CN105700294B - 一种涂胶机的喷嘴清洗治具及其清洗块 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种涂胶机的喷嘴清洗治具的清洗块,包括清洗块本体,清洗块本体的顶部开设有贯穿其厚度方向的“V”形缺口,“V”形缺口的两个侧壁均包括朝向清洗块本体的厚度方向的同一个表面倾斜的清洗面。本发明还公开了一种涂胶机的喷嘴清洗治具。通过利用“V”形缺口的倾斜的清洗面弹性接触喷嘴,喷嘴尖端残留物可以沿倾斜的清洗面流下,保证了清洗效果,也提高了清洗速度,清洗块的使用寿命较长;同时,沿倾斜的清洗面流下的残留物可自“V”形缺口底部的追加孔流下,可以大幅提升残留物的流下速度,间接降低清洗块所受的阻力,提高清洗块的移动速度,清洗块的弹性挤压量可以更小,磨损度可以大幅降低,从而提高其使用寿命。
Description
技术领域
本发明涉及光阻涂布技术领域,尤其涉及一种涂胶机的喷嘴清洗治具及其清洗块。
背景技术
CF Coater(中文名:彩膜涂胶机)主要负责进行彩色滤光片玻璃基板的彩色光刻胶(即光阻)的涂布,涂布后的玻璃基板依次经过干燥、曝光、显影、烘烤后,才能形成特定的图案(pattern)格式。
其中,由于涂胶机喷嘴(Coater Nozzle)每涂完一张玻璃基板后,在喷嘴周围都会残留一部分光刻胶等物质,这些物质如果不及时清理就会硬化,影响涂布作业,因此,现有技术通常利用具有“V”形开口的橡胶(Rubber)来对喷嘴尖端(Nozzle Lip)进行清洗,以保持喷嘴尖端干净,减少涂布不良的发生。
但是,此种橡胶清洗结构清洗的过程中,残留物不能及时顺着“V”形开口快速流下,容易出现线性光刻胶残留,长时间堆积时会造成喷嘴尖端残留物凝结,导致不良发生。同时,由于清洗效果和清洗速度不能同时有效提高,刮下来的残留物不能及时排走,在保证清洗力的前提下清洗速度存在瓶颈,一般业内的橡胶速度在150mm/s~250mm/s,2m长的喷嘴清洗一次即需要8s~13s。为了保证清洗力,橡胶的弹性挤压量调的比较大时,则会直接导致Rubber开裂和边缘磨损,而影响橡胶的寿命。
发明内容
鉴于现有技术存在的不足,本发明提供了一种可以提高清洗速度、保证清洗效果、具有较长使用寿命的喷嘴清洗治具及其清洗块。
为了实现上述的目的,本发明采用了如下的技术方案:
一种涂胶机的喷嘴清洗治具的清洗块,包括清洗块本体,所述清洗块本体的顶部开设有贯穿其厚度方向的“V”形缺口,所述“V”形缺口的两个侧壁均包括朝向所述清洗块本体的厚度方向的同一个表面倾斜的清洗面。
进一步地,所述“V”形缺口的底部开设有连通所述“V”形缺口的追加孔。
进一步地,所述“V”形缺口的侧壁还包括朝向所述清洗块本体的厚度方向的另一个表面倾斜的辅助清洗面,所述清洗面与所述辅助清洗面围成凸起状的锯齿部。
进一步地,所述清洗面与所述辅助清洗面相交。
或者,所述“V”形缺口的侧壁还包括连接所述清洗面与所述辅助清洗面的过渡面。
进一步地,所述“V”形缺口的侧壁包括多对所述清洗面和所述辅助清洗面。
或者,所述“V”形缺口的每个侧壁包括多个所述清洗面,多个所述清洗面间隔设置,在所述“V”形缺口的侧壁形成凸起状的锯齿部。
进一步地,所述的清洗块还包括加强件,所述加强件贴合在所述清洗块本体上的所述“V”形缺口和所述追加孔的过渡部分。
进一步地,所述的清洗块还包括连接在所述追加孔的相对的两侧内壁之间的连接件。
本发明的另一目的在于提供一种涂胶机的喷嘴清洗治具,包括上述的清洗块,所述清洗块可沿喷嘴的外表面平移进行清洗。
通过将本发明的清洗块放置于涂胶机的喷嘴下方,利用驱动机构驱动“V”形缺口的倾斜的清洗面弹性接触喷嘴,并驱动其沿喷嘴的外表面平移即可对喷嘴尖端残留物进行清洗,残留物可以沿倾斜的清洗面流下,保证了清洗效果,也提高了清洗速度,清洗块的使用寿命较长;同时,通过在“V”形缺口的底部开设连通“V”形缺口的追加孔,沿倾斜的清洗面流下的残留物可自该追加孔流下,大幅提升了残留物的流下速度,间接降低了清洗块所受的阻力,清洗块的移动速度可以更快,清洗块的弹性挤压量可以更小,磨损度可以大幅降低,从而提高其使用寿命。
附图说明
图1为本发明实施例1的涂胶机的喷嘴清洗治具的清洗块的清洗原理示意图。
图2为本发明实施例1的清洗块的结构示意图。
图3为本发明实施例2的清洗块的结构示意图。
图4为本发明实施例3的清洗块的结构示意图。
图5为本发明实施例4的清洗块的结构示意图。
图6为本发明实施例5的清洗块的结构示意图。
图7为本发明实施例6的清洗块的结构示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本发明进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
实施例1
参阅图1和图2,本发明实施例的涂胶机的喷嘴清洗治具具有清洗块1,该清洗块1的运动有驱动机构(图未示)驱动,驱动机构包括平移机构和纵移机构,涂胶机每涂完一张玻璃基板后,被移动至喷嘴清洗治具上方,而通过纵移机构可以控制清洗块1纵向上运动以弹性贴合在喷嘴2的侧壁,在通过平移机构控制清洗块1沿喷嘴2的外表面(长度方向)平移进行清洗。
清洗块1为弹性材料如橡胶制成,包括清洗块本体10,清洗块本体10的顶部开设有贯穿其厚度方向的“V”形缺口11,“V”形缺口11的两个侧壁均包括朝向清洗块本体10的厚度方向的同一个表面倾斜的清洗面11A。
“V”形缺口11的夹角与喷嘴2形状相适配,清洗块1被朝喷嘴2弹性挤压,使“V”形缺口11的两侧的倾斜的清洗面11A弹性贴合在喷嘴2的外表面,在清洗块1沿喷嘴2的外表面平移进行清洗的过程中,清洗面11A刮下喷嘴2的外表面的残留物,残留物可以顺着倾斜的清洗面11A流下。
然而,此种清洗块1在平移的过程中,当移动速度过快时,残留物堆积在清洗面11A上而不能快速流下,导致清洗块1所受阻力增大、清洗块1平移速度减缓,因此,本实施例进一步在“V”形缺口11的底部开设有连通“V”形缺口11的追加孔12。
由于追加孔12的存在,清洗块1平移过程中刮下的残留物可以顺利地沿倾斜的清洗面11A流下至追加孔12后及时排走,而不会导致清洗块1的清洗面11A的残留物凝结而导致不良。同时,在清洗力不变的情况下,残留物及时排走可以降低清洗块1平移所受阻力,可以提高清洗速度,直接降低清洗面11A所受挤压力和边缘开裂与磨损程度,提高清洗块1的使用寿命,也间接提高清洗效率。
另外,本实施例的清洗块1底部两侧还可开设有固定孔100,可以方便将清洗块1固定在驱动机构上。
实施例2
结合图3,与实施例1不同的是,本实施例的“V”形缺口11的每个侧壁包括多个清洗面11A,且多个清洗面11A间隔设置,在“V”形缺口11的侧壁形成凸起状的锯齿部。清洗面11A数量的增加可以提高清洗效果,清洗后的残留物也可以自相邻的两个锯齿部之间的凹部引导至追加孔12。
本实施例的该锯齿部的截面为直角梯形,清洗面11A为直角梯形的斜边。可以理解的是,在其他实施方式中,该锯齿部的截面也可以为三角形。此种截面为直角梯形的锯齿部的锯齿端部具有一定厚度,经过长期使用后,清洗面11A会磨损,使得锯齿部的厚度越来越小,直至截面变为三角形。因此,与三角形截面的锯齿部相比,截面为直角梯形的锯齿部耐磨性更好,使用寿命更长。
实施例3
如图4,与实施例1不同的是,本实施例的“V”形缺口11的侧壁还包括朝向清洗块本体10的厚度方向的另一个表面倾斜的辅助清洗面11B,清洗面11A与辅助清洗面11B围成凸起状的锯齿部,清洗面11A与辅助清洗面11B相交,使得相邻的清洗面11A与辅助清洗面11B围成截面为三角形的锯齿部。
由于清洗块本体10的“V”形缺口11两侧都设置有倾斜的清洗面:清洗面11A与辅助清洗面11B,可以通过平移机构控制清洗块1沿喷嘴2长度方向往复运动,清洗块1返回途中也可以通过辅助清洗面11B清洗喷嘴2,使得清洗效率翻倍。
实施例4
如图5,与实施例3不同的是,本实施例的“V”形缺口11的侧壁还包括连接清洗面11A与辅助清洗面11B的过渡面11C。这种设计使得清洗面11A与辅助清洗面11B围成截面为梯形的锯齿部,相比截面为三角形的锯齿部寿命更长。
同时,为提高清洗效率,本实施例的“V”形缺口11的每个侧壁包括多对清洗面11A和辅助清洗面11B,使得“V”形缺口11的每个侧壁表面形成多个凸起的锯齿部,锯齿部数量的增加直接导致清洗效率和清洗效果的大幅提升。
实施例5
如图6,在上述实施例的基础上,本实施例的清洗块1还包括加强件13,加强件13贴合在清洗块本体10上的“V”形缺口11和追加孔12的过渡部分,优选该加强件13也由橡胶等弹性材料制成,可以提高“V”形缺口11和追加孔12过渡部分的强度,避免清洗块1长期使用而弹性降低,并提高使用寿命。
实施例6
如图7,在上述实施例的基础上,本实施例的清洗块1还包括连接在追加孔12的相对的两侧内壁之间的连接件14,优选该连接件14为弹性件如橡胶、弹簧等,可以起到与实施例5相似的加强效果。
本发明通过将本发明的清洗块放置于涂胶机的喷嘴下方,利用驱动机构驱动“V”形缺口的倾斜的清洗面弹性接触喷嘴,并驱动其沿喷嘴的外表面平移即可对喷嘴尖端残留物进行清洗,残留物可以沿倾斜的清洗面流下,保证了清洗效果,也提高了清洗速度,清洗块的使用寿命较长;同时,通过在“V”形缺口的底部开设连通“V”形缺口的追加孔,沿倾斜的清洗面流下的残留物可自该追加孔流下,大幅提升了残留物的流下速度,间接降低了清洗块所受的阻力,清洗块的移动速度可以更快,清洗块的弹性挤压量可以更小,磨损度可以大幅降低,从而提高其使用寿命。
以上所述仅是本申请的具体实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本申请原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。
Claims (6)
1.一种涂胶机的喷嘴清洗治具的清洗块,其特征在于,包括清洗块本体(10),所述清洗块本体(10)的顶部开设有贯穿其厚度方向的“V”形缺口(11),所述“V”形缺口(11)的两个侧壁均包括朝向所述清洗块本体(10)的厚度方向的同一个表面倾斜的清洗面(11A);所述“V”形缺口(11)的底部开设有连通所述“V”形缺口(11)的追加孔(12),所述“V”形缺口(11)的侧壁还包括朝向所述清洗块本体(10)的厚度方向的另一个表面倾斜的辅助清洗面(11B),所述清洗面(11A)与所述辅助清洗面(11B)围成凸起状的锯齿部;所述“V”形缺口(11)的侧壁还包括连接所述清洗面(11A)与所述辅助清洗面(11B)的过渡面(11C)。
2.根据权利要求1所述的清洗块,其特征在于,所述“V”形缺口(11)的侧壁包括多对所述清洗面(11A)和所述辅助清洗面(11B)。
3.根据权利要求1所述的清洗块,其特征在于,所述“V”形缺口(11)的每个侧壁包括多个所述清洗面(11A),多个所述清洗面(11A)间隔设置,在所述“V”形缺口(11)的侧壁形成凸起状的锯齿部。
4.根据权利要求1或2所述的清洗块,其特征在于,还包括加强件(13),所述加强件(13)贴合在所述清洗块本体(10)上的所述“V”形缺口(11)和所述追加孔(12)的过渡部分。
5.根据权利要求1或2所述的清洗块,其特征在于,还包括连接在所述追加孔(12)的相对的两侧内壁之间的连接件(14)。
6.一种涂胶机的喷嘴清洗治具,其特征在于,包括权利要求1-5任一所述的清洗块,所述清洗块可沿喷嘴(2)的外表面平移进行清洗。
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Citations (3)
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101011685A (zh) * | 2007-02-16 | 2007-08-08 | 友达光电股份有限公司 | 喷嘴刮除机的刮除结构 |
CN203591909U (zh) * | 2013-12-13 | 2014-05-14 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 一种用于狭缝喷嘴内外壁一体式清洁的装置 |
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