CH654778A5

CH654778A5 - Laser-werkzeugmaschine.

Info

Publication number: CH654778A5
Application number: CH2175/82A
Authority: CH
Inventors: Akira Tsutsumi
Original assignee: Amada Eng & Service
Priority date: 1981-04-07
Filing date: 1982-04-07
Publication date: 1986-03-14
Also published as: KR830009887A; AU555659B2; GB2096517B; SE457508B; CA1210459A; IT8248175A0; SE8704773L; DE3212589C2; KR880002407B1; US4503313A; FR2503004A1; SE8704773D0; GB2096517A; AU8230682A; SE8202257L; FR2503004B1; DE3212589A1; IT1186689B

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Laser-Werkzeugmaschine gemäss dem Oberbegriff des unabhängigen Patentanspruchs 1.

In der Industrie wird der Laserstrahl in weiten Bereichen zur Verarbeitung metallischer und nichtmetallischer Materialien, wie Eisen, Nickel, Kunststoffe, Gummi und Gläser, verwendet.

Im allgemeinen umfasst eine Laser-Werkzeugmaschine einen Laser-Generator zur Erzeugung des Laserstrahls und eine Laserstrahl-Schneidemaschine mit einem Arbeitskopf, mit dem der Laserstrahl fokussiert und ausgerichtet wird. Die Laserstrahl-Schneidmaschine weist einen Arbeitstisch auf, auf dem Mittel zur Ausrichtung des Werkstücks enthalten sind.

Bisher waren der Laser-Generator und die Laserstrahl-Schneidmaschine unabhängige Geräte, wie beispielsweise aus dem US-Patent Nr. 4 088 865 hervorgeht. Dabei wird der Laserstrahl aus dem Generator durch eine komplizierte Spiegelanordnung zur Laserstrahl-Schneidmaschine geführt. Diese Anordnung wird als Ursprung für eine Auslenkung des optischen Zentrums des Laserstrahls angesehen. Die Auslenkungen des optischen Zentrums entstehen dabei durch thermische Deformationen der Spiegelanordnung und der unterschiedlichen Vibrationen zwischen dem Laser-Generator und dem Laserstrahl-Schneidgerät. Deshalb ist der Unterhalt und die Ausrichtung der Spiegelanordnung zeitaufwendig und kompliziert.

Für eine genaue Verarbeitung bei der Erzeugung von Produkten mit komplizierten Formen ist es nötig, die Ausrichtvorrichtungen für das Werkstück nach vorgegebenem Verfahren genau auszurichten. Es ist jedoch manchmal schwierig für Bedienungspersonal, die exakte und komplizierte Ausrichtung durchzuführen. Es zeigte sich auch als nachteilig, dass die Laserstrahl-Werkzeugmaschine weder mit einer Ableseskala noch mit Mitteln zur Vergrösserung versehen sind. Somit, wenn eine skalenmässige Einstellung oder eine Vergrösserung der zu schneidenden Form notwendig wird, muss das Bedienungspersonal die geometrischen Daten des Werkstücks in eine Steuervorrichtung eingeben.

In herkömmlichen Laser-Werkzeugmaschinen wird der Fokussierpunkt des Laserstrahls um einen geringen Abstand unter die Oberfläche eines gleichmässig dicken Werkstücks ausgerichtet. Deshalb, wenn die Laserstrahl-Verarbeitung verändert wird, z. B. vom Schneiden zum Lochen, wird es extrem schwierig, eine genaue Verarbeitung beizubehalten.

Es ist deshalb eine Aufgabe der Erfindung, eine Laser-Werkzeugmaschine zu schaffen, bei der die oben genannten Probleme behoben sind, indem Mittel vorgesehen werden, die eine genaue Verarbeitung ermöglichen. Gleichzeitig soll auch die bekannte Verschiebung des optischen Zentrums des Laserstrahls vermieden werden.

Erfindungsgemäss wird dies durch die Merkmale im unabhängigen Patentanspruch 1 erreicht.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnung erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 einen Aufriss einer Laser-Werkzeugmaschine mit den erfinderischen Merkmalen.

Fig. 2 einen Grundriss der Laser-Werkzeugmaschine gemäss Fig. 1,

Fig. 3 einen Seitenriss der Laser-Werkzeugmaschine gemäss Fig. 1,

Fig. 4 ein Blockschaltbild einer Steuervorrichtung,

Fig. 5 eine Schnittansicht durch ein Werkstück während der Bearbeitung zur Erläuterung des Bohrvorganges,

Fig. 6a, 6b, 6c und 6d schematische Schnittansichten von Löchern, bei verschiedenen Lagen des Brennpunktes des Laserstrahls, und

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Fig. 7a, 7b und 7c schematische Ansichten von Schnittflächen, die bei verschiedenen Lagen des Brennpunktes des Laserstrahls entstehen.

In Fig. 1,2 und 3 ist eine Laser-Werkzeugmaschine 1 dargestellt. Diese Laser-Werkzeugmaschine besteht aus einem Laserstrahl-Generator 3 zur Erzeugung des Laserstrahls LB und aus einer Laserstrahl-Schneidmaschine 5.

Die Laserstrahl-Schneidmaschine 5 umfasst einen ersten Sockel 7, auf dem eine Säule 9 vertikal befestigt ist und welche Säule einen oberen Träger 9 in frei tragender Weise hält. Der erste Sockel 7 trägt einen Werktisch 13, auf dem ein blechartiges Werkstück W zur Bearbeitung angeordnet werden kann. Der obere Träger 11 besitzt an seinem vorderen Ende einen Bearbeitungskopf 15, der später im Detail beschrieben wird.

Zur Führung und Halterung des Werkstücks W besitzt der erste Sockel 7 Einstellmittel 17 mit erstem Verschiebeschlitten 19 in Richtung der Y-Achse 21 und einem zweiten Schlitten 23 mit mehreren Klemmitteln 25 zum Festklemmen des Werkstücks W, welcher zweite Schlitten verschiebbar auf dem ersten Schlitten 19 gehaltert ist und eine Verschiebung in Richtung der X-Achse 27 senkrecht zur Y-Achse 21 erlaubt. Die ersten Schlitten 19 sind verschiebbar auf einem Paar Schienen 29 in Richtung der Y-Achse 21 befestigt, welche Schienen auf dem Werktisch 13 parallel zueinander angeordnet sind.

Die ersten Schlitten 19 besitzen ein Paar bewegliche Tische 31, die mittels eines Verbindungsträgers 33 in Richtung der X-Achse 27 miteinander verbunden sind. Eine Einstellmutter 35 ist am Verbindungsträger 33 befestigt und ist auf eine Gewindestange 37 aufgeschraubt. Die Gewindestange erstreckt sich in Richtung Y-Achse 21, und das eine Ende davon ist in einem Rotationslager 39 unterhalb des oberen Trägers 11 geführt. Das andere Ende der Gewindestange 37 ist mit einem ersten Schlittenantrieb 41 verbunden. Der erste Schlittenantrieb 41 besitzt einen Y-Achsenmotor 43 mit einer Antriebswelle, die über ein Untersetzergetriebe 45 mit der Gewindestange 37 verbunden ist. Damit kann der erste Schlitten 19 zur Verarbeitungszone unterhalb des Bearbeitungskopfes 15 in Richtung der Y-Achse 21 hin und von dieser weg bewegt werden.

Der zweite Schlitten 23 ist auf einem Paar Schienen 47 verschiebbar gehaltert, welche Schienen am Verbindungsträger 33 auf dem ersten Schlitten 19 befestigt sind, und diese Schienen erstrecken sich in Richtung der X-Achse 27 und stehen damit senkrecht zur Richtung der Y-Achse 21. Der zweite Schlitten 23 steht im Eingriff mit dem Gewinde 49a einer Gewindestange 49. Das eine Ende der Gewindestange ist in einem Rotationslager 51, die am einen Ende des Verbindungsträgers 33 befestigt ist, drehbar gelagert, wie Fig. 3 zeigt. Das andere Ende der Gewindestange ist mit einem Antrieb 53 für den zweiten Schlitten verbunden, welcher Antrieb einen X-Achsenmotor 55 aufweist, der über ein Untersetzergetriebe 57 mit der Gewindestange 49 verbunden ist. Der zweite Schlitten 23 mit den Klemmitteln 25 kann daher in Richtung X-Achse 27 bewegt werden.

In der oben beschriebenen Anordnung kann ein durch die Klemmittel 25 gehaltertes Werkstück W unter dem Bearbeitungskopf 15 hin und her bewegt werden, indem die ersten und zweiten Schlitten 19 und 23 mittels der ersten und zweiten Antriebe 41 und 53 bewegt werden. Der erste und der zweite Schlittenantrieb 41 und 53 werden mittels einer numerischen Steuerung gesteuert, die später noch zu beschreiben sein wird. Damit kann ein Werkstück W, das sich unter dem Bearbeitungskopf 15 befindet, automatisch geschnitten und gebohrt werden.

Der Bearbeitungskopf 15 ist vertikal am vordem Ende des obera Trägers 11 befestigt. Der Bearbeitungskopf umfasst eine Spiegelanordnung 59, ein bewegliches Rohr 61 mit einer Kondensorlinse und einen Rohreinstellmotor 63 und Einstellmittel für das Rohr. Eine Leitung 65 ist horizontal durch den oberen Träger 11 geführt und ist mit der Spiegelanordnung 59 verbunden. Damit wird der Laserstrahl LB aus dem Laser-Generator 3 der Spiegelanordnung 59 zugeführt und mittels dieser um 90° umgelenkt, so dass er, wie durch den Pfeil angedeutet, senkrecht nach unten gerichtet ist.

Unter der Spiegelanordnung 59 ist ein Rohr 67 befestigt. Das bewegliche Rohr 61 ist am untern Ende des Rohrs 67 in teleskopischer Weise gehaltert. Der Laserstrahl LB, der in der Spiegelanordnung 59 reflektiert wird, wird somit durch das feste und durch das bewegliche Rohr 67 und 61 weitergeleitet und wird durch die Kondensorlinse im beweglichen Rohr 61 fokussiert. Damit kann die Kondensorlinse mit dem beweglichen Rohr 61 bewegt werden und kann den Brennpunkt des Laserstrahls LB mittels Einstellmitteln verändern. Die Einstellmittel für das Rohr können eine in ein Gewinde am Rohr eingreifende Mutter und einen Antrieb für die Mutter umfassen. Der Einstelimotor 63 für die Rohreinstellung wird ebenfalls durch eine numerische Steuerung angetrieben.

Die Staubsammelvorrichtung 69 zur Verhinderung von Dämpfen oder Schlacke befindet sich am vordem Ende des ersten Sockels 7.

Der Laser-Generator 3 umfasst einen zweiten Sockel 71 und einen Laser-Resonator 73. Der zweite Sockel 71 ist am ersten Sockel 7 der Laserstrahl-Schneidmaschine 5 mittels Verbindemitteln befestigt. Der Laser-Resonator 73 ist auf dem zweiten Sockel 71 aufgebaut.

Somit ergibt sich keine Verschiebung des Laser-Generators 3 bezüglich der Laserstrahl-Schneidmaschine 5. Die Verbindemittel umfassen ein Verbindeteil 75 und ein längliches Verbindungsglied 77. Der zweite Sockel 71 ist mit mehreren Tragkonsolen 79 und schraubbaren Einsteligliedern 81 in diesen Tragkonsolen versehen, um den zweiten Sockel 71 in vertikaler Richtung einzustellen.

Der Laser-Resonator 73 hat einen Laserstrahlausgang 83 an seiner oberen Partie. Der Laserstrahlausgang ist mit der Leitung 65 des oberen Trägers 11 verbunden, um den Laserstrahlausgang in axialer Richtung auf die Leitung auszurichten. Somit wird der Laserstrahl LB aus dem Laser-Resonator 73 horizontal zur Leitung 65 abgestrahlt, ohne dass hier komplizierte, bisher verwendete Spiegelanordnungen nötig wären. Ein Paar Ausrichtmittel 87 zum Ausrichten des Laser-Resonators in horizontaler Richtung sind am zweiten Sockel 71 befestigt, um den Laser-Resonator 73 bezüglich des ersten Sockels 7 in lateraler Richtung auszurichten. Die Einstellmittel 87 für den Laserstrahl-Resonator 73 befinden sich beidseitig des zweiten Trägers 71 und umfassen Ausrichtmittel 89, die in Seitenplatten des zweiten Sockels zur Einstellung in X-Richtung und Einsteilglieder 91, die in Endplatten des zweiten Sockels für die Y-Achse eingewindet sind. Die Einstellmittel 89 für die horizontale Einstellung sind am Laser-Resonator 73 befestigt. Somit sind die seitlichen Einstellungen für den Laser-Resonator 73 bezüglich der X-Achse 27 und der Y-Achse 21 durch die Einstellmittel 89 und 91 bewirkt. Durch die oben beschriebenen Einstellmittel zur Ausrichtung des Laser-Resonators 73 wird die axiale Auslenkung zwischen dem Laserstrahlausgang 83 und der Leitung 65 eliminiert.

Eine Erläuterung für das Servosystem mit dem Y-Achsenmotor 43 und dem X-Achsenmotor 55 mit der Steuerung 93 zur Steuerung des Servosystems und den Ausgangspegel des Laserstrahls aus dem Laser-Resonator 93 wird nachfolgend gegeben. Wie Fig. 4 zeigt, umfasst die Steuervorrichtung 93 eine Programmiervorrichtung 95. wie ein Mi5

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krocomputer, zur Berechnung des Bearbeitungsprogramms auf der Basis von verschiedenen Daten, die durch die Eingabevorrichtung 97 bestimmt werden und die numerische Steuerung 99, die das Servosystem 101 mit dem Y-Achsenmotor 43 und dem X-Achsenmotor 55 und dem Ausgangspegel des Laserstrahls aus dem Laser-Resonator steuert. Damit werden die verschiedenen eingegebenen Daten zu einem Bearbeitungsprogramm zusammengesetzt. Die numerische Steuerung 99 steuert den Ausgangspegel des Laserstrahls aus dem Laser-Resonator 73 und das Servosystem 101 gemäss dem Bearbeitungsprogramm aus der Programmeinheit 95.

Weitere Daten, wie die Daten über die Formgebung aus dem Schablonengeber 103 und dem Lesegerät 105 werden der Programmiereinheit 95 zusätzlich zu den Daten aus der Eingabeeinheit 97 zugeführt. Die Schabloniervorrichtung 103 verwendet einen Linienabtaster zur Abtastung einer Zeichnung, die die Umrandung des herzustellenden Werkstücks darstellt, um daraus die Koordinaten für die X- und Y-Achsen zu erhalten. Der Datenleser 105 liest die verschiedenen Daten des Programms und gibt diese in die Programmiereinheit 95. Die Eingabeeinheit 97 umfasst folgende Eingabemöglichkeiten: Eine Eingabevorrichtung 107 für die Plattendicke des Werkstücks W, Materialdateneingabe 109 zur Eingabe der spezifischen Materialdaten des Werkstücks W, eine Einheit 111 zur Eingabe eines Multiplikationsfaktors zur Eingabe der Daten zwecks Vergrösserung oder Verkleinerung des Werkstücks, eine Dateneingabe 113 zur Festlegung des Ausgangspunktes zur Ausrichtung des Werkstücks W, eine Bearbeitungseingabevorrichtung 115 zur Eingabe von Daten bezüglich der Beziehung zwischen dem Ausgangspegel des Laserstrahls aus dem Laser-Resonator 72 und der Verarbeitungsgeschwindigkeit des Werkstücks W. Das Bearbeitungsprogramm, das durch die Programmiereinheit 95 ausgerechnet wurde, kann als Datenausgabe einer Speichereinheit 117, wie eine Magnetscheibe, zur Speicherung zugeführt werden.

In der oben beschriebenen Anordnung errechnet die Programmiereinheit 95 das Bearbeitungsprogramm auf der Basis der verschiedenen Daten aus der Eingabeeinheit 97, der Formgebungseinheit 103 und dem Lesegerät 105 und gibt diese der numerischen Steuerung 99 weiter. Als Resultat davon werden der Laser-Resonator 93 und das Servosystem 101 der Laser-Werkzeugmaschine 1 gemäss dem Bearbeitungsprogramm gesteuert. Wenn der Multiplikationsfaktor mittels der Eingabeeinheit 111 eingegeben wird, kann ein Bearbeitungsprogramm für die Form aber mit anderen Grös-senverhältnissen leicht erzeugt werden. Wenn Laserbearbeitung durch die Laser-Werkzeugmaschine 1 durchgeführt wird, ist es wichtig, den Brennpunkt des Laserstrahls LB auf die Dicke des Werkstücks W einzustellen, aber auch wenn die Dicke des Werkstücks W gleich bleibt, ist es wichtig, den Brennpunkt gemäss den Bearbeitungsbedingungen einzustellen.

Wenn ein Laserstrahl LB auf ein Werkstück W zum Schneiden oder Bohren gerichtet wird, ist es wichtig, die abgestrahlte Energie in der Verarbeitungsstelle zu absorbieren, um die Auswirkung der Wärme auf andere Teile zu vermeiden. Wenn die thermischen Einflüsse auf andere Teile als auf die zu bearbeitenden Teile zu gross wird, werden die Abmessungen der gebohrten Löcher oder der geschnittenen Nuten vergrössert. Deshalb ist es notwendig, den Laserstrahl LB auf einen kleinen Punkt zu fokussieren, um eine hohe Energiedichte zu erhalten. Der Absorptionsfaktor des Laserstrahls LB auf der Oberfläche des Werkstücks W ändert sich in weiten Bereichen in Abhängigkeit der Oberflächentemperatur und dem Zustand des Werkstücks W.

Die Oberflächentemperatur ist bei Beginn der Verarbeitung niedrig aber beim Schneiden wird die Temperatur infolge der dauernden Bestrahlung mit einem Laserstrahl LB auf einem hohen Wert gehalten. Auch ändert sich die Oberfläche, auf die der Laserstrahl ausgerichtet ist in weiten Grenzen und deshalb besteht eine grosse Differenz zwischen der Form beim Bohren und beim Schneiden bezüglich des Absorptionsfaktors und der thermischen Effekte auf diese Teile.

Deshalb ist es eine der wichtigsten Anforderungen, den Brennpunkt des Laserstrahls LB zwischen dem Bohren und dem Schneiden zwischen geeigneten Punkten zu verändern.

Eine Erläuterung in bezug auf die Bedingungen während der Verarbeitung wird nachfolgend gegeben.

In Fig. 5 ist der Fall dargestellt, wenn der Brennpunkt 0 des Laserstrahls von der Oberfläche S„ des Werkstücks bis zu einer Stelle, die etwa Vi der Plattendicke D in die Platte hineinverlegt ist. In diesem Fall befindet sich der Brennpunkt 0 zu nahe bei der Oberfläche S0. Somit, wenn die Verarbeitung tiefer als bis zum Brennpunkt 0 geschieht, werden andere Gebiete des Werkstücks W infolge des reflektierten Lichts Lj aus der Verarbeitungsfläche St bestrahlt, wodurch der Lochdurchmesser vergrössert wird.

Als nächstes werden die Resultate eines Versuchs dargestellt, wenn der Brennpunkt 0 des Laserstrahls LB in verschiedenen Tiefen eingestellt wird.

Fig. 6a, 6b, 6c und 6d zeigen schematische Querschnitte von Versuchsbeispielen, wenn diese mit Strahlen und verschieden angeordneten Brennpunkten gebohrt werden. Bei diesem Versuch wurden Stahlplatten von 6 mm Dicke als Werkstück W verwendet.

In Fig. 6a wurde der Brennpunkt 0 in einer Tiefe von 4 mm unter der Oberfläche angeordnet und es wurde ein Loch mit angenähert dem vorgeschriebenen Durchmesser R (1 mm) gebohrt. Der Brennpunkt 0 wurde dabei etwa auf % der Plattendicke von der Oberfläche des Werkstücks W entfernt angeordnet.

In Fig. 6b, 6c und 6d wurde der Brennpunkt in Tiefen von 1 mm, 2 mm und 5,5 mm von der Oberfläche entfernt angeordnet. In allen Fällen waren die Durchmesser der Bohrungen in der Oberfläche zwischen 3 mm und 5 mm, was anzeigt, dass die Löcher ausgeweitet wurden. An der Unterseite des Werkstücks W entstanden Wellen infolge des geschmolzenen Materials.

Fig. 7a, 7b und 7c zeigen schematische Querschnitte der Versuchsschnitte mit dem Brennpunkt 0 in verschiedenen Lagen. Es wurde ein gleichartiges Material, wie das Werkstück W in Fig. 6 verwendet.

In Fig. 7a wurde der Brennpunkt 0 in einer Tiefe von 2 mm unter der Oberfläche angeordnet, und es wurde mehr oder weniger die vorgeschriebene Nute erhalten. Somit war der Brennpunkt etwa in lA der Plattendicke von der Oberfläche des Werkstücks W entfernt.

In Fig. 7b und 7c wurde der Brennpunkt auf 0 mm und 4 mm bezüglich der Oberfläche eingestellt. Nahe der unteren Seite des Werkstücks zeigten sich Streifen und eine grosse Anzahl von Materialtropfen. Auch wurde die Schnittbreite vergrössert. Aus den oben genannten experimentellen Resultaten wurde gefunden, dass vorteilhafterweise der Brennpunkt 0 eines Laserstrahls LB in einer Tiefe von % der Plattendicke von der Oberfläche S0 des Werkstücks W beim Bohren und auf einer Tiefe von etwa Vi der Plattendicke von der Oberfläche des Werkstücks W beim Schneiden eingestellt werden muss.

Dies zeigt, dass zusätzlich zur Einstellung des Brennpunkts 0 in bezug auf die verschiedenen Werkstückarten der Brennpunkt auch noch bezüglich der Bearbeitung eingestellt werden muss, indem das bewegliche Rohr 61 mit der Kondensorlinse durch den Einstelimotor 63 in der Höhe verändert werden muss.

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3 Blatt Zeichnungen

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PATENTANSPRÜCHE

1. Laser-Werkzeugmaschine, gekennzeichnet durch eine Laserstrahl-Schneidmaschine (9) mit Mitteln (63) zum Fokussieren des Laserstrahls, einen Laser-Generator (3) zur Erzeugung eines Laserstrahls (LB) mit Mitteln (65) zur Zuleitung des Laserstrahls zur Laserstrahl-Schneidmaschine (5) und Verbindungsmittel zur Verbindung der Laserstrahl-Schneidmaschine (5) mit dem Laser-Generator (3), um eine Maschine in einstückiger Form herzustellen.
2. Maschine nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Laserstrahl-Schneidmaschine (5) einen ersten Sockel (7) zur Halterung eines oberen Trägers (11) mit einer Spiegelanordnung (59) und eine Kondensorlinse aufweist, und dass der Laser-Generator (3) einen zweiten Sockel (71) zur Halterung eines Laser-Resonators (73) zur Erzeugung eines Laserstrahls (LB) aufweist.
3. Maschine nach Patentanspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der obere Träger (11) mit einer Stützsäule (9) auf dem ersten Sockel (7) abgestützt ist, und dass das Verbindungsmittel den ersten Sockel (7) mit dem zweiten Sockel (71) verbindet.
4. Maschine nach Patentanspruch 1 oder 3, gekennzeichnet durch einen Laserstrahlausgang (83) zur Abgabe des Laserstrahls aus dem Laser-Resonator (73), von welchem Laserstrahlausgang die optische Achse auf einen Lichtweg (65) im oberen Träger (11) ausgerichtet ist, derart, dass der im Laser-Resonator (73) erzeugte Strahl in gerader Linie zur Spiegelanordnung (59) gelangt.
5. Maschine nach Patentanspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Laserstrahlausgang (83) horizontal auf den Lichtweg (65) ausgerichtet ist.
6. Maschine nach Patentanspruch 1 oder 3, gekennzeichnet durch eine Einstellvorrichtung (87) zum Einstellen der seitlichen Ausrichtung des Laser-Resonators (73) bezüglich der Laserstrahl-Schneidmaschine (5).
7. Maschine nach Patentanspruch 1 oder 3, gekennzeichnet durch Einsteilvorrichtungen (89,91) auf dem zweiten Sockel (71) zum Einstellen des Laser-Resonators in X- und Y-Richtung in bezug auf den ersten Sockel (7).
8. Maschine nach Patentanspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Einstellvorrichtungen (89) ein Ein-stellglied für die X-Achse, das in Seitenplatten auf den zweiten Sockel (71) eingeschraubt ist und ein Einsteilglied für die Y-Achse, das in Endplatten (91) auf dem zweiten Sockel (71) eingeschraubt ist, aufweisen.
9. Maschine nach Patentanspruch 1 oder 3, gekennzeichnet durch Mittel zum Führen eines Werkstückes gegen die Bearbeitungszone unter der Kondensorlinse hin und von dieser weg, welche Mittel auf dem ersten Sockel (7) angeordnet sind und einen ersten und einen zweiten Schlitten (19,23) mit einem ersten und einem zweiten Antrieb umfassen, von denen der erste Schlitten (19) auf einem Arbeitstisch (13) aufgebaut ist und eine Verschiebung in der Y-Achse bezüglich der Bearbeitungszone bewirkt und der zweite Schlitten (23) auf den ersten Schlitten (19) aufgebaut ist und für eine Verschiebung in einer zur Y-Achse senkrecht stehenden X-Achse dient, und dass der zweite Schlitten (23) mit Kiemmitteln (25) versehen ist.
10. Maschine nach Patentanspruch 9, gekennzeichnet durch eine Eingabeeinheit (97) zur Eingabe von Daten in eine Steuereinheit (99), einen Rechner (95) zur Aufstellung eines Steuerprogramms aus den eingegebenen Daten und zur Abgabe des Steuerprogramms an eine Servosteuerung (101) zur Verschiebung der Mittel (19,23) zum Führen des Werkstückes (W).