CN100458480C - 光导纤维和蚀刻的阵列波导管的对准 - Google Patents

光导纤维和蚀刻的阵列波导管的对准 Download PDF

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Abstract

通过在一组波导管中蚀刻槽而达到使两根或多根光导纤维对准于该组波导管的装置和方法。这两根或多根光导纤维通过一个夹持器而固定在一起，并安置在该组波导管的槽中。该组波导管中的通道被粗略地对准于这两根或多根光导纤维，并可以通过手动调整来更精细地对准。

Description

光导纤维和蚀刻的阵列波导管的对准
发明背景
发明领域
本发明涉及光学领域。本发明尤其涉及将一光导纤维束接合于一平面光子学结构件，如一阵列波导管(“AWG”)的方法。
背景技术
光导纤维束和AWG两者用于光的传播。一个光导纤维束有多根传播光的光导纤维，而一个AWG有多个在其中传播光的通道。但是，使一个光导纤维束与AWG耦合并不容易。手动对准要求检测该光导纤维束和该AWG之间的光连通性并使该光连通性达到最大。一旦达到良好的连通，就要求将这种对准永久地固定。
图1A表示一个现有技术的光导纤维束10。该光导纤维束10包括夹在两个夹持器16和18之间的多根光导纤维12。这些夹持器例如是用一合适的蚀刻掩模适当地掩蔽的用硅制成的衬底。其后，衬底的对称地间隔的未掩蔽区暴露于一种选定的各向异性的蚀刻剂如热的KOH或乙二胺。该蚀刻剂优选地腐蚀该硅衬底的一个选定的(100)晶面并优先地沿垂直方向蚀刻，直到获得V形槽。在完成这些V形槽后，将光导纤维安置在这些槽中并保持与夹持器16和18之间的V形槽的中心对准。
图1B表示现有技术的一个没有光导纤维的单独的夹持器。两个夹持器16和18将光导纤维夹在一起，成为光导纤维束的终端块。该终端块保持光导纤维之间的间隔，并允许容易地搬动该光导纤维束。通常光导纤维22的端部在安置于该终端块中之后进行抛光。
图2表示一个AWG的现有技术例子。该AWG包括通过其中的多个通道30。该AWG可以包括一个玻璃、硅、氧化物或聚合物衬底。这些通道用折射系数稍高于AWG其余部分的材料制成。AWG和光导纤维束可以用不同数目的通道制作。
图3表示被对准于一个AWG42的光导纤维束的侧视图。该光导纤维束的光导纤维和该AWG的通道具有同样的间隔和数目。虚线45表示AWG中的通道。环氧树脂50用于将光导纤维束的终端块40保持在AWG42上，但必须保持对准。很难达到对准，即很难将光导纤维光子耦合于AWG通道，然后加环氧树脂而不损害对准。
本发明的目的在于克服现有技术中的不足。
根据本发明的一个方面，提供一种使两根或多根光导纤维与一阵列波导管对准的方法，包括：在该阵列波导管中蚀刻槽；将该两根或多根光导纤维安置在这些槽中，其中这两根或多根光导纤维固定在一起；涂敷一种具有与在这些光导纤维和该阵列波导管之间的光导纤维的折射系数基本上相匹配的折射系数的凝胶。
其它的实施方式还包括：将该两根或多根光导纤维在一个已蚀刻了槽的夹持器中保持在一起；该蚀刻步骤是完全沿该阵列波导管中的通道进行的，在该阵列波导管的槽上涂敷凝胶，以改善该两根或多根光导纤维和该阵列波导管通道的接合；手动调整该两根或多根光导纤维，以改善该两根或多根光导纤维和该阵列波导管之间的光连接。
根据本发明的另一个方面，提供一种使两根或多根光导纤维与一个衬底中的一些通道对准的方法，包括：在衬底中蚀刻槽；以及将该两根或多根光导纤维安置在衬底内的这些槽中，其中该两根或多根光导纤维用一个夹持器固定，该夹持器使该两根或多根光导纤维以一预定距离互相隔开；涂敷一种具有与在这些光导纤维和该夹持器之间的光导纤维的折射系数基本上相匹配的折射系数的凝胶。
其它的实施方式还包括：该蚀刻步骤是完全沿该衬底中的通道进行的，该蚀刻步骤是在该衬底的一条边缘上进行的，并仅仅部分穿过该衬底；在该衬底中蚀刻第二组槽，这些槽从该衬底的相反边缘部分穿过该衬底，将第二组两根或多根光导纤维安置在该第二组槽中，其中该第二组两根或多根光导纤维用一个第二夹持器固定，该第二夹持器使该第二组两根或多根光导纤维之间保持一个间隔。
按照本发明的又一个方面，提供一种装置，包括：一具有内部延伸的通道的阵列波导管，该阵列波导管具有蚀刻在其一个边缘中的V形槽；多根安置在该阵列波导管的V形槽中的光导纤维；以及一个将该多根光导纤维夹在夹持器自身和该阵列波导管之间的夹持器，该夹持器具有与该阵列波导管的V形槽成镜象的V形槽；一种凝胶，其折射系数基本上与配置在该多根光导纤维和该阵列波导管之间的该多根光导纤维的折射系统基本上相匹配。
其它的实施方式还包括：该阵列波导管具有蚀刻在其相反边缘的第二组V形槽，而且该装置还包括：安置在该阵列波导管的第二组V形槽中的第二组多根光导纤维；以及一个将该第二组多根光导纤维夹在夹持器自身和该阵列波导管之间的第二夹持器，该第二夹持器具有与该阵列波导管的第二组V形槽成镜象的V形槽；还包括一种安置在该第二组多根光导纤维和该阵列波导管之间的凝胶，其中该凝胶的折射系数基本上与该第二组多根光导纤维的折射系数相匹配，该V形槽被直接蚀刻在该阵列波导管内的通道上，该凝胶改善了这些光导纤维和该阵列波导管通道的耦合，用人工调节这些光导纤维，以改善这些光导纤维和该阵列波导管之间的光学连接，还包括一种将该对准永久地固定在该阵列波导管和该夹持器之间的环氧树脂，该环氧树脂的硅酸盐容积含量超过70％，该阵列波导管被蚀刻到低于一表面的预定深度。
附图简述
图1A表示现有技术的光导纤维束。
图1B表示没有光导纤维的现有技术单独的夹持器。
图2表示现有技术的AWG例子。
图3表示被对准于AWG的光导纤维束的侧视图。
图4表示将光导纤维束对准于AWG的第一实施例。
图5A表示用销(或榫钉/杆)使光导纤维束与AWG对准的第二实施例。
图5B表示对应于图5A的光导纤维束的AWG。
图6表示用销200接合以完成粗略对准的光导纤维块和AWG的截面。
图7表示将光导纤维对准于AWG的第三实施例。
图8表示安置在其上有通道的被蚀刻的AWG上的夹持器的侧视图。
图9表示另一实施例，其中该AWG在蚀刻V槽之前在AWG表面下蚀刻了一个预定深度。
优选实施例说明
改进光导纤维束和AWG之间的对准有几种方法。在某些情况下，快速的粗略对准随后要精细地对准光导纤维束和AWG。
图4表示将光束纤维束与AWG对准的第一实施例。在该实施例中，AWG 142安装在底座110上。光导纤维束的终端头140通过高粘度的环氧树脂120也安装在底座110上。在一个实施例中，可以使用一个固定在底座110上的垫圈122来减小所用的环氧树脂120的厚度。
普通的环氧树脂如现有技术图3中所用的树脂当固化时会收缩。这种粘合后的收缩在现有技术图3中不是问题，因为它将终端头40拉得离AWG 42更近。但是，如果图4的环氧树脂收缩，光导纤维束与AWG的对准会变坏，因为终端块140被拉向底座110。
已经发现硅酸盐体积含量超过70％的环氧树脂能减少收缩。此外，高含量的硅酸盐赋以环氧树脂非常粘性，允许手动对准在达到后保持住。这样，当环氧树脂通过加热或其它方法而固化后，能够达到终端头140和AWG 142的对准而不存在显著的粘合后的收缩。
将环氧树脂的硅酸盐体积含量提高到90％甚至更多地减少粘合后的收缩。但是，当硅酸盐含量增大时，粘合的剪切强度减小，因此应当进行粘合后的收缩和剪切强度之间的平衡。
使用所述高粘度环氧树脂的对准方法为达到和保持光导纤维束和AWG之间的对准提供一个牢固的粘合区。此外，可以在光导纤维束和AWG之间配用一种其折射系数与光导纤维和AWG通道相匹配的凝胶。这有助于防止光在光导纤维束和AWG之间的空气隙处的散射。
图5A表示用销(或榫钉/杆)来对准光导纤维束和AWG的第二实施例。在一个实施例中，终端头是用填充除每个端部处的一条槽以外的全部槽的光导纤维束制成的。然后通常抛光这些光导纤维的端部。然后可以将销200插入光导纤维束的终端块中的开放的槽内。
图5B表示一个对应于图5A的光导纤维束的AWG。该AWG具有凹部202。在一个实施例中，这些AWG凹部最初填充不同于AWG其余部分的材料。这允许选择性的蚀刻来形成凹部202。但是，其它制作凹部的方法也是可能的。
光导纤维束的销200整齐地装入AWG的凹部202中，以提供粗略的对准。可以进行补充的手动调整，以便将光导纤维束更精细地对准于AWG。
图6表示用销200结合以进行粗略对准的光导纤维块和AWG的截面。在光导纤维束和AWG之间可以配用一种凝胶来提供更好的光子耦合，并使用一种环氧树脂来永久的固定该对准。
图7表示将光导纤维对准于AWG的第三实施例。在该实施例中，在光导纤维束的终点块中只用一个夹持器300，而这些光导纤维固定在这一个夹持器300中。在AWG的衬底中用蚀刻夹持器的同样方法蚀刻成V形槽，但是，AWG上的V形槽只从AWG的一个边缘穿过AWG一个预定的距离。
这一个夹持器300安置在AWG 320上的V形槽之上而将这些光导纤维夹在夹持器300和AWG 320之间。这些光导纤维搁置在AWG 320的V形槽内。各光导纤维322的端部平接AWG的各V形槽324的端部。
夹持器300和AWG 320的V形槽之间的连接适应性提供了光导纤维与AWG的通道350的快速的粗略对准。然后可以进行手动调整来使这些光导纤维更精细地对准于AWG。
图8表示安置在其上具有通道350的被蚀刻的AWG 320上的夹持器300的侧视图。该AWG 320还可在该衬底中包括第二组槽，该组槽有该衬底的相反边缘横穿该衬底。可利用第二夹持器301将第二组两根或两根以上的光导纤维固定在该第二组槽内。
图9表示另一个实施例，其中在蚀刻V形槽之前AWG 325在AWG表面下蚀刻一个预定深度。这允许更好地耦合于在AWG表面下更深的通道355。
在一个实施例中，AWG上的蚀刻能在以后更好地手动对准光导纤维和AWG。如前所述，可以在夹持器和AWG之间配用其折射系数与光导纤维和AWG的通道相匹配的凝胶或环氧树脂。
这样，公开了一种将光导纤维束中的光导纤维对准于一个波导管的装置和方法。但是，本文描述这些特定的实施例和方法只用于例示。可以进行形式和细节的各种各样修改而并不偏离下面权利要求书中叙述的本发明的范围。相反，本发明只受附属的权利要求书的范围的限止。

Claims (16)

1.一种使两根或多根光导纤维与一阵列波导管对准的方法，包括：
在该阵列波导管中蚀刻槽；
对这些槽涂敷一种凝胶，该凝胶具有一种基本上与该两根或多根光导纤维的折射系数相匹配的折射系数；
将该两根或多根光导纤维安置在这些槽中，使该凝胶处在该两根或多根光导纤维和该阵列波导管之间，其中这两根或多根光导纤维被固定在一起。
2.权利要求1的方法，其特征在于，将该两根或多根光导纤维在一个已蚀刻了槽的夹持器中保持在一起。
3.权利要求1的方法，其特征在于，该蚀刻步骤是完全沿该阵列波导管中的通道进行的。
4.权利要求3的方法，其特征在于还包括：
手动调整该两根或多根光导纤维，以改善该两根或多根光导纤维和该阵列波导管之间的光连接。
5.一种使两根或多根光导纤维与一个衬底中的一些通道对准的方法，包括：
在该衬底中蚀刻槽；
对这些槽涂敷一种凝胶，该凝胶具有一种基本上与该两根或多根光导纤维的折射系数相匹配的折射系数；
将该两根或多根光导纤维安置在衬底内的这些槽中，使该凝胶处在该两根或多根光导纤维和该衬底之间，其中该两根或多根光导纤维用一个夹持器固定，该夹持器使该两根或多根光导纤维以一预定距离互相隔开。
6.权利要求5的方法，其特征在于，该蚀刻步骤是完全沿该衬底中的通道进行的。
7.权利要求6的方法，其特征在于，该蚀刻步骤是从在该衬底的一条边缘仅仅部分穿过该衬底而进行的。
8.权利要求7的方法，其特征在于还包括：
在该衬底中蚀刻第二组槽，这些槽从与该衬底的所述一条边缘相反的边缘部分地穿过该衬底。
9.权利要求8的方法，其特征在于还包括：
将第二组两根或多根光导纤维安置在该第二组槽中，其中该第二组两根或多根光导纤维用一个第二夹持器固定，该第二夹持器使该第二组两根或多根光导纤维之间保持一个间隔。
10.一种装置，包括：
一具有内部延伸的通道的阵列波导管，该阵列波导管具有蚀刻在其中的V形槽，该V形槽从一个边缘部分地延伸穿过该阵列波导管；
多根安置在该阵列波导管的V形槽中的光导纤维；
一种凝胶，该凝胶的折射系数与该多根光导纤维的折射系数基本上相匹配，该凝胶配置在该多根光导纤维和该阵列波导管之间；和
一个将该多根光导纤维夹在夹持器自身和该阵列波导管之间的夹持器，该夹持器具有与该阵列波导管的V形槽成镜象的V形槽。
11.权利要求10的装置，其特征在于，该阵列波导管具有蚀刻在其中的第二组V形槽，该第二组V形槽从与所述一个边缘相反的边缘部分地穿过该阵列波导管，而且该装置还包括：
安置在该阵列波导管的第二组V形槽中的第二组多根光导纤维；以及
一个将该第二组多根光导纤维夹在夹持器自身和该阵列波导管之间的第二夹持器，该第二夹持器具有与该阵列波导管的第二组V形槽成镜象的V形槽。
12.权利要求10的装置，其特征在于该V形槽被直接蚀刻在该阵列波导管内的通道上。
13.权利要求10的装置，其特征在于用人工调节这些光导纤维，以改善这些光导纤维和该阵列波导管之间的光学连接。
14.权利要求10的装置，其特征在于还包括：
一种将该阵列波导管永久地固定至该夹持器的环氧树脂。
15.权利要求14的装置，其特征在于：该环氧树脂的硅酸盐容积含量超过70％。
16.权利要求10的装置，其特征在于：该阵列波导管被蚀刻到低于该阵列波导管的蚀刻V形槽的表面的预定深度。
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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6886989B2 (en) 2000-12-15 2005-05-03 Intel Corporation Alignment of fiber optic bundle to array waveguide using pins
US20030174963A1 (en) * 2002-03-14 2003-09-18 Brown Gordon C. Strain optimized cantilever pigtail attach method with low moment staking
US6862389B2 (en) * 2002-08-29 2005-03-01 Triquint Technologies Holding Co. Fiber alignment using a channel incorporating a fulcrum structure
US7099528B2 (en) * 2004-01-07 2006-08-29 International Business Machines Corporation Methods and devices for coupling electromagnetic radiation using diffractive optical elements
US7236666B2 (en) * 2004-09-30 2007-06-26 Intel Corporation On-substrate microlens to couple an off-substrate light emitter and/or receiver with an on-substrate optical device
US8200056B2 (en) * 2008-10-16 2012-06-12 Lightwire LLC Multi-fiber interface to photonic subassembly
US8860910B2 (en) * 2012-11-02 2014-10-14 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Backlight module and display apparatus
CN104062707B (zh) * 2013-03-19 2016-11-09 上海华虹宏力半导体制造有限公司 光纤对准基座阵列的制造方法
WO2017009468A1 (en) * 2015-07-16 2017-01-19 CommScope Connectivity Belgium BVBA Optical fiber and waveguide devices having expanded beam coupling
CN108139545B (zh) * 2015-10-12 2020-12-08 3M创新有限公司 具有波导辅助对准的光学耦合装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2219414A (en) * 1986-06-12 1989-12-06 Gen Electric Co Plc Alignment of optical fibres with integrated optical device
JPH05173038A (ja) * 1991-12-26 1993-07-13 Sumitomo Electric Ind Ltd 光導波路と光ファイバの接続機構
CN1106985A (zh) * 1993-03-31 1995-08-16 住友电气工业株式会社 光纤阵列
US5859943A (en) * 1995-05-12 1999-01-12 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical module and method for manufacturing the optical
CN1423140A (zh) * 2001-12-04 2003-06-11 中国科学院半导体研究所 阵列波导光栅与光纤阵列一体化的结构及其制造方法

Family Cites Families (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60158410A (ja) 1984-01-28 1985-08-19 Shimadzu Corp 光分岐器の作成方法
FR2612301B1 (fr) * 1987-03-12 1991-08-23 Corning Glass Works Composant optique integre et sa fabrication
JPH01142508A (ja) 1987-11-28 1989-06-05 Nippon Sheet Glass Co Ltd 導波路型光デバイス
JPH067209B2 (ja) 1988-12-08 1994-01-26 住友電気工業株式会社 平面光導波路と光ファイバとの結合補助装置
US4973127A (en) 1989-05-31 1990-11-27 At&T Bell Laboratories Multifiber optical connector and method of making same
JP2590266B2 (ja) 1989-06-23 1997-03-12 住友電気工業株式会社 光コネクタ
IT1240310B (it) 1989-07-24 1993-12-07 Pirelli Cavi Spa Gruppo di connessione separabile per fibre ottiche riunite a nastro e relativo metodo di realizzazione.
US5046808A (en) * 1989-12-18 1991-09-10 Litton Systems, Inc. Integrated optics chip and method of connecting optical fiber thereto
EP0560043B1 (de) * 1992-03-07 1997-06-18 Minnesota Mining And Manufacturing Company Verfahren zum Herstellen von Bauelementen für Lichtwellenleiternetze und nach diesem Verfahren hergestellte Bauelemente
KR100269825B1 (ko) 1993-04-30 2000-10-16 미야즈 준이찌로 광코넥터 및 그 제조방법(optical connector and method thereof)
DE4320194A1 (de) 1993-06-18 1994-12-22 Sel Alcatel Ag Vorrichtung zur justagefreien Ankopplung einer Mehrzahl von Lichtwellenleitern an ein Laserarray
JPH0720358A (ja) * 1993-07-05 1995-01-24 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光ファイバ付平面導光路部品およびその製造方法
JP2550890B2 (ja) * 1993-10-28 1996-11-06 日本電気株式会社 光導波路の接続構造およびその製造方法
FR2716012B1 (fr) 1994-02-09 1996-04-12 Corning Inc Procédé et dispositif d'assemblage d'extrémités de fibres optiques disposées en nappe.
JPH0829638A (ja) * 1994-05-12 1996-02-02 Fujitsu Ltd 光導波路・光ファイバ接続構造及び光導波路・光ファイバ接続方法並びに光導波路・光ファイバ接続に使用される光導波路基板及び同基板の製造方法並びに光導波路・光ファイバ接続に使用されるファイバ基板付き光ファイバ
US5633968A (en) 1994-07-18 1997-05-27 Sheem; Sang K. Face-lock interconnection means for optical fibers and other optical components and manufacturing methods of the same
EP0840153A3 (en) 1994-07-21 1999-03-17 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Optical waveguide module having waveguide substrate made of predetermined material and ferrule made of material different from that of waveguide substrate
US5689599A (en) 1994-08-15 1997-11-18 Lucent Technologies, Inc. Optical fiber connector with enhanced bonding
JPH08110439A (ja) 1994-08-18 1996-04-30 Furukawa Electric Co Ltd:The ピン挿入部材
GB2293248B (en) * 1994-09-07 1998-02-18 Northern Telecom Ltd Providing optical coupling between optical components
JP2907076B2 (ja) 1995-09-27 1999-06-21 日本電気株式会社 光導波路デバイス並びにその製造方法
WO1997015850A1 (fr) * 1995-10-27 1997-05-01 Hoya Corporation Element de fixation de fibre optique et procede de fabrication
DE19546443A1 (de) 1995-12-13 1997-06-19 Deutsche Telekom Ag Optische und/oder elektrooptische Verbindung und Verfahren zur Herstellung einer solchen
US5613024A (en) * 1995-12-21 1997-03-18 Lucent Technologies Inc. Alignment of optical fiber arrays to optical integrated circuits
KR19980066890A (ko) 1997-01-29 1998-10-15 김광호 광도파로와 광섬유 결합장치 및 방법
JPH10206685A (ja) 1997-01-24 1998-08-07 Kyocera Corp 光導波路モジュールの構造
JPH10230168A (ja) 1997-02-18 1998-09-02 Yazaki Corp 光触媒セル及びその作製方法
KR100265789B1 (ko) * 1997-07-03 2000-09-15 윤종용 광섬유수동정렬방법
JP3850569B2 (ja) * 1998-12-09 2006-11-29 富士通株式会社 フェルールアセンブリ及び光モジュール
KR20000050765A (ko) 1999-01-14 2000-08-05 윤종용 광섬유 어레이 커넥터 및 그 제조방법

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2219414A (en) * 1986-06-12 1989-12-06 Gen Electric Co Plc Alignment of optical fibres with integrated optical device
JPH05173038A (ja) * 1991-12-26 1993-07-13 Sumitomo Electric Ind Ltd 光導波路と光ファイバの接続機構
CN1106985A (zh) * 1993-03-31 1995-08-16 住友电气工业株式会社 光纤阵列
US5859943A (en) * 1995-05-12 1999-01-12 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical module and method for manufacturing the optical
CN1423140A (zh) * 2001-12-04 2003-06-11 中国科学院半导体研究所 阵列波导光栅与光纤阵列一体化的结构及其制造方法

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