直流电容器的阻抗匹配电路。
根据本发明的包括声表面波传感器的振荡器电路的一个方面，阻抗匹配电路包括：串接隔直流电容器的电感元件，连接在电感元件一端与地电位之间的第一电容器，连接在电感元件另一端与地电位之间的第二电容器。
根据本发明的包括声表面波传感器的振荡器电路的另一方面，包括声表面波传感器的振荡器电路还包括：连接在声表面波传感器与隔直流电容器之间的连接点与地电位之间的电阻器。
根据本发明的包括声表面波传感器的振荡器电路的再一个方面，声表面波传感器使用两端口声表面波谐振器。
根据本发明的包括声表面波传感器的振荡器电路的再一个方面，使用两端口声表面波谐振器的声表面波传感器具有第一和第二端口。包括声表面波传感器的振荡器电路包括作为隔直流电容器的第一和第二隔直流电容器。包括声表面波传感器的振荡器电路包括：作为阻抗匹配电路的第一和第二阻抗匹配电路，其中第一阻抗匹配电路具有第一和第二端子，并包括第一隔直流电容器，该第一端子连接第一端口；第二阻抗匹配电路具有第一和第二端子，并包括第二隔直流电容器，该第一端子连接第二端口。包括声表面波传感器的振荡器电路还包括一个晶体管，该晶体管连接第一阻抗匹配电路的第二端子和第二阻抗匹配电路的第二端子。
根据本发明的包括声表面波传感器的振荡器电路的又一方面，场效应晶体管被用作晶体管。
本发明的生物传感器设备使用根据本发明构成的包括声表面波传感器的振荡器电路。
在本发明的包括声表面波传感器的振荡器电路中，能够根据频率变化检测质量负荷的声表面波传感器被用作谐振器，串联隔直流电容器连接声表面波传感器，并构成包括隔直流电容器的阻抗匹配电路。所以，即使声表面波传感器被浸泡在液体如含水溶液中，隔直流电容器阻止DC偏流施加到电极部。因此，能够防止归因于DC偏压的电极分离等。
由于连接隔直流电容器仅仅损失电路的阻抗匹配，并一起不超过1的振荡振幅条件的正反馈，因此包括声表面波传感器的振荡器电路不振荡。然而，隔直流电容器还形成本发明的包括声表面波传感器的振荡器电路中的阻抗匹配电路，所以可以避免振荡的停止。换言之，即使在声表面波传感器上装载少量质量，也可以产生具有根据质量负荷变化的频率的振荡输出，因此能够用声表面波传感器可靠和精确地检测质量负荷。
当阻抗匹配电路包括：串接隔直流电容器的电感元件，连接在电感元件一端与地电位之间的第一电容器，连接在电感元件另一端与地电位之间的第二电容器，它们在史密斯圆图等中以复数如Z＝R+jX表示的阻抗面上任意运动是可能的。所以，可以容易地获得阻抗匹配，该阻抗匹配与声表面波传感器的阻抗无关，因此可以产生宽带的振荡输出。
当本发明的包括声表面波传感器的振荡器电路还包括连接在声表面波传感器与隔直流电容器的连接点与地电位之间的电阻器时，它能够有效避免归因于热电效应的叉指式电极的电极指短路。
当声表面波传感器在本发明的包括声表面波传感器的振荡器电路中使用两端口声表面波谐振器时，拉长了两个反相SAM模(称作第零和第一模(或第一和第二模)，并具有较高的激发强度)之间的间隔，扩展了带宽。所以，它能够改善声表面波传感器的检测能力。
当使用两端口声表面波谐振器的声表面波传感器具有第一和第二端口时；包括声表面波传感器的振荡器电路包括作为隔直流电容器的第一和第二隔直流电容器；包括声表面波传感器的振荡器电路包括作为阻抗匹配电路的第一和第二阻抗匹配电路；第一阻抗匹配电路的第一端子连接第一端口，其第二端子连接晶体管，第二阻抗匹配电路的第一端子连接第二端口，其第二端子连接晶体管，第一和第二阻抗匹配电路分别连接两端口声表面波谐振器的第一和第二端口。所以，可以满意地实现与晶体管的阻抗匹配，以及可以确实满足振荡条件。因此本发明能够使包括使用两端口声表面波谐振器的声表面波传感器的包括声表面波传感器的振荡器电路更可靠地操作。
使用作为晶体管的场效应晶体管适合于具有较高阻抗的声表面波传感器。
由于本发明的生物传感器设备使用根据本发明构成的包括声表面波传感器的振荡器电路，因此能够根据振荡频率变化可靠检测细微检测物质。
附图说明
图1是本发明实施例的包括声表面波传感器的振荡器电路的电路图；
图2(a)至图2(d)图示了本发明的声表面波传感器的测量原理，其中图2(a)是示意地显示检测目标物质未存在于液体中的状态的截面正视图，图2(b)图示了检测目标物质未存在于液体中的频率变化；图2(c)是示意地显示检测目标物质存在于液体中的状态的截面正视图，图2(d)图示了检测目标物质存在于液体中的频率变化；
图3是示意地显示本发明一个实施例中使用的两端口声表面波谐振器的电极结构的平面图；
图4是图1中包括声表面波传感器的振荡器电路的修改的电路图，用于说明振荡条件；
图5是图1中包括声表面波传感器的振荡器电路的另一修改的电路图，用于说明振荡条件；
图6图示了当使用图8所示SAW滤波器并设置谐振器系统电路部分以便在图5电路中具有表1所示设置时，端口3和3A的反射系数；
图7显示了当端口2A连接端口3A以形成图4所示电路时的S32的振幅和相位条件；
图8显示了SAW滤波器的特征的实例；
图9显示了在本发明的包括声表面波传感器的振荡器电路中和在一个比较实例中，当液体被粘到声表面波传感器的表面上时，振荡频率的变化；
图10显示了在本发明的包括声表面波传感器的振荡器电路中和在所述比较实例中，当液体被粘到声表面波传感器的表面上时，输出电平的变化；
图11是示意地显示相关技术中声表面波传感器的一个实例的平面图；
图12是在相关技术中使用声表面波谐振器的振荡器电路的电路图。
参考标记说明：1-声表面波传感器；2-LiTaO3基片；3-叉指式电极；4-反应膜；5-液体；6-检测目标物质；13、23-叉指式电极；14、15-反射器；31-包括声表面波传感器的振荡器电路；32-声表面波传感器；32a、32b-第一和第二端口；33、34-第一和第二叉指式电极；35-晶体管；35a-基极；35b-集电极；35c-发射极；36-第一隔直流电容器；37-电感元件；38、39-电容器元件；40-连接点；41-电阻器；42-第二隔直流电容器；43-电感器元件；44、45-电容器元件；46-电阻器；47-连接点；48-连接点；49-输出端子；50至52-连接点；C1至C4电容元件；R1至R5电阻器元件。
具体实施方式
下面参考附图描述本发明的实施例。
图2(a)至图2(d)图示了本发明的在包括声表面波传感器的振荡器电路中使用的声表面波传感器的测量原理。
该实施例的声表面波传感器1利用了剪切水平(SH)声表面波，并且具有旋转Y-cut LiTaO3基片2，该基片2具有欧拉角(0°、0°至18°、0°±5)或者(0°、58°至180°、0°±5)。叉指式电极3在LiTaO3基片2上形成，以作为激励声表面波的电极。叉指式电极3由Au制成。叉指式电极3具有用声表面波的波长规格化的0.8％至9.5％的膜厚度。SiO2介质薄膜在Au电极上形成。
反应膜4在LiTaO3基片上形成。反应膜4由适当材料制成，它结合在检测的目标物质上或结合在将要结合检测的目标物质的结合材料上。
如果声表面波传感器1被浸泡在例如不包含检测的目标物质的液体5中，则液体5与反应膜4接触，如图2(a)所示。尽管检测的目标物质不存在于图2(a)的液体5中，但是液体5与反应膜4接触，并且在LiTaO3基片2上形成叉指式电极3的表面被加载质量。所以，如图2(b)所示，以这样一种方式降低频率，即声表面波传感器1被浸泡在液体5之前的频率特性A被改变到声表面波传感器1被浸泡在液体5之后的频率特性B。然而，在此情况下，频率变化量比较小。
相反，如果声表面波传感器1被浸泡在包含检测的目标物质6的液体5中，如图2(c)所示，则检测的目标物质6结合在反应膜4上。因此除了因为液体5导致表面质量增加外，还因为检测的目标物质6被结合在反应膜4的表面而在LiTaO3基片2上形成叉指式电极3的表面加载质量。
如果检测的目标物质6存在于液体5中，检测的目标物质6对反应膜4起反应，并被结合在反应膜4的表面。所以，检测的目标物质6的质量负荷增加了在LiTaO3基片2的表面上激发SH声表面波的效果，因此能够根据频率变化对检测的目标物质的存在进行检测。
根据本发明，具有上述原理并有效使用的声表面波传感器1的叉指式电极的形状是不受限制的。可以使用在传播声表面波的方向具有位于一个叉指式电极两侧的反射器的一端口声表面波谐振器，也可以使用图3所示的两端口声表面波谐振器。
图3是示意地显示两端口声表面波谐振器的电极结构。在图3中的两端口声表面波谐振器中，叉指式电极13和23被安排成在声表面波传播方向彼此相邻，反射器14和15被安排在沿声表面波传播方向设置叉指式电极13和23的区域的两侧。
下面参照图1描述本发明实施例的包括声表面波传感器的振荡器电路。
如图1所示，该实施例的包括声表面波传感器的振荡器电路31使用了根据上述原理执行测量的声表面波传感器32。声表面波传感器32使用了两端口声表面波谐振器，包括如图1示意显示的第一和第二叉指式电极33和34。所以，声表面波传感器32具有第一和第二端口32a和32b。
图1所示的声表面波传感器32以类似于声表面波传感器1的方式构成。也就是，形成反应膜，以便覆盖叉指式电极33和34。
此外，如图1所示，第一端口32a连接晶体管35的基极35a。第一隔直流电容器36和电感元件37串联连接在第一端口32a与基极35a之间。电感元件37连接基极35a。电容器元件38连接在电感元件37的一侧上的连接点37a与地电位之间，电容器元件39连接在电感器元件37另一侧的连接点37b与地电位之间。根据该实施例，包括电感元件37和电容器元件38和39的π型滤波器和第一隔直流电容器36形成第一阻抗匹配电路。第一阻抗匹配电路构成，使得经由第一端口32a的输出阻抗与进入晶体管35的基极35a的输入阻抗相匹配。
电阻器41连接在连接点40与地电位之间，而连接点40位于第一端口32a与第一隔直流电容器36之间。设置电阻器41是为了防止叉指式电极32和33因热电效应而短路。所以，调整电阻器41的阻值，以便实现该效果。
声表面波传感器32的第二端口32b经由彼此串接的第二隔直流电容器42和电感元件43连接晶体管35的集电极35b。设置第二隔直流电容器42，以便防止DC偏压被施加到叉指式电极34上。电感元件43连接晶体管35的集电极35b。电容器元件44被连接在电感元件43一侧的连接点43a与地电位之间，电容器元件45被连接在电感元件43另一侧的连接点43b与地电位之间。电感器元件43、电容器元件44和45以及第二隔直流电容器42构成第二阻抗匹配电路。
所以，在声表面波传感器32中，第一端口32a经由第一阻抗匹配电路连接晶体管35，第二端口32b经由第二阻抗匹配电路连接晶体管35。
此外，在第二端口32b侧，电阻器46连接在第二端口32b和第二隔直流电容器42间的连接点47与地电位之间，以便防止叉指式电极34因热电效应而短路。
第二阻抗匹配电路与晶体管35的集电极35b之间的连接点48经由电容器C1连接输出端子49。彼此串接的电阻器R1和R2连接在连接点48与电源电压Vcc之间。电阻器R1和R2之间的连接点50经由电容器C2接地。电源电压Vcc与电阻器R1之间的连接点51经由电容器C3接地。
彼此串接的电阻器R3和R4被连接在连接点50与地电位之间。电阻器R3与R4之间的连接点52连接第一阻抗匹配电路输出端。电阻器R5被连接在晶体管35的发射极35c与地电位之间。电容器C4并联连接电阻器R5。
下面解释图4中所示的根据修改的实施例的电路，以便考虑图1中所示的包括声表面波传感器的振荡器电路中的振荡条件。图4中的电路形成图1中包括声表面波传感器的振荡器电路具有端口P1至P3的开环电路。包括声表面波传感器的振荡器电路的振荡条件必需满足下式(1)和(2)。
|S32|≥0(dB)...(1)
∠S23＝360×n(deg)，其中n是整数...(2)
公式(1)代表振幅条件，公式(2)代表相位条件。所以，环路增益必需大于或等于0dB，环相位差必需是360度的整数倍，以便使包括声表面波传感器的振荡器电路振荡。在修改的电路中，端口P1连接用于测量振荡频率的50Ω系统的频率计。所以，包括声表面波传感器的振荡器电路的输出阻抗被设置为50Ω。
图5显示了包含振荡器系统电路部分和放大器系统电路部分的电路，该电路通过分离图1中的电路得到。当从端口P2和P2A观看放大器电路部分的阻抗为50Ω时，可以认为减少了从每个端口的反射并增加了环路增益，因为从端口P3和P3A观看振荡器系统电路部分的阻抗近似50Ω。
当在图5所示的电路中，使用具有图8所示特征的声表面波(SAW)滤波器，和振荡器系统电路部分中的元件具有表1所示值时，对应于端口P3和端口P3A的反射系数在图6中示出。
表1
 
具有图6中特征的元件值
L1 15nH
L2 15nH
C2 18pF
C3 18pF
C7 N.C
C8 N.C
C9 N.C
C10 N.C
R6 100kΩ
R7 100kΩ
N.C是指无连接。
如图6所示的S33和S3A3A的特征所示，S3A3A具有接近50Ω的特征，而S33具有从50Ω显著移位的特征。
当端口P2A连接端口P3A，形成图4所示电路时，如果设置如表1所示的元件值，以便具有图6所示的特征，则S32具有图7所示的振幅和相位特征。如图7所示，如果振幅特征具有大于0的增益，而相位特征等于0，则满足振荡条件。为了改善振荡器系统电路部分中的阻抗匹配，应当增加振荡器系统电路部分的电容器C7、C8、C9、C10。电容器的增加使得具有为零的S32的相位特征的振幅特征大于零，因此能够充分满足振荡条件。
所以，包含电感器L1和电容器C2、C7和C8的阻抗匹配电路中的元件值，和包含电感L2和电容器C3、C9和C10的阻抗匹配电路中的元件值应当被设置为使得，利用上述手段使振荡器系统电路部分的阻抗与放大器系统电路部分的阻抗尽可能匹配。
在该实施例的包括声表面波传感器的振荡器电路31中，当在声表面波传感器32上装载少量质量时，声表面波传感器32的谐振频率发生变化，这归因于检测的目标物质的出现。所以，经由包括声表面波传感器的振荡器电路31的输出端子49的振荡频率输出被改变，因而对检测的目标物质进行检测变成可能。在此情况下，如上所述，确实能够避免DC偏压施加到叉指式电极33和34，因为有了第一和第二隔直流电容器36和42。因此，不大可能由于施加DC偏压而短路叉指式电极33和34，并且电极膜不大可能与基片分离。
尽管仅仅串联连接隔直流电容器可能损失阻抗匹配和不满足振荡条件，但是如上所述，在该实施例中，第一和第二隔直流电容器36和42被连接成，形成第一和第二阻抗匹配电路。换言之，由于第一和第二隔直流电容器36和42的静电电容被设置成形成第一和第二阻抗匹配电路，因此能够确实满足振荡条件，以及振荡不大可能停止。
因此，在该实施例的包括声表面波传感器的振荡器电路31中，归因于施加DC偏压的电极膜的分离等不大可能发生。此外，甚至当诸如蛋白质的检测的目标物质对声表面波传感器表面的粘着改变了振荡频率，也能够确实满足振荡条件。所以，必定能够对检测的目标物质进行检测。
因此，该实施例的声表面波内含式振荡器电路31最好可应用于例如生物传感器设备，用于对检测的目标物质如生物流体中的蛋白质进行检测。
尽管晶体管35用于上述实施例，但是也可以使用场效应型晶体管，以替代晶体管35。这样一种情况适用于具有较高阻抗的声表面波传感器。
下面将说明特定试验实例。
使用两端口声表面波谐振器的声表面波传感器32用来形成图1所示的包括声表面波传感器的振荡器电路31。为了比较，使用相同的声表面波传感器形成图12所示的振荡器电路121。
所用声表面波传感器中的第一和第二叉指式电极的电极指具有12的对数并且具有5.8μm的波长。此外，抗白蛋白被粘到氰链烷(cyano-alkane)膜，该膜充当叉指式电极上的反应膜。
图9和图10显示了，在上述实施例的振荡电路中和在比较实例中，当作为包含检测的目标物质的水溶液的生理盐水溶液被粘到声表面波传感器的表面上时，输出频率和输出电平的变化。在图9和图10中，虚线显示比较实例中振荡电路的结果，而实线显示本实施例的包括声表面波传感器的振荡器电路的结果。
如图9和图10所示，当使用比较实例中振荡电路时，由于液体的粘着导致振荡频率和输出电平短时间内巨变，因而快速停止振荡。所以，使用声表面波传感器不能对检测的目标物质进行检测。相反，在上述实施例的包括声表面波传感器的振荡器电路中，能够产生稳定的频率和输出电平，并能够确实和可靠地检测归因于包含检测目标物质的液体的粘着的频率变化。

Claims (10)

1、一种包括声表面波传感器的振荡器电路，具有：压电基片；形成在压电基片上的用于激发声表面波的电极；和反应膜，形成在压电基片上以便覆盖激发声表面波的电极，并且结合检测的目标物质或者结合要结合检测的目标物质的结合材料；一个能够根据频率变化检测少量质量负荷的声表面波传感器作为谐振器连接；
其中，包括声表面波传感器的振荡器电路包括串接声表面波传感器的隔直流电容器；并且在包括声表面波传感器的振荡器电路中形成包含隔直流电容器的阻抗匹配电路。
2、根据权利要求1所述的包括声表面波传感器的振荡器电路，
其中，阻抗匹配电路包括：串接隔直流电容器的电感元件，连接在电感元件一端与地电位之间的第一电容器，连接在电感元件另一端与地电位之间的第二电容器。
3、根据权利要求1或2所述的包括声表面波传感器的振荡器电路，还包括：连接在连接点与地电位之间的电阻器，所述连接点位于声表面波传感器与隔直流电容器之间。
4、根据权利要求1或2所述的包括声表面波传感器的振荡器电路，
其中，声表面波传感器使用两端口声表面波谐振器。
5、根据权利要求3所述的包括声表面波传感器的振荡器电路，
其中，声表面波传感器使用两端口声表面波谐振器。
6、根据权利要求4所述的包括声表面波传感器的振荡器电路，
其中，使用两端口声表面波谐振器的声表面波传感器具有第一和第二端口，
其中，包括声表面波传感器的振荡器电路包括作为隔直流电容器的第一和第二隔直流电容器，
其中，包括声表面波传感器的振荡器电路包括：作为阻抗匹配电路的第一和第二阻抗匹配电路，其中第一阻抗匹配电路具有第一和第二端子，并包括第一隔直流电容器，该第一端子连接第一端口；第二阻抗匹配电路具有第一和第二端子，并包括第二隔直流电容器，该第一端子连接第二端口；
其中，包括声表面波传感器的振荡器电路还包括一个晶体管，该晶体管连接第一阻抗匹配电路的第二端子和第二阻抗匹配电路的第二端子。
7、根据权利要求5所述的包括声表面波传感器的振荡器电路，
其中，使用两端口声表面波谐振器的声表面波传感器具有第一和第二端口，
其中，包括声表面波传感器的振荡器电路包括作为隔直流电容器的第一和第二隔直流电容器，
其中，包括声表面波传感器的振荡器电路包括：作为阻抗匹配电路的第一和第二阻抗匹配电路，其中第一阻抗匹配电路具有第一和第二端子，并包括第一隔直流电容器，该第一端子连接第一端口；第二阻抗匹配电路具有第一和第二端子，并包括第二隔直流电容器，该第一端子连接第二端口；
其中，包括声表面波传感器的振荡器电路还包括一个晶体管，该晶体管连接第一阻抗匹配电路的第二端子和第二阻抗匹配电路的第二端子。
8、根据权利要求6所述的包括声表面波传感器的振荡器电路，
其中，场效应晶体管被用作晶体管。
9、根据权利要求7所述的包括声表面波传感器的振荡器电路，
其中，场效应晶体管被用作晶体管。
10、一种生物传感器设备，使用了权利要求1至9任一项所述的包括声表面波传感器的振荡器电路。
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