CN100438985C - 喷嘴刮除机的刮除结构 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种喷嘴刮除机的刮除结构，其包含一基座、一刮除块及一刮除片，其中，刮除块具有一刮除槽，且设置于基座中，刮除片设置于刮除块的前端，且该刮除片有一左刮片与一右刮片，以增加刮除结构刮除残留于喷嘴的凝胶的刮除面积。在本发明的刮除结构中，由于刮除片设置于刮除块的前端，而先以刮除片刮除残留于喷嘴的凝胶，再以刮除块刮除剩余残留于喷嘴的凝胶，由此可有效提高刮除结构的刮除效果，避免残留于喷嘴的凝胶影响加工质量，以提高生产合格率，并减低刮除块的磨耗，进而延长刮除块的使用寿命。

Description

喷嘴刮除机的刮除结构

技术领域

本发明涉及一种喷嘴刮除机，尤其涉及一种喷嘴刮除机的刮除结构。

背景技术

现今大多数工业生产中都具有涂布处理，以将一涂布材料涂布于一基材上，例如：光盘加工与半导体加工的屏蔽处理(mask process)等。涂布处理是通过一涂布机以一喷嘴(nozzle)向基材喷出涂布材料，以将涂布材料涂布于基材。以屏蔽处理举例来说，通过涂布机的喷嘴将光致抗蚀剂涂布于基材上，以在基材上形成一屏蔽。涂布机的喷嘴向基材喷出涂布材料时，涂布材料会残留于喷嘴的喷出口外侧，且会随着时间逐渐形成结晶物，即凝胶(gel)。由于涂布机在进行涂布处理中会产生作用力，例如喷嘴喷出涂布材料所产生的作用力，所以容易使残留于喷嘴的凝胶在喷嘴涂布过程中掉落于基材上，由此即会降低涂布后基材的质量，进而造成生产合格率降低。

为了避免上述情况，业界现今发展出一种喷嘴刮除机，当涂布机进行涂布处理一段时间后，即会通过喷嘴刮除机刮除残留于喷嘴外侧的涂布材料与凝胶。然而，公知喷嘴刮除机的刮除结构在使用上仍然有缺陷存在，以下配合附图说明现今喷嘴刮除机的刮除结构的缺陷。请参阅图1，其为公知喷嘴刮除机的刮除结构的立体图；如图所示，刮除结构10包含一基座12与一刮除块14，其中，基座12设置于喷嘴刮除机(图中未示出)的顶部，刮除块14的材料为弹性材料(例如：橡胶)，并设置于基座12的顶部，刮除块14的顶部具有一刮除槽142，刮除槽142的几何形状对应于涂布机的喷嘴的几何形状，此例运用于V字形的喷嘴，所以刮除槽142对应地呈V字形。一滑动件16，其设置于基座12的一侧，滑动件16可滑动于一滑轨18，而带动基座12沿着涂布机的喷嘴移动，以刮除残留于喷嘴的涂布材料与凝胶，例如：刮除残留的光致抗蚀剂与凝胶。

请参阅图2，其为公知喷嘴刮除机的刮除结构刮除喷嘴残留的涂布材料与凝胶的动作示意图；如图所示，刮除块14的刮除槽142对应于涂布机20的喷嘴22，让喷嘴22可位于刮除槽142中。刮除结构10通过滑动件16滑动于滑轨18而带动基座12沿着喷嘴22移动，此时喷嘴22会位于刮除槽142中而刮除块14会接触喷嘴22的两侧壁且沿着喷嘴22移动，由此刮除块14即会刮除残留于喷嘴22两外侧的涂布材料与凝胶。

然而，刮除块14在长时间使用下，由于长时间受到残留于喷嘴22的涂布材料与凝胶的作用力影响，即会产生磨耗，而导致刮除块14的刮除槽142变大，使得刮除块14无法通过刮除槽142完全与喷嘴22相接触，由此即会降低刮除效果，而无法将残留于喷嘴22的涂布材料与凝胶完全刮除，而容易使凝胶掉落于基材上，由此将会降低涂布处理的合格率。基于此因素，必须时常耗费时间更换刮除块14，由此会降低涂布处理的效率且会提高成本。

一般在刮除结构10完成刮除作业之后，会在刮除块14上喷洒清洗剂以清洗掉留于刮除块14上的凝胶，以维持下一次刮除作业的刮除效果。然而，由于刮除块14的几何形状因素，向刮除块14喷洒清洗剂时，清洗剂会迅速流失而无法充分清洗刮除块14，由此即会在刮除块14上残留凝胶，而导致刮除效果不佳。

因此，本发明提出一种喷嘴刮除机的刮除结构，其不仅可增加刮除结构的刮除效果，又可延长刮除块的使用寿命，以减少刮除块的更换次数，且可使清洗剂确实清洗刮除块，而维持刮除块的刮除效果。

发明内容

本发明的主要目的在于，提供一种喷嘴刮除机的刮除结构，其在一刮除块的前端设置一刮除片，以通过刮除片提高刮除效果，进而提高涂布处理的合格率。

本发明的次要目的在于，提供一种喷嘴刮除机的刮除结构，其先以刮除片刮除残留于喷嘴外侧的涂布材料与凝胶，再以刮除块刮除喷嘴外侧剩余的残留涂布材料与凝胶，以降低刮除块刮除凝胶时所产生的磨耗，进而延长刮除块的使用寿命。

本发明的另一目的在于，提供一种喷嘴刮除机的刮除结构，其通过刮除片增加刮除结构的刮除面积，进而增加刮除效果。

本发明为一种喷嘴刮除机的刮除结构，其包含一基座、一刮除块与一刮除片，其中，基座的顶部设置一固定槽，而刮除块设置于固定槽之中，且刮除片设置于刮除块的前端，刮除片的顶端较高于刮除块的顶端。刮除块的顶部具有一刮除槽，其贯穿刮除块，并对应一喷嘴的几何形状。刮除片设置一左刮片与一右刮片，且左刮片与右刮片的底部相连，其中左刮片与右刮片的底部设有一缺口，且缺口对应刮除槽的底部。

本发明通过刮除片增加刮除面积，而提高刮除效果，本发明由于先通过刮除片刮除残留于喷嘴外侧的涂布材料与凝胶，再以刮除块刮除剩余残留于喷嘴的涂布材料与凝胶，所以可降低刮除块刮除凝胶而导致的磨耗，以延长刮除块的使用寿命。

附图说明

图1为公知刮除结构的立体图；

图2为公知刮除结构刮除残留喷嘴的涂布材料与凝胶的动作示意图；

图3A为本发明一较佳实施例的刮除结构的立体图；

图3B为本发明刮除结构的主视图；

图4A为本发明刮除结构刮除残留喷嘴的涂布材料与凝胶前的动作示意图；

图4B为图4A的侧视图；

图5A为本发明刮除结构刮除残留喷嘴的涂布材料与凝胶的动作示意图；

图5B为图5A的侧视图；

图6为本发明刮除片损坏的主视图；

图7为本发明刮除效果的曲线图；以及

图8为本发明另一较佳实施例的主视图。

其中，附图标记说明如下：

10刮除结构         12基座           14刮除块

142刮除槽          16滑动件         18滑轨

20涂布机           22喷嘴           30刮除结构

32基座             322固定槽        34刮除块

342刮除槽        36刮除片        362左刮片

364右刮片        366缺口         38滑动件

39滑轨           40涂布机        42喷嘴

45涂布材料/凝胶

具体实施方式

为对本发明的结构特征及所达到的功效有更进一步的了解与认识，特以较佳实施例并配合附图详细说明，说明如后：

本发明为一种喷嘴刮除机的刮除结构，其通过刮除片搭配刮除块来提高刮除残留于一喷嘴外侧的涂布材料与凝胶的刮除效果。且本发明通过刮除片降低刮除块刮除凝胶所导致的磨耗，进而延长刮除块的使用寿命。

请参阅图3A与图3B，其分别为本发明一较佳实施例的刮除结构的立体图与前视图；如图所示，本发明的刮除结构30包含一基座32、一刮除块34与一刮除片36。基座32设置于喷嘴刮除机(图中未示出)的顶部，且一侧设置有一滑动件38，滑动件38在一滑轨39上滑动，以带动基座32移动。基座32的顶部具有一固定槽322，刮除块34设置于固定槽322之中，以固定于基座32的顶部，刮除块34设置于固定槽322之中时，刮除块34的前端与基座32的顶面之间具有一锐角。刮除块34的顶部为一斜面，且其顶部具有一刮除槽342(如图3B所示)，刮除槽342贯穿刮除块34的顶部，其几何形状对应于喷嘴的几何形状，以与喷嘴相搭配，从而用于刮除残留于喷嘴的涂布材料与凝胶。此实施例以运用于V形喷嘴的刮除块34为例，所以，此实施例的刮除槽342为V形槽。此外，刮除块34具有弹性，其材质可包含橡胶(rubber)。

刮除片36设置于刮除块34的前端，所以与刮除块34类似，其前端与基座32的顶面之间具有锐角。此外，由于刮除块34的顶部为斜面，所以，刮除片36与刮除块34的顶部间具有一锐角。另外，刮除片36包含一左刮片362与一右刮片364，并分别对应于刮除槽342(如图3B所示)的左、右两半部，左刮片362与右刮片364的底部相连接，连接部分等于或低于刮除槽342的底端。形成左刮片362与右刮片364的一实施方式为切割刮除片36为左、右两部分，但并不完全切割。另外，刮除片36设置于刮除块34的前端后，其顶端会高于刮除块34的顶端。此外，刮除片36具有弹性，其材质可包含聚乙烯(PolyEthylene，PE)。

请参阅图4A至图5B，其为本发明刮除结构刮除残留于喷嘴的涂布材料/凝胶的动作示意图，其中，图4B为图4A的侧视图，图5B为图5A的侧视图。当刮除结构30刮除涂布机40的喷嘴42外侧所残留的凝胶时，刮除机将驱动滑动件38滑动于滑轨39，从而沿着喷嘴42移动，以带动基座32沿着喷嘴42移动，进而让刮除块34与刮除片36自喷嘴42的一端移动至喷嘴42的另一端，而让刮除块34与刮除片36刮除残留于喷嘴42的涂布材料/凝胶45。

如图5A与图5B所示，由于刮除片36设置于刮除块34的前端，所以，刮除结构30在移动并刮除残留于喷嘴42的涂布材料/凝胶45时，刮除片36的左刮片362与右刮片364会先被喷嘴42撑开，然而，由于刮除片36具有弹性，所以，左刮片362与右刮片364会分别紧密接触于喷嘴42的两侧，就如同夹住喷嘴42的两侧，由此，左刮片362与右刮片364会先行刮除残留于喷嘴42外侧的涂布材料/凝胶45，随后，喷嘴42即会通过刮除槽342并与刮除槽342的两侧壁接触，从而刮除剩余残留于喷嘴42外侧的涂布材料/凝胶45。当刮除结构30移动至喷嘴42的另一端，而完成刮除残留于喷嘴42的外侧的涂布材料/凝胶45时，刮除片36因具有弹性，所以，在脱离喷嘴42后，将会恢复成如图4A所示的原始状态。

本发明因为通过刮除片36先行刮除部分涂布材料/凝胶45，所以，可以降低刮除块34刮除涂布材料/凝胶45的量，由此会减低刮除块34刮除涂布材料/凝胶45时所产生的磨耗，而延长刮除块34的使用寿命，进而减少更换刮除块34的频率，以减少因更换刮除块34所耗费的时间与成本，进而提高处理效率。此外，由于刮除块34与刮除片36倾斜设置于基座32，使刮除块34与刮除片36的顶端前倾，由此可利于刮除块34与刮除片36刮除涂布材料/凝胶45。另外，因为刮除片36的顶端高于刮除块34的顶端，所以，可增加刮除结构30的刮除面积，也即本发明通过刮除片36的高度增加刮除面积，以刮除更多残留于喷嘴42外侧的涂布材料/凝胶45。

此外，由于本发明的固定槽322的尺寸会略大于刮除块34的尺寸，因而具有一裕度，所以，本发明的刮除片36刚开始刮除残留于喷嘴42的涂布材料/凝胶45，而使刮除片36的开口与刮除块34的刮除槽342可能未准确地与喷嘴42对应时，刮除片36将会由喷嘴42撑开刮除片36的作用力，驱使刮除块34移动而修正位置，进而使刮除块34的刮除槽342与刮除片36的开口准确地与喷嘴42对应。

另外，本发明的刮除块34与刮除片36在完成刮除残留于喷嘴42外侧的涂布材料/凝胶45后，在喷洒清洗剂清洗刮除块34、刮除槽342与刮除片36以维持刮除块34下一次的刮除效果时，由于刮除片36设置于刮除块34的前端，所以，喷洒清洗剂至刮除片36除了可以清洗刮除片36之外，还可通过刮除片36减缓清洗剂流至刮除块34的流速，而提高清洗剂清洗刮除块34的清洁效果。上述的清洗剂可为稀释剂(OK-73)，其可溶解涂布材料与凝胶，且包含乙酸丙二醇单甲基醚酯(Propylene Glycol Monomethyl EtherAcetate，PGMEA)与单甲基醚丙二醇(Propylene Glycol Methyl Ether，PGME)。

如图6所示，刮除片36长时间刮除残留于喷嘴42外侧的涂布材料与凝胶后，左刮片362与右刮片364会因长时间承受喷嘴42撑开的作用力而导致变形，例如左刮片362与右刮片364的顶端分别往下折，从而分别形成一缺角，由此，操作人员可通过刮除片36的变形而轻易察觉刮除片36已受损，以让操作人员随即更换受损的刮除片36，以维持刮除效果。由此可知，本发明的刮除片36除了能够提高刮除效果，以及降低刮除块34因刮除残留于喷嘴的凝胶所导致的磨耗，进而延长刮除块34的使用寿命之外，还可通过外形是否变形而轻易观察出刮除片36是否受损，以随即更换受损的刮除片36而维持刮除效果。

请参阅图7，其为本发明刮除效果的曲线图。此曲线图为表示未安装刮除片的公知刮除结构与安装有刮除片的本发明的刮除结构所呈现的刮除效果，其中，X轴的数值为每一次测量平均凝胶量的时间，Y轴的数值为测量掉落至基材上的平均凝胶量的测量结果。未安装刮除片的公知刮除结构于18点00分前用以刮除残留于喷嘴外侧的涂布材料与凝胶，其所呈现的效果如图所示的曲线，因公知刮除结构未能有效刮除涂布材料与凝胶，导致掉落至基材上的平均凝胶量所呈现的曲线相当高，接着，本发明的刮除结构于18点00分开始用以刮除残留于喷嘴的涂布材料与凝胶，其所呈现的效果如图所示的曲线，因本发明的刮除片提高了刮除涂布材料与凝胶的刮除效果，促使掉落至基材上的平均凝胶量所呈现的曲线明显降低。由此即通过此曲线图验证了本发明的刮除片确实提高了刮除涂布材料与凝胶的刮除效果，而降低掉落至基材上的平均凝胶量，进而提高涂布处理的合格率。

请参阅图8，其为本发明另一较佳实施例的主视图；本发明的刮除片36除了包含左刮片362与右刮片364之外，左刮片362与右刮片364相连的底部还具有一缺口366，其中，缺口366的几何形状可为三角形，且缺口366对应刮除块34的刮除槽342的底部。本发明的刮除片36可通过底部的缺口366提供缓冲，也就是缓冲刮除片36承受自喷嘴的作用力，而避免刮除片36撕裂，也即让左刮片362与右刮片364受喷嘴的作用力而往两侧撑开时通过缺口366达到缓冲。

综上所述，本发明为一种喷嘴刮除机的刮除结构，其包含一基座、一刮除块与一刮除片，其中，刮除块设置于基座顶部的固定槽之中，刮除片设置于刮除块的前端。本发明先以刮除片刮除残留于喷嘴外侧的涂布材料与凝胶后，再以刮除块刮除剩余残留于喷嘴外侧的涂布材料与凝胶，因而提高刮除效果，进而提高涂布处理的合格率，并减少刮除块刮除时所导致的磨耗，以延长刮除块的使用寿命，进而减少刮除块的更换次数。另外，本发明可通过刮除片的外形得知其损耗情况，以随即更换变形的刮除片。

以上所述仅为本发明的一较佳实施例，并非用来限定本发明的实施范围，故凡在本发明专利保护范围所述的形状、构造、特征及精神下所作的等效变化与修饰，均应包含于本发明的专利保护范围内。

Claims (9)

1.一种喷嘴刮除机的刮除结构，其包含：

一基座；

一刮除块，设置于该基座，该刮除块具有一刮除槽；以及

一刮除片，设置于该刮除块前端，且该刮除片有一左刮片与一右刮片。

2.如权利要求1所述的刮除结构，其中，该刮除片设有一缺口，且该左刮片与该右刮片的底部相接，该缺口位于该左刮片与该右刮片的底部。

3.如权利要求2所述的刮除结构，其中，该缺口与该刮除槽相对。

4.如权利要求2所述的刮除结构，其中，该缺口呈三角形状。

5.如权利要求1所述的刮除结构，其中，该刮除片的顶端高于该刮除块的顶端。

6.如权利要求1所述的刮除结构，其中，该刮除块的顶部为一斜面，该斜面与该刮除片之间具有一锐角。

7.如权利要求1所述的刮除结构，其中，该刮除槽位于该刮除块的顶部，并贯穿该刮除块。

8.如权利要求1所述的刮除结构，其中，该基座具有一固定槽，该刮除块设于该固定槽。

9.如权利要求8所述的刮除结构，其中，该固定槽位于该基座的顶部。

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