CH672318A5 - - Google Patents

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CH672318A5
CH672318A5 CH167/87A CH16787A CH672318A5 CH 672318 A5 CH672318 A5 CH 672318A5 CH 167/87 A CH167/87 A CH 167/87A CH 16787 A CH16787 A CH 16787A CH 672318 A5 CH672318 A5 CH 672318A5
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CH
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diffusion barrier
barrier layer
layer
sputtering
formation
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CH167/87A
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German (de)
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Erich Dr Hodes
Klaus Goerke
Original Assignee
Glyco Metall Werke
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DE (1) DE3601439C1 (en, 2012)
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GB (1) GB2185496B (en, 2012)
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