CH663407A5 - Gasmengendurchfluss-messgeraet. - Google Patents

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CH663407A5
CH663407A5 CH72984A CH72984A CH663407A5 CH 663407 A5 CH663407 A5 CH 663407A5 CH 72984 A CH72984 A CH 72984A CH 72984 A CH72984 A CH 72984A CH 663407 A5 CH663407 A5 CH 663407A5
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CH
Switzerland
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pressure
gas
piston
gas flow
cylinder
Prior art date
Application number
CH72984A
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English (en)
Inventor
Karl-Heinz Bernhardt
Original Assignee
Pfeiffer Vakuumtechnik
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F3/00Measuring the volume flow of fluids or fluent solid material wherein the fluid passes through the meter in successive and more or less isolated quantities, the meter being driven by the flow
    • G01F3/02Measuring the volume flow of fluids or fluent solid material wherein the fluid passes through the meter in successive and more or less isolated quantities, the meter being driven by the flow with measuring chambers which expand or contract during measurement
    • G01F3/04Measuring the volume flow of fluids or fluent solid material wherein the fluid passes through the meter in successive and more or less isolated quantities, the meter being driven by the flow with measuring chambers which expand or contract during measurement having rigid movable walls
    • G01F3/14Measuring the volume flow of fluids or fluent solid material wherein the fluid passes through the meter in successive and more or less isolated quantities, the meter being driven by the flow with measuring chambers which expand or contract during measurement having rigid movable walls comprising reciprocating pistons, e.g. reciprocating in a rotating body
    • G01F3/16Measuring the volume flow of fluids or fluent solid material wherein the fluid passes through the meter in successive and more or less isolated quantities, the meter being driven by the flow with measuring chambers which expand or contract during measurement having rigid movable walls comprising reciprocating pistons, e.g. reciprocating in a rotating body in stationary cylinders
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F13/00Apparatus for measuring by volume and delivering fluids or fluent solid materials, not provided for in the preceding groups

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Description

663 407
2

Claims (6)

PATENTANSPRÜCHE
1. Gasmengendurchfluss-Messgerät bestehend aus einem in einem Zylinder (2) mit Motorkraft (4) verschiebbaren Kolben (3) mit einem Füllventil (11) und einer Ausstosslei-tung (14) mit Dosierventil (12), dadurch gekennzeichnet,
dass der Zylinder (2) mit dem Kolben (3) in einen Behälter (1) eingebaut ist, wobei der Zylinder (2) aus dem Behälter (1) über das Füllventil (11) gefüllt werden kann und über ein Druckdifferenz-Messgerät (10) mit elektrischem Ausgangssignal den bei Gasentnahme aus dem Dosierventil (12) bei geschlossenem Füllventil (11) entstehenden Differenzdruck mit Hilfe eines Schaltverstärkers (9) durch motorisches Verschieben des Kolbens (3) wieder aufhebt.
2. Gasmengendurchfluss-Messgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Kolbenstange ein Zählwerk betätigt, das die Volumenänderung des Zylinders (2) anzeigt.
3. Gasmengendurchfluss-Messgerät nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Behälter (1) evakuierbar ist.
4. Gasmengendurchfluss-Messgerät nach den Ansprüchen 1-3, dadurch gekennzeichnet, dass im Behälter (1) über einen Gaseinlass (5) mit Hilfe eines Dosierventils (6) eines Druckreglers (7) und einer Vakuumpumpe (8) ein konstanter Gasdruck einstellbar ist.
5. Gasmengendurchfluss-Messgerät nach den Ansprüchen 1-4, dadurch gekennzeichnet, dass die Kolbenstange des Kolbens (3) durch eine Zwischenkammer (13) in die atmosphärische Umgebung austritt und der Gaseinlass in den Behälter (1) durch diese Zwischenkammer über das Dosierventil (6) erfolgt, wobei die Kolbenstange in beiden Wänden der Zwischenkammer verschiebbar abgedichtet ist.
6. Gasmengendurchfluss-Messgerät nach den Ansprüchen 1-5, dadurch gekennzeichnet, dass der Druck in der Zwischenkammer (13) grösser oder gleich dem Umgebungsdruck ist.
Die Erfindung betrifft ein Gerät zur Messung von Gasströmen in der Vakuumtechnik nach dem Oberbegriff des 1. Anspruchs. Gasströme der Grössenordnung > 1 mbar • 1/s werden mit Schwebekörperdurchflussmessgeräten gemessen. Für kleinere Gasströme verwendet man heute oft thermo-elektrische Durchflussmesser, die aus der durch den Gasstrom transportierten Wärmemenge den Gasdurchfluss ermitteln. Diese Geräte sind in ihrem Messbereich nach unten beschränkt durch den kleinsten nachweisbaren Wärmestrom. Die kleinsten messbaren Gasströme liegen bei 1 • 10-2 mbar 1/s. Weiterhin sind Messgeräte bekannt, die ein Labyrinth sehr enger Kanäle aufweisen, in denen unterhalb eines bestimmten Druckes Molekularströmung herrscht. Durch genaue Druckdifferenzmessung zwischen Eingang und Ausgang dieser Kanäle kann man bei bekanntem Strömungswi-derstand die Gasdurchflussmenge berechnen. Die untere Messgrenze dieser Geräte liegt bei 2 • 10-4 mbar 1/s. Alle diese Geräte haben den Nachteil, dass ihre Anzeige von der Gasart abhängig ist und dass sie kalibriert werden müssen. Bei Verschmutzung der Messgeräte können erhebliche Fehler auftreten, die der Benutzer nicht einfach erkennen kann.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Gasmengendurchflussmessgerät zu schaffen, das den
Gasdurchfluss aus den elementaren Werten Druck, Volumenänderung und Zeit misst, so dass keine Kalibrierung erforderlich ist. Ausserdem sollen noch kleinere als die oben angegebenen Gasströme gemessen werden können.
Die Lösung der Aufgabe erfolgt durch eine Anordnung, wie im Anspruch 1 beschrieben.
Die Gasdurchflussmenge Q wird ermittelt durch Messung des Druckes P im Behälter 1, der gleich dem Druck im Zylinder 2 ist, und der Volumenänderung A V im Zylinder 2, die durch Verschieben des Kolbens während der Zeit À t verursacht wird bei geschlossenem Ventil 11 nach der Formel
Der Vorteil der Erfindung gegenüber den zur Zeit bekannten Geräten ist die Durchflussmengenmessung mit Hilfe elementar messbarer Grössen, wie Druck, Zeit, Volumen, wobei die Volumenanzeige vorteilhaft nach Anspruch 2 erfolgt. Eventuelle Undichtigkeiten zwischen Kolben und Zylinder spielen keine Rolle, da zwischen Innen- und Aussen-raum des Kolbens keine Druckdifferenz > 0,3 mbar auftritt. Durch Wahl des Zylinderinhaltes von 0,0011 kann bei Entleerung des Zylindervolumens in 1000 s bei Atmosphärendruck eine untere Messgrenze von 1 • 10~3 mbar 1/s erreicht werden. Die untere Messgrenze sinkt auf 5 • 10~5 mbar • 1/s, wenn der Druck 15 nach Anspruch 4 auf 50 mbar gesenkt wird.
Vorteilhaft ist in diesem Zusammenhang eine Ausgestaltung der Erfindung nach Anspruch 5 und ein Betrieb nach Anspruch 6. Dadurch wird bei eventuell vorhandenen Lecks in der Kolbenstangenabdichtung eine Verunreinigung des Messgases durch die Umgebungsluft verhindert.
Durch Unabhängigkeit von der Gasart ist das Gerät sehr gut zum Kalibrieren anderer Durchflussmessgeräte geeignet.
Mit Hilfe des folgenden Beispiels soll die Funktion des Gasmengendurchflussmessgerätes näher erläutert werden.
Zunächst wird mit geschlossenem Dosierventil 12 und geöffnetem Dosierventil 6 und Füllventil 11 die gesamte Apparatur evakuiert. Dann wird der Kolben 3 in die untere Extremstellung gebracht. Danach lässt man das zu messende Gas durch den Gaseinlass 5 und die Zwischenkammer 13 über das Dosierventil 6 in den Behälter 1 einströmen. Mit Hilfe des Druckreglers 7 und der Vakuumpumpe 8 wird im Behälter 1 ein bestimmter Arbeitsdruck P eingestellt, der am Manometer 15 gemessen wird. Am Anschluss 14 ist der Gasverbraucher angeschlossen. Das Dosierventil 12 wird auf den erforderlichen Gasdurchsatz eingestellt. Die Messung beginnt mit Schliessen des Füllventils 11. Durch Absaugen von Gas aus dem Zylinder 2 erniedrigt sich der Druck in demselben.
Der Druckmesser 10 setzt über den Schaltverstärker 9 bei Entstehen einer Druckdifferenz > 0,3 mbar den Kolben 3 über den Motor 4 in Bewegung. Bei Druckausgleich am Druckmesser 10 wird der Kolben wieder angehalten. Durch Ermitteln der Kolbenverschiebung während einer Zeit A t wird die Durchflussmenge Q wie oben angegeben errechnet. Nach Ende der Messung wird das Füllventil 11 wieder geöffnet und der Kolben in die Ausgangsstellung zurückgefahren. Nach Schliessen des Füllventils 11 kann eine neue Messung beginnen.
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55
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1 Blatt Zeichnungen
CH72984A 1983-06-01 1984-02-15 Gasmengendurchfluss-messgeraet. CH663407A5 (de)

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DE19833319861 DE3319861C2 (de) 1983-06-01 1983-06-01 Gasmengendurchfluß-Meßgerät

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CH663407A5 true CH663407A5 (de) 1987-12-15

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ID=6200418

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CH72984A CH663407A5 (de) 1983-06-01 1984-02-15 Gasmengendurchfluss-messgeraet.

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DE (1) DE3319861C2 (de)

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DE3319861A1 (de) 1984-12-06
DE3319861C2 (de) 1986-11-20

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