CN100440088C - 作业者管理系统、作业者管理装置和作业者管理方法 - Google Patents

Abstract

设置根据作业内容分为多个作业区域的工厂(100)；存储使各作业区域(112)等与在该各作业区域进行的作业内容相关联的作业确定信息的作业确定信息数据库(220)和各作业区域设置的作业者检测传感器(130)，根据作业者检测单元的输出确定作业者位于哪个作业区域，根据作业确定信息数据库的作业确定信息，由确定的作业者的作业区域确定该作业者现在所进行的作业。根据这样确定的现在作业判断是使该作业者继续进行现在作业还是使其进行新的作业，并根据判断结果向该作业者发出作业执行的指示。这样，就很容易进行作业者现在所进行的作业的确定、新作业的分配、作业的再分配等，可以使各作业者人尽其才而配置到适当的场所，从而可以提高各作业者的作业效率。

Description

作业者管理系统、作业者管理装置和作业者管理方法

技术领域

本发明涉及作业者管理系统、作业者管理装置和作业者管理方法。

背景技术

在例如半导体制造工厂等的作业地点中，在包含设置有半导体制造装置等的净化工作室的装置室在内的各种各样的区域进行各种各样的作业。在例如净化工作室中，在装置室外进行用于半导体装置的生产的输入作业，在装置室内进行半导体制造装置的故障对应作业，另外，在净化工作室外，也进行例如保管库房的部件管理作业等。按照这些作业，由于进行该作业所需要的技能不同，所以，多数情况下需要具有各种各样的技能的作业者。

然而，管理这样的具有各种各样的技能的作业者并不容易，如果作业的分配效率差，则作业者每1个人的作业效率将降低。因此，如何使作业者人尽其才配置在适当场所从而提高各作业者的作业效率就成了问题。理想的情况是在需要的时刻选择最适合该作业的作业者并向其发出指示，但是，实际上是有困难的。

例如，在作业者正在进行作业的期间有了别的新的作业时，就不能向该作业者发出进行新的作业的指示。这时，如果不能把握作业者现在所进行的作业，就不能判断是否可以中断现在的作业而进行新的作业。另外，也可以考虑搜寻替代的作业者进行新的作业。然而，按照新的作业，具有进行该作业所需要的技能的作业者不一定有空。因此，必须首先确定作业者现在所进行的作业。

但是，如上所述，在半导体制造工厂等环境中，作业的种类很多，要确定各作业者正在进行的作业是非常困难的。为了进行作业的确定，例如特开平8-107096所述的那样，只要根据口令预先决定了对各作业的种类可以输入到操作面板的画面中的人，就可以根据口令某种程度地确定作业者正在进行什么样的作业。操作者可以进行操作者用画面的输入，工程技术人员也可以根据口令进行工程技术人员用画面的输入。

然而，在这样的技术中，只知道操作者和工程技术人员这样的作业者的种类(作业者分类)，不能检测出确定的作业者正在进行什么样的作业。如果预先对各作业者决定了ID并在输入作业者ID之后操作该操作面板的画面，就可以检测出具有该ID的作业者正在进行什么样的作业。然而，在这样的作业者ID的输入中，对于不进行画面输入等的操作的作业还是不能进行作业的确定。

另一方面，在作业者每次进行作业时，如果预先将作业内容输入到操作面板的画面等中并进行记录，就可以确定各作业者的作业。然而，所有的作业者每次进行作业时都要输入作业内容，非常繁琐，有时作业效率反而会降低特别是在发生火灾或故障等紧急情况时，作业者必须尽可能迅速地处理故障对应作业等，所以，为了作业者管理的需要而输入作业内容就不恰当了。

在半导体制造工厂等环境中，净化工作室内外、装置室内外等的作业区域有很多，可以根据该作业区域而某种程度地确定作业。因此，本申请人认为如果可以确定作业者所在的区域，就可以确定该作业者的作业。本发明是鉴于可以根据这样的半导体制造工厂等的作业区域而某种程度地确定作业的领域的特质提出来的。

因此，本发明就是鉴于这样的问题而提案的，目的旨在提供容易进行作业者现在正在进行的作业的确定、增加作业的分配、作业的再分配等，可以指示使作业者人尽其才而配置在适当场所从而可以提高各作业者的作业效率的作业者管理系统、作业者管理装置和作业者管理方法。

发明内容

为了解决上述问题，按照本发明的第一观点，所提供的作业者管理系统的特征在于：具有根据作业内容而分为多个作业区域的作业地点、存储使上述作业地点的各作业区域与在该各作业区域所进行的作业内容相关联的作业确定信息的作业确定信息存储单元、设置在上述各作业区域的作业者检测单元、根据上述作业者检测单元的输出确定上述作业者处在什么样的作业区域的作业者位置确定单元、根据上述作业确定信息存储单元的作业确定信息并根据由上述作业者位置确定单元确定的作业者的作业区域而确定该作业者现在所进行的作业的现在作业确定单元、根据由上述现在作业确定单元确定的现在作业判断是使该作业者继续进行现在作业还是进行新的作业的判断单元和根据上述判断单元的判断结果向该作业者发出作业执行的指示的指示单元。

按照这样的本发明的作业者管理系统，检测作业者所在的区域(场所)，根据与该区域相关联的作业可以很容易检测出该作业者现在所进行的作业。因此，在例如有新作业时，容易进行该新作业的分配和作业的再分配等，可以使作业者人尽其才在适当的场所进行作业，从而可以提高各作业者的作业效率。另外，由于省去了作业者每次进行作业时输入作业内容的手续，所以，也提高了作业者的作业效率。

为了解决上述问题，按照本发明的另外的技术方案，所提供的作业者管理系统的特征在于：具有根据作业内容而分为多个作业区域的作业地点、存储使上述各作业区域与在该各作业区域所进行的作业内容相关联的作业确定信息的作业确定信息存储单元、设置在上述各作业区域的作业者检测单元、根据上述作业者检测单元的输出确定上述作业者处在什么样的作业区域的作业者位置确定单元、根据上述作业确定信息存储单元的作业确定信息并根据由上述作业者位置确定单元确定的作业者的作业区域而确定该作业者现在所进行的作业的现在作业确定单元、存储使上述各作业者与该各作业者可以进行的作业相关联的作业者技能信息的作业者技能信息存储单元、存储作业的优先信息的作业优先信息存储单元、检测发生了新的作业的新作业检测单元、在上述新作业检测单元检测到新作业时根据上述作业者技能信息存储单元的作业者技能信息抽出可以进行上述新作业的作业者的作业者抽出单元、由上述现在作业确定单元确定上述作业者抽出单元抽出的作业者的现在作业并根据上述作业优先信息存储单元的作业优先信息取得上述现在作业的优先序位与上述新作业的优先序位并进行比较而进行将上述新作业的优先序位比上述现在作业高的作业者确定为上述新作业的作业者的作业者确定处理的作业者确定单元和向由上述作业者确定单元确定的业者发出指示使其进行上述新作业的作业的指示单元。

按照这样的本发明的作业者管理系统，比较检测到的现在作业与新作业的优先度，如果新作业的优先度高，就向该作业者发出指示令其进行新作业。这样，在有新作业时，可以根据与现在作业的优先度判断是否令该作业者进行新作业，所以，可以及时处理优先度高的作业即重要的作业。这样，可以指示作业者人尽其才配置到适当场所，从而可以实现作业分配的最佳化。

另外，上述作业者技能信息存储单元设置了对各作业者存储了作业者分类并存储了使各作业与具有可以进行该各作业的技能的作业者分类相关联的作业技能信息的作业技能信息存储单元和对由上述作业者抽出单元抽出的各作业者取得由上述作业者技能信息存储单元得到的作业者分类，同时，根据上述作业技能信息存储单元的作业技能信息取得上述新作业的作业者分类，从而将优先序位赋予作业者以使分别取得的作业者分类相同的作业者的优先序位高的优先序位赋予单元，上述作业者确定单元也可以根据由作业者抽出单元抽出的作业者中由上述优先序位赋予单元赋予的作业者的优先序位高的作业者顺序进行作业者确定处理。

这样，对于作为可以进行新作业的人而被抽出的作业者，进而可以为了使最适合该新作业的作业者分类(例如工程技术人员、操作者、定期作业者等)的优先度高而赋予优先序位，并根据优先序位高的作业者比较现在作业与新作业的优先度，从而决定进行新作业的作业者。这样，可以很快找到最适合新作业的作业者，从而可以指示作业者人尽其才而配置到适当的场所。

为了解决上述问题，按照本发明的另外的技术方案，所提供的作业者管理系统的特征在于：具有根据作业内容而分为多个作业区域的作业地点、存储使上述作业地点的各作业区域与在该各作业区域所进行的作业内容相关联的作业确定信息的作业确定信息存储单元、设置在上述各作业区域的作业者检测单元、根据上述作业者检测单元的输出确定上述作业者处在什么样的作业区域的作业者位置确定单元、根据上述作业确定信息存储单元的作业确定信息并根据由上述作业者位置确定单元确定的作业者的作业区域确定该作业者现在进行的作业的现在作业确定单元、存储作业的优先信息的作业优先信息存储单元、检测发生新的作业的新作业检测单元、在上述新作业检测单元检测到新作业时由上述现在作业确定单元确定所有作业者的现在作业并对这些现在作业中包含新作业的全部作业，根据上述作业优先信息存储单元的作业优先信息赋予作业的优先序位，从优先度高的作业开始向所有作业者重新分配全部作业的作业再分配单元和向所有作业者指示由上述作业再分配单元分配的作业的指示单元。

按照这样的本发明的作业者管理系统，在有新作业时，检测所有作业者的现在作业，重新再分配包括现在作业和新作业的全部作业，所以，对包含新作业的全部作业可以分配更适当的作业者。这样，可以指示作业者人尽其才而配置到适当的场所，从而可以实现作业分配的高效化和作业的高效化。

另外，上述作业再分配单元也可以设置：存储从作业的优先序位高的作业开始作为新作业使上述各作业者与该作业者可以进行的作业相关联的作业者技能信息的作业者技能信息存储单元；根据上述作业者技能信息存储单元的作业者技能信息抽出可以进行上述新作业的作业者的作业者抽出单元；和由上述现在作业确定单元确定由上述作业者抽出单元抽出的作业者的现在作业，并根据上述作业优先信息存储单元的作业优先信息，获取上述现在作业的优先序位与上述新作业的优先序位并进行比较，从而进行将上述新作业的优先序位比上述现在作业高的作业者确定为上述新作业的作业者的作业者确定处理的作业者确定单元。

这样，在进行包含新作业的全部作业的再分配时，按作业的优先度高的顺序决定作业者，所以，可以对重要的作业很快决定作业者。另外，在进行包含新作业的全部作业的再分配时，比较检测的现在作业与新作业的优先度，只要新作业的优先度高，就可以指示该作业者进行新作业。这样，可以选择最佳的作业者进行优先度高的重要的作业，所以，可以指示作业者人尽其才而配置到适当的场所，从而可以实现作业分配的高效化和作业的高效化。

为了解决上述问题，按照本发明的另外的技术方案，所提供的作业者管理系统的特征在于：具有：根据作业内容而分为多个作业区域的作业地点；存储使上述作业地点的各作业区域与在该各作业区域所进行的作业内容相关联的作业确定信息的作业确定信息存储单元；设置在上述各作业区域的作业者检测单元；根据上述作业者检测单元的输出确定上述作业者处在什么样的作业区域的作业者位置确定单元；根据上述作业确定信息存储单元的作业确定信息并根据由上述作业者位置确定单元确定的作业者的作业区域而确定该作业者现在所进行的作业的现在作业确定单元；每隔指定时间由上述现在作业确定单元确定所有作业者的现在作业，并对所有作业者存储现在作业的作业信息存储单元；和根据上述作业信息存储单元的作业信息作成包含所希望的作业者每指定时间所进行的作业内容的作业报告书的作业报告书作成单元。

按照这样的本发明的作业者管理系统，可以很容易地作成作业日报、作业月报等作业报告书。而且自动地检测作业者的作业从而作成成为作业报告书的素材的作业信息，所以，作业者每次进行作业时可以省去从便携式信息终端等进行输入的手续，从而可以提高作业效率。另外，由于不需要依赖作业者的自己报告，所以，可以总是作成正确的作业报告。

另外，上述作业报告书作成单元对于各作业也存储进行该各作业时的作业单价，从而上述作业报告书作成单元也可以作成包含作业的作业单价及其作业单价的合计金额的作业报告书。另外，上述作业地点可以是半导体制造工厂，这时，上述作业者可以是从与具有作为上述作业地点的半导体制造工厂的企业不同的企业派遣来的作业者。这样，在例如向派遣前往地的企业要求派遣作业者进行的作业的费用时，可以在作业报告书中印刷各作业的作业单价和合计金额，从而可以根据该合计金额要求与作业内容相应的费用。

为了解决上述问题，按照本发明的第二观点，所提供的作业者管理装置是管理在根据作业内容分为多个作业区域的作业地点进行作业的作业者的作业者管理装置，其特征在于，具有：存储使上述作业地点的各作业区域与在该各作业区域所进行的作业内容相关联的作业确定信息的作业确定信息存储单元；根据设置在上述各作业区域的作业者检测单元的输出确定上述作业者处在什么样的作业区域的作业者位置确定单元；根据上述作业确定信息存储单元的作业确定信息并根据由上述作业者位置确定单元确定的作业者的作业区域而确定该作业者现在所进行的作业的现在作业确定单元；根据由上述现在作业确定单元确定的现在作业判断是使该作业者继续进行现在作业还是进行新的作业的判断单元；和根据上述判断单元的判断结果向该作业者发出作业执行的指示的指示单元。

按照这样的本发明的作业者管理装置，检测作业者所在的区域(场所)，根据与该区域关联的作业可以很容易地检测该作业者现在所进行的作业。因此，在例如有新作业时，容易进行该新作业的分配和作业的再分配等，可以使作业者人尽其才在适当的场所进行作业，从而可以提高各作业者的作业效率。

为了解决上述问题，按照本发明的另外的技术方案，所提供的作业者管理装置是管理在根据作业内容分为多个作业区域的作业地点进行作业的作业者的作业者管理装置，其特征在于，具有：存储使上述各作业区域与在该各作业区域所进行的作业内容相关联的作业确定信息的作业确定信息存储单元；根据设置在上述各作业区域的作业者检测单元的输出确定上述作业者处在什么样的作业区域的作业者位置确定单元；根据上述作业确定信息存储单元的作业确定信息，并根据由上述作业者位置确定单元确定的作业者的作业区域而确定该作业者现在所进行的作业的现在作业确定单元；存储使上述各作业者与该各作业者可以进行的作业相关联的作业者技能信息的作业者技能信息存储单元；存储作业的优先信息的作业优先信息存储单元；检测发生了新的作业的新作业检测单元；在上述新作业检测单元检测到新作业时，根据上述作业者技能信息存储单元的作业者技能信息，抽出可以进行上述新作业的作业者的作业者抽出单元；由上述现在作业确定单元确定上述作业者抽出单元抽出的作业者的现在作业，并根据上述作业优先信息存储单元的作业优先信息，获取上述现在作业的优先序位与上述新作业的优先序位并进行比较，进行将上述新作业的优先序位比上述现在作业高的作业者确定为上述新作业的作业者的作业者确定处理的作业者确定单元；和向由上述作业者确定单元确定的作业者发出指示使其进行上述新作业的作业的指示单元。

按照这样的本发明的作业者管理装置，比较检测的现在作业与新作业的优先度，如果新作业的优先度高，就指示该作业者进行新作业。这样，在有新作业时，就可以根据与现在作业的优先度判断是否使该作业者进行新作业，所以，可以及时处理优先度高的作业即重要的作业。这样，可以指示作业者人尽其才而配置到适当场所，从而可以实现作业分配的最佳化。

另外，上述作业者技能信息存储单元设置有：对各作业者存储了作业者分类，并存储了使各作业与具有可以进行该各作业的技能的作业者分类相关联的作业技能信息的作业技能信息存储单元；和对由上述作业者抽出单元抽出的各作业者，取得由上述作业者技能信息存储单元得到的作业者分类，并根据上述作业技能信息存储单元的作业技能信息取得上述新作业的作业者分类，从而将优先序位赋予作业者以使分别取得的作业者分类相同的作业者的优先序位高的优先序位赋予单元，上述作业者确定单元也可以根据由作业者抽出单元抽出的作业者中由上述优先序位赋予单元赋予的作业者的优先序位高的作业者顺序进行作业者确定处理。这样，可以尽快找到最适合新作业的作业者，从而可以指示作业者人尽其才而配置到适当的场所。

为了解决上述问题，按照本发明的另外的技术方案，所提供的作业者管理装置是管理在根据作业内容分为多个作业区域的作业地点进行作业的作业者的作业者管理装置，其特征在于，具有：存储使上述作业地点的各作业区域与在该各作业区域所进行的作业内容相关联的作业确定信息的作业确定信息存储单元；根据设置在上述各作业区域的作业者检测单元的输出确定上述作业者处在什么样的作业区域的作业者位置确定单元；根据上述作业确定信息存储单元的作业确定信息，并根据由上述作业者位置确定单元确定的作业者的作业区域而确定该作业者现在所进行的作业的现在作业确定单元；存储作业的优先信息的作业优先信息存储单元；检测发生了新的作业的新作业检测单元；在上述新作业检测单元检测到新作业时，由上述现在作业确定单元确定所有作业者的现在作业，并对这些现在作业中包含新作业的全部作业，根据上述作业优先信息存储单元的作业优先信息赋予作业的优先序位，从优先度高的作业开始向所有作业者重新分配全部作业的作业再分配单元；和向所有作业者指示由上述作业再分配单元分配的作业的指示单元。

按照这样的本发明的作业者管理装置，在有新作业时，检测所有作业者的现在作业，重新再分配包含该现在作业和新作业的全部作业，所以，对包含新作业的全部作业可以分配最适当的作业者。这样，可以指示作业者使其人尽其才而配置到适当的场所，从而可以实现作业分配的高效化和作业的高效化。

另外，上述作业再分配单元也可以设置有：存储从作业的优先序位高的作业开始作为新作业，使上述各作业者与该作业者可以进行的作业相关联的作业者技能信息的作业者技能信息存储单元；根据上述作业者技能信息存储单元的作业者技能信息抽出可以进行上述新作业的作业者的作业者抽出单元；和由上述现在作业确定单元确定由上述作业者抽出单元抽出的作业者的现在作业，并根据上述作业优先信息存储单元的作业优先信息，取得上述现在作业的优先序位与上述新作业的优先序位并进行比较，从而进行将上述新作业的优先序位比上述现在作业高的作业者确定为上述新作业的作业者的作业者确定处理的作业者确定单元。这样，可以选择最佳的作业者进行优先度高的重要的作业，所以，可以指示作业者使其人尽其才而配置到适当的场所，从而可以实现作业分配的高效化和作业的高效化。

为了解决上述问题，按照本发明的另外的技术方案，所提供的作业者管理装置是管理在根据作业内容分为多个作业区域的作业地点进行作业的作业者的作业者管理装置，其特征在于，具有：存储使上述作业地点的各作业区域与在该各作业区域所进行的作业内容相关联的作业确定信息的作业确定信息存储单元；根据设置在上述各作业区域的作业者检测单元的输出确定上述作业者处在什么样的作业区域的作业者位置确定单元；根据上述作业确定信息存储单元的作业确定信息，并根据由上述作业者位置确定单元确定的作业者的作业区域而确定该作业者现在所进行的作业的现在作业确定单元；每隔指定时间由上述现在作业确定单元确定所有作业者的现在作业，并对所有作业者存储现在作业的作业信息存储单元；和根据上述作业信息存储单元的作业信息作成包含所希望的作业者每指定时间所进行的作业内容的作业报告书的作业报告书作成单元。

按照这样的本发明的作业者管理装置，可以很容易地作成作业日报、作业月报等作业报告书。而且自动地检测作业者的作业从而作成成为作业报告书的素材的作业信息，所以，作业者每次进行作业时可以省去从便携式信息终端等进行输入的手续，从而可以提高作业效率。另外，由于不需要依赖作业者的自己报告，所以，可以总是作成正确的作业报告。

另外，上述作业报告书作成单元对于各作业也存储进行该各作业时的作业单价，从而上述作业报告书作成单元也可以作成包含作业的作业单价及其作业单价的合计金额的作业报告书。另外，上述作业地点可以是半导体制造工厂，这时，上述作业者可以是从与作为上述作业地点的半导体制造工厂所属的企业不同的企业派遣来的作业者。这样，在例如向派遣前往地的企业要求派遣作业者进行的作业的费用时，可以在作业报告书中印刷各作业的作业单价和合计金额，从而可以根据该合计金额要求与作业内容相应的费用。

为了解决上述问题，按照本发明的第三观点，所提供的作业者管理方法是管理在根据作业内容分为多个作业区域的作业地点进行作业的作业者的作业者管理方法，其特征在于，该方法包括：根据设置在上述各作业区域的作业者检测单元的输出确定上述作业者处在什么样的作业区域的作业者位置确定工序；根据存储使上述作业地点的各作业区域与在该各作业区域进行的作业内容相关联的作业确定信息的作业确定信息存储单元的作业确定信息，并根据在上述作业者位置确定工序确定的作业者的作业区域，确定该作业者现在所进行的作业的现在作业确定工序；根据在上述现在作业确定工序确定的现在作业，判断是使该作业者继续进行现在作业还是进行新的作业的判断工序；和根据上述判断工序的判断结果向该作业者发出作业执行的指示的指示工序。

按照这样的本发明的作业者管理方法，检测作业者所在的区域(场所)，根据与该区域关联的作业可以很容易地检测该作业者现在所进行的作业。因此，在例如有新作业时，容易进行该新作业的分配和作业的再分配等，可以使作业者人尽其才在适当的场所进行作业，从而可以提高各作业者的作业效率。

为了解决上述问题，按照本发明的另外的技术方案，所提供的作业者管理方法是管理在根据作业内容分为多个作业区域的作业地点进行作业的作业者的作业者管理方法，其特征在于，该方法包括：根据设置在上述各作业区域的作业者检测单元的输出确定上述作业者处在什么样的作业区域的作业者位置确定工序；根据存储使上述各作业区域与在该各作业区域进行的作业内容相关联的作业确定信息的作业确定信息存储单元的作业确定信息，并根据在上述作业者位置确定工序确定的作业者的作业区域，确定该作业者现在所进行的作业的现在作业确定工序；检测发生新的作业的新作业检测工序；在上述新作业检测工序检测新作业时，根据存储使上述各作业者与该各作业者可以进行的作业相关联的作业者技能信息的上述作业者技能信息存储单元的作业者技能信息，抽出可以进行上述新作业的作业者的作业者抽出工序；由上述现在作业确定工序确定上述作业者抽出工序抽出的作业者的现在作业，并根据存储作业的优先信息的作业优先信息存储单元的作业优先信息，获取上述现在作业的优先序位与上述新作业的优先序位并进行比较，而进行将上述新作业的优先序位比上述现在作业高的作业者确定为上述新作业的作业者的作业者确定处理的作业者确定工序；和向由上述作业者确定工序确定的业者发出指示使其进行上述新作业的作业的指示工序。

按照这样的本发明的作业者管理方法，比较检测到的现在作业与新作业的优先度，如果新作业的优先度高，就指示该作业者进行新作业。这样，在有新作业时，就可以根据与现在作业的优先度判断是否使该作业者进行新作业，所以，可以及时处理优先度高的作业即重要的作业。这样，可以指示作业者人尽其才而配置到适当场所，从而可以实现作业分配的最佳化。

另外，上述作业者技能信息存储单元包括：对各作业者存储作业者分类，并对由上述作业者抽出工序抽出的各作业者取得由存储使各作业与具有可以进行该各作业的技能的作业者分类相关联的作业技能信息的作业者技能信息存储单元得到的作业者分类，同时根据上述作业技能信息存储单元的作业技能信息取得上述新作业的作业者分类，从而对作业者赋予优先序位而使分别取得的作业者分类相同的作业者的优先序位高的优先序位赋予工序，上述作业者确定工序也可以进行从在上述作业者抽出工序抽出的作业者中的、由上述优先序位赋予工序赋予的作业者的优先序位高的作业者开始顺序进行作业者确定处理。这样，可以对新作业尽快找到最佳的作业者，从而可以指示作业者使其人尽其才而配置到适当的场所。

为了解决上述问题，按照本发明的另外的技术方案，所提供的作业者管理方法是管理在根据作业内容分为多个作业区域的作业地点进行作业的作业者的作业者管理方法，其特征在于，该方法包括：根据设置在上述各作业区域的作业者检测单元的输出确定上述作业者处在什么样的作业区域的作业者位置确定工序；根据存储使上述作业地点的各作业区域与在该各作业区域进行的作业内容相关联的作业确定信息的作业确定信息存储单元的作业确定信息，并根据在上述作业者位置确定工序确定的作业者的作业区域确定该作业者现在所进行的作业的现在作业确定工序；检测发生新的作业的新作业检测工序；在上述新作业检测工序检测到新作业时，由上述现在作业确定工序确定所有作业者的现在作业，并对在这些现在作业中包含新作业的全部作业，根据存储作业的优先信息的作业优先信息存储单元的作业优先信息赋予作业的优先序位，从而从优先度高的作业开始对所有作业者重新分配全部作业的作业再分配工序；和向所有作业者指示由上述作业再分配工序分配的作业的指示工序。

按照这样的板的作业者管理方法，在有新作业时，检测所有作业者的现在作业，重新再分配包含该现在作业和新作业的全部作业，所以，对包含新作业的全部作业可以分配最适当的作业者。这样，可以指示作业者使其人尽其才而配置到适当的场所，从而可以实现作业分配的高效化和作业的高效化。

另外，上述作业再分配工序也可以包括：从作业的优先序位高的作业开始作为新作业而根据存储使上述各作业者与该作业者可以进行的作业相关联的作业者技能信息的作业者技能信息存储单元的作业者技能信息，抽出可以进行上述新作业的作业者的作业者抽出工序；和由上述现在作业确定工序确定上述作业者抽出工序抽出的作业者的现在作业，并根据上述作业优先信息存储单元的作业优先信息，获取上述现在作业的优先序位与上述新作业的优先序位并进行比较，从而进行将上述新作业的优先序位比上述现在作业高的作业者确定为上述新作业的作业者的作业者确定处理的作业者确定工序。这样，可以选择最佳的作业者进行优先度高的重要的作业，所以，可以指示作业者使其人尽其才而配置到适当的场所，从而可以实现作业分配的高效化和作业的高效化。

为了解决上述问题，按照本发明的另外的技术方案，所提供的作业者管理方法是管理在根据作业内容分为多个作业区域的作业地点进行作业的作业者的作业者管理方法，其特征在于，该方法包括：根据设置在上述各作业区域的作业者检测单元的输出确定上述作业者处在什么样的作业区域的作业者位置确定工序；根据存储使上述作业地点的各作业区域与在该各作业区域进行的作业内容相关联的作业确定信息的作业确定信息存储单元的作业确定信息，并根据在上述作业者位置确定工序确定的作业者的作业区域确定该作业者现在所进行的作业的现在作业确定工序；每指定时间由上述现在作业确定工序确定所有作业者的现在作业，并对所有作业者存储现在作业的作业信息存储工序；和根据由上述作业信息存储工序存储的作业信息作成包含所希望的作业者每指定时间所进行的作业内容的作业报告书的作业报告书作成工序。

按照这样的本发明的作业者管理方法，可以很容易地作成作业日报、作业月报等作业报告书。而且自动地检测作业者的作业从而作成成为作业报告书的素材的作业信息，所以，作业者每次进行作业时可以省去从便携式信息终端等进行输入的手续，从而可以提高作业效率。另外，由于不需要依赖作业者的自己报告，所以，可以总是作成正确的作业报告。

另外，上述作业报告书作成工序对于各作业也存储进行该各作业时的作业单价，从而上述作业报告书作成工序也可以作成包含作业的作业单价及其作业单价的合计金额的作业报告书。另外，上述作业地点可以是半导体制造工厂，这时，上述作业者可以是从与作为上述作业地点的半导体制造工厂所属的企业不同的企业派遣来的作业者。这样，在例如向派遣前往地的企业要求派遣作业者进行的作业的费用时，可以在作业报告书中印刷各作业的作业单价和合计金额，从而可以根据该合计金额要求与作业内容相应的费用。

上述作业者管理系统、作业者管理装置和作业者管理方法的作业者检测单元设置接收来自各作业者所持的发信机的电磁波的接收机，上述发信机设定为根据各作业者发送不同频率的电磁波，上述作业者位置确定单元查找接收了成为作业区域检测的对象的作业者的频率的电磁波的上述作业者检测单元，可以将设置有该作业者检测单元的作业区域确定为该作业者所在的作业区域。这样，就可以很容易地检测出确定的作业者处在哪个作业区域，从而可以很容易地根据该作业区域信息检测出作业者现在进行的作业。

另外，上述作业者管理系统、作业者管理装置和作业者管理方法的作业者检测单元设置接收来自各作业者所持的发信机的电磁波的接收机，上述发信机设定为根据各作业者发送承载有识别作业者的识别信息的电磁波，上述作业者位置确定单元从上述作业者检测单元取得作业者的识别信息，查找接收了成为作业区域检测的对象的作业者的识别信息的上述作业者检测单元，可以将设置有该作业者检测单元的作业区域确定为该作业者所在的作业区域。这样，也可以很容易地检测出确定的作业者处在哪个作业区域，从而可以很容易地根据该作业区域信息检测出作业者现在进行的作业。

另外，设置从上述作业者管理系统、作业者管理装置和作业者管理方法的设置在作业区域的作业装置取得作业者的作业信息的作业信息取得单元，上述现在作业确定单元除了作为上述作业者所在的作业区域而确定的作业区域信息外，从上述作业信息取得单元取得来自该作业者进行作业的作业装置的作业信息(与装置对应的作业信息，在本说明书中，也称为「装置信息」)，可以根据这些区域信息和作业信息确定该作业者的现在作业。这样，可以根据作业者所在的作业区域信息检测出某种程度的作业内容(例如，故障对应处理、通常操作作业等作业分类)，进而可以根据作业信息检测出详细的作业内容(例如，在故障对应处理中，还有电气系统故障对应处理和机械系统故障对应处理)。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式1的作业者管理系统的整体结构的框图。

图2是说明上述实施方式的净化工作室的装置室内的作用的图。

图3是表示上述实施方式的作业者管理装置的结构的框图。

图4是表示图3所示的各种数据库的例子的框图。

图5是表示上述实施方式的作业确定信息数据库的1例的图。

图6是表示上述实施方式的作业优先信息数据库的1例的图。

图7是表示上述实施方式的作业技能信息数据库的1例的图。

图8是表示上述实施方式的作业者技能信息数据库的1例的图。

图9是表示上述实施方式的错误代码信息数据库的1例的图。

图10是表示上述实施方式的检查结果信息数据库的1例的图。

图11是表示上述实施方式的新作业分配处理主程序的流程图。

图12是表示上述实施方式的作业者优先序位赋予处理子程序的流程图。

图13是表示上述实施方式的作业者决定处理子程序的流程图。

图14是表示上述实施方式的作业者的作业检测处理子程序的流程图。

图15是表示本发明的实施方式2的新作业分配处理主程序的流程图。

图16是表示上述实施方式的全部作业的再分配处理子程序的流程图。

图17是表示本发明的实施方式3的作业数据库作成处理的流程图。

图18是表示上述实施方式的作业日报作成处理的流程图。

图19是表示上述实施方式作成的作业日报的1例的图。

图20是表示作业者管理系统的变形例的框图。

具体实施方式

下面，参照附图详细说明本发明的实施方式。在本说明书和图中，对于实际上具有相同的功能结构的结构元素标以相同的符号并省略重复说明。

实施方式1.

首先，参照附图说明将本发明应用于半导体制造工厂时的作业者管理系统的实施方式1。图1是表示作为作业地点的1例的半导体制造工厂的作业者管理系统的整体结构的图，100是半导体制造工厂，表示工厂100内的布置的1例。200是作业者管理装置。

如图1所示，半导体制造工厂100主要分为例如工厂内的净化工作室区域110和净化工作室以外的区域120(以下，称为「净化工作室外区域」)。

此外，净化工作室区域110分为例如多个装置室区域112和装置室以外的区域114(以下，称为“装置室外区域”)。在装置室区域112中，设置了处理装置和测量装置等半导体制造装置140。作为处理装置，有例如蚀刻装置、CVD(Chemical vapor deposition：化学气相成长法)装置、涂料显影器、清洗装置、CMP(Chemical MechanicalPolishing：化学机械研磨)装置、PVD(Physical Vapor Deposition：物理气相成长法)装置、曝光装置、离子注入器等。作为测量装置，有例如膜厚装置、ODP(Optical Digital Profiler)、FTIR等。在装置室区域112中，可以对各装置室区域112配置不同种类的半导体制造装置140，也可以对相同装置室区域112配置多个种类的半导体制造装置140。

在上述装置室区域112中，设置在进行维护或定期检修等作业时从室内控制装置室区域112内的各半导体制造装置140的室内控制部116，由室内控制部116控制该装置室内的半导体制造装置140。也可以设置从装置室的外侧进行半导体制造装置140的控制等的室外控制部118。另外，半导体制造装置140的控制部也可以设置在各半导体制造装置140本体中，由其控制部控制该半导体制造装置140。上述室内控制部116、室外控制部118和其他控制部由例如操作面板构成。各控制部116、118和半导体制造装置140通过通信线路等与作业者管理装置200的输入输出部208电气连接，可以收发存取信息、装置的状态信息等装置信息(对装置的作业信息)。由上述各控制部控制半导体制造装置等时，根据该作业从控制部输入并存取作业者的ID、口令。这样，就可以确定哪个作业者正在控制。

装置室外区域114，这里表示设置上述室外控制部118的区域。装置室外区域114不限于室外控制部118的设置区域，也可以包含在装置室区域112间形成的通路等。

净化工作室外区域120表示净化工作室以外的工厂内区域。例如，有中央监控室区域122、工作室区域124、保管库房区域126、办公室区域128、休息室区域129(也可以包括卫生间等)等。

在上述净化工作室110内的装置室区域112、装置室外区域114、净化工作室外区域120的中央监控室区域122、工作室区域124、保管库房区域126、办公室区域128和休息室区域129的各区域中，设置了作为检测作业者的作业者检测单元的作业者检测传感器130。作业者检测传感器130通过通信电缆等与作业者管理装置200的输入输出部208电气连接，可以收发作业者检测传感器130的传感器信息。

上述作业者检测传感器130由接收例如各作业者携带的发信机的电磁波(或电波)的传感器构成。作业者检测传感器130安装在例如各区域的天花板或墙壁等上。

图2表示作为作业者传感器130而将例如接收机134设置在净化工作室区域110的装置室区域112中的例子。接收机134安装在成为装置室区域112的分隔部的装置室132的天花板上。另一方面，作业者136总是携带着发信机138进行半导体制造装置140等的作业。作业者136应进行半导体制造装置140的例如维护作业而进入装置室132时，设置在天花板上的接收机134就接收作业者携带的发信机138的电磁波。这样，就可以检出作业者136处在装置室区域112中。

这时，上述发信机138也可以向各作业者发送不同频率(无线频率)的电磁波。并且，使各作业者与各作业者的频率相关联的频率信息预先存储到作为频率信息存储单元的1例的频率信息数据库中。该频率信息数据库也可以包含在图3所示的各种数据库210中。根据该频率信息数据库的频率信息，可以由从作业者检测传感器130接收的电磁波的频率确定位于设置该作业者检测传感器130的作业区域内的作业者。作业者管理装置200根据各作业者检测传感器130的传感器信息找出接收成为作业区域检测的对象的作业者的频率的电磁波的作业者检测传感器130，将设置该作业者检测传感器130的作业区域确定为该作业者所在的作业区域。

另外，上述发信机138通过将作为识别各作业者的识别信息的ID的数据编码调制等变换为电磁波而进行发送，接收机134将对从发信机138接收的电磁波进行解调并组合后的ID的数据作为传感器信息向作业者管理装置200输出。该ID存储在图8所示的作业者技能信息数据250中。根据该作业者技能信息数据库250的ID(识别信息)，可以由从作业者检测传感器130接收的ID(识别信息)确定位于设置该作业者检测传感器130的作业区域的作业者。这样，作业者管理装置200就从各作业者检测传感器130的传感器信息找出接收成为作业区域检测的对象的作业者的ID(识别信息)的作业者检测传感器130，将设置该作业者检测传感器130的作业区域确定为该作业者所在的作业区域。发信机138可以由手机或后面所述的便携式信息终端等构成。另外，接收机134、发信机138都可以作为收发机。这时的具体的例子，后面进行说明。

另外，作业者的ID(识别信息)也可以预先存储到该作业者所携带的发信机138的存储单元(图中未示出)中，另外，也可以读取条码化的ID而存储到发信机138的存储单元中。具体而言，就是在由例如手机或便携式信息终端等构成的发信机138中设置红外线读取单元等条码读取单元，由条码读取单元读取条码化的ID，存储到发信机138的存储单元中。

(作业者管理装置)

作业者管理装置200输入例如上述作业者检测传感器130的数据，根据来自该作业者检测传感器130的数据检测各作业者所在的区域。如图3所示，作业者管理装置200除了具有包括CPU(中央处理装置)、ROM(只读存取器)、RAM(随机存储器)等存储器的控制部202、显示各种信息的显示器等显示部204、用于输入各种数据的输入部206、输入来自上述作业者检测传感器130的数据的输入输出部208和各种数据库210外，还具有图中未示出的存储程序等的硬盘装置等存储单元。上述控制部202的存储器由于收存由CPU进行存取的程序或数据，例如根据需要读出收存在上述硬盘装置等记录媒体存储的程序。

作为上述各种数据库210，如图4所示，有作业确定信息数据库220、作业优先度信息数据库230、作业技能信息数据库240、作业者技能信息数据库250、故障信息(异常信息)数据库260等。

(作业确定信息数据库)

如图5所示，作业确定信息数据库220存储使区域信息222和装置信息(对装置的作业信息)224以及作业内容226相关联的作业确定信息。该作业确定信息在例如确定作业者所进行的作业时使用。具体而言，利用由作业者检测传感器130检测的作业者所在的区域信息和半导体制造装置140的存取信息等作业确定信息确定该作业者现在所进行的作业(现在作业)。

区域信息222是图1所示的工厂的各区域的信息。在本实施方式中，将净化工作室110内的装置室区域112、装置室外区域114、净化工作室外区域120的中央监控室区域122、工作室区域124、保管库房区域126、办公室区域128和休息室区域129作为各区域。

装置信息224是例如对上述半导体制造装置140的室内控制部116、室外控制部118等控制部的存取信息、异常时发生的半导体制造装置140的报警或指示灯点亮等异常报告信息、需要维护时发生的半导体制造装置140的报警或指示灯点亮等维护通知信息等。作为对控制部的存取信息，是是否有用于进行例如半导体制造装置140的维护等各作业的存取的信息。作业内容226是在各区域进行的作业的种类。

下面，参照图5说明对各区域判断的作业内容226的1例。首先，作为净化工作室110的装置室区域112的作业，有故障对应作业(故障对应维护)和定期作业等。

上述装置室区域112的作业内容的故障对应作业，是在装置室区域112内的半导体制造装置140发生故障时用于消除该故障的作业。故障对应作业有装置的电气系统发生异常时的电气系统故障对应作业、装置的机械系统发生异常时的机械系统故障对应作业、蚀刻处理等的处理过程发生异常时的处理系统(工艺系统)故障对应作业等。半导体制造装置140的故障，根据该装置的报告单元的报警等通知或指示灯单元的指示灯的点亮等可以知道有无故障发生或故障的种类。

因此，在判定作业者位于装置室区域112中时，如果进而根据作业确定信息发生了故障，就可以判定该作业者在进行故障对应作业。这时，可以根据作业确定信息的故障的种类(例如电气系统、机械系统、处理系统等)判断更详细的故障对应作业。在有半导体制造装置140的报告(报警)时，通常作业者就从室内控制部116等访问该半导体制造装置140，切换为维护模式，进行检查动作等作业，所以，也可以根据这时的作业者的访问信息判断故障对应作业。

上述装置室区域112的作业内容的定期作业是例如对半导体制造装置140进行部件更换或湿法清洗的作业。湿法清洗，就是作业者在装置室区域112中将半导体制造装置140的处理室打开，使用药液进行清洗。这里，由于是在装置室区域112的作业，所以，作为清洗以湿法清洗为例，但是，本发明不限定一定如此。在进行部件更换或湿法清洗时，有时为了根据报告(报警)或指示灯的点亮等维护通知或由室内控制部116等切换为维护模式进行作业而访问该半导体制造装置140。因此，在判定作业者位于装置室区域112中时，根据这些访问信息或维护通知信息等作业确定信息可以判定该作业者正在进行定期作业。

其次，作为在净化工作室110的装置室外区域114中的作业，有通常操作作业、定期作业以及其他作业。通常操作作业是例如为了从室外控制部118进行半导体装置的生产指示而进行工艺条件等的输入、设置或移动收纳半导体芯片的载体(FOUP)的作业。设置或移动载体(FOUP)的作业在装置室区域112内进行，然后从室外控制部118进行半导体装置的生产指示等，所以，包含在装置室外区域114中的作业。但是，在装置室区域112中进行这些作业时，也可以作为装置室区域112的作业。

这样，通常操作作业由于通常是从室外控制部118等访问半导体制造装置140，所以，在判定作业者位于装置室区域112中时，根据访问信息可以判定该作业者正在进行通常操作作业。装置室外区域114的定期作业有例如对半导体制造装置140的干法清洗或干燥等。干法清洗，通常是从室外控制部118等访问半导体制造装置140，通过输入必要信息而清洗半导体制造装置140的处理室等的作业。这里，由于是在装置室外区域114中的作业，所以，作为清洗以干法清洗为例，但是，本发明不限定一定如此。

装置室外区域114的其他装置室外作业(包含在图6的后面所述的作业分类中的区域作业中)有半导体制造装置140的监视或周围的清扫等作业。在判定作业者位于装置室外区域114中时，在没有访问信息、维护通知信息等作业确定信息时，就可以判定正在进行其他作业。为了更详细地判断这些作业，可以从例如作业者的便携式信息终端输入监视、清扫等作业内容。也可以将输入的作业内容的信息作为作业确定信息而判断作业。

此外，作为净化工作室外区域120的作业，有在中央监控室区域122、工作室区域124、保管库房区域126、办公室区域128中的作业。这些作业都包含在图6中的后面所述的作业分类中的其他作业中。另外，在休息室区域129，是进行休息或上卫生间。作为上述中央监控室区域122、工作室区域124、保管库房区域126、办公室区域128中的作业，有例如生产准备作业(也可以作为工程管理作业)。作为生产准备作业，在中央监控室区域122中，进行例如半导体装置的生产全体的监视或生产安排(生产工程计划)的作业的变更等，在保管库房区域126中，进行部件的管理作业等，在办公室区域128中，进行部件的订购发货等其他杂务，在工作室区域124中，进行净化工作室内的空气净化器等的故障等的故障对应作业或空气净化器等的定期维护等定期作业。这样，根据作业者位于哪个区域可以判断正在进行的作业。

在上述例中，说明了工厂内某一区域的作业，但是，在工厂外也进行将清洗等使用的药品收容起来装入药品容器内的作业等工厂外区域的作业。因此，在检测到作业者位于工厂外区域时，就可以判定正在进行工厂外作业。作业者是否位于工厂外区域，在例如不能利用设置在工厂内的作业者检测传感器130检测出作业者所在的区域时，只要该作业者出勤了，也可以判定位于工厂外区域。

这样，在本实施方式中，作为作业确定信息，利用区域信息222和装置信息224确定作业者的现在作业。这是因为根据作业者位于哪个区域的区域信息222可以大致判断该作业者正在进行的现在作业，而根据访问信息等装置信息224可以判断大致的作业中更详细的作业。但是，本发明不限定一定如此，作为作业确定信息，也可以仅根据区域信息222而确定现在作业。例如，通过更细致地区分工厂内外的区域，仅根据区域信息222就可以某种程度地详细确定现在作业。另外，作为作业确定信息，也可以仅根据访问信息等装置信息224确定现在作业。

(作业优先度信息数据库)

作业优先度数据库230存储清楚划分的作业分类和属于该作业分类的作为作业的优先度(优先序位)信息的作业优先度信息。例如，如图6所示，从作为最高的优先度的优先度1到最低的优先度5，由优先度232和作业分类234构成。

优先度最高的优先度1的作业分类是非常时作业。作为非常时作业，有发生火灾时的灭火作业和根据气体检测器的检测报告而处置气体泄漏的气体泄漏对应作业等。这些作业的确定，根据例如设置在各装置室区域112中的火灾报警器等的灾害用的传感器等进行判断。

优先度2的作业分类是与设置在装置室区域112中的半导体制造装置140的故障对应的故障对应作业。故障对应作业包含图5所示的净化工作室区域110的装置室区域112的故障对应作业。如上所述，该故障对应作业有例如与电气系统故障、机械系统故障、处理系统故障等的故障对应的维护等。另外，故障对应作业也包含工作室区域124的空气净化器等的电气系统故障、机械系统故障。这些作业妨碍半导体装置的生产以及品质和起因于合格率降低等。因此，故障的对应作业在不是非常时的通常时的作业中最优先。

优先度3的作业分类，是通常操作作业。该通常操作作业包含图5所示的净化工作室区域110的装置室外区域114的通常操作作业。通常操作作业是例如为了进行上述半导体装置的生产指示而进行工艺条件等的输入、设置或移动收纳半导体芯片的载体(FOUP)的作业。在通常时，原则上只要没有任何故障，通常操作作业就是优先的。因为通常操作作业是半导体装置的生产的作业。

优先度4的作业分类是定期作业。定期作业包括图5所示的净化工作室区域110的装置室区域112的定期作业和装置室外区域114的定期作业。作为定期作业，如上所述，有例如湿法清洗、干法清洗、部件更换等维护作业。此外，也包含工作室区域124的空气净化器等的定期的维护。这些作业，原则上不是使半导体装置的生产中止而进行的作业，所以，在本实施方式中，优先度比通常操作作业低。但是，本发明不限于此，不论优先度如何，在半导体装置的生产过程中，在判断全体或前后的生产安排认为最适当时也可以进行这些作业。这时，何时进入定期作业，具有工程管理的技能的作业者可以判断全体或前后的生产安排而进行决定，随时适当地变更上述优先度。

优先度5的作业分类是其他的作业。这里所说的其他作业，除了图5所示的净化工作室区域110的装置室外区域114的其他的装置室外作业外，还包括净化工作室外区域120的中央监控室区域122的作业、保管库房区域126的作业、办公室区域128的作业、休息室区域129的作业和工厂外区域的作业。因此，作为这里所说的其他作业，包含例如部件订购发货作业、半导体装置的生产安排作业的调整、半导体制造装置140的监视、清扫等作业。

在本实施方式中，将作业的优先度分为5个，但是，本发明不限于此，可以是6个以上的优先度，也可以是4个以下的优先度。另外，作业的分法也不限于此。

(作业技能信息数据库)

作业技能信息数据库240存储作业本身所需要的技能信息(作业技能信息)，与存储作业者具有的技能信息(作业者技能信息)的后面所述的作业者技能信息数据库250不同。具体而言，如图7所示，作业技能信息数据库240存储使作业242与清楚划分的作业者分类244相关联的作业技能信息。

上述作业242进而分为作业分类246和包含在该作业分类246中的作业内容248。这里的作业分类246与图6所示的作业分类234对应。使最适合进行该作业的作业者分类244与每个该作业分类246或每个属于该作业分类的作业内容248相关联。

首先，对火灾的灭火作业等非常时对应作业与作业者分类244无关，全员进行是最合适的。故障对应作业，由工程技术人员进行是最合适的。此外，故障对应作业中的电气系统故障对应作业由电气系统工程技术人员进行是最合适的，机械系统故障对应作业由机械系统工程技术人员进行是最合适的，处理系统故障对应作业由处理系统工程技术人员进行是最合适的。这是因为，作业者为工程技术人员时，这些作业者具有专门的技术技能，由专门的工程技术人员进行该作业是最合适的。即，并不是意味着必须由专门的工程技术人员进行，即使是专门以外的工程技术人员，只要是可以处置该故障的工程技术人员，该作业者也可以进行该作业。

通常操作作业是为了使半导体制造装置140进行半导体装置的生产而操作上述控制部116等的作业。因此，作为操作者的作业者进行该作业是最合适的。通常操作作业也并不是意味着必须由操作者进行。例如，工程技术人员通常也具有作为操作者的技能，所以，工程技术人员也可以进行通常操作作业。

定期作业是例如清洗、部件更换等维护作业。因此，由定期作业者进行是最合适的。对于定期作业，也和上述一样，并不是意味着必须由定期作业者进行。例如，工程技术人员、操作者通常也具有作为定期作业者的技能，所以，工程技术人员也可以进行通常作业。

其他作业，是例如半导体装置的生产安排等作业。因此，其他作业由具有可以处理该作业的技能的其他的作业者进行是最合适的。

(作业者技能信息数据库)

如图8所示，作业者技能信息数据库250存储作业者具有的作业者技能信息。该作业者技能信息按例如作业者的整理号码251、姓名252、ID253、口令254、所属255、作业者分类256、作业257等项目进行存储。除了这些项目外，也可以存储例如作业者的移动(时间)、半导体制造装置的运转安排等。另外，也可以对各作业分类存储进行该作业时的单价。作业的单价在例如从别的公司将作业者派遣到某一工厂时可以用于根据作业决定费用。

整理号码251是作业者的通行号码，姓名252和ID253用于确定作业者。

在上述所属255中，存储该作业者所属的工厂名、事务所名、公司名等。例如，作业者是具有本发明的作业者管理系统的工厂的作业者时，所属255就存储该工厂名。另外，在属于别的工厂的作业者向具有本发明的作业者管理系统的工厂派遣时，所属255就存储该所属的别的工厂名。此外，如后面所述，有销售半导体制造装置140的公司(销售公司)和购入该半导体制造装置140的作为顾客的公司(购入公司)时，销售公司的从业员作为作业者向销售公司的工厂派遣时，所属255就存储该销售公司名。

作业者分类256存储该作业者的图7所示的作业者分类。该作业者具有操作者的技能时，就作为操作者使用，该作业者具有进行定期作业的技能时，就作为定期作业者使用。另外，如果作业者是工程技术人员，就如机械系统工程技术人员那样，优选连其专业也进行记录。

上述作业257存储该作业者具有技能的作业。上述作业257与图7所示的作业242对应。具体而言，作业257分为作业分类和作业内容。作业者是否可以进行该作业，用例如○、△、×表示。○是该作业者可以进行的作业，△是该作业者进行很难但不是不能进行的作业，×是该作业者不能进行的作业。

作业242不仅存储作业者本身的专业的作业，而且也可以存储实际可以进行的作业。例如，如果该作业者的作业者分类是机械系统工程技术人员，属于本身的专业的机械系统故障对应作业就是○，但是，通常只要是工程技术人员，也可以进行通常操作作业，所以，通常操作作业也是○。另外，即使该作业者是电气系统工程技术人员，有时也可以进行不是自己的专业的机械系统故障对应作业。这时，不仅将电气系统故障对应作业，而且也将机械系统故障对应作业表示为○。

(故障信息数据库)

故障信息(异常信息)数据库260包括存储半导体制造装置140的错误代码引起的故障信息的错误代码信息数据库262和存储半导体装置的检查结果引起的故障信息的检查结果信息数据库264。

如图9所示，错误代码信息数据库262存储半导体制造装置140有故障(异常)时的错误代码、该错误代码的内容、将具有可以处置该错误的技能的作业者分类加以关联的错误代码信息。例如，错误代码“AABB01”是作为半导体制造装置140利用例如加高频电力而在处理室内发生的等离子体而进行蚀刻处理的等离子体蚀刻装置的处理室内的高频反射波超过上限值时的错误。这时，设置在等离子体蚀刻装置中的高频发生器或匹配器等就成为错误对象部位。因此，具有可以进行该错误的故障对应作业的技能的作业者分类就是电气系统工程技术人员。与此相反，错误代码“CCDD01”是泵的冷却水的流量降低引起的错误。这时，泵单元等就成为了错误对象部位。因此，具有可以进行该错误的故障对应作业的技能的作业者分类就是机械系统工程技术人员。

如图10所示，检查结果信息数据库264在由等离子体蚀刻装置等半导体制造装置140制造的半导体装置有检查异常时，存储使检查结果与具有可以处置基于该检查结果的异常的技能的作业者分类相关联的检查结果信息。例如，由半导体制造装置140制造的晶片等利用检查装置进行各种各样的检查。基于这些检查结果的故障，主要是由处理系统工程技术人员进行故障对应作业。利用这样的故障信息数据库260，可以根据故障的种类决定进行该故障对应作业的最佳的作业者分类。

(作业者管理装置进行的处理)

下面，参照图11～图14说明作业者管理装置200进行的新作业分配处理的具体例子。本实施方式的处理，典型地可以利用硬盘装置等记录媒体记录的程序而实施。

本实施方式的新作业分配处理，在有新的作业时，根据作业者的现在作业判断(判断单元)是使该作业者继续进行现在作业还是进行新的作业，根据上述判断单元的判断结果向该作业者发出作业执行的指示(指示单元)。是考虑新作业的作业内容和作业者的技能以及现在所进行的作业与新作业的优先度等而选择最佳的作业者并发出指示的处理。

新作业分配处理，具体而言，如图11所示，首先在步骤S110判断是否有新的作业。例如，对于半导体制造装置140，除了错误信息外，根据通知(报警)信息等进行判断，并确定新作业。

例如，在半导体制造装置140发生故障时，作业者管理装置200从半导体制造装置140接收报警，同时接收包含错误代码的错误信息。利用故障信息数据库260中的错误代码信息数据库262，根据上述错误信息的错误代码可以确定该新作业是对什么样的故障的作业(电气系统故障对应作业、机械系统故障对应作业)。

另外，接收半导体制造装置140中的检查装置的检查结果，该检查结果有异常时，利用故障信息数据库260中的检查结果信息数据库264，可以确定新作业是处理系统故障对应作业，此外，可以取得该故障的详细情况。

另外，在半导体制造装置140的一批结束时，有一批结束的通知。这样，就可以确定新作业是FOUP的移动等、对下一批的准备作业等定期作业、通常操作作业等。在从半导体制造装置140有清洗等的通知时，就可以确定新作业是定期作业。

其次，在步骤S120，抽出可以进行该新作业的作业者(作业者抽出单元的例子)。例如，根据作业技能信息数据库240检索进行该新作业最佳的作业者分类，根据作业者技能信息数据库250抽出具有该作业者分类的作业者。另外，即使不是属于进行该新作业最佳的作业者分类的作业者，在作业者技能信息数据库250的作业257的栏内标了○和△的作业者也可以进行新作业。因此，这些作业者也是抽出的对象。

在作业者技能信息数据库250的作业257的栏内，例如电气系统工程技术人员如对电气系统故障对应作业一定标为○那样，对作业者分类的专业的作业也一定标为○。另外，有时也有对专业以外的作业标为○的作业者，而在专业以外的作业不是不能进行时就标为△。因此，不论作业者分类如何，可以仅根据作业者技能信息数据库250的作业257的栏抽出标为○和△的作业者。

然后，在步骤S130，对作业者赋予优先序位(优先序位赋予单元)。根据作业技能和作业者技能从最佳的作业者开始赋予优先序位。例如，使作业者信息数据库250的作业的栏内标为○的作业者的优先序位高。这是为了使对该作业具有专业技能的作业者优先担当该作业。向作业者赋予优先序位的处理的详细情况，后面进行说明。

然后，在步骤S140，决定进行作业的作业者。作业者的决定，从例如优先序位高的作业者开始顺序根据该作业者现在所进行的作业与新的作业的优先度进行。决定该作业者的处理的详细情况，后面进行说明。

其次，在步骤S150，向在步骤S140决定的作业者发出执行新作业的指示(指示单元)。这时，也可以向例如该作业者携带的便携式信息终端发出执行新作业的指示。

然后，在步骤S160，判断该作业者是否有现在作业。由于在步骤S140的作业者决定处理中检测现在作业(图13所示的步骤S320)，所以，利用该结果进行判断。这是因为，在指示进行新作业的作业者有现在作业时，需要对该现在作业选择替代的作业者并向其发出指示。在步骤S160判定该作业者有现在作业时，在步骤S170，就将现在作业作为新作业返回到步骤S120的处理，决定替代进行该作业的作业者。另外，在步骤S160判定该作业者没有现在作业时，就结束该处理。

下面，参照图12所示的子程序说明上述步骤S130的作业者的优先序位赋予处理(作业者优先序位赋予单元)的1例。在步骤S210对作为新作业的作业把在作业者技能信息数据库250的作业257的栏内标为○作为第一关键，使这样的作业者的优先序位高。然后，在步骤S220，将新作业的作业者分类作为第二关键，使与作业者分类一致的作业分类的作业者的优先序位最高。

这样，在作业者技能信息数据库250的作业的栏内标为○的并且新作业的作业者分类一致的作业者，优先序位最高。例如，具有该新作业的作业技能的作业者的作业者分类为电气系统工程技术人员时，即使在抽出的作业者包含机械系统工程技术人员，也是电气系统工程技术人员的优先序位高。这样，在步骤S140决定作业者时，可以从最适合新作业的作业者开始顺序判断是否可以担当新作业。这样，就可以更迅速地找到最适合新作业的作业者。

下面，参照图13所示的子程序说明在步骤S150决定作业者的处理的1例。首先，在步骤S310，令在图13所示的步骤S140得到的作业者的优先序位k＝1，按优先序位高的顺序进行作业者决定处理。其次，在步骤S320，检测作业者现在所进行的作业(现在作业)(现在作业确定单元的例子)。作业者的现在作业的检测，根据例如该作业者位于哪个区域等进行。

对于检测该作业者的作业的处理，按照例如图14所示的子程序进行(现在作业确定单元的例子)。首先，在步骤S410，检测存在该作业者的区域信息。这样，可以检测某种程度的作业(作业分类)。具体而言，根据作业者检测传感器130的传感器信息检测作业者位于净化工作室110内的装置室区域112等上述各区域中的哪个区域。例如，将检测到该作业者的频率的作业者检测传感器130的设置区域作为作业者所在的区域。如果设置在净化工作室110内的装置室区域112中的作业者检测传感器130检测到了该作业者的频率，就判定该作业者位于装置室区域112中，如果设置在装置室外区域114中的作业者检测传感器130检测到了该作业者的频率，就判定该作业者位于装置室外区域114。

其次，在步骤S420，检测对半导体制造装置140的访问信息等的装置信息。这样，可以检测更详细的作业。从半导体制造装置140或控制部116、118等得到的装置信息，由作业者管理装置200接收。根据访问信息，由ID和口令确定该作业者，并判断该作业者正在进行什么样的作业。另外，半导体制造装置140的报警信息等装置信息也由作业者管理装置200接收。也可以根据报警信息检测作业。

然后，在步骤S430，利用上述区域信息和上述装置信息，根据图5所示的作业确定信息数据库220的作业确定信息确定该作业者的现在作业。例如，作为区域信息，判断该作业者位于净化工作室110的装置室区域112中，此外，作为装置信息，判定有报警信息和故障对应访问时，作为现在作业的作业内容，就判定进行故障对应作业。

其次，在图13所示的步骤S330，判断是否有该作业者的现在作业。在由步骤S320确定了作业时，就判定有现在作业，未确定作业时，就判定没有现在作业。在步骤S330，判定没有现在作业时，在步骤S400，就将该作业者决定为进行新作业的作业者(作业者确定单元)。

与此相反，在步骤S330判定有现在作业时，在步骤S340，根据作业优先度信息数据库230的作业优先度信息取得现在作业的优先度，在步骤S350取得新作业的优先度。然后，在步骤S360，判断现在作业的优先度(U1)是否比现在优先度(U2)高或者是否优先度相同。在步骤S350判定现在作业的优先度比现在优先度高时或优先度相同时，在步骤S370，就将优先序位k增加1(k＝k+1)。然后，在步骤S380，判断是否对赋予了优先序位的所有的作业者进行处理。例如，设抽出的赋予了优先序位的作业者数为N，判断优先序位是否成为k＝N+1。在步骤S380判定还未对赋予了优先序位的所有的作业者进行了处理时，例如判定优先序位还未成为k＝N+1时，就返回步骤S320的处理，对下一个优先序位的作业者进行处理。

在上述步骤S350判定该作业者的现在作业的优先度比现在优先度低时，在步骤S400，就将该作业者决定为进行新作业的作业者。这样，就由图11所示的步骤S150指示所决定的作业者进行新作业。

这样，比较检测的现在作业与新作业的优先度，如果新作业的优先度高，就指示该作业者进行新作业。这样，在有新作业时，就可以根据与现在作业的优先度判断是否使该作业者进行新作业，所以，可以非常迅速地处理优先度高的作业即重要的作业。这样，就可以实现作业分配的最佳化。

另外，在上述步骤S380判定对赋予了优先序位的所有的作业者进行了处理时，例如在判定优先序位已成为k＝N+1时，在步骤S390，进行错误处理。作为错误处理，在显示部204上进行例如未找到相应的作业者的显示。这时，也可以例如将该信息通知可以进行该作业的作业者。按照上述这样的处理，越是优先度高的处理，找到作业者的情况越多，所以，未找到作业者的处理，是优先度低的处理的可能性高。因此，也可以例如错开时间再次进行上述处理。

在步骤S390的错误处理中，根据作业技能信息数据库240的作业技能信息，从未找到作业者的作业检索具有该作业所需要的技能的作业者的作业者分类，也可以利用运行记录文件等存储上述作业、作业者分类、日期等。例如，未找到作业者的作业是机械系统故障对应作业时，作为具有该作业所需要的技能的作业者的作业者分类，可以检索机械系统工程技术人员，所以，将机械系统故障对应作业、机械系统工程技术人员等存储到运行记录文件中。这样，就可以知道该工厂有可能机械系统工程技术人员不足。

这样，上述运行记录文件可以作为该工厂是否需要增减作业者的判断材料。例如，在频繁发生错误处理时，就可以推测作业者不足以及哪个作业者分类的作业者不足。另外，不发生错误处理时，通过削减作业者可以削减多余的作业者。这样，可以使该工厂安排所需数量的需要的作业者分类的作业者，所以，不仅可以实现每1个作业者的作业的高效化，而且也可以实现作业者数的高效化。

按照这样的处理，例如作为新作业而发生了机械系统故障对应作业，设作为可以进行该新作业的作业者而抽出的是电气系统工程技术人员A、机械系统工程技术人员B和操作者C时，这些作业者的优先序位是机械系统工程技术人员B、电气系统工程技术人员A、操作者C的顺序，按该顺序进行处理。这时，如果没有B的现在作业，则新作业的作业者就决定为B。

另外，即使B有现在作业时，该现在作业是例如通常操作作业时，按照图6所示的作业优先度信息数据库230，由于作为新作业的机械系统故障对应作业的优先度比作为B的现在作业的通常操作作业的优先度高，所以，这时新作业的作业者也决定为B。

这时，作为B的现在作业的通常操作作业就作为新作业反复进行处理。这时的作业者的优先序位就是操作者C、电气系统工程技术人员A、机械系统工程技术人员B的顺序，按该顺序进行处理。这时，如果操作者C没有现在作业，则新作业的作业者就决定为C。

另外，即使C有现在作业，该现在作业是定期作业时，按照图6所示的作业优先度信息数据库230，由于作为新作业的通常操作作业的优先度比作为C的现在作业的定期作业的优先度高，所以，这时新作业的作业者也决定为C。

然而，在C的现在作业是在别的区域中的通常操作作业时，按照图6所示的作业优先度信息数据库230，由于现在作业和新作业在优先度方面不分优劣，所以，C继续进行现在作业。如果没有电气系统工程技术人员A的现在作业，则新作业的作业者就决定为A。

实施方式2.

下面，参照附图说明将本发明应用于半导体制造工厂时的作业者管理系统的实施方式2。在实施方式2中，图1～图10的结构相同，所以，省略其详细的说明。另外，对于与实施方式1相同的部分标以相同的符号，并省略其详细的说明。

下面，参照图15和图16说明实施方式2的作业者管理装置200进行的新作业分配处理的其他具体例。本实施方式的处理，典型地可以利用记录在硬盘装置等记录媒体上的程序实施。

在实施方式2的新作业分配处理中，与实施方式1的图11所示的情况不同的地方是，在有新作业时对包含该新作业和所有的作业者的现在作业的全部作业考虑各作业的优先度、作业技能、作业者技能等而进行作业的再分配，以便可以使最佳的作业者进行作业。

具体而言，如图15所示，首先在步骤S510判断是否有新的作业。与上述步骤S310一样，根据例如半导体制造装置140发生了故障时的错误信息、报警信息等进行判断。其次，在步骤S520，检测所有的作业者的现在作业。该作业者的现在作业的检测，对所有作业者反复进行例如图14所示的子程序。

然后，在步骤S530，对包含新作业和现在作业的全部作业进行再分配(作业再分配单元)。这样，在有新作业时，检测所有作业者的现在作业，重新再分配包含该现在作业和新作业的全部作业，所以，可以对包含新作业的全部作业分配更适当的作业者。这样，可以实现作业分配的高效化和作业的高效化。作业的再分配的处理的详细情况，后面进行说明。

然后，在S540，向各作业者发出指示，指示其进行分配给该作业者的作业。例如，可以向各作业者携带的便携式信息终端发出指示，指示其进行相应的作业。

其次，在步骤S550，判断是否还有未分配的作业。在步骤S550判定还有未分配的作业时，在步骤S560对可以对应的作业者还有未分配的作业，所以，就通知其进行该作业，并结束处理。在步骤S550判定已没有了未分配的作业时，就直接结束处理。

下面，参照图16所示的子程序说明步骤S530的作业再分配处理(作业再分配单元)的1例。首先，在步骤S610，对包含新作业和现在作业的所有的作业，根据作业优先度信息数据库230的作业优先度信息决定优先度高的顺序。设这时的作业的优先度为W。然后，在步骤S620，令优先序位W＝1，从优先序位最高的作业开始，通过以下的处理决定最佳的作业者。

其次，在步骤S630，抽出可以进行该作业的作业者。然后，在步骤S640，对作业者赋予优先序位。该优先序位赋予的处理，利用例如图12所示的子程序进行。然后，在步骤S650，决定作业者。该作业者决定的处理，利用例如图13所示的子程序进行。

其次，在步骤S660，将作业的优先序位W增加1(W＝W+1)，在步骤S670，判断是否对所有的作业进行了处理。这样，原则上对所有的作业决定了作业者。但是，有时有的作业还是找不到适当的作业者。这时，就通过图15所示的步骤S550、S560，作为未分配的作业而通知可以进行该作业的作业者。

按照这样的处理，在例如有新作业时，就检测所有作业者的现在作业，对包含新作业的所有的作业，根据作业优先度信息数据库230赋予优先序位。从优先序位高的作业开始决定进行该作业的作业者。例如，设所有的作业的优先序位是机械系统故障对应作业、通常操作作业时，首先从机械系统故障对应作业开始决定作业者。

对于作为最初的作业的机械系统故障对应作业，设作为可以进行该作业的作业者而抽出的是电气系统工程就A、机械系统工程技术人员B、操作者C时，这些作业者的优先序位就是机械系统工程技术人员B、电气系统工程技术人员A、操作者C的顺序，按该顺序进行处理。这时，如果没有B的现在作业，则机械系统故障对应作业的作业者就决定为B。

其次，对通常操作作业决定作业者。这时的作业者的优先序位就成了操作者C、电气系统工程技术人员A、机械系统工程技术人员B的顺序，按该顺序进行处理。这时，如果操作者C没有现在作业，则新作业的作业者就决定为C。

这样，在有新作业时，就进行包含新作业的全部作业的再分配，这时，按作业的优先度高的顺序决定作业者，所以，可以迅速地对重要的作业决定作业者。另外，在进行包含新作业的全部作业的再分配时，比较检测的现在作业与新作业的优先度，如果新作业的优先度高，就可以指示该作业者进行新作业。这样，就可以对优先度高的重要的作业选择最佳的作业者，所以，可以实现作业分配的最佳化和作业的高效化。

实施方式3

下面，参照附图说明将本发明应用于半导体制造工厂时的作业者管理系统的实施方式3。在实施方式3中，图1～图10的结构相同，省略其详细的说明。另外，对于与实施方式1相同的部分标以相同的符号，省略其详细的说明。本实施方式的处理，典型地可以利用记录在硬盘装置等记录媒体上的程序实施。

下面，参照图16说明作为实施方式3的作业者管理装置200进行的作业信息存储单元的1例的作业数据库的作成处理。作业数据库是成为用于作成后面所述的各作业者的作业日报的素材的数据库。因此，作业数据库中预先存储各作业者在各指定时间进行的作业。因此，该作业数据库的作成处理根据作业日报记载的时间在各指定时间进行。例如，作成每隔1小时的作业日报时，就每1小时进行上述作业数据库的作成处理，作成每隔30分钟的作业日报时，就每30分钟进行上述作业数据库的作成处理。

作业数据库的作成处理，首先，在步骤S710检测所有的作业者现在所进行的作业(现在作业)。各作业者的现在作业的检测处理，对所有作业者按照每个作业者反复进行例如图14所示的子程序。在步骤S720，存储对各作业者检测到的现在作业。这样，只要每隔指定时间检测并存储了作业者的现在作业，就可以对各作业者作成作业数据库。该作业数据库也可以包含在例如图3所示的各种数据库210中。

下面，参照图18说明作为作业者管理装置200进行的作业报告书作成单元的1例的作业日报作成处理。作业日报作成处理，是对各作业者自动地作成作业日报的处理。

首先，在步骤S810，进行作业者的确定。确定作成作业日报的作业者。这里，在操作画面上输入作业者，可以作成确定的作业者的作业日报，另外，也可以自动地逐个确定各作业者，从而可以对所有的作业者作成作业日报。

其次，在步骤S820，根据通过图17所示的处理而作成的作业数据库作成该作业者的作业日报数据。作业日报数据，通过抽出该作业者的当日的作业而作成。

然后，在步骤S830，印刷作业日报。例如，利用与作业者管理装置200连接的打印机，印刷而输出作业日报，并结束该处理。这样作成的作业日报的1例示于图19。该作业日报是作为指定时间每隔1小时进行图17所示的作业数据库作成处理而检测作业者的现在作业时的例子。

该作业日报在例如从别的公司向某一工厂派遣作业者时可以用于根据作业决定费用。在作业者技能信息数据库250中存储了作业单价时，检索并印刷各作业的作业单价，根据其合计金额就可以要求与作业内容对应的费用。

另外，如果从作业数据库中取出了每月的数据，也可以作成并印刷作业月报。这样，按照本实施方式，可以很容易地作成作业日报、作业月报等作业报告书。而且，自动地检测作业者的作业，作成成为作业者报告书的素材的作业数据库，所以，可以省去作业者每次进行作业时从便携式信息终端等输入的麻烦，从而可以提高作业效率。另外，没有必要依赖作业者的自己报告，所以，可以总是作成正确的作业报告。

按照这样的本发明，可以很容易地确定作业者现在所进行的作业，所以，在有例如新的作业时，考虑现在的作业与新作业的预先度，可以选择最佳的作业者使其进行作业。这样，可以使各作业者人尽其才配置在适当的场所，从而可以提高各作业者的作业效率。

在上述实施方式中，如图1所示，作为作业者检测传感器130，说明了设置在各区域110、120中的例如接收机134通过通信电缆等与作业者管理装置200连接的情况，但是，本发明不限于此，也可以通过网络取代通信电缆等进行连接。另外，图2所示的接收机134可以是具有收发功能的收发机，发信机138可以是具有收发功能的便携式信息终端。这时，可以在便携式信息终端中设置臭气传感器等各种传感器，根据这些传感器的检测值进行异常判断。

具体而言，如图20所示，在例如装置室区域112中设置具有网络连接功能例如路线程序功能的带网络连接功能的收发机320。带网络连接功能的收发机320通过网络300与作业者管理装置200连接。作业者管理装置200通过具有网络连接功能例如路线程序功能的网络连接装置340与网络300连接。

作业者携带的图2所示的发信机138可以由具有收发功能的便携式信息终端360构成。作为这样的便携式信息终端360，有例如PDA(Personal Digital Assistant：个人数字辅助器)、笔记本电脑、可以用笔输入的电脑(例如图形输入PC)等。

便携式信息终端360为了检测异常除了检测声音或臭气等的臭气传感器、高频传感器、低频传感器等各种传感器362外，还具有控制部364、调制解调部366、通信接口368等。调制解调部366将通过通信接口368发送来的数据调制为例如无线信号，将通过通信接口368接收的数据解调。

网络300可以是因特网等公众线路网，也可以是WAN(Wide AreaNetwork：广域网)、LAN(Local Area Network：局域网)、IP-VPN(Internet Protocol-Virtual Private Network：网际协议-虚拟个人网络)等闭环线路网。另外，连接媒体可以是FDDI(Fiber Distributed DataInterface：光纤分布式数据接口)等光纤电缆、基于Ethernet(以太网)的同轴电缆或对绞电缆或者IEEE802.11b等无线，不论有线无线都可以，也可以是卫星网络等。

上述带网络连接功能的收发机320具有例如无线路线程序功能，便携式信息终端360的通信接口368由无线LAN卡等构成，带网络连接功能的收发机320与便携式信息终端360之间可以利用无线LAN收发数据。

便携式信息终端360的各种传感器362，可以是对声音检测例如人不能听到的频率、周期等的传感器。另外，作为各种传感器362而设置臭气传感器时，可以通过例如臭的成分吸附在传感器表面而进行检测。臭气传感器由例如气体检测传感器构成，可以检测CO、Cl等卤素气体等对人体有害的气体。另外，也可以根据对半导体制造装置的处理室进行排气的排气泵的油的蒸汽检测油的摩擦度和粘度。

具体而言，作为各种传感器362，有示波器、频谱分析器、快速傅立叶变换器(FFT)、振动分析器、振动晶体传感器、半导体传感器、光传感器等。便携式信息终端360具有各种传感器362的切换开关(图中未示出)，作业者可以利用切换开关选择所希望的传感器进行使用。

也可以将作业者从设置在便携式信息终端360上的输入单元输入的数据(外部环境信息)作为传感器数据。作为外部环境信息，可以将例如作业者使用测量器测量的数据或由操作面板显示的数据等各种各样的数据作为传感器数据而输入。输入单元可以是键输入、触摸屏输入等众所周知的输入单元。

便携式信息终端360的控制部364根据例如各种传感器362的检测值进行半导体制造装置等的异常判断。例如，检测到声音或臭气时，就可以判定发生了异常，另外，预先将是否异常的阈值存储到存储部(图中未示出)等中，如果检测到了超过该阈值的声音或臭气，就判定发生了异常。这样，就可以在例如发生图9所示的错误之前判断异常。

并且，在判定发生了异常时，便携式信息终端360就通过网络300将各种传感器362中相应的传感器的数据向作业者管理装置200传送。在作业者管理装置200中，根据从便携式信息终端360接收的传感器数据判断是否发生了例如图11所示的步骤S110、图15所示的步骤S510的新作业。

具体而言，在各种数据库210中设置将发生图9所示的错误之前的征兆作为事前信息而存储的例如错误事前信息数据库(图中未示出)，根据错误事前信息数据库存储的征兆综合地确定作业，判断发生了新作业。这时，作业者管理装置200访问被判定为异常的半导体制造装置140，可以利用报警单元进行报警或利用指示灯单元将灯点亮。

错误事前信息数据库存储的具体例有如下情况。在错误事前信息数据库中，例如作为真空侧错误事前信息，存储了泄漏率增大(征兆1)和底板压力上升(征兆2)，作为大气侧错误事前信息，存储了异常声音(征兆3)和振动增大(征兆4)。泄漏率增大(征兆1)是由于在例如半导体制造装置的处理室设置的O环的劣化而大气流入处理室内时的征兆。底板压力上升(征兆2)是例如将处理室内抽真空的真空泵的疲劳或由于异物的堆积抽真空的能力不足时的征兆。异常声音(征兆3)是例如除了真空泵的劣化外发生了轴承的劣化从而发生了半导体制造装置的平衡不良时的征兆。振动增大(征兆4)是例如除了异物的堆积、真空泵的劣化等外发生了轴承的劣化从而发生了半导体制造装置的平衡不良时的征兆。征兆1、2可以根据例如由作业者输入便携式信息终端360的外部环境信息进行判断。征兆3、4可以根据由各种传感器362检测的传感器数据进行判断。

这样的征兆存储到错误事前信息数据库中时，根据例如由作业者输入便携式信息终端360的外部环境信息可以判定仅是征兆1，没有征兆3、4时，则真空泵正常的可能性高，而腔室泄漏(处理室内发生泄漏)的可能性高，所以，就根据腔室泄漏判定发生了进行维护的新作业。因此，就向根据图11和图15按照进行该新作业而确定的作业者发出进行新作业的指示。具体而言，例如作业者管理装置200通过网络300向该作业者的便携式信息终端360发送指示。

由图20所示的便携式信息终端360检测的或输入的传感器数据可以每次向作业者管理装置200发送，另外，也可以在检测到图14所示的步骤S410的区域信息时与作业者的识别信息一起向作业者管理装置200发送。并且，也可以在作业者管理装置200中进行是否有异常的判断，从而判断新作业的发生。

另外，上述带网络连接功能的收发机320、便携式信息终端360的收发功能不限于基于无线的收发功能，也可以应用基于红外线的收发功能等各种各样的收发功能。此外，也可以在便携式信息终端360中设置GPS(Global Positioning System)，根据GPS检测作业者的位置。

以上，参照附图说明了本发明的极好的实施方式，但是，本发明不限定这些实施方式。本领域技术人员在权利要求的范围内可以想到各种变更例或修正例，这些当然也属于本发明的技术范围。

例如，本发明可以作为管理具有半导体制造工厂的企业的作业者的作业者管理系统而应用，另外，也可以在从与具有半导体制造工厂的企业不同的企业向该半导体制造工厂派遣作业者时作为包含该作业者而进行管理的作业者管理系统而应用。特别是对于作为购入或使用半导体制造装置的企业的客户，将制造或销售该半导体制造装置的企业的从业员作为作业者进行派遣而进行半导体制造装置的维护或半导体制造等的作业时，也可以作为管理该作业者的作业者管理系统而应用。这样，可以最大限度地提高派遣的每1个作业者的作业效率，从而可以根据该派遣的工厂的特质决定作业者分类和作业者数。

这样，对半导体制造装置的制造或销售的企业而言，可以将向购入或使用半导体制造装置的客户企业派遣的作业者限制到所需的最小限度。另一方面，对购入或使用半导体制造装置的客户企业而言，可以将从半导体制造装置的制造或销售的企业派遣的作业者的人工费抑制到所需的最小限度。

本发明可以应用于作业者管理系统、作业者管理装置和作业者管理方法。

Claims (10)

1.一种作业者管理装置，管理在根据作业内容分为多个作业区域的作业地点进行作业的作业者，其特征在于，该作业者管理装置包括：

存储使所述作业地点的各作业区域与在该各作业区域所进行的作业内容相关联的作业确定信息的作业确定信息存储单元；

根据来自设置在所述各作业区域的作业者检测单元的输出，确定所述作业者处在哪一个作业区域的作业者位置确定单元；

根据所述作业确定信息存储单元的作业确定信息，并根据由所述作业者位置确定单元确定的作业者的作业区域而确定该作业者现在所进行的作业的现在作业确定单元；

根据由所述现在作业确定单元确定的现在作业和来自所述作业者携带的便携型信息终端的电磁波判断是使该作业者继续进行现在作业还是进行新的作业的判断单元；和

根据所述判断单元的判断结果向该作业者发出作业执行的指示的指示单元，

所述便携型信息终端设置有用于检测异常情况的传感器，所述判断单元根据所述传感器的检测值判断是使该作业者继续进行现在作业还是进行新的作业。

2.一种作业者管理装置，管理在根据作业内容分为多个作业区域的作业地点进行作业的作业者，其特征在于，该作业者管理装置包括：

存储使所述各作业区域与在该各作业区域所进行的作业内容相关联的作业确定信息的作业确定信息存储单元；

根据来自设置在所述各作业区域的作业者检测单元的输出确定所述作业者处在哪一个作业区域的作业者位置确定单元；

根据所述作业确定信息存储单元的作业确定信息，并根据由所述作业者位置确定单元确定的作业者的作业区域而确定该作业者现在所进行的作业的现在作业确定单元；

存储使所述各作业者与该各作业者可以进行的作业相关联的作业者技能信息的作业者技能信息存储单元；

存储作业的优先信息的作业优先信息存储单元；

根据来自所述作业者携带的便携型信息终端的电磁波，检测发生了新的作业的新作业检测单元；

在所述新作业检测单元检测到新作业时，根据所述作业者技能信息存储单元的作业者技能信息，抽出可以进行所述新作业的作业者的作业者抽出单元；

由所述现在作业确定单元确定所述作业者抽出单元抽出的作业者的现在作业，并根据所述作业优先信息存储单元的作业优先信息，取得所述现在作业的优先序位与所述新作业的优先序位并进行比较，从而进行将所述新作业的优先序位比所述现在作业高的作业者确定为所述新作业的作业者的作业者确定处理的作业者确定单元；和

向由所述作业者确定单元确定的作业者发出指示使其进行所述新作业的作业的指示单元，

所述便携型信息终端设置有用于检测异常情况的传感器，所述新作业检测单元根据所述传感器的检测值检测发生了所述新的作业。

3.一种作业者管理装置，管理在根据作业内容分为多个作业区域的作业地点进行作业的作业者，其特征在于，该作业者管理装置包括：

存储使所述作业地点的各作业区域与在该各作业区域所进行的作业内容相关联的作业确定信息的作业确定信息存储单元；

根据来自设置在所述各作业区域的作业者检测单元的输出确定所述作业者处在哪一个作业区域的作业者位置确定单元；

根据所述作业确定信息存储单元的作业确定信息，并根据由所述作业者位置确定单元确定的作业者的作业区域而确定该作业者现在所进行的作业的现在作业确定单元；

存储作业的优先信息的作业优先信息存储单元；

根据来自所述作业者携带的便携型信息终端的电磁波，检测发生新的作业的新作业检测单元；

在所述新作业检测单元检测到新作业时，由所述现在作业确定单元确定所有作业者的现在作业，并对将新作业包含在这些现在作业中的全部作业，根据所述作业优先信息存储单元的作业优先信息赋予作业的优先序位，从优先度高的作业开始向所有作业者重新分配全部作业的作业再分配单元；和

向所有作业者指示由所述作业再分配单元分配的作业的指示单元，

所述便携型信息终端设置有用于检测异常情况的传感器，所述新作业检测单元根据所述传感器的检测值检测发生了所述新的作业。

4.根据权利要求3所述的作业者管理装置，其特征在于：

所述作业再分配单元从作业的优先序位高的作业开始作为新作业，

设有：存储使所述各作业者与该作业者可以进行的作业相关联的作业者技能信息的作业者技能信息存储单元；

根据所述作业者技能信息存储单元的作业者技能信息，抽出可以进行所述新作业的作业者的作业者抽出单元；和

由所述现在作业确定单元确定由所述作业者抽出单元抽出的作业者的现在作业，并根据所述作业优先信息存储单元的作业优先信息，取得所述现在作业的优先序位与所述新作业的优先序位并进行比较，从而进行将所述新作业的优先序位比所述现在作业高的作业者确定为所述新作业的作业者的作业者确定处理的作业者确定单元。

5.根据权利要求3所述的作业者管理装置，其特征在于：

所述作业者检测单元设置接收来自各作业者携带的发信机的电磁波的接收机，

所述发信机设定为按照各作业者发送不同频率的电磁波，

所述作业者位置确定单元找出接收到成为作业区域检测的对象的作业者的频率的电磁波的所述作业者检测单元，将设置有该作业者检测单元的作业区域确定为该作业者所在的作业区域。

6.根据权利要求3所述的作业者管理系统，其特征在于：

所述作业者检测单元设置接收来自各作业者携带的发信机的电磁波的接收机，

所述发信机设定为按照各作业者发送承载有识别作业者的识别信息的电磁波，

所述作业者位置确定单元从所述作业者检测单元取得作业者的识别信息，找出接收到成为作业区域检测的对象的作业者的识别信息的所述作业者检测单元，将设置有该作业者检测单元的作业区域确定为该作业者所在的作业区域。

7.根据权利要求3所述的作业者管理系统，其特征在于：

设置从所述作业区域设置的作业装置取得作业者的作业信息的作业信息取得单元，

所述现在作业确定单元除了作为所述作业者所在的作业区域而确定的作业区域信息外，从所述作业信息取得单元取得来自该作业者进行作业的作业装置的作业信息，根据这些区域信息和作业信息确定该作业者的现在作业。

8.一种作业者管理方法，管理在根据作业内容分为多个作业区域的作业地点进行作业的作业者，其特征在于，该作业者管理方法包括：

根据来自设置在所述各作业区域的作业者检测单元的输出确定所述作业者处在哪一个作业区域的作业者位置确定工序；

根据存储使所述作业地点的各作业区域与在该各作业区域进行的作业内容相关联的作业确定信息的作业确定信息存储单元的作业确定信息，并根据在所述作业者位置确定工序确定的作业者的作业区域确定该作业者现在所进行的作业的现在作业确定工序；

根据在所述现在作业确定工序确定的现在作业和来自所述作业者携带的便携型信息终端的电磁波判断是使该作业者继续进行现在作业还是进行新的作业的判断工序；和

根据所述判断工序的判断结果向该作业者发出作业执行的指示的指示工序，

所述便携型信息终端设置有用于检测异常情况的传感器，在所述判断工序，根据所述传感器的检测值判断是使该作业者继续进行现在作业还是进行新的作业。

9.一种作业者管理方法，管理在根据作业内容分为多个作业区域的作业地点进行作业的作业者，其特征在于，该作业者管理方法包括：

根据来自设置在所述各作业区域的作业者检测单元的输出确定所述作业者处在哪一个作业区域的作业者位置确定工序；

根据存储使所述各作业区域与在该各作业区域进行的作业内容相关联的作业确定信息的作业确定信息存储单元的作业确定信息，并根据在所述作业者位置确定工序确定的作业者的作业区域确定该作业者现在所进行的作业的现在作业确定工序；

根据来自所述作业者携带的便携型信息终端的电磁波，检测发生了新的作业的新作业检测工序；

在所述新作业检测工序检测到新作业时，根据存储使所述各作业者与该各作业者可以进行的作业相关联的作业者技能信息的所述作业者技能信息存储单元的作业者技能信息，抽出可以进行所述新作业的作业者的作业者抽出工序；

由所述现在作业确定工序确定所述作业者抽出工序抽出的作业者的现在作业，并根据存储作业的优先信息的作业优先信息存储单元的作业优先信息，取得所述现在作业的优先序位与所述新作业的优先序位并进行比较，从而进行将所述新作业的优先序位比所述现在作业高的作业者确定为所述新作业的作业者的作业者确定处理的作业者确定工序；和

向由所述作业者确定工序确定的作业者发出指示使其进行所述新作业的作业的指示工序，

所述便携型信息终端设置有用于检测异常情况的传感器，在所述新作业检测工序，根据所述传感器的检测值检测发生了所述新的作业。

10.一种作业者管理方法，管理在根据作业内容分为多个作业区域的作业地点进行作业的作业者，其特征在于，该作业者管理方法包括：

根据来自设置在所述各作业区域的作业者检测单元的输出确定所述作业者处在哪一个作业区域的作业者位置确定工序；

根据存储使所述作业地点的各作业区域与在该各作业区域进行的作业内容相关联的作业确定信息的作业确定信息存储单元的作业确定信息，并根据在所述作业者位置确定工序确定的作业者的作业区域确定该作业者现在所进行的作业的现在作业确定工序；

根据来自所述作业者携带的便携型信息终端的电磁波，检测发生了新的作业的新作业检测工序；

在所述新作业检测工序检测到新作业时，由所述现在作业确定工序确定所有作业者的现在作业，并对将新作业包含在这些现在作业中的全部作业，根据存储作业的优先信息的作业优先信息存储单元的作业优先信息，赋予作业的优先序位从而从优先度高的作业开始对所有作业者重新分配全部作业的作业再分配工序；和

向所有作业者指示由所述作业再分配工序分配的作业的指示工序，

所述便携型信息终端设置有用于检测异常情况的传感器，在所述新作业检测工序，根据所述传感器的检测值检测发生了所述新的作业。

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