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通过等离子体辅助沉积来沉积间隙填充层的方法
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주기적 증착 공정에 의해 기판 상에 루테늄-함유 막을 증착하는 방법
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Method for depositing a ruthenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process
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기판 처리 방법 및 장치
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Semiconductor processing apparatus and a method for processing a substrate
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 상에 전극을 형성하는 방법 및 전극을 포함하는 반도체 소자 구조
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(en)
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Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition
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Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition
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Perforating gun contact device
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2018-07-23 |
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Oso Perforating, Llc |
Perforating gun contact ring
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衬底保持设备、包含所述设备的系统及其使用方法
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(ko)
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2018-10-08 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 박막 증착 장치와 기판 처리 장치
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(ko)
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2018-10-19 |
2023-06-21 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
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(en)
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Methods for selectively depositing an amorphous silicon film on a substrate
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(en)
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(ko)
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기판 처리 장치를 세정하는 방법
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(en)
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Asm Ip Holding B.V. |
Methods for forming a rhenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures
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窒化ガリウムの選択的堆積を用いてデバイス構造体を形成する方法及びそのためのシステム
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荷蘭商Ａｓｍ 智慧財產控股公司 |
藉由循環沈積製程於基板上形成含過渡金屬膜之方法
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(ja)
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エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー |
基材表面内に形成された凹部を充填するための方法および装置
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(ja)
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2019-02-20 |
2024-07-02 |
エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー |
基材表面内に形成された凹部を充填するための周期的堆積方法および装置
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(en)
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2019-02-20 |
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(ja)
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エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー |
基材を処理するための基材処理装置および方法
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(ko)
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2020-09-17 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
SiOCN 층을 포함한 구조체 및 이의 형성 방법
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(ko)
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2019-03-08 |
2020-09-17 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
실리콘 질화물 층을 선택적으로 증착하는 방법, 및 선택적으로 증착된 실리콘 질화물 층을 포함하는 구조체
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(ja)
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2019-03-28 |
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エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー |
ドアオープナーおよびドアオープナーが提供される基材処理装置
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(ko)
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2019-04-01 |
2020-10-13 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
반도체 소자를 제조하는 방법
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(ko)
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2019-04-19 |
2020-10-29 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
층 형성 방법 및 장치
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(ko)
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2019-04-24 |
2020-11-04 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기상 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법
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KR20200130121A
(ko)
|
2019-05-07 |
2020-11-18 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
딥 튜브가 있는 화학물질 공급원 용기
|
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(ko)
|
2019-05-10 |
2020-11-19 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
표면 상에 재료를 증착하는 방법 및 본 방법에 따라 형성된 구조
|
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USD900790S1
(en)
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2019-05-15 |
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Dony Dawson |
Mounting clip
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(ja)
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2020-11-19 |
エーエスエム アイピー ホールディング ビー．ブイ． |
ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法
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(ja)
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2019-05-16 |
2020-11-19 |
エーエスエム アイピー ホールディング ビー．ブイ． |
ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法
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(en)
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Asm Ip Holding B.V. |
Susceptor shaft
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(en)
|
2019-05-17 |
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Asm Ip Holding B.V. |
Susceptor shaft
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(en)
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2019-05-24 |
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Asm Ip Holding B.V. |
Gas channel plate
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(ko)
|
2019-06-06 |
2020-12-17 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
배기 가스 분석을 포함한 기상 반응기 시스템을 사용하는 방법
|
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KR20200143254A
(ko)
|
2019-06-11 |
2020-12-23 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
개질 가스를 사용하여 전자 구조를 형성하는 방법, 상기 방법을 수행하기 위한 시스템, 및 상기 방법을 사용하여 형성되는 구조
|
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KR20210005515A
(ko)
|
2019-07-03 |
2021-01-14 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 처리 장치용 온도 제어 조립체 및 이를 사용하는 방법
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JP7499079B2
(ja)
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同軸導波管を用いたプラズマ装置、基板処理方法
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(ko)
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 처리 장치
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KR20210010816A
(ko)
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2019-07-17 |
2021-01-28 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
라디칼 보조 점화 플라즈마 시스템 및 방법
|
|
KR20210010820A
(ko)
|
2019-07-17 |
2021-01-28 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
실리콘 게르마늄 구조를 형성하는 방법
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
用於利用n型摻雜物及/或替代摻雜物選擇性沉積以達成高摻雜物併入之方法
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CN112309900A
(zh)
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2019-07-30 |
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基板处理设备
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CN112309899A
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2019-07-30 |
2021-02-02 |
Asm Ip私人控股有限公司 |
基板处理设备
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반응기 시스템용 레이저 정렬 고정구
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금속 실리콘 산화물 및 금속 실리콘 산질화물 층을 형성하기 위한 방법 및 시스템
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填充間隙之方法與相關之系統及裝置
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기판 처리 장치의 반응 챔버 내에 배열되도록 구성된 인젝터
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
過渡金屬沉積方法、過渡金屬層、用於沉積過渡金屬於基板上的沉積總成
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Battlemax (Pty) Ltd |
Cover for a centrifugal pump
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