CN100416264C - 一种可燃气体传感器的制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种气体传感器。一种可燃气体传感器的制备方法，其特征在于它包括如下步骤：1)以叉指型微电极阵列电极基片为基底制备纳米半导体TiO2薄膜，得到半导体气敏元件；2)在半导体气敏元件的纳米半导体TiO2薄膜上方设置紫外灯，紫外灯(1)、半导体气敏元件(2)固定在传感器壳体(3)内，传感器壳体(3)上设有通气孔(4)，得可燃气体传感器。本发明可提高传感器的灵敏度、降低传感器工作温度。
Description
技术领域
本发明涉及一种气体传感器，具体涉及一种可燃气体传感器的制备方法。
背景技术
近年来，由于工业生产、家庭安全、环境监测和医疗等领域对气体传感器的精度、性能、稳定性方面的要求越来越高，因此对气体传感器的研究和开发越来越重要。目前普遍使用的是气敏传感器。传统的气敏传感器普遍存在工作温度较高(需要加热)，当可燃气体浓度较大，可能会因传感器的高温引起爆炸、起火的危险，降低气敏传感器工作温度，实现室温气体检测，是传感器研究的一项重要目标。
发明内容
本发明的目的在于提供一种可提高传感器的灵敏度、降低传感器工作温度的可燃气体传感器的制备方法。
为了实现上述目的，本发明的技术方案是：一种可燃气体传感器的制备方法，其特征在于它包括如下步骤：1)以叉指型微电极阵列电极基片为基底制备纳米半导体TiO2薄膜，得到半导体气敏元件；2)在半导体气敏元件的纳米半导体TiO2薄膜上方设置紫外灯，将紫外灯1、半导体气敏元件2固定在设有通气孔4的传感器壳体3内，得可燃气体传感器。
所述的半导体气敏元件的制备为：
①采用磁控溅射镀膜法在1.5×3cm的石英玻璃基底上镀制3-10μm的铜金属薄层，再利用微细加工技术，掩模、光刻、腐蚀方法在玻璃基底上得到叉指型微电极阵列，即可得到叉指型微电极阵列电极基片；其中微电极线宽3-10μm，间隙宽3-10μm，电极线长10mm，微电极对数500对以上；
②采用有机金属醇盐水解法制备纳米TiO2溶胶：按钛酸四正丁酯∶异丙醇＝13ml∶4ml，将钛酸四正丁酯加入异丙醇中混合均匀；按混合液∶蒸馏水＝17ml∶120ml，将混合液缓慢滴加到含有浓硝酸的蒸馏水中，浓硝酸∶蒸馏水＝2ml∶120ml；滴加完后，混合液在75-80℃下搅拌反应8-12小时，反应后的溶胶加入蒸馏水重量0.5％的聚乙二醇减压浓缩到质量浓度5-20％，得到TiO2纳米溶胶，备用；
③在拉膜机中，将步骤①的叉指型微电极阵列电极基片浸入步骤②的TiO2纳米溶胶中8-12min.然后用慢速马达以5cm/min的速度垂直向上提拉，让浸涂有溶胶的电极基片在空气中静置13-18min，使溶胶在空气中随水和乙醇的蒸发而向凝胶转变，在电极基片上形成50nm-2μm湿凝胶，得微电极阵列凝胶基片；膜厚可由溶胶粘度、提拉速度及重复浸涂次数来控制；
④将微电极阵列凝胶基片放在红外灯下微热烘烤进行干燥，30min后再放入马福炉中退火，300℃-450℃保温1-2h，然后自然冷却至室温，即得到半导体气敏元件。
所述的紫外灯的功率为10-50mW。
基本原理：利用TiO2纳米粒子表面具有强烈的紫外光光生电子-空穴的能力，以及纳米粒子自身的高表面活性，使纳米粒子与环境气体的反应能力大大提高，纳米TiO2与表面环境气体的主要反应可用下列反应方程式表示：
e-+h+→辐射能 (2)
OH*(还原性气体、有机物)→H2O+CO2 (6)
其中，(3)式中电子-空穴的表面迁移速度是薄膜内电阻变化的决定性因素。在纳米薄膜表面无还原性气体时，反应(6)不能进行，纳米粒子表面的光生电子-空穴产生的自由基粒子达到-定浓度后，趋于稳定值，薄膜内电子-空穴的表面迁移受阻，光生电子-空穴与电子-空穴复合达到平衡，薄膜电流在光照后下降到一个稳定值；在薄膜表面有还原性气体存在时，气体与薄膜表面的OH*反应，使得反应式(4)，(5)(6)均向正反应方向进行，带动电子-空穴的进一步迁移，薄膜内电流进一步增大，直到达到新的平衡。
采用紫外光照下对纳米半导体TiO2薄膜进行光催化作用，纳米半导体TiO2薄膜的活化敏感温度可由传统材料的300-400℃降至室温，同时采用紫外光光催化的方式还能大幅降低气敏元件的纳米半导体TiO2薄膜的电阻值，提高薄膜电导，此外采用微电极阵列的电流富集作用提高了传感器的电流测量精度，也使敏感元件的灵敏度和稳定性得到改善。
本发明利用紫外光照辅助技术提高纳米半导体气敏传感器的灵敏度，降低传感器工作温度。本发明的传感器敏感特性：室温下对甲醇检测下限浓度为5pm；乙醇检测下限浓度为10ppm；200℃时，对一氧化碳检测下限浓度5ppm。
本发明的可燃气体传感器可用于可燃气体的检测，它具有灵敏度高、工作温度(0-200℃)低，直接输出电信号的优点，补充了其他气体传感器不能在爆炸极限内检测的不足，普遍适用于石油化工工厂、造船厂、矿井隧道和浴室厨房的可燃气体的监测和报警。本发明的可燃气体传感器在环境温度下非常稳定，并能对于全浓度范围的可燃气体进行检测，发展前景良好。
附图说明
图1是本发明的半导体气敏元件制备工艺流程图
图2是本发明的叉指型微电极阵列图
图3是本发明的半导体气敏元件图
图4是本发明的可燃气体传感器结构示意图
图5是本发明的控制电路之一原理图
图6是本发明的控制电路之二原理图
图7是本发明的电流测试电路原理图
图中：1-紫外灯，2-半导体气敏元件，3-传感器壳体，4-通气孔。
具体实施方式
一种可燃气体传感器的制备方法，它包括如下步骤：1)半导体气敏元件的制备为(如图1所示)：
①采用磁控溅射镀膜法在1.5×3cm的石英玻璃基底上镀制3-10μm的铜金属薄层，再利用微细加工技术，掩模、光刻、腐蚀方法在玻璃基底上得到叉指型微电极阵列(如图2所示)，即叉指型微电极阵列电极基片；其中微电极线宽3-10μm，间隙宽3-10μm，电极线长10mm，微电极对数500对以上；
②采用有机金属醇盐水解法制备纳米TiO2溶胶：将13ml钛酸四正丁酯加入4ml异丙醇中混合均匀，将混合液缓慢滴加到含有2ml浓硝酸的120ml蒸馏水中，滴加完后，混合液在75-80℃下搅拌反应8-12小时，反应后的溶胶加入蒸馏水重量0.5％的聚乙二醇减压浓缩到质量浓度5-20％，得到TiO2纳米溶胶，备用；
③在拉膜机中，将步骤①的叉指型微电极阵列电极基片浸入步骤②的TiO2纳米溶胶中8-12min.然后用慢速马达以5cm/min的速度垂直向上提拉，让浸涂有溶胶的电极基片在空气中静置13-18min，使溶胶在空气中随水和乙醇的蒸发而向凝胶转变，在电极基片上形成50nm-2μm湿凝胶，得微电极阵列凝胶基片；膜厚可由溶胶粘度、提拉速度及重复浸涂次数来控制；
④将微电极阵列凝胶基片放在红外灯下微热烘烤进行干燥，30min后再放入马福炉中退火，300℃-450℃保温1-2h，然后自然冷却至室温，即得到半导体气敏元件(如图3所示)。
2)如图4所示，在半导体气敏元件2的纳米半导体TiO2薄膜上方设置紫外灯1(间距8-12mm)，所述的紫外灯的功率为10-50mW；将紫外灯1、半导体气敏元件2固定在设有通气孔4的传感器壳体3内，得可燃气体传感器。
半导体气敏元件2的引出电极与微电流测试仪连接，紫外灯1与控制电路相连接，微电流测试仪、控制电路均可采用现有技术。控制电路可采用下列二种方法之一：
①如图5所示，控制电路为紫外灯电源和开关，开关控制紫外灯电源的合与断。②如图6所示，控制电路为紫外灯电源、电子开关、单片机，电子开关控制紫外灯电源的合与断，电子开关与单片机相连，单片机控制电子开关动作。
微电流测试仪、控制电路可位于传感器壳体3内或传感器壳体3外。
半导体气敏元件2的引出电极还可与如图7所示的电流测试电路连接，图7中负载为半导体气敏元件。
在气敏检测时，启动紫外灯，利用紫外辐照半导体气敏元件，可降低敏感元件工作温度，提高传感器灵敏度。
Claims (2)
1. 一种可燃气体传感器的制备方法，其特征在于它包括如下步骤：1)半导体气敏元件的制备：
①采用磁控溅射镀膜法在1.5×3cm的石英玻璃基底上镀制3-10μm的铜金属薄层，再利用微细加工技术，掩模、光刻、腐蚀方法在玻璃基底上得到叉指型微电极阵列，即叉指型微电极阵列电极基片；其中微电极线宽3-10μm，间隙宽3-10μm，电极线长10mm，微电极对数500对以上；
②采用有机金属醇盐水解法制备纳米TiO2溶胶：按钛酸四正丁酯∶异丙醇＝13ml∶4ml，将钛酸四正丁酯加入异丙醇中混合均匀；按混合液∶蒸馏水＝17ml∶120ml，将混合液缓慢滴加到含有浓硝酸的蒸馏水中，浓硝酸∶蒸馏水＝2ml∶120ml；滴加完后，混合液在75-80℃下搅拌反应8-12小时，反应后的溶胶加入蒸馏水重量0.5％的聚乙二醇减压浓缩到质量浓度5-20％，得到TiO2纳米溶胶，备用；
③在拉膜机中，将步骤①的叉指型微电极阵列电极基片浸入步骤②的TiO2纳米溶胶中8-12min.然后用慢速马达以5cm/min的速度垂直向上提拉，让浸涂有溶胶的电极基片在空气中静置13-18min，使溶胶在空气中随水和乙醇的蒸发而向凝胶转变，在电极基片上形成50nm-2μm湿凝胶，得微电极阵列凝胶基片；
④将微电极阵列凝胶基片放在红外灯下微热烘烤进行干燥，30min后再放入马福炉中退火，300℃-450℃保温1-2h，然后自然冷却至室温，即得到半导体气敏元件；
2)在半导体气敏元件的纳米半导体TiO2薄膜上方设置紫外灯，将紫外灯(1)、半导体气敏元件(2)固定在设有通气孔(4)的传感器壳体(3)内，得可燃气体传感器。
2. 根据权利要求1所述的一种可燃气体传感器的制备方法，其特征在于所述的紫外灯的功率为10-50mW。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNB2006100193809A CN100416264C (zh) | 2006-06-15 | 2006-06-15 | 一种可燃气体传感器的制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNB2006100193809A CN100416264C (zh) | 2006-06-15 | 2006-06-15 | 一种可燃气体传感器的制备方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN1865963A CN1865963A (zh) | 2006-11-22 |
| CN100416264C true CN100416264C (zh) | 2008-09-03 |
Family
ID=37425039
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CNB2006100193809A Expired - Fee Related CN100416264C (zh) | 2006-06-15 | 2006-06-15 | 一种可燃气体传感器的制备方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN100416264C (zh) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102608171A (zh) * | 2012-03-09 | 2012-07-25 | 桂林理工大学 | 一种基于液滴界面反应的纳米金自组装膜气体传感器 |
| CN102759525B (zh) * | 2012-06-11 | 2014-08-20 | 江苏大学 | 基于天然色敏材料和TiO2多孔膜的气体传感器制作方法 |
| CN104407033A (zh) * | 2014-11-13 | 2015-03-11 | 无锡信大气象传感网科技有限公司 | 一种薄膜芯片气体传感器的制备方法 |
| CN106098383B (zh) * | 2016-05-28 | 2019-01-01 | 惠州市力道电子材料有限公司 | 一种透明光电催化用叉指电极及其加工方法 |
| CN106216656A (zh) * | 2016-07-22 | 2016-12-14 | 武汉工程大学 | 一种金掺杂二氧化钛花状纳米结构材料及其制备方法和应用 |
| CN111624236B (zh) * | 2020-01-14 | 2023-12-26 | 黄辉 | 一种半导体薄膜气体传感器及其制备方法 |
| CN114965651A (zh) * | 2022-05-19 | 2022-08-30 | 湖北大学 | 一种ZnO基甲烷传感器及其制备方法和应用 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4535316A (en) * | 1984-03-26 | 1985-08-13 | Allied Corporation | Heated titania oxygen sensor |
| CN2089173U (zh) * | 1991-02-09 | 1991-11-20 | 北京市天坛仪器仪表公司 | 测量可燃气体浓度用复合传感器 |
| CN1025759C (zh) * | 1992-08-29 | 1994-08-24 | 中国有色金属工业总公司昆明贵金属研究所 | 微功耗催化可燃气体传感器 |
| EP1008847A2 (de) * | 1998-12-07 | 2000-06-14 | Siemens Aktiengesellschaft | Resistiver Gassensor und Verfahren zu dessen Herstellung |
| CN2642314Y (zh) * | 2003-08-01 | 2004-09-22 | 杨书林 | 空气消毒灭菌净化装置 |
| JP2004325388A (ja) * | 2003-04-28 | 2004-11-18 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ及びその製造方法 |
| US20060000259A1 (en) * | 2004-05-17 | 2006-01-05 | Massachusetts Institute Of Technology | Photo-induced sensitivity and selectivity of semiconductor gas sensors |
-
2006
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Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4535316A (en) * | 1984-03-26 | 1985-08-13 | Allied Corporation | Heated titania oxygen sensor |
| CN2089173U (zh) * | 1991-02-09 | 1991-11-20 | 北京市天坛仪器仪表公司 | 测量可燃气体浓度用复合传感器 |
| CN1025759C (zh) * | 1992-08-29 | 1994-08-24 | 中国有色金属工业总公司昆明贵金属研究所 | 微功耗催化可燃气体传感器 |
| EP1008847A2 (de) * | 1998-12-07 | 2000-06-14 | Siemens Aktiengesellschaft | Resistiver Gassensor und Verfahren zu dessen Herstellung |
| JP2004325388A (ja) * | 2003-04-28 | 2004-11-18 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ及びその製造方法 |
| CN2642314Y (zh) * | 2003-08-01 | 2004-09-22 | 杨书林 | 空气消毒灭菌净化装置 |
| US20060000259A1 (en) * | 2004-05-17 | 2006-01-05 | Massachusetts Institute Of Technology | Photo-induced sensitivity and selectivity of semiconductor gas sensors |
Non-Patent Citations (8)
| Title |
|---|
| TiO2纳米管制备及其应用研究进展. 付敏等.化工进展，第24卷第1期. 2005 |
| TiO2纳米管制备及其应用研究进展. 付敏等.化工进展，第24卷第1期. 2005 * |
| 半导体陶瓷型薄膜气敏传感器的研究进展. 杨志华等.功能材料，第35卷第1期. 2004 |
| 半导体陶瓷型薄膜气敏传感器的研究进展. 杨志华等.功能材料，第35卷第1期. 2004 * |
| 敏化TiO2纳米晶多孔膜电极的制备与表征. 林志东等.材料科学与工艺，第11卷第1期. 2003 |
| 敏化TiO2纳米晶多孔膜电极的制备与表征. 林志东等.材料科学与工艺，第11卷第1期. 2003 * |
| 紫外光照下金属氧化物薄膜气敏特性研究进展. 孙建平等.电子元件与材料，第24卷第7期. 2005 |
| 紫外光照下金属氧化物薄膜气敏特性研究进展. 孙建平等.电子元件与材料，第24卷第7期. 2005 * |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1865963A (zh) | 2006-11-22 |
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| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
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