CN100475664C - 光学元件收容盒体 - Google Patents

Abstract

使粘着力等不作用、将盒体内收容的全部的光学元件在非常稳定的状态下固定地保持、防止异物等的发生。在盘体(10)上纵横向地形成元件收容部(11)，在这些各元件收容部(11)中工件(1)在竖立状态下、以从其上面部(10a)突出的方式被安装；其开放的上面部(10a)上以使由树脂薄片而成的保护部件(14)进行完全地覆盖而盖住；使其插入真空包(15)内、通过此真空包(15)的内部成为真空状态、以使工件(1)在盘体(10)的底面和保护部件(14)之间被夹持而固定。

Description

光学元件收容盒体

技术领域：

本发明涉及一种用于使光学元件收容的盒体，该光学元件具有作为如透镜、光学滤色片、分色镜功能、位相差功能、衍射光栅的功能等的光学功能；特别涉及用于收容具有四角形薄板的玻璃基板的光学元件的盒体。

背景技术：

作为光学元件，例如光学滤色片利用真空蒸镀等方法在薄玻璃板的表面形成滤色片膜，但是当向规定的光学仪器中插入时其为所谓的数厘米的边角乃至其以下、一般是小薄片(chip)状的插入。由此，制造光学滤色片时，通常，大尺寸的玻璃状态下在其表面实施镀膜、并在此后以取得必要的尺寸而进行切断。这样形成的光学滤色片等的光学元件，由规定的盒体来捆包并保管、并使在盒体收容的状态下出库发货。

这样，收容光学元件的捆包用的盒体，由分别收容各光学元件的盘体状的盒体主体和盖体构成，但是以使光学元件在盒体容易装卸、并从使收容的光学元件进行保护等的观点而言，通常，以使光学元件于盒体主体在竖立状态下收容。因此，在盒体主体上由用于收容光学元件的沟槽而形成的元件收容部纵横多个地进行形成，但该沟槽的深度尺寸与光学元件的高度尺寸相同、或比其小。使光学元件在元件收容部中收容时，如果此光学元件的上端部从盒体主体处于突出的状态，不接触该光学元件的有效面、把持住光学元件的左右两侧部，能使光学元件由元件收容部收容、从元件收容部取出。这样在收容了多个光学元件的盒体主体上安装盖体，通过利用粘贴胶带等简易的方法将此盒体主体和盖体的周围的边缘部固定为不动，使各光学元件在盒体内完全收容的状态下被捆包。

然而，为了能使光学元件对于盒体容易装卸，以使其在由具有比光学元件的厚度稍大的宽度的沟槽而形成的元件收容部上持有多少的余裕而进行收容。由此，以使盒体内光学元件能在所限制范围沿沟槽方向移动。因而，盒体的搬运等中，光学元件在元件收容部内形成振动，由此振动引起的光学元件和盒体的内面之间产生滑动。其结果：在光学元件上生成磨耗粉或破损片。特别是，如所述，在通过切断玻璃而形成光学元件的情况下，如果切断后的光学元件上不进行研磨等的处理，磨耗粉或破损片会大量产生。然后，如果由此而产生的磨耗粉或破损片等的异物在光学元件的有效面上附着，变为光学功能降低的情况。因此，如果光学元件的有效面上有异物附着，则必需经过洗净将污损物去除。另外，切断后的光学元件上，如果通过研磨此端面以使其成为平滑的圆弧面状，所述磨耗粉或破损片的发生在相对程度上得到抑制。

但是，如上所述，为了去除光学元件上附着的异物，必需进行洗净；而且为了抑制磨耗粉的发生，需实施端面处理之类的事宜，从成本提高的问题等来看，不能作为优选。

考虑到以上的问题点，已分别提出了在盒体内使光学元件收容后，以使此光学元件不移动的固定的方法。作为此提议的其中之一，如专利文献1，在沟槽的底部张贴粘贴胶带，使光学元件收容时，其下端部由粘贴胶带固定的情况。此外，作为其他的提议，如专利文献2，盒体主体为多层堆积，以在上下的盒体主体之间使光学元件的上下端面夹住。

【专利文献1】特开2002-59989号公报

【专利文献2】特开2003-200991号公报

但是，如专利文献1，如果光学元件在粘贴胶带上固定为不动，不仅从盒体的取出困难，由于取出的光学元件的端部上粘贴物附着残留，如果在不去除此粘贴物的状态下将其插入到光学仪器中，还唯恐使所谓该光学元件的操作错误等的坏影响产生。此外，光学元件的厚度非常薄的情况下，存在着仅使其一端面在粘贴胶带上固定，并非其固定性和可靠性就充分的问题。另一方面，如专利文献2，如果光学部件由上下夹持，虽然其固定性和可靠性可以获得，但通常，光学部件的外形尺寸精度不太经过严格调整，产生加工误差等。因此，也存在的问题是：由于光学元件的尺寸的零散，能使夹持力起作用的，仅是光学元件的最大的光学部件，而对于此光学部件以外不能使充分的夹持力起作用，特别是对于最小的部件等几乎是夹持力不起作用的状态，搬运中振动的发生不能完全阻此。即，所述专利文献1或专利文献2中已提出的对策并非是充分的。

发明内容

本发明借鉴所述的问题点，其目的在于：使粘贴力等不起作用，盒体内收容的全部的光学元件在非常稳定的状态下固定地进行保持，保持得工件上异物等不附着。

为达成所述目的，本发明，其特征在于，构成为：

具有：无盖的盘体，其纵横向地规定数目形成了元件收容部，该将薄板形状的光学元件在竖立的状态下收容；真空包，其用于收容此盘体；和保护薄片，其具有在此真空包的内部可安装的柔软性；并且，在所述盘体的各元件收容部中收容所述光学元件，用所述保护薄片覆盖各光学元件上面后，将所述盘体收容到所述真空包中，将所述真空包内部抽空气成负压状态，使所述各光学元件的上下端面被夹持在所述盘体的底面和所述保护薄片之间，并以均匀压紧力固定地保持所述各光学元件

此外，本发明的另一方式的特征是，构成为：

具备：无盖的盘体，其将薄板形状的光学元件在竖立的状态下收容的元件收容部以纵横向地形成规定数；和真空包，其具有可挠性的缓冲材和覆盖此缓冲材的多层气密部件，该多层气密部件包括对于刮擦伤强度高的外层；并且，在所述盘体的各元件收容部中收容所述光学元件，将所述盘体收容到所述真空包中，将所述真空包内部抽空气成负压状态，并使所述各光学元件的上下端面被夹持在所述盘体的底面和所述多层气密部件之间，并以均匀压紧力固定地保持这些各光学元件。

在此，光学元件以竖立状态收容在盘体的元件收容部中，由真空产生的光学元件的夹持力，以将配置于该光学元件的上下的端部压紧于盘体的底面和真空包那样地发挥。光学元件变成为其端部被压紧于盘体，从真空包侧获得压紧力。即，真空包自身或保护薄片被光学元件的端面推压。这时，光学元件是薄板状的物体，在做成四角形状时存在锋利的边角部。因此，首先发挥压紧光学元件的功能的部件，必须是在光学元件的边角部不产生破损、不产生裂纹的原材料。即，必须保持相对于刮擦伤或切裂的充分的强度。另外，在使多个光学元件收容在盘体中的状态下，因为必须使几乎均匀的压紧力对全部的光学元件作用，故不管是保护薄片，还是构成真空包的多层气密部件，都要求有向高弯曲方向的可挠性。然后，具有向弯曲方向的可挠性的部件，也可是柔软的部件。但是，真空力起作用时，虽然需要仅对光学元件的端面进行推压，但不希望是柔软到与光学元件的表面(或后面)密接程度的部件。再有，即使相对于光学元件滑动，也要求没有产生尘埃之虞。

一般，真空包是由：使用铝等的薄箔状的金属薄膜或尼龙等的不透气的薄片状的部件，以其两面分别与一层到多层的树脂薄膜进行粘接而构成的多层气密薄片形成为袋状的部件构成。这时，构成真空包的多层气密薄片的内部上设置保护薄片，或如果其构成是真空包其物体具有难以受损、不产生尘埃的部件，此真空包其物体能作为光学元件的推压装置进行利用。任何一种情况下，以使盘体的上部覆盖、而且以光学元件从上部侧压紧而进行固定。

利用保护薄片时，能在盘体上固定此保护薄片，但在真空包的内部为真空时，必须以保护薄片的一部分上大的张力不发生而进行保持。因此，作为优选保护薄片对于盘体未固定地覆盖而进行安装。

在真空包的内部使负压作用时，其内面或保护薄片成为沿光学元件的边角部等滑动，而且在此边角部上被压接。因而，和真空包的光学元件抵接的一侧的面或保护薄片采用非纤维质的物体。由此，纤维在一部分上剥离而成为发尘要素，能防止光学元件上纤维附着的情况。另外，非纤维质，虽必需置于和光学元件直接抵接的面中，但也可在中间层介于纸等的纤维性的薄片。

盘体上形成的元件收容部能由规定深度的沟槽而构成。本发明的一个实施方式中，此沟槽的深度采用光学元件的高度尺寸以下。如果光学元件在沟槽中完全埋没，不能使真空包侧的压紧力发挥。因此，以使光学元件至少和盘体的上面几乎一致地收容、更为期待的是采用使光学元件多少突出状态下收容。由此，由操作装置或手动作业将光学元件在盘体装卸的作业变得容易。与光学元件的有效面不进行接触，以使在元件收容部上容易地装卸。但是，从稳定性、特别是从防止光学元件的飞出的观点而言，作为优选光学元件的突出部，采用其一半以下的高度量。

本发明的其他的实施方式中，构成元件收容部的沟槽的深度，在光学元件竖立时，是与其高度几乎相同的尺寸。不管怎样，如果多少一点，也可以是光学元件从盘体的上面突出、也可处于埋没状态。但是，使光学元件不太大地突出，防止在其边角部等发生裂纹或残缺等的损伤。另一方面，如果使光学元件在元件收容部中太深地埋没，此光学元件的取出变得困难，从作业上的观点而言不优选。再有，通过真空包需使将光学元件朝沟底面上进行推压的力作用，如果光学元件在元件收容部的内部太深地埋没，有时也存在通过真空包使对于光学元件来自上方的推压力不作用的情况。

如果真空包的内部处于真空状态，其内面或保护薄片与光学元件的端面相抵接，将该光学元件在盘体的底面上压紧。这时，由于通过负压的作用对各光学元件进行独立地压紧，即使各光学元件上存在多少尺寸误差，对于全部的光学元件几乎相同的夹持力起作用。此外，有关真空包内的真空压采用怎样的程度，由光学元件的强度而定。即，如果光学元件是薄型的、易变形的物体，不能使太强的压紧力作用。另一方面，厚的、难变形的光学元件的情况下，为了确保其固定性，能使真空压更高。因此，真空包的内部压力，在盘体中被收容的光学元件不发生变形或破损等条件下，尽可能地使强力的压紧力作用。

进而本发明的另一方式，是一种光学元件收容盒体，其由比薄板状的光学元件的厚度稍宽的沟槽构成，使此光学元件在竖立状态下进行收容的元件收容部，在纵横向地形成规定数目，以使这些各元件收容部上光学元件收容的盘体通过真空包进行密闭捆包，其特征在于：

所述收容盒体采用的构成为：构成所述元件收容部的沟槽，其中收容所述光学元件时，从所述盘体的表面成为几乎非突出状态的深度尺寸；深度方向中的下部侧，以使对于所述光学元件的两侧部具有微小的间隔而相对；深度方向中的上部侧，采用了形成用于对所述光学元件进行插拔的夹具的可插入的开口的构成。

光学元件在盘体中的元件收容部内由竖立的状态而被收容，但在向光学元件的元件收容部的插拔时，为了最小限度地抑制此光学元件的表背面对于构成元件收容部的壁面的滑动，构成元件收容部的沟槽的宽度尺寸则是比光学元件的厚度稍宽的尺寸、持有更微小的间隔。另外，沟槽的全长，是比光学元件的长度尺寸稍宽的尺寸。由此，以使光学元件实质上成垂直状态下收容于元件收容部内，在移送盘体等时，使光学元件在元件收容部内几乎不动地收容。

构成元件收容部的沟槽的深度，如所述，采用与将光学元件竖立时的高度相同的尺寸。

元件收容部的深度方向中，下部侧如所述那样，成为窄的沟宽、短的长度，保持光学元件的部位存在于下部侧；上部侧其沟宽及长度的各尺寸形成为变大、成为在盘体的上面开口的开口部。此开口部作为将光学元件在元件收容部插拔的夹具，例如是用于以使镊子等插入的部位。因此，上部侧的开口部，必需持有在镊子等的夹具下将光学元件能稳定地夹持的深度及长度。但是，由于保持光学元件的部位是下部侧，为了将光学元件在更加稳定的状态下进行保持，在元件收容部中，作为优选只将保持下部侧的光学元件的部位尽可能变大。

根据如上的构成，能在非常稳定的状态下固定地保持盒体内收容的多个光学元件，没有各光学元件相对盘体内面滑动而产生磨耗粉等之虞，而且达到即使盒体和其他的物体碰撞，也可以防止在光学元件上导致缺口等损伤之效果。

进而，本发明的另一方式，是一种光学元件收容盒体，其将薄板状的光学元件在竖立状态下收容的元件收容部，在纵横向地形成规定数目，以使这些各元件收容部上收容光学元件的盘体，通过真空包进行密闭捆包，其特征在于：所述收容体采用的构成为：所述元件收容部，是具有以使所述光学元件从所述盘体的上面部实质上处于非突出状态下收容之深度的部件；在所述元件收容部的底壁部上设置用于推上光学元件的多个透孔；推动部件在所述各透孔相对应的各位置上设置推上用的突起推动部件，并通过使推动部件在所述盘体的底面上重叠，由这些各突起通过透孔以使所述各元件收容部内的光学元件，从所述盘体的上面推起而使其变位。

盘体中规定数目所设置的元件收容部，采用的构成为：通过将具有规定的间距(pitch)间隔的多个的元件收容部配列而形成元件收容部的列，并将其形成多个列。并且，在元件收容部上将光学元件插拔时，为了最小限地抑制此元件收容部的壁面和光学元件的表背面的滑动接触，作为优选使元件收容部上光学元件的两侧部被保持，并构成为中间部使光学元件的表面从元件收容部的壁面隔开得大。

在盘体中，也可以将各元件收容部独立地形成，但成为和光学元件收容时的高度尺寸几乎相同的深度、并多个列形成宽度比所述光学元件的长度尺寸短的凹沟，以使这些各凹沟的左右的侧壁部上保持光学元件的两侧部那样，形成比此光学元件的厚度稍大的定位沟槽，通过夹持凹沟相面对的各对的定位沟槽能形成元件收容部。这时，透孔形成为凹沟的底壁部，但透孔能以达到凹沟上形成的全部的元件收容部的全长那样形成；即，各列的元件收容部上能形成共同的透孔，而且也能在一个位置的每个元件收容部上分别独立地形成，再有也可以构成为在多个位置的元件收容部上形成共同的透孔。

在盘体中的各元件收容部内收容了光学元件时，各光学元件从盘体的上面呈不突出的状态。盘体的底壁部上设置的透孔是为了由推动部件将光学元件推动到从盘体的上面突出的状态而设置的。此推动部件，使用将在台座上与各透孔相对应的各位置上设置推上用的突起的部件。突起根据透孔的形状以能达到多个位置的元件收容部，进而，凹沟的几乎全长上设置有透孔时，突起也可由一个构成。由此突起引来的光学元件的推上高度，是光学元件的高度尺寸的一半以下、且通过光学元件的插拔用夹具能完美地进行插拔的高度。另外，以使光学元件推上时不发生损伤等，作为优选突起由弹性部件构成。

根据如上的构成，在收容了多个光学元件的盘体中，使这些各光学元件固定地、稳定的状态下收容，即使盘体移动、或使其振动，各光学元件对于盘体内面不滑动、不产生磨耗粉或破损片等，而且由于外部来的异物不进入，起到光学元件通常能在清洁的状态下保持的效果。

再有，盒体内收容的多个光学元件能在非常稳定的状态下固定地保持，即使盒体和其他的物体进行碰撞，则也能防止光学元件上带来的缺陷等的损伤，并即使在元件收容部的沟槽的深度与光学元件的高度几乎相同的情况下，也起到在盒体上容易插拔光学元件等的效果。

附图说明

图1是表示本发明的一个实施方式中的光学元件收容盒体的盘体，和此盘体中收容的光学元件的外观立体图。

图2是表示构成光学元件收容盒体的盘体、盖部件、真空包及盖体的构成说明图。

图3是将盘体在真空包内插入、在已真空的状态下的工件的排列方向的截面图。

图4是将盘体在真空包内插入、已真空的状态下的工件的列方向的截面图。

图5是表示真空包内被收容的盘体上安装了盖体的状态的截面图。

图6是将盘体在真空包内插入，在已真空的状态下的工件的排列方向的截面图。

图7是将盘体在真空包内插入、在已真空的状态下的工件的列方向的截面图。

图8是表示在盘体上形成的元件收容部中插拔工件的状态的作用说明图。

图9是表示构成元件收容部的沟槽的各部的尺寸、和工件的尺寸的关系的说明图。

图10是将盘体在真空包内插入，在已真空的状态下的工件的排列方向的截面图。

图11是将盘体在真空包内插入、在已真空的状态下的工件的列方向的截面图。

图12是盘体的平面图。

图13是表示盘体和推动部件的截面图。

图14是表示盘体和推动部件重叠的状态的作用说明图。

图15是图14的A-A截面图。

图16是表示元件收容部及透孔的其他的实例的平面图。

图17是表示本发明中的一个实施方式的真空包的多层体的构成的截面图。

图中：

1-工件，10-盘体，10a-盘体10的上面部，10b-盘体10的立壁部，10c-盘体10的伸出部，11、40-元件收容部，11a-工件保持部，11b-开口部，12-凹沟，13-狭缝(slit)状的沟槽，14-保护部件，15-真空包，16-盖体，17、41、50、51、52-透孔，20-镊子，20a-镊子20的夹持部，30-推动部件，31-台座，31a-推动部件30的立壁，32-突起，40a-定位部，40b-扩宽部，151-气密薄膜，152-缓冲层，153-外层，x-元件收容部11的沟宽，X-工件的厚度尺寸，y-元件收容部11的沟长，Y-工件的长度尺寸，z-元件收容部11的深度，Z-工件的长边的尺寸，

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

首先，如图1所示，作为由本发明操作的工件(work)1，由四角形状的薄玻璃板构成，其表面上，例如是通过镀膜装置形成滤色片的。但是，工件1不是限定于此的，四角形以外的、例如能包括圆形等的薄板形状的光学元件或将其他的部件作为对象。

在图中，10是盘体，此盘体10是将多个的工件1在竖立的状态下进行收容的部件；为此由在具有规定的间距间隔(pitch interval)中形成着使多个的工件1收容的沟槽而成的元件收容部11的列，这些元件收容部11的列形成为多个列。盘体10其上端部处于开放状态，工件1以使从盘体10的上面部10a在各元件收容部11可装卸地收容。盘体10，因为平面形状为长方形的，通过其四周上形成的立壁部10b是具有规定高度尺寸。

盘体10由薄的塑料成型品所形成。因而，从加强及保形性的观点而言，朝工件1的排列方向为长度方向、具有比工件1的宽度尺寸短的沟宽的凹沟12形成为多个列。因此，根据此凹沟12的弯曲部分、则具有高弯曲强度。元件收容部11，是具有狭缝(slit)状的沟槽13、13的部件；该狭缝状的沟槽13以从如上形成为多个列的凹沟12的左右两侧的侧壁部分伸出而形成的。即，各元件收容部11具有从一方侧的狭缝状的沟槽13经过凹沟12、达到与此面对的相反侧的狭缝状的沟槽13的长度。另外，凹沟12及狭缝状的沟槽13的底壁位于相同高度的位置，周围的立壁部10b从此底壁延伸至下方、并连接设置着朝外方向弯曲的伸出部10c。

在此，狭缝状的沟槽13的沟宽是比工件1的厚度稍大的尺寸；另外两个狭缝沟槽13和13之间的间隔，是工件1的长度方向的尺寸，即是比竖立状态的工件1中的左右两端的端部之间的长度稍微变宽。由此，工件1在由相面对的一对的狭缝状的沟槽13、13之间的细长空间形成的元件收容部11上能进行插拔，而且安装时工件1在竖立状态下、无需凌乱地整理而稳定地被保持。

盘体10的纵横向上形成的各元件收容部11上使工件1安装的状态下，如图2所示，使盖(cover)部件14覆盖，以盖住在其开放的上面部10a。此处，盖部件14是薄片状的部件、是即使被压紧于锋利的物体上、拥有刮擦伤或切裂不容易发生程度的高强度、且表面即使被摩擦也不发生磨耗乃至粉尘的薄片而成的部件。而且，是弯曲方向上具有可挠性的部件、特别是弯曲方向上柔软的部件、是具有缓冲性的部件。但是，伸缩性虽然不是重要条件，也可以是具有多少伸缩性的薄片。进而，此薄片尽可能采用摩擦系数小的、即采用平滑地易于滑动的材料。特别是，非纤维质的材料；具体而言，作为优选，采用合成树脂制的薄片。

盘体10中设置的全部的元件收容部11上安装有工件1，由盖部件14覆盖的状态下，以使其在真空包15内被插入。在此，真空包15其全体是四角形状的、其中的一边开着口。因此，使盖部件14盖住的盘体10、从此开口侧朝真空包15内插入、内部抽真空后以此开口部被密闭而被进行捆包。其结果，真空包15的内部成为负压状态，而且以对于盖部件14使朝工件1的上端面推压方向上负压起作用。

此外，此盖部件14的尺寸，是盘体10中的元件收容部11所形成的区域能完全地进行覆盖的尺寸，进而作为优选具有比盘体10的上面部10a宽的平面的尺寸。即，即使盘体10的全部的元件收容部11上安装工件1的状态下，如果使盖部件14盖住，作为优选采用将盘体10的周围的侧壁部10b部分地覆盖的大小。

在此，虽盖部件14以覆盖盘体10的上面部而被盖住，但实际上与工件1的前端部抵接、与盘体10的上面部排除其周缘部在非接触状态下进行保持。因而，此盖部件14即使对于盘体10，或即使对于除此以外的部件没有被固定，则保持完全地自由状态中的状态下，完全地覆盖住盘体10的至少上面部10a的全体。

(第一实施方式)

如果盘体10的上部由盖部件14覆盖，盖部件14与从盘体10的上面突出的工件1的端面抵接，通过盘体10的上面和前后的工件1、1和盖部件14形成隧道状的空间。如果真空包15的内部为真空状态，此空间则要缩小。盖部件14具有朝弯曲方向的可挠性，且仅覆盖盘体10，保持为非固定状态。因此，盖部件14在前后的工件1、1之间被弯曲成凹状，对于工件1朝图3箭头所示方向推压的力起作用。此外，如图4所示，由于工件1的列间空间也具有同样的性质，则盖部件14在同图中箭头方向的推压力起作用。其结果，由于工件1的下端部与盘体10中的元件收容部11的底面抵接，工件1以使盘体10的底面和盖部件14之间被夹持而被固定。而且，尽管盘体10中收容着多个工件1，因为来自盖部件14的推压力对于各工件1独立地起作用，所以，即使工件1的尺寸有偏差，也能稳定地固定全部的工件1。

因为工件1是薄的物体，如果基于所述负压的推压力过剩地起作用，存在由于此压力的作用使工件1变形、损伤之虞。从而，通过调整在真空包15内起作用的负压，使工件1通过真空包15内的真空压、朝盘体10的底面的压紧力而不变形，而且对于此工件1以稳定的夹持力作用。因而，虽然工件1其边缘部分成为最锋利的，但因为盖部件14处于非拘束状态，此盖部件14通过负压的作用而尽管部分地附加强力的拉力，在全体上几乎均等的推压力进行作用。为此，如果盖部件14上持有一定程度的强度，没有工件1的边缘部分上被推压、被切裂、或损伤之虞。因此，不会发生位于此盖部件14的外侧的真空包15破损而由盖部件14向工件1的推压力丧失的事态。

由此，即使盘体10移动，工件1在盘体10的底面和盖部件14之间稳定的状态下被固定，没有工件1在其间滑动磨耗粉或破损片发生之虞；而且因为没有从真空包15的外部异物侵入，工件1的周边部在非常清洁的状态下进行保持；进而以使有效面的工件1的表面部不覆盖，没有在此有效面上异物等附着之虞。

因而，开放真空包15而开放其内部的负压，与盖部件14一起盘体10从真空包15取出后通过取掉盖部件14，能插入到规定的仪器中、且实施适当的处理。

此处，虽然由真空包15被捆包的盘体10中由盖部件14及真空包15的一面所覆盖，但工件1的前端是从盘体10突出的。因此，操作中，工件1上有可能发生割裂等。因而，如图5所示，也可以在盘体10上使盖体16盖住而构成。并且，盖体16的内面，是比在工件1被收容的上方突出的真空包15的表面高的位置、以使其间能有规定的空间。

根据这样的构成，能使安装有盖体16的真空包15进行重叠；保管时、或搬运时，将真空包15重叠为多段，即使在气密填料等上进行捆包、没有工件1损伤之虞。但是，将真空包15重叠时，位于上下位置的真空包15内的工件1上以使别样的外力不作用的状态被保持、则上下的真空包15、15之间设置成规定的间隔。因而，为使此间隔为必要的最小限的，将盘体10的侧壁部10b的高度适当地进行设定。进而，也可其构成为：设计用于在此侧壁部连结上下所重叠的真空包15、15之间的状态进行维持的突起和凹部。

(第二实施方式)

第2实施方式中，使元件收容部11的沟槽的深度，成为工件1的上端部与盘体10的上面部10a几乎处于相同高度位置。

与第1实施方式相同地，在真空包15的内部中插入盘体10，如果其内部为真空状态，则要缩小内部空间。其结果，盖部件14(或真空包15)在盘体10的上面进行推压的方向上弯曲，在盖部件14上以图6及7中箭头所示方向的推压力起作用。其结果，因为工件1的下端部与盘体10中的元件收容部11的底面抵接，所以，以工件1和盘体10的底面和盖部件14之间被夹持而被固定。而且，尽管盘体10中收容着多个工件1，因为来自盖部件14的推压力对于各工件1独立地起作用，所以，即使工件1的尺寸有偏差，也能稳定地固定全部的工件1。因为工件1是薄的物体，如果基于所述负压的推压力过剩地进行作用，则存在由于此压力的作用而使工件1变形、或损伤之虞。但是，本实施方式中，工件1的上端部与盘体10的上面部10a几乎在相同位置上被配设，当作用了真空时，工件1在盖部件14的推压力下不变形，以盖部件14和盘体10的底面之间使稳定的夹持力作用。此外，虽然四角形的工件1其边缘部分为最锋利的，但没有盖部件14在工件1的边缘部分上被推压、被切裂、损伤之虞；没有发生真空包15破损而盖部件14向工件1的推压力丧失的事态。

另外，盘体10的保管时、或搬运时，优选通过将其进行多层地重叠，能以小型储存。这时，通过以盘体10的上面部10a进行覆盖的方式可装卸地安装盖体16，能更可靠地保护工件1。因而，盖体16，因为能以其盖体16的内面和盘体10的上面部10a几乎接触的方式安装，所以能最小限地抑制高度尺寸。

此处，盘体10的元件收容部11上将工件1插拔时，作为为此的夹具的一例，能利用图8所示镊子20。因此，虽然工件1由构成镊子20的一对的把持部20a、20a之间所夹持，但对于此工件1的夹持力的作用位置，在工件1的端面中，朝元件收容部11的插拔方向为上下的端面时，是左右的端面；以使工件1的表背面不与镊子20的把持部20a抵接。因为工件1的表背面是光学功能面、也就是使光透过的面，所以为了使这些面上不让有刮擦伤、污损，以使镊子20不接触而进行工件1的插拔工作。

元件收容部11上收容的工件1的上端部实质上是从盘体10的上面部10a保持着非突出状态。因而，工件1，在由真空包15所固定前的阶段、或使真空包15的负压开放后，稳定地进行保持为在元件收容部11的内部不移动。因此，元件收容部11的下部侧是工件保持部11a，上部侧则变成插入镊子20、能插拔工件1的开口部11b。因而，元件收容部11和工件1的尺寸关系则为图9(a)及(b)所示。在图9中，(a)是元件收容部11的平面图、(b)是截面图。

首先，如图9中，元件收容部11中的工件保持部11a中，其沟宽x、是比工件1的厚度尺寸X稍大。因而，此尺寸差是将工件1在元件收容部11插拔时被分配的间隔；此间隔是微小的间隔。由此，以使工件1在元件收容部11内几乎垂直状态下竖立。此外，工件保持部11a的长度尺寸，即夹持凹沟12、从元件收容部11的一方侧的端部到另一方侧的端部的间隔，即构成元件收容部11的沟槽的长度y，比工件1的长度尺寸Y稍微长。

通过保持以上的尺寸关系，工件1在元件收容部11中几乎以垂直状态下被收容，即使是使盘体10倾斜、移动，工件1在元件收容部11内也不会引起胡乱地移位或倒塌。其结果，没有起尘、或工件1的损伤等之虞，可稳定地被保持。如果所述尺寸差实质上不存在，工件1的固定性变得更高。盘体10，因通常由树脂的成形品所形成，所以从尺寸精度的问题而言、使工件1对于元件收容部11插拔时，构成此元件收容部11的壁面和工件1成为滑动接触，存在此工件1的表背面上受损之虞。因此，至少盘体10的成形过程中的尺寸误差量，优选持有比其大的尺寸差。

由夹住凹沟12而位于两侧的沟槽形成的元件收容部11的深度z，如图9(b)所示，工件1的高度尺寸，即如果工件1是正方形、高度尺寸和长度尺寸是相同的；但是长方形时，长边朝上下方向而在元件收容部11中收容的情况下，与其长边的尺寸Z几乎相同。但是，即使从盘体10的上面部10a突出、或埋没，如果其是微小的尺寸，也不会成为特别的问题。

元件收容部11的所示宽度及长度尺寸，是下部侧的工件保持部11a；上部侧的开口部11b与11a比较其宽度及长度尺寸变大。此外，深度方向中，工件保持部11a的一方设为长尺寸。即，通过在工件保持部11a的深度方向的尺寸进行充分地保持，对工件1能更稳定地进行保持。另一方面，使开口部11b的深度，具有作为工件1的插拔用的夹具的镊子20保持工作动作可能的空间而必要的尺寸。而且，开口部11b的宽度尺寸及长度尺寸，是在元件收容部11内使工件1收容的状态下，此工件1的左右的两端部由镊子20的夹持部20a、20a夹持而能容易取出的尺寸。由此，通过镊子20，工件1在元件收容部11中能容易、且完美地插拔；没有操作中掉落工件1、受损的情况。

(第3实施方式)

在第3的实施方式中，也与第2的实施方式相同，使元件收容部11的沟槽的深度，作成为使工件1的上端部和盘体10的上面部10a几乎处于相同高度位置。

和第1及第2的实施方式相同，真空包15的内部中插入盘体10，如果其内部为真空状态，则要缩小内部空间。其结果，如图10及图11中箭头所示，盖部件14(或真空包15)在盘体10的上面部10a进行推压的方向上弯曲，将工件1从上部推压的力起作用。其结果，因为工件1的下端部与盘体10中的元件收容部11的底面抵接，所以使工件1在盘体10的底面和盖部件14之间被夹持而固定。

在此，凹沟12及狭缝状的沟槽13的深度，工件1的高度尺寸；即和由一对的狭缝状的沟槽13、13所构成的元件收容部11中收容时的上下方向的尺寸几乎相同。另外，工件1在元件收容部11内，也能是以多少埋没的状态来收容的深度。但是，如果使工件1太深地埋没，有可能来自负压的压紧力不能充分地获得。因此，以工件1的上端部从盘体10的上面部10a实质上不突出地使元件收容部11上收容，能谋求工件1或真空包15的保护。

工件1从盘体10的上面部10a不突出，而且工件1的左右两侧部与构成元件收容部11的狭缝状的沟槽13的壁面几乎相接触。工件1朝元件收容部11的插拔时、特别是取出时，作为夹具的一例、利用镊子20(参照图14)，通过其左右的夹持部20a、20a使工件1的左右的两侧部夹持，但是镊子20的夹持部20a与狭缝(slit)状的沟槽13的壁面干扰而不能与工件1的两侧部抵接。因而，在取出工件1时，以使此工件1从盘体10的上面部10a仅规定的长度部分突出。但是，此工件1的突出部分的长度，是其全长的一半以下。另外，为了将工件1从元件收容部11取出，通过镊子的夹持部20a使工件1夹持时，最低限地，没有掉落此工件1的情况、确保仅是能稳定地保持的长度部分的突出量。

这样，为了从元件收容部11使工件1突出，如图12所示，盘体10中的凹沟12的底壁、构成各元件收容部11的位置上，透穿设置了朝此元件收容部11的纵向变长的透孔17。此外，如图13乃至图15所示，利用推动部件30，通过此推动部件30以使各元件收容部11内的全部的工件1一齐突出。推动部件30，其构成为：在具有四周上规定高度的立壁31a的台座31的上面，以和各透孔17对置而设置突起32的物体。台座31的外形是和盘体10的立壁部10b的内面形状几乎一致，在使盘体10从真空包15装卸的状态中，以在其立壁部10b的内侧使推动部件30的立壁31a被嵌合。由此，使盘体10和推动部件30重叠的状态下稳定地保持。

例如作业桌的上面将推动部件30载置，虽然此推动部件30上使盘体10嵌合，但以使构成元件收容部11的狭缝状的沟槽13及凹沟12的底壁至与台座31的表面抵接的位置进行塞进。因此，从台座31突出的突起32则进入凹沟12上设置的透孔17内，如图14及15已清楚，位于元件收容部11内的工件1由突起32从盘体10的上面部10a被推上规定量。其结果，工件1由镊子20夹持而能从盘体10容易取出。因此，推动部件31上使盘体10重叠时，如果在其间设有规定的嵌合量，则作业桌上从盘体10的上面部10a、能使工件1由镊子20仅能夹持的突出的状态下可以稳定地保持。由此，因为突起32是将工件1直接推上的部件，为了在此时以使工件1不受损，作为优选突起32由富有弹性的部件来形成。

其次，图16中例示出盘体的元件收容部和透孔的其他的构成。在图16(a)中，例示出没有设置凹沟，将分别单独地形成的元件收容部40。此元件收容部40是其两端部和所述的狭缝状的沟槽13具有同样的形状的定位部40a；与凹沟12相当的部位成了比两端部宽度要宽的扩宽部40b。因此，工件1通过两个定位部40a、40a在竖立状态下定位而被保持。因而，此时，形成扩宽部40b上推动部件的推上用的突起进入的透孔41。

进而，图16(b)、(c)及(d)，任何一个虽然是和构成凹沟12的侧壁上形成狭缝状的沟槽13、13而设置的元件收容部11的第1实施方式同样的情况，但在图(b)中，透孔50形成为达到凹沟12的几乎全长。因此，推动部件上所设置的推上用的突起能由各凹沟12中的一个长尺寸的部件来构成。为此，推动部件的构成被简化。此外，图16(c)，是具有达到多个的元件收容部11的长孔形状的透孔51的情况。因此，这时推动部件上也可在各透孔51中设置一个的突起。进而，如图16(d)所示，也可将透孔52在凹沟12的长度方向作为纵向。

以上，在图16(b)的构成中，推动部件的突起的构造被简化。但是，因为元件收容部11的底壁的强度劣化，所以必需将盘体由刚性高的部件来构成。在图16(c)所示的构成中，其构成能比所述第1的实施方式简化；且和图16(d)的情况相比较，元件收容部11的底壁的强度变高。进而，如图16(d)所示，通过将透孔52在凹沟12的纵向上成为长的部件，由于突起的宽度能比工件1的厚度变大，所以工件1的推上时的稳定性将增大。

(第4的实施方式)

所述的实施方式中，虽采用真空包15和工件1之间使盖部件14介入的构成，但作为真空包，如果利用如图17所示的构成的部件，并非需要使盖部件14在真空包和工件之间介入。在该图17中例示的真空包15，是由5层的迭层薄膜所构成的部件。位于此薄膜的中心的层，是例如由尼龙而成的气密薄膜151。此外，在此气密薄膜151的上下，将具有缓冲功能、即使在工件1的边角部上被推压、通过弹性地变形的性质而张贴着吸收负荷的缓冲层152。进而，在两个缓冲层152的外侧上具有粘性强度，即使压紧并锋利的物体，也具有刮擦伤或切裂不容易发生程度的高强度；而且表面是由外层153构成，而所述外层由即使被摩擦也不会发生诸如磨耗粉乃至粉尘的作为树脂的线性低密度·聚乙烯(liner low density polyethylene)等的树脂材而构成。

这样，如持有真空包15上要求的特性，通过由多层薄膜形成，此真空包15其本身，即多层气密部件能以使推压工件1的端面的功能进行发挥。这时，即使不设置构成如第1的实施方式中已说明的那样的保护薄片的盖部件14也能发挥同样的功能。即，尽管盘体10上工件1被收容多个，真空包15内插入盘体10，通过将其内部为真空状态，对于各工件1推压力独立地起作用，能稳定地固定全部的工件1。

Claims (11)

1、一种光学元件收容盒体，其特征在于，采用的构成为：

具有：

无盖的盘体，其纵横向地规定数目形成了元件收容部，该元件收容部将薄板形状的光学元件在竖立的状态下收容；

收容此盘体的真空包；和

具有柔软性的保护薄片；

并且，在所述盘体的各元件收容部中收容所述光学元件，用所述保护薄片覆盖各光学元件上面后，将所述盘体收容到所述真空包中，将所述真空包内部抽空气成负压状态，使所述各光学元件的上下端面被夹持在所述盘体的底面和所述保护薄片之间，并以均匀压紧力固定地保持所述各光学元件。

2、根据权利要求1所述的光学元件收容盒体，其特征在于：

所述保护薄片，具有可挠性、其朝向所述光学元件的抵接面由非纤维质的保护部件所构成。

3、一种光学元件收容盒体，其特征在于，其中采用的构成为：

具有：

无盖的盘体，其纵横向地规定数目形成了元件收容部，该元件收容部将薄板形状的光学元件在竖立的状态下收容；和

真空包，其具有缓冲材和多层气密部件，该缓冲材具有可挠性，该多层气密部件包括对于刮擦伤强度高的外层且覆盖此缓冲材；

并且，在所述盘体的各元件收容部中收容所述光学元件，将所述盘体收容到所述真空包中，将所述真空包内部抽空气成负压状态，并使所述各光学元件的上下端面被夹持在所述盘体的底面和所述多层气密部件之间，并以均匀压紧力固定地保持这些各光学元件。

4、根据权利要求1或3所述的光学元件收容盒体，其特征在于：

所述元件收容部具有规定深度的沟槽；所述光学元件是四角形薄板的部件；所述沟槽的深度，是在所述元件收容部收容所述光学元件时此光学元件的突出部的长度是其全长的一半以下而从所述盘体的上面突出的深度。

5、根据权利要求1或3所述的光学元件收容盒体，其特征在于，其中采用的构成为：

所述真空包装的盘体上安装盖体，以使来自外部的负荷在所述光学元件上不作用而可多层堆积。

6、根据权利要求1或3所述的光学元件收容盒体，其特征在于，构成为：

所述元件收容部具有比所述光学元件厚度稍宽的沟槽；

此沟槽，在收容所述光学元件时，具有：所述光学元件从所述盘体的上面实质上处于非突出状态的深度；

其深度方向的下部侧对于所述光学元件的两端部持有微小的间隔而相面对；

其深度方向的上部侧形成用于对所述光学元件进行插拔的夹具可插入的开口。

7、根据权利要求1或3所述的光学元件收容盒体，其特征在于：其中构成为：

所述元件收容部是具有使所述光学元件从所述盘体的上面实质上处于非突出状态而进行收容的深度的部件；

所述元件收容部的底壁部上设置用于将光学元件推上的多个透孔；

推动部件在所述各透孔相对应的各位置上设置推上用的突起，并通过使推动部件在所述盘体的底面上重叠，由这些各突起通过透孔使所述各元件收容部内的光学元件从所述盘体的上面推起而使其变位。

8、根据权利要求7所述的光学元件收容盒体，其特征在于，其中采用的构成为：

在所述盘体中，与被收容的所述光学元件的高度实质上统一的深度下，形成多列宽度比所述光学元件的长度短的凹沟，并以使各凹沟的左右的侧壁部上保持所述光学元件的两端部的方式，形成比所述光学元件的厚度稍大的狭缝状的沟槽，由夹持所述凹沟而位于两侧各对狭缝状的沟槽形成所述元件收容部。

9、根据权利要求8所述的光学元件收容盒体，其特征在于，采用的构成为：

所述透孔，形成于所述凹沟的底壁部、并以到达在所述凹沟上形成的全部的元件收容部的长度形成。

10、根据权利要求8所述的光学元件收容盒体，其特征在于，采用的构成为：

所述透孔，在一个或多个元件收容部的每一个上形成。

11、根据权利要求7所述的光学元件收容盒体，其特征在于，采用的构成为：

所述推动部件，具有规定数目的、将所述各元件收容部内的光学元件推上的弹性部件的突起；所述突起配设于与所述盘体上设置的所述各透孔相对应的台座上的位置。

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