CH698143B1 - Werkstückträgereinrichtung. - Google Patents
Werkstückträgereinrichtung. Download PDFInfo
- Publication number
- CH698143B1 CH698143B1 CH00122/06A CH1222006A CH698143B1 CH 698143 B1 CH698143 B1 CH 698143B1 CH 00122/06 A CH00122/06 A CH 00122/06A CH 1222006 A CH1222006 A CH 1222006A CH 698143 B1 CH698143 B1 CH 698143B1
- Authority
- CH
- Switzerland
- Prior art keywords
- drive
- workpiece
- workpiece carrier
- carrier device
- holder
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/50—Substrate holders
- C23C14/505—Substrate holders for rotation of the substrates
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Retarders (AREA)
Abstract
Ein Werkstückträger (2) einer Werkstückträgereinrichtung umfasst ein Drehgestell (3) und ein Antriebsteil (20), welche beide um eine Antriebsachse (4) drehbar sind. Das Drehgestell (3) ist durch einen Motor (6) antreibbar und trägt mehrere um die Antriebsachse (4) verteilte um Halterachsen drehbare Werkstückhalter (13). Eine Antriebsscheibe (22) des Antriebsteils (20) ist jeweils um einen Verankerungspunkt (23), von dem ihr Mittelpunkt um eine Exzentrizität (E) entfernt ist, drehbar. Ein Übertragerteil (25) mit einer Kopplungsausnehmung, die die Antriebsscheibe (22) knapp aufnimmt, weist Antriebsöffnungen auf, durch welche Antriebsstifte (19) der Werkstückhalter (13) ragen, welche von den Halterachsen ebenfalls um die Exzentrizität (E) beabstandet sind. Das Antriebsteil (20) kann durch die Drehung des Drehgestells (3) über ein am Grundgestell (1) befestigtes Vorlegegetriebe (31) mit grösserer Winkelgeschwindigkeit angetrieben werden. Die Drehgestelle mehrerer Werkstückträger einer Werkstückträgereinrichtung können auf einem seinerseits drehbaren Grundgestell gelagert sein und durch Eingriff mit einem ortsfesten Zahnrad gedreht werden.
Description
Technisches Gebiet [0001] Die Erfindung betrifft eine Werkstückträgereinrichtung gemäss dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Derartige Einrichtungen werden zur Bearbeitung von Werkstücken vor allem in Vakuumanlagen, insbesondere zur Beschichtung derselben verwendet. Stand der Technik [0002] Eine gattungsgemässe Werkstückträgereinrichtung ist z.B. aus EP 1 153 155 A1 bekannt. Das Grundgestell ist dort um eine Hauptachse drehbar und wird von einem Elektromotor angetrieben. Zum Antrieb der Drehgestelle der mit gleichen Abständen um die Hauptachse verteilten Werkstückträger sind dieselben jeweils mit einem Zahnrad versehen, das mit einem unverdrehbaren die Hauptachse koaxial umgebenden Zahnkranz eingreift. Die an den Werkstückträgern drehbar gelagerten Werkstückhalter werden auf ähnliche Weise gedreht, indem jeweils ein Zahnrad am Werkstückhalter mit einem die Antriebsachse des Werkstückträgers koaxial umgebenden Zahnkranz eingreift, der dem Grundgestell gegenüber unverdrehbar ist. [0003] Diese bekannte Werkstückträgereinrichtung ist verhältnismässig komplex aufgebaut. Die Zahnräder und Zahnkränze benötigen viel Platz und können die Beschichtung der Werkstücke in unerwünschter Weise beeinflussen. Ausserdem sind sie hohen Temperaturen und auch den für die Bearbeitung der Werkstücke eingesetzten Materialien ausgesetzt. Dies kann zu Funktionsstörungen, vor allem Blockierungen der Drehbewegungen führen. Aufgrund der gegebenen Abmessungen sind die Übersetzungsverhältnisse nur innerhalb gewisser Grenzen wählbar, was zu einer unerwünscht raschen Drehung der Werkstückhalter zwingen kann. Dem ist allenfalls durch Zwischenübersetzungen zu steuern, was aber den Aufbau weiter kompliziert und den Platzbedarf erhöht, ausserdem die Reibung und das Risiko von Blockierungen vergrössert. [0004] Bei einer der aus der DE 19 803 278 A1 ersichtlichen Werkstückträgereinrichtungen wird die Drehung der Werkstückhalter durch am Grundgestell verankerte Mitnehmer bewirkt, die mit denselben vorübergehend eingreifen. In diesem Fall ist die Drehung intermittierend, was an sich meist nachteilig ist und, vor allem wenn eine Beschichtung aus mehreren sehr dünnen Lagen angelegt wird, die Qualität der Werkstücke beeinträchtigen kann. Darstellung der Erfindung [0005] Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, eine gattungsgemässe Werkstückträgereinrichtung anzugeben, die einfach im Aufbau und zuverlässig ist. Diese Aufgabe wird durch die Merkmale im Kennzeichen des Anspruchs 1 gelöst. [0006] Die durch die Erfindung erzielten Vorteile liegen vor allem darin, dass sie erlaubt, eine gattungsgemässe Werkstückträgereinrichtung mit zwei oder vorzugsweise drei Drehachsen sehr einfach und platzsparend aufzubauen. Der Antrieb der Werkstückhalter kann dadurch leicht so angeordnet werden, dass er die Bearbeitung der Werkstücke nicht beeinflusst. Umgekehrt kann er leicht davor geschützt werden, dass er den gleichen Einflüssen wie die Werkstücke ausgesetzt und dadurch beschädigt wird. Die Winkelgeschwindigkeit der Werkstückhalter kann mit verhältnismässig einfachen Mitteln über einen weiten Bereich eingestellt werden. Kurze Beschreibung der Zeichnungen [0007] Im Folgenden wird die Erfindung anhand von Figuren, welche lediglich Ausführungsbeispiele darstellen, näher erläutert. Es zeigen <tb>Fig. 1<sep>schematisch einen axialen Schnitt durch eine erfindungsgemässe Werkstückträgereinrichtung gemäss einer ersten Ausführungsform, <tb>Fig. 2<sep>einen Ausschnitt aus Fig. 1, <tb>Fig. 3<sep>eine Draufsicht auf den Ausschnitt gemäss Fig. 2, <tb>Fig. 4<sep>teilweise geschnitten einen Teil der erfindungsgemässen Werkstückträgereinrichtung gemäss der ersten Ausführungsform, <tb>Fig. 5<sep>einen Teil eines Werkstückhalters der erfindungsgemässen Werkstückträgereinrichtung gemäss der ersten Ausführungsform, <tb>Fig. 6<sep>einen Werkstückhalter gemäss einer abgewandelten Ausführung, <tb>Fig.7<sep>ein Übertragerteil der erfindungsgemässen Werkstückträgereinrichtung gemäss der ersten Ausführungsform, <tb>Fig.9<sep>einen Schnitt längs IX-IX in Fig. 8durch das Vorgelegegetriebe und <tb>Fig.10<sep>schematisch einen axialen Schnitt durch eine erfindungsgemässe Werkstückträgereinrichtung gemäss einer zweiten Ausführungsform. Wege zur Ausführung der Erfindung [0008] Gemäss einer ersten Ausführungsform einer erfindungsgemässen Werkstückträgereinrichtung ist (Fig. 1) auf einem feststehenden Grundgestell 1 ein Werkstückträger 2 (s. auch Fig. 4) angeordnet mit einem Drehgestell 3, das um eine senkrechte Antriebsachse 4 drehbar am Grundgestell 1 gelagert ist und am unteren Ende an seiner Aussenseite einen Zahnkranz 5 trägt (in Fig. 4nicht dargestellt), mit welchem ein von einem Motor 6 angetriebenes Zahnrad 7 eingreift. Das Drehgestell 3 ist als um die Antriebsachse 4 annähernd rotationssymmetrisches geschlossenes Gehäuse ausgebildet mit zentralen Rohrabschnitten 8, zwischen denen längs der Antriebsachse 4 aufeinanderfolgende Auskragungen liegen, welche jeweils von einem kreisringförmigen Boden 9, einer ebensolchen Decke 10 und einem zu den Rohrabschnitten 8 konzentrischen Aussenring 11 gebildet werden, der mit dem Boden 9 einstückig an dessen Aussenrand anschliesst und den Aussenrand des Deckels 10 etwas überragt. [0009] Das Drehgestell 3 trägt an jeder der besagten Auskragungen eine Gruppe 12 von Werkstückhaltern 13, die jeweils auf gleicher Höhe gleichmässig über einen die Antriebsachse 4 umgebenden Kreis verteilt sind. Jeder Werkstückhalter 13 ist um eine zur Antriebsachse 4 parallele Halterachse drehbar und umfasst (s. auch Fig. 5) eine Basis 14, die z.T. innerhalb einer Auskragung des Drehgestells 3 liegt und eine Halterung 15 zur Befestigung eines Werkstücks 16, welche auf einen mit der Basis 14 durch einen durch den Deckel 10 durchgeführten Achsstift 17 aufgesteckt ist. Weiter umfasst die Basis 14 einen Lagerstift 18 mit einer nach unten weisenden kegelförmigen Spitze, dessen Achse wie beim Achsstift 17 mit der Halterachse zusammenfällt und im Boden 9, wo die Spitze in eine entsprechende Ausnehmung eingreift, drehbar gelagert ist. Der Lagerstift 18 und der Achsstift 17 sind jeweils durch einen kurbelartigen Zwischenabschnitt verbunden, welcher einen zur Halterachse parallelen, aber von ihr beabstandeten Antriebsstift 19 umfasst. Die Basis 14 ist ein einfaches Biegeteil von im Wesentlichen gleichbleibendem Querschnitt. Die aufgesteckte Halterung 15 weist eine oben offene zylindrische Ausnehmung auf, in welche das Werkstück 16, z.B. ein Fräskopf, eingesteckt wird. [0010] Gemäss einer abgewandelten Ausführung (Fig. 6) sind der Achsstift 17 und der Lagerstift 18 jeweils im Verhältnis zur Höhe dicker, also zylindrisch ausgeführt, wobei der Achsstift 17 mit der Halterung 15 integriert ist und eine oben offene zylindrische Ausnehmung ausweist und der Lagerstift 18 an der Unterseite eine kegelförmige Ausnehmung, in die zur Lagerung ein entsprechender am Boden angebrachter Fortsatz eingreift. Der Antriebsstift 19 ist wiederum von der Halterachse beabstandet. [0011] Ein gegenüber dem Drehgestell um die Antriebsachse 4 drehbares Antriebsteil 20 (in Fig. 4nicht dargestellt) umfasst eine Welle 21, die z.B. als Vierkantstab ausgebildet ist und welche in der Antriebsachse 4 liegt und auf der Höhe jeder der Gruppen 12 eine Antriebsscheibe 22 trägt. Die Antriebsscheibe 22 ist waagrecht ausgerichtet, d.h. sie liegt in einer zur Welle 21, mit der sie unverdrehbar verbunden ist, normalen Ebene. Sie wird (s. auch Fig. 2, 3) von der Antriebsachse 4 an einem Verankerungspunkt 23 durchdrungen, von dem ihr Mittelpunkt als Abtriebspunkt 24 um eine Exzentrizität E beabstandet ist. Der Abstand des Antriebsstiftes 19 eines jeden Werkstückhalters 13 von der jeweiligen Halterachse entspricht ebenfalls jederzeit der Exzentrizität E, diese als in der zur Antriebsachse 4 normalen waagrechten Ebene mit dem Antriebsteil 20 kreisender Vektor betrachtet. [0012] Jede der Antriebsscheiben 22 ist mit den Antriebsstiften 19 der auf ihrer Höhe liegenden Gruppe 12 von Werkstückhaltern 13 durch ein Übertragerteil 25 verbunden, das eine kreisförmige zentrale Kopplungsausnehmung aufweist, deren Rand die Antriebsscheibe 22 knapp umgibt sowie mit für jeden Werkstückhalter 13 einer Antriebsöffnung 26, durch welche dessen Antriebsstift 19, von ihrem Rand knapp umgeben, ragt, sodass das Übertragerteil 25 sowohl mit dem Antriebsteil 20 als auch mit den Werkstückhaltern 13 jeweils drehbar, aber im übrigen mit geringem Spiel verbunden ist. Ist die Basis 14 des Werkstückhalters 13 gemäss Fig. 5ausgebildet, so kann sie sehr einfach in die Antriebsöffnung 26 eingefädelt und anschliessend die Halterung 15 aufgesteckt werden. [0013] Das Übertragerteil 25, das in Fig. 2, 3 nur schematisch dargestellt ist, kann (s. Fig. 7) als ebenes Stanzteil ausgebildet sein mit einem Innenring 27, der die besagte Kopplungsausnehmung umgibt und einem Aussenring 28, in dem die in diesem Fall zwanzig Antriebsöffnungen 26 für den Eingriff mit ebensovielen Werkstückhaltern 13 über den Umfang verteilt angebracht sind. Der Innenring 27 und der Aussenring 28 sind durch radiale Speichen 29 verbunden, welche, im Beispiel durch von der zentralen Kopplungsausnehmung ausgehende radiale Schlitze 30, geschwächt sind, sodass sie Sollbruchstellen bilden, die im Fall einer Blockierung eines der Werkstückhalter 13 der entsprechenden Gruppe 12 brechen. [0014] Die Welle 21 ist mit dem Abtrieb eines Vorgelegegetriebes 31 verbunden, welches am Grundgestell 1 befestigt ist. Es ist als Planetengetriebe ausgebildet (Fig. 8, 9) mit einer mit dem Grundgestell 1 verschraubten Grundplatte 32 und einem um die Antriebsachse 4 drehbar auf derselben gelagerten Zahnkranz 33 sowie einem unverdrehbar mit dem Abtrieb des Vorlegegetriebes 31 und somit mit der Welle 20 verbundenen Sonnenrad 34, das ebenfalls um die Antriebsachse 4 drehbar an der Grundplatte 32 gelagert ist. Es ist von drei gleichen Plantenrädern 35 umgeben, die um zur Antriebsachse 4 parallele Achsen drehbar sind und sowohl mit dem Zahnkranz 33 als auch mit dem Sonnenrad 34 eingreifen. Der Zahnkranz 33 weist einen nach aussen abstehenden stielartigen Fortsatz 36 auf, welcher bei Drehung des Drehgestells 3 an demselben anschlägt, sodass der Zahnkranz 33 bei weiterer Drehung des Drehgestells 3 in die gleiche Richtung demselben gegenüber unverdrehbar ist und mitgedreht wird. Der Fortsatz 36 bildet somit den Antrieb des Vorgelegegetriebes 31. Das Vorlegegetriebe 31 ist ausserdem durch eine mit der Grundplatte 32 verschraubte Deckplatte 37 mit einer mittigen Öffnung für die Welle 21 verschlossen. [0015] Wird das Drehgestell 3 durch den Motor 6 um die Antriebsachse 4 gedreht, so wird der Fortsatz 36 mitgenommen und der Zahnkranz 33 des Vorgelegegetriebes 31 mitgedreht, sodass auch das Antriebsteil 20 um die Antriebsachse 4 gedreht wird, und zwar mit einer entsprechend dem Übersetzungsverhältnis des Vorlegegetriebes 31, das aus einem weiten Bereich gewählt werden kann, grösseren Winkelgeschwindigkeit. Durch jede der exzentrisch an der Welle 21 befestigten Antriebsscheiben 22 wird jeweils das mit ihr zusammenwirkende Übertragerteil 25 ebenfalls einer Kreisbewegung mit einem der Länge der Exzentrizität E entsprechenden Radius unterworfen, wobei es jedoch wegen seines Eingriffs mit den Antriebsstiften 19 der Werkstückhalter 13 der entsprechenden Gruppe 12 nicht mitgedreht wird. Die Antriebsstifte 19 werden von der Bewegung des Übertragerteils 25 mitgenommen und führen ebenfalls eine Kreisbewegung mit einem der Länge der Exzentrizität E entsprechenden Radius um die jeweiligen Halterachsen aus, was eine entsprechende Drehung der Werkstückhalter 13 um dieselben bewirkt. [0016] Die Ausbildung des geschilderten ersten Ausführungsbeispiels kann in vieler Hinsicht abgewandelt werden, ohne dass das Gebiet der Erfindung verlassen würde. So können zur Verbindung der Welle mit dem Übertragerteil statt Antriebsscheiben auch Kurbeln vorgesehen sein, welche jeweils unverdrehbar mit der Welle und drehbar mit dem entsprechenden Übertragerteil verbunden sind, insbesondere kann die Welle kurbelartige Ausbiegungen aufweisen ähnlich wie der Werkstückhalter gemäss Fig. 5. Auch das Übertragerteil könnte anders, z.B. sternförmig ausgebildet sein. Entscheidend ist, dass ein um die Antriebsachse drehbares exzentrisches Antriebsteil vorhanden ist, d.h., ein Antriebsteil, das einen exzentrischen Abtriebspunkt aufweist, an dem es mit dem Übertragerteil drehbar eingreift, während das Übertragerteil mit einem in gleicher Weise exzentrischen Antriebspunkt am jeweiligen Werkstückhalter ebenfalls drehbar eingreift. Die Zahl der über ein Übertragerteil angetriebenen Werkstückhalter kann über einen weiten Bereich variieren, doch sollte jedes Übertragerteil mit mindestens zweien eingreifen, damit es keine unkontrollierten Bewegungen ausführen kann. Die Werkstückhalter können auch in verschiedenen Abständen von der Antriebsachse angeordnet sein, was eine dichtere Anordnung ermöglicht. Es ist auch möglich, die Werkstückhalter jeder zweiten Gruppe nach unten zu richten, derart, dass ihre Halterungen gegen diejenigen der nächstunteren Gruppe weisen und jeweils die einen oder die anderen Halterungen zu federn, sodass Werkstücke, die anders schwer zu fixieren sind, jeweils zwischen einer unteren und einer oberen Halterung geklemmt werden können. [0017] Die Verbindung zwischen dem Antriebsteil und dem Übertragerteil kann auch über Kugellager hergestellt sein, desgleichen die Verbindung zwischen dem Übertragerteil und den Werkstückhaltern, insbesondere den Antriebsstiften derselben. Das Vorgelegegetriebe kann durch einen separaten Antrieb ersetzt sein oder es kann auch das Antriebsteil direkt am Grundgestell verankert sein, allerdings bleibt dann die Orientierung der Werkstücke, während sie um die Antriebsachse kreisen, relativ zum Grundgestell gleich. Es können auch andere oder zusätzliche Sollbruchstellen vorgesehen sein, z.B. an der Verbindung zwischen der Welle einerseits und jeder der Antriebsscheiben oder -kurbeln andererseits oder an jedem Werkstückhalter oder seiner Verbindung mit dem Übertragerteil. Die Ausbildung des Drehgestells als eines geschlossenen Gehäuses hat den Vorteil, dass es den Antriebsmechanismus vor den Einwirkungen, denen die Werkstücke ausgesetzt sind, schützt, doch sind andere Ausführungen deswegen nicht ausgeschlossen. Schliesslich können mehrere Drehgestelle um das Zahnrad herum angeordnet und über dasselbe von einem gemeinsamen Motor angetrieben werden. [0018] Eine zweite Ausführungsform einer erfindungsgemässen Werkstückträgereinrichtung ist aus Fig. 10ersichtlich. Hier sind mehrere dem im Zusammenhang mit dem ersten Ausführungsbeispiel beschriebenen entsprechende Werkstückträger 2 um eine Hauptachse 38 herum angeordnet, um die das Grundgestell 1 durch einen Motor 39 drehbar ist. Die Zahnkränze 5 greifen mit einem ortsfesten Zahnrad 40 ein. Drehung des Grundgestells 1 bewirkt durch den Eingriff der Zahnkränze 5 mit dem Zahnrad 40, dass sich jedes der Drehgestelle 3 um die jeweilige Antriebsachse 4 dreht, während die Werkstückträger 2 um die Hauptachse 38 kreisen. Die Werkstückträger 2 bilden somit in an sich bekannter Weise um die Hauptachse 38 kreisende Planetenelemente, die ihrerseits von den sich drehenden Werkstückhaltern 13 als Mondelementen umkreist werden, wobei ein einziger Antrieb sämtliche Bewegungen bewirkt. Im Übrigen entspricht die Funktion der Werkstückträger 2 genau dem im Zusammenhang mit dem ersten Ausführungsbeispiel Beschriebenen. Die dort angegebenen Abweichungen der Ausbildung der Werkstückträger vom dargestellten Beispiel sind hier ebenfalls möglich. Bezugszeichenliste [0019] <tb>1<sep>Grundgestell <tb>2<sep>Werkstückträger <tb>3<sep>Drehgestell <tb>4<sep>Antriebsachse <tb>5<sep>Zahnkranz <tb>6<sep>Motor <tb>7<sep>Zahnrad <tb>8<sep>Rohrabschnitt <tb>9<sep>Boden <tb>10<sep>Deckel <tb>11<sep>Aussenring <tb>12<sep>Gruppe <tb>13<sep>Werkstückhalter <tb>14<sep>Basis <tb>15<sep>Halterung <tb>16<sep>Werkstück <tb>17<sep>Achsstift <tb>18<sep>Lagerstift <tb>19<sep>Antriebsstift <tb>20<sep>Antriebsteil <tb>21<sep>Welle <tb>22<sep>Antriebsscheibe <tb>23<sep>Verankerungspunkt <tb>24<sep>Abtriebspunkt <tb>25<sep>Übertragerteil <tb>26<sep>Antriebsöffnung <tb>27<sep>Innenring <tb>28<sep>Aussenring <tb>29<sep>Speiche <tb>30<sep>Schlitz <tb>31<sep>Vorgelegegetriebe <tb>32<sep>Grundplatte <tb>33<sep>Zahnkranz <tb>34<sep>Sonnenrad <tb>35<sep>Planetenrad <tb>36<sep>Fortsatz <tb>37<sep>Deckplatte <tb>38<sep>Hauptachse <tb>39<sep>Motor <tb>40<sep>Zahnrad
Claims (14)
1. Werkstückträgereinrichtung mit mindestens einem Werkstückträger (2), welcher ein um eine Antriebsachse (4) drehbar an einem Grundgestell (1) gelagertes Drehgestell (3) und ein ebenfalls um die Antriebsachse (4) dem Drehgestell (3) gegenüber drehbares Antriebsteil (20) sowie mehrere von der Antriebsachse (4) beabstandete und um zu derselben parallele Halterachsen drehbar am Drehgestell (3) gelagerte Werkstückhalter (13) umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass zur Drehung der Werkstückhalter (13) gegenüber dem Drehgestell (3) jeder Werkstückhalter (13) mindestens ein starres Übertragerteil (25) vorgesehen ist, das einerseits mit dem Antriebsteil (20) an einem von der Antriebsachse (4) um eine Exzentrizität (E) beabstandeten Abtriebspunkt (24) und andererseits mit mindestens zwei Werkstückhaltern (13) jeweils an einem um eine gleiche Exzentrizität (E)
von der Halterachse beabstandeten Antriebspunkt drehbar eingreift.
2. Werkstückträgereinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Antriebsteil (20) eine senkrecht zur Antriebsachse (4) ausgerichtete Antriebsscheibe (22) umfasst, deren Mittelpunkt den Abtriebspunkt (24) bildet und welche an einem auf der Antriebsachse (4) liegenden Verankerungspunkt (23) gehaltert ist, während das Übertragerteil (25) eine kreisförmige Kopplungsausnehmung aufweist, deren Rand die Antriebsscheibe (22) umgibt.
3. Werkstückträgereinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass jeder Werkstückhalter (13) einen zur Halterachse parallelen Antriebsstift (19) runden Querschnitts umfasst, welcher mit einer entsprechenden Antriebsöffnung (26) am Übertragerteil (25) eingreift.
4. Werkstückträgereinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass jeder Werkstückhalter (13) eine Basis (14), an welcher der Antriebspunkt liegt, mit einem um die Halterachse drehbar am Drehgestell (3) gelagerten Achsstift (17) aufweist sowie eine Halterung (15) zur Befestigung des Werkstücks (16), welche am Achsstift (17) angebracht ist.
5. Werkstückträgereinrichtung nach den Ansprüchen 3 und 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Basis (14) jedes Werkstückhalters (13) einen Lagerstift (18) umfasst, welcher um die Halterachse drehbar am Drehgestell (3) gelagert ist sowie einen kurbelartig seitlich ausgebogenen Zwischenabschnitt, der den Lagerstift (18) mit dem Achsstift (17) verbindet und welcher den Antriebsstift (19) enthält.
6. Werkstückträgereinrichtung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Drehgestell (3) als geschlossenes Gehäuse ausgebildet ist, welches das Antriebsteil (20) und jedes Übertragerteil (25) umschliesst, ausserdem den Teil der Basis (14) jedes der Werkstückhalter (13), an dem der Antriebspunkt liegt, während der Achsstift (17) derselben durch das Gehäuse nach aussen geführt ist.
7. Werkstückträgereinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Werkstückträger (2) eine Gruppe (12) von Werkstückhaltern (13) umfasst, welche auf gleicher Höhe um die Antriebsachse (4) herum angeordnet sind sowie ein Übertragerteil (25), welches mit allen Werkstückhaltern (13) der Gruppe (12) eingreift.
8. Werkstückträgereinrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 6 und Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Werkstückhalter (13) der Gruppe (12) gleichmässig über einen die Antriebsachse (4) umgebenden Kreis verteilt sind und das Übertragerteil (25) einen Ring mit entsprechend über dieselben verteilten Antriebsöffnungen (26) umfasst.
9. Werkstückträgereinrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Werkstückträger (2) mehrere längs der Antriebsachse (4) verteilte Gruppen (12) von Werkstückhaltern (13) umfasst.
10. Werkstückträgereinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Antriebsteil (20) derart mit dem Grundgestell (1) wirkverbunden ist, dass es sich bei Drehung des Drehgestells (3) mit einer von der desselben abweichenden Winkelgeschwindigkeit gegenüber dem Grundgestell (1) dreht.
11. Werkstückträgereinrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Antriebsteil (20) mit einem Abtrieb eines am Grundgestell (1) verankerten Vorgelegegetriebes (31) unverdrehbar verbunden ist, dessen Antrieb mit dem Drehgestell (3) derart verbunden ist, dass er von dessen Drehbewegung mitgenommen wird.
12. Werkstückträgereinrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass das Vorgelegegetriebe (31) als Planetengetriebe ausgebildet ist mit einem mit dem Antrieb verbundenen Zahnkranz (33), einem mit dem Abtrieb verbundenen, vom Zahnkranz (33) koaxial umgebenen Sonnenrad (34) sowie mit mindestens einem Planetenrad (35), das mit dem Zahnkranz (33) und mit dem Sonnenrad (34) eingreift.
13. Werkstückträgereinrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass sie mehrere Werkstückträger (2) umfasst, deren Antriebsachsen (4) zu einer Hauptachse (38), um welche das Grundgestell (1) drehbar ist, parallel sind.
14. Werkstückträgereinrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Werkstückträger (2) die Hauptachse (38) umgeben und das Drehgestell (3) jedes Werkstückträgers (2) einen Zahnkranz (5) trägt, welcher mit einem zur Hauptachse (38) koaxialen ortsfesten Zahnrad (40) eingreift.
Priority Applications (16)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH00122/06A CH698143B1 (de) | 2006-01-25 | 2006-01-25 | Werkstückträgereinrichtung. |
JP2008528310A JP5313673B2 (ja) | 2005-08-29 | 2006-07-24 | 工作物支持体装置 |
KR1020087004733A KR101296928B1 (ko) | 2005-08-29 | 2006-07-24 | 워크피스 캐리어 장치 |
EP06761238A EP1917380B9 (de) | 2005-08-29 | 2006-07-24 | Werkstück-trägereinrichtung |
PT06761238T PT1917380E (pt) | 2005-08-29 | 2006-07-24 | Dispositivo de suporte para peças a trabalhar |
PL06761238T PL1917380T3 (pl) | 2005-08-29 | 2006-07-24 | Urządzenie służące do chwytania przedmiotu poddawanego obróbce |
MX2008002382A MX2008002382A (es) | 2005-08-29 | 2006-07-24 | Dispositivo portador de piezas de trabajo. |
CA2620417A CA2620417C (en) | 2005-08-29 | 2006-07-24 | Workpiece carrier device |
SI200630328T SI1917380T1 (sl) | 2005-08-29 | 2006-07-24 | Naprava nosilca obdelovanca |
ES06761238T ES2324493T3 (es) | 2005-08-29 | 2006-07-24 | Dispositivo portador de piezas de trabajo. |
AT06761238T ATE426691T1 (de) | 2005-08-29 | 2006-07-24 | Werkstuck-tragereinrichtung |
PCT/CH2006/000387 WO2007025397A1 (de) | 2005-08-29 | 2006-07-24 | Werkstückträgereinrichtung |
CN2006800315950A CN101253281B (zh) | 2005-08-29 | 2006-07-24 | 工件承载装置 |
DE502006003280T DE502006003280D1 (de) | 2005-08-29 | 2006-07-24 | Werkstück-trägereinrichtung |
BRPI0615301-1A BRPI0615301B1 (pt) | 2005-08-29 | 2006-07-24 | Dispositivo transportador de peça de trabalho |
US11/494,669 US7588640B2 (en) | 2005-08-29 | 2006-07-27 | Workpiece carrier device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH00122/06A CH698143B1 (de) | 2006-01-25 | 2006-01-25 | Werkstückträgereinrichtung. |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CH698143B1 true CH698143B1 (de) | 2009-05-29 |
Family
ID=36123552
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CH00122/06A CH698143B1 (de) | 2005-08-29 | 2006-01-25 | Werkstückträgereinrichtung. |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CH (1) | CH698143B1 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109594052A (zh) * | 2019-01-28 | 2019-04-09 | 杭州东兴电讯材料有限公司 | 一种阀芯镀膜用专用夹具 |
CN113699500A (zh) * | 2021-08-19 | 2021-11-26 | 北京北方华创真空技术有限公司 | 一种真空镀膜单体机工件架 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3933911A1 (de) * | 1989-02-28 | 1990-08-30 | Hochvakuum Dresden Veb | Substrathalterung mit planetenbewegung |
EP1153155B1 (de) * | 1998-12-15 | 2005-01-19 | Balzers Aktiengesellschaft | Planetensystem-werkstückträger und verfahren zur oberflächenbehandlung von werkstücken |
-
2006
- 2006-01-25 CH CH00122/06A patent/CH698143B1/de not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3933911A1 (de) * | 1989-02-28 | 1990-08-30 | Hochvakuum Dresden Veb | Substrathalterung mit planetenbewegung |
EP1153155B1 (de) * | 1998-12-15 | 2005-01-19 | Balzers Aktiengesellschaft | Planetensystem-werkstückträger und verfahren zur oberflächenbehandlung von werkstücken |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109594052A (zh) * | 2019-01-28 | 2019-04-09 | 杭州东兴电讯材料有限公司 | 一种阀芯镀膜用专用夹具 |
CN113699500A (zh) * | 2021-08-19 | 2021-11-26 | 北京北方华创真空技术有限公司 | 一种真空镀膜单体机工件架 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1917380B9 (de) | Werkstück-trägereinrichtung | |
EP2048263B1 (de) | Werkstückträgereinrichtung | |
DE69919509T2 (de) | Uhrwerk mit Schwungmassen-Selbstaufzug | |
DE3242541C2 (de) | ||
EP0471144B1 (de) | Umlaufräder mit einem Rädersatz, insbesondere für Vorrichtungen zum Beschichten von Substraten | |
EP2287053B1 (de) | Vorrichtung zur Reinigung von Fahrzeugrädern | |
DE3804352C2 (de) | ||
DE102009042834A1 (de) | Antriebswellenanordnung für ein Getriebe eines Kraftfahrzeuges | |
DE19621432A1 (de) | Baugruppe zur Verbindung eines Betätigungsorgans mit einem Drehabsperrorgan | |
DE102009017014A1 (de) | Getriebe, insbesondere Planetengetriebe mit einem Flansch und einem Hohlrad | |
DE1755526A1 (de) | Planetengetriebe-Radantrieb | |
DE20023013U1 (de) | Vorschaltgetriebe an Motoren mit hoher Drehzahl für Hilfsantriebseinheiten | |
EP3323717B1 (de) | Rotormast | |
DE7615476U1 (de) | Untersetzungsvorrichtung zum oeffnen und schliessen eines ventils | |
CH698143B1 (de) | Werkstückträgereinrichtung. | |
DE8522476U1 (de) | Reduktionsgetriebe | |
DE60115283T2 (de) | Mehrstufiges planetenuntersetzungsgetriebe | |
DE3508767C2 (de) | ||
DE102005030755A1 (de) | Automatische Karusselltüranlage | |
EP1028273B1 (de) | Ausgleichsgetriebe | |
DE19526051C1 (de) | Mehrteilige Nabe für eine Kupplungsscheibe | |
DE4328563C1 (de) | Lenkradanordnung mit einer relativ zum Lenkrad stillstehenden Prallplatte | |
DE10163189B4 (de) | Planetengetriebe | |
DE60003227T2 (de) | Getriebe | |
DE102017216521B4 (de) | Anschlagmodul für einen fahrzeugsitz sowie fahrzeugsitz |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PCAR | Change of the address of the representative |
Free format text: ZIMMERLI, WAGNER & PARTNER AG;LOEWENSTRASSE 19;8001 ZUERICH (CH) |
|
PFA | Name/firm changed |
Owner name: OERLIKON TRADING AG, TRUEBBACH Free format text: OERLIKON TRADING AG, TRUEBBACH# #9477 TRUEBBACH (CH) -TRANSFER TO- OERLIKON TRADING AG, TRUEBBACH# #9477 TRUEBBACH (CH) |
|
PL | Patent ceased |