CH666128A5 - Vorrichtung zum beruehrungslosen messen der temperatur an einer oberflaeche eines werkstuecks. - Google Patents

Vorrichtung zum beruehrungslosen messen der temperatur an einer oberflaeche eines werkstuecks. Download PDF

Info

Publication number
CH666128A5
CH666128A5 CH1504/84A CH150484A CH666128A5 CH 666128 A5 CH666128 A5 CH 666128A5 CH 1504/84 A CH1504/84 A CH 1504/84A CH 150484 A CH150484 A CH 150484A CH 666128 A5 CH666128 A5 CH 666128A5
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
temperature
measuring pin
workpiece
compressed gas
housing
Prior art date
Application number
CH1504/84A
Other languages
English (en)
Inventor
Gunther Wulff
Original Assignee
Alusuisse
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Alusuisse filed Critical Alusuisse
Priority to CH1504/84A priority Critical patent/CH666128A5/de
Priority to DE3411342A priority patent/DE3411342C2/de
Priority to US06/714,640 priority patent/US4607960A/en
Priority to GB08507363A priority patent/GB2156529B/en
Priority to JP60060514A priority patent/JPS60218044A/ja
Priority to IT20072/85A priority patent/IT1184204B/it
Publication of CH666128A5 publication Critical patent/CH666128A5/de

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/28Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring contours or curvatures
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K1/00Details of thermometers not specially adapted for particular types of thermometer
    • G01K1/14Supports; Fastening devices; Arrangements for mounting thermometers in particular locations
    • G01K1/146Supports; Fastening devices; Arrangements for mounting thermometers in particular locations arrangements for moving thermometers to or from a measuring position
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K1/00Details of thermometers not specially adapted for particular types of thermometer
    • G01K1/16Special arrangements for conducting heat from the object to the sensitive element
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K13/00Thermometers specially adapted for specific purposes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)

Description

BESCHREIBUNG Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum berührungslosen Messen der Temperatur an der Oberfläche eines Werkstückes, mittels zumindest eines zum Werkstück hin gerichteten, in einem festliegenden Gehäuse angeordneten Messstiftes mit einer Axialbohrung, durch welche hindurch das Werkstück mit Druckgas beaufschlagbar ist.
In der DE-OS 3 247 697 ist eine Vorrichtung aufgezeichnet, welche sich die Wirkung des bekannten sogenannten hydrodynamischen Paradoxons zunutze macht, nach welchem ein aus einer Düse strömender Gasstrahl zwei in einem bestimmten Abstand voneinander angeordnete Flächen nicht voneinander ab-stösst, sondern anzieht. Das bedeutet, dass der Messstift dieser Vorrichtung der Oberfläche des Werkstückes berührungslos folgt, wobei auch die kleinsten Unebenheiten erfasst werden.
Der Erfinder hat sich nun zum Ziel gesetzt, diese in der DE-OS 3 247 697 beschriebene Vorrichtung auch zum Temperaturmessen von Oberflächen einzusetzen.
Zur Lösung der Aufgabe führt, dass der Messstift in dem Gehäuse in Axialrichtung bewegbar lagert und infolge eines durch das Druckgas erzeugten Strömungsunterdruckes zwischen Messstiftfuss und der Oberfläche des Werkstückes einen stabilen Abstand einhält, wobei in der Bohrung und am Messstiftfuss Thermoelemente angeordnet sind, welche ihre Messdaten an eine Aufnahmeeinheit abgeben. Hierfür ist es notwendig, dass für die gesamte Vorrichtung vor Inbetriebnahme eine Korrelationskurve erstellt wird, die in Abhängigkeit von der gemessenen Temperatur des Druckgases und der gemessenen Temperatur des Fusses die Ermittlung der Temperatur des Werkstük-kes erlaubt.
Eine verbesserte Ausführungsform der Vorrichtung sieht vor, dass die Axialbohrung über eine Querbohrung im Messstift mit einer Ringkammer im Gehäuse in Verbindung steht, in welche eine Zuleitung für das Druckgas einmündet und in welcher Heizelemente angeordnet sind, die über Leitungen mit einer der Aufnahmeeinheit zugeordneten Regeleinrichtung in Verbindung stehen. Mit den Heizelementen wird bevorzugt die Temperatur des Druckgases in der Ringkammer auf die Temperatur gebracht, welche am Fuss des Messstiftes herrscht. Da diese wiederum versucht ist, sich der Temperatur an der Oberfläche des Werkstückes anzugleichen, wird in kürzester Zeit erreicht, dass die Temperatur des Druckgases gleich der Temperatur am Fuss des Messstiftes gleich der Temperatur an der Oberfläche des Werkstückes ist.
Diese so beschriebene Vorrichtung kann entweder allein dem berührungslosen Messen der Temperatur an einer Oberfläche eines Werkstückes dienen oder mit den konstruktiven Merkmalen der Vorrichtung zum Bestimmen und/oder zum Messen der Form eines Werkstückes nach der DE-OS 3 247 697 gekoppelt sein.
Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels sowie anhand der Zeichnung; diese zeigt in ihrer einzigen Figur einen Querschnitt durch eine erfindungs-gemässe Vorrichtung.
Eine Vorrichtung R zum berührungslosen Messen der Temperatur an einer Oberfläche 1 eines Werkstückes 2, beispielsweise eines Aluminiumbandes oder -profils, weist ein zylindrisches Gehäuse 3 auf, welches von einem in Richtung x bewegbaren Stift 4 durchsetzt ist.
Durch eine Zuleitung 5 wird Pressluft oder dgl. in eine Ringkammer 6 des Gehäuses 3 eingeleitet, welche mit einer axialen Bohrung 7 in dem Messstift 4 durch Querbohrungen 8 in Verbindung steht. Durch diese Axialbohrung 7 gelangt die Luft an einem scheibenförmig verdickten Fussteil 9 des Messstiftes 4 nach aussen, wobei sie in der gezeigten Gebrauchslage die Oberfläche 1 des Werkstückes 2 anströmt. Dabei befindet sich der Messstiftfuss 9 in einem Abstand s von der Oberfläche 1, in welchem es zu dem sogenannten hydrodynamischen Paradoxon kommt, d.h. der Messstiftfuss 9 wird infolge eines durch die strömende Luft erzeugten Unterdruckes zu der Oberfläche 1 hingezogen. Dies begünstigt auch das Verhältnis des Durchmessers Di der Axialbohrung 7 zu dem Durchmesser D2 des Messstiftfusses 9.
Der Luftweg ist in der Figur mit Pfeilen gekennzeichnet.
Da das Gehäuse 3 im Verhältnis zum Werkstück 2 feststeht, reagiert der Messstift 4 auf jede Unebenheit der Oberfläche 1, indem er sich in dem Gehäuse 3 in Richtung x nahezu kräftefrei bewegt. Um seinen Bewegungspielraum nicht zu begrenzen, kann der Messstiftfuss 9 dabei auch in ein dem Gehäuse 3 eingeformtes Sackloch 10 gleiten.
Die Ringkammer 6 ist nach oben hin durch einen Deckel 11 geschlossen. Sie dient der Aufnahme von — schematisch dargestellten — Heizelementen 12, welche an eine Regeleinrichtung 15 über Leitungen 14 angeschlossen sind. Dieser Regeleinrichtung 15 ist eine Aufnahmeeinheit 19 zugeordnet, welche über Leitungen 16 Messwerte von in der Bohrung 7 und in dem Messstiftfuss 9 gegenüber der Oberfläche 1 angeordneten Thermoelementen 17 und 18 aufnimmt.
Für die Funktionsweise dieser Vorrichtung R sind messtech-nisch zwei Betriebsfälle zu unterscheiden. Dabei gilt folgendes:
Ti = Temperatur des Thermoelementes 18 im Fussteil 9
T2 = Temperatur des Thermoelementes 17 in der Bohrung 7
Tx = Temperatur des Werkstückes 2 bzw. Substrats am Messort.
1. Die zugeführte Luft wird nicht vorgeheizt oder aber auf eine Temperatur gebracht, welche deutlich unter der zu messen5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
3
666 128
den Substrattemperatur liegt. Die Temperatur Ti wird dann einen Zwischenwert von Tx und der Zulufttemperatur T2 ergeben.
Die Zuordnung der zu messenden Temperatur Tx aus den beiden Messungen Ti und T2 kann experimentell bestimmt werden, womit die Kalibrierung der Messeinrichtung erfolgt. Es hat sich beispielsweise ergeben, dass für Tx = 400°C und T2 = 200°C die Temperaturmessung im Messschuh Ti = 343 °C ergibt. Durch Variation von Tx und Ermittlung der Temperaturanzeige Ti kann so die Zuordnung von Tj und Tx für jede Temperatur ermittelt werden, vorzugsweise im Gebiet 500°C Tx 100°C.
Für andere Temperaturwerte ist es vorteilhaft, die Temperatur T2 der Zuluft entsprechend zu erhöhen oder zu erniedrigen.
2. Wird durch vorzugsweise elektronisch geregelte Heizelemente 12 die Temperatur T2 der Zuluft so eingestellt, dass T2 = Ti wird, so findet für diesen Fall keine Wärmeübertragung vom Messobjekt 1, 2 zum Messstiftfuss 9 oder umgekehrt statt. In diesem Fall gilt entsprechend dem Wärmeleitgesetzt, dass die Messobjekttemperatur Tx gleich der Messlufttemperaturen Ti sowie T2 ist. Die Regelung sorgt dafür, dass T2 um den Wert von Ti schwingt, d.h. kurzzeitig über und anschliessend unter
Ti liegt. Aus diesem Grund wird die Reproduzierbarkeit der Messeinrichtung erhöht, wenn der arithmetische Mittelwert
Ti + T2
der Messobjekttemperatur gleichgesetzt wird. Für den oben beschriebenen Gleichgewichtszustand, bei welchem keine Wärmeübertragung vom Messobjekt auf den Messstiftfuss stattfindet, 10 ergeben sich zwei wesentliche Vorteile:
a) Sowohl der Abstand zwischen Messstiftfuss und Objektoberfläche muss nur genügend klein, nicht aber konstant sein (eine Schwankung von 0,02 auf 0,06 mm bleibt ohne Einfluss auf die Messung), ebenso wie auch die Wärmeleitfähigkeit des
15 Messobjektes.
Weil keine Wärmeübertragung stattfindet, bleibt die Wärmeleitfähigkeit der Messluft ebenfalls ohne Einfluss auf das Messresultat.
b) Da keine Wärme vom Messobjekt auf den Messstiftfuss 20 übertragen wird, findet keine thermische Beeinflussung des
Messobjektes statt, was für die exakte Temperaturmessung von ausschlaggebender Bedeutung ist.
v
1 Blatt Zeichnungen

Claims (4)

666 128
1. Vorrichtung zum berührungslosen Messen der Temperatur an der Oberfläche eines Werkstückes, mittels zumindest eines zum Werkstück hin gerichteten, in einem festliegenden Gehäuse angeordneten Messstiftes mit einer Axialbohrung, durch welche hindurch das Werkstück mit Druckgas beaufschlagbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Messstift (4) in dem Gehäuse (3) in Axialrichtung (x) bewegbar lagert und infolge eines durch das Druckgas erzeugten Strömungsunterdruckes zwischen einem Messstiftfuss (9) und der Oberfläche (1) des Werkstückes (2) einen stabilen Abstand (s) einhält, wobei in der Bohrung (7) und am Messstiftfuss (9) Thermoelemente (17, 18) angeordnet sind, welche ihre Messdaten an eine Aufnahmeeinheit (15) abgeben.
2. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Axialbohrung (7) über eine Querbohrung (8) im Messstift (4) mit einer Ringkammer (6) im Gehäuse (3) in Verbindung steht, in welche eine Zuleitung (5) für das Druckgas einmündet und in welcher Heizelemente (12) angeordnet sind, die über Leitungen (14) mit einer der Aufnahmeeinheit (15) zugeordneten Regeleinrichtung (19) in Verbindung stehen.
2
PATENTANSPRÜCHE
3. Verwendung der Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2 zum berührungslosen Messen der Temperatur an einer Oberfläche eines Werkstückes, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Messstift und der Oberfläche des Werkstückes durch das Druckgas ein Unterdruck erzeugt und so der Messstift in einem bestimmten Abstand von der Oberfläche gehalten wird, wobei der Messstift in dem Gehäuse bewegbar lagert, und dass die Temperatur in der Axialbohrung und am Messstiftfuss ermittelt wird und daraus die Temperatur der Oberfläche abgeleitet wird.
4. Verwendung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Druckgas auf die Temperatur des Messstiftfusses gebracht wird, wobei diese Temperatur an der Oberfläche des Werkstückes entspricht.
CH1504/84A 1984-03-26 1984-03-26 Vorrichtung zum beruehrungslosen messen der temperatur an einer oberflaeche eines werkstuecks. CH666128A5 (de)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH1504/84A CH666128A5 (de) 1984-03-26 1984-03-26 Vorrichtung zum beruehrungslosen messen der temperatur an einer oberflaeche eines werkstuecks.
DE3411342A DE3411342C2 (de) 1984-03-26 1984-03-28 Vorrichtung und Verfahren zum berührungsfreien Messen an einem Werkstück
US06/714,640 US4607960A (en) 1984-03-26 1985-03-21 Performing contact-free measurement on a workpiece
GB08507363A GB2156529B (en) 1984-03-26 1985-03-21 Device and process for performing contact-free measurement on a workpiece
JP60060514A JPS60218044A (ja) 1984-03-26 1985-03-25 加工材の非接触測定装置並びに測定方法
IT20072/85A IT1184204B (it) 1984-03-26 1985-03-26 Dispositivo e procedimento per misurazioni su un pezzo,senza contatto meccanico

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH1504/84A CH666128A5 (de) 1984-03-26 1984-03-26 Vorrichtung zum beruehrungslosen messen der temperatur an einer oberflaeche eines werkstuecks.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CH666128A5 true CH666128A5 (de) 1988-06-30

Family

ID=4211990

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CH1504/84A CH666128A5 (de) 1984-03-26 1984-03-26 Vorrichtung zum beruehrungslosen messen der temperatur an einer oberflaeche eines werkstuecks.

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4607960A (de)
JP (1) JPS60218044A (de)
CH (1) CH666128A5 (de)
DE (1) DE3411342C2 (de)
GB (1) GB2156529B (de)
IT (1) IT1184204B (de)

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4724701A (en) * 1987-02-11 1988-02-16 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Fluidic displacement sensor with linear output
GB8730067D0 (en) * 1987-12-23 1988-02-03 Bnf Metals Tech Centre Surface-temperature sensing method & apparatus
FR2625557B1 (fr) * 1987-12-31 1990-04-27 Bertin & Cie Procede et dispositif de mesure instantanee de la temperature d'un element par mesure de la temperature d'un debit de fluide entraine au contact de cet element
US4907894A (en) * 1988-12-20 1990-03-13 Bnf Metals Technology Centre Surface-temperature sensing method and apparatus
FR2657429B1 (fr) * 1990-01-22 1995-08-11 Normandie Ateliers Dispositif de mesure pneumatique.
DE4039339C2 (de) * 1990-12-10 1999-12-09 Zeiss Carl Fa Temperatursensor für Meßobjekte
US5106200A (en) * 1990-12-20 1992-04-21 Applied Materials, Inc. Apparatus for measuring temperature of wafer
US5386716A (en) * 1993-10-28 1995-02-07 Alliedsignal Inc. Fluidic proximity sensor and related process
US5789661A (en) * 1997-02-14 1998-08-04 Sigmatech, Inc. Extended range and ultra-precision non-contact dimensional gauge
SE515644C2 (sv) * 2000-01-14 2001-09-17 D A Production Ab Mätanordning med ett rörligt lagrat givarhuvud
US6220080B1 (en) * 2000-05-12 2001-04-24 Sigma Tech, Inc. Extended range and ultra precision non contact dimensional gauge for ultra thin wafers and work pieces
US7010959B2 (en) * 2003-03-28 2006-03-14 Schleifring Und Apparatebau Gmbh Device and method for measuring mechanical path lengths by means of pneumatic pressure, in particular for sliding carbon contacts
SE527204C2 (sv) * 2004-05-28 2006-01-17 Daprox Ab Mätanordning och förfarande
JP2006007369A (ja) * 2004-06-25 2006-01-12 Nippei Toyama Corp 工作機械における被測定物の表面形状判定装置
US7134321B2 (en) * 2004-07-20 2006-11-14 Asml Holding N.V. Fluid gauge proximity sensor and method of operating same using a modulated fluid flow
US6978658B1 (en) * 2004-12-20 2005-12-27 Asml Holding N.V. Proximity sensor with self compensation for mechanism instability
US20070151328A1 (en) * 2005-12-30 2007-07-05 Asml Holding N.V. Vacuum driven proximity sensor
US7578168B2 (en) * 2007-06-27 2009-08-25 Asml Holding N.V. Increasing gas gauge pressure sensitivity using nozzle-face surface roughness

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2598178A (en) * 1949-07-05 1952-05-27 Kalle Karl Torsten Temperature responsive measuring and indicating apparatus
US3321974A (en) * 1965-10-23 1967-05-30 Cornell Aeronautical Labor Inc Surface temperature measuring device
GB1200213A (en) * 1966-08-19 1970-07-29 Yawata Iron & Steel Co Fluid gauges
GB1141375A (en) * 1966-10-19 1969-01-29 Cornell Aeronautical Labor Inc Surface temperature measuring device
US3566676A (en) * 1969-04-17 1971-03-02 Nasa Fluid phase analyzer
FR2093045A6 (de) * 1970-05-29 1972-01-28 Commissariat Energie Atomique
DE2241108C2 (de) * 1971-03-03 1974-09-26 Maschinenfabrik Augsburg-Nuernberg Ag, 8000 Muenchen Vorrichtung zum berührungsfreien Erfassen der Geschwindigkeit eines Drehkörpers
GB1552793A (en) * 1976-10-15 1979-09-19 Bicc Ltd Temperature monitoring of an advancing wire or other elongate metallic member
US4142401A (en) * 1977-10-03 1979-03-06 Wilson Gardner P Gage
US4191052A (en) * 1978-11-27 1980-03-04 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Non-contact flueric temperature sensing method and apparatus
US4357824A (en) * 1980-09-15 1982-11-09 General Electric Company Method for determining volatilization rates of dissolved volatiles from solid waste materials
DE3045401A1 (de) * 1980-12-02 1982-07-01 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Verfahren zum pruefen von einspritzduesen
GB2121181B (en) * 1982-05-20 1986-04-03 Laszlo Urmenyi Non-contact sensing of surface temperature of objects
DE3247697A1 (de) * 1982-12-20 1984-06-20 Schweizerische Aluminium Ag, Chippis Vorrichtung zum bestimmen und/oder messen der form eines werkstueckes

Also Published As

Publication number Publication date
US4607960A (en) 1986-08-26
JPS60218044A (ja) 1985-10-31
GB8507363D0 (en) 1985-05-01
IT1184204B (it) 1987-10-22
GB2156529A (en) 1985-10-09
DE3411342A1 (de) 1985-09-26
DE3411342C2 (de) 1986-01-23
IT8520072A0 (it) 1985-03-26
GB2156529B (en) 1987-12-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CH666128A5 (de) Vorrichtung zum beruehrungslosen messen der temperatur an einer oberflaeche eines werkstuecks.
DE3024150C2 (de) Hydrostatisch entlasteter Führungsmechanismus für eine Maschine
DE1798255C2 (de) Vorrichtung zur meßtechnischen Erfassung des Vulkanisationsverlaufs von Elastomeren an einer Materialprobe
EP0379682A1 (de) Tastkopf vom schaltenden Typ
DE2724265C3 (de) Temperaturmeßeinrichtung für emaillierte Apparate
CH630299A5 (de) Regel- und steuereinrichtung fuer den schreibfluessigkeitszulauf zu einem zeichengeraet.
EP0801290B1 (de) Positioniersystem mit Druckmessung in der Luftschicht zwischen Messkopf und Messgut
DE3111060C2 (de)
DE3044540A1 (de) Druckuebertrager
DE4119886A1 (de) Messgeraet zur fortlaufenden messung der dicke von blechbaendern, insbesondere zur verwendung bei blechwalzanlagen
DE4039339C2 (de) Temperatursensor für Meßobjekte
DE1927147C3 (de) Verfahren zum wärmeschlüssigen Anbringen eines Meßfühlers in einer mit einem wärmeleitenden Werkstoff versehenen Ausnehmung eines Werkstückes
DE2701263C3 (de) Vorrichtung zum Erfassen von Änderungen der Fließeigenschaften eines Stoffes, insbesondere eines ölprodukts
DD266646A1 (de) Vorrichtung zur bestimmung der waermeleitfaehigkeit metallischer koerper
DE9017685U1 (de) Temperatursensor für Meßobjekte
DE2162584A1 (de) Apparat zur Messung des Wärmeentzugskoeffizienten
DE1648156C3 (de) Anordnung zur Füllstandmessung
DE2710741C2 (de) Vorrichtung zum Messen von Kräften und Drücken
DE1941212C3 (de) Vorrichtung zur Prüfung von Ringdichtungen
DE2250805C3 (de) Zugeinrichtung zum ferneinstellbaren Aufbringen von vorbestimmten Zugkräften
DE1168240B (de) Trockenpartie in einer Langsiebpapiermaschine
DE10065731A1 (de) Messeinrichtung für den Strömungswiderstand von porösen Materialien sowie Verfahren zur Ermittlung des Strömungswiderstands
DE2518141C3 (de) Meßsonde zur Erfassung elektrischer und thermischer Meßpunkte auf der menschlichen Hautoberfläche
DE2046855C3 (de) Anordnung zur Kompensation des Kriechens von elastischen Bauteilen
DE1235016B (de) Verfahren und Einrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens zum Messen und Regeln von Fluessigkeitspegeln

Legal Events

Date Code Title Description
PL Patent ceased