CH633394A5 - Resonateur piezoelectrique travaillant en cisaillement d'epaisseur. - Google Patents
Resonateur piezoelectrique travaillant en cisaillement d'epaisseur. Download PDFInfo
- Publication number
- CH633394A5 CH633394A5 CH961779A CH961779A CH633394A5 CH 633394 A5 CH633394 A5 CH 633394A5 CH 961779 A CH961779 A CH 961779A CH 961779 A CH961779 A CH 961779A CH 633394 A5 CH633394 A5 CH 633394A5
- Authority
- CH
- Switzerland
- Prior art keywords
- covers
- bar
- piezoelectric
- resonator
- support frame
- Prior art date
Links
- 238000010008 shearing Methods 0.000 title description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 10
- 230000001464 adherent effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 2
- 210000005069 ears Anatomy 0.000 claims 1
- 239000002775 capsule Substances 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010025 steaming Methods 0.000 description 2
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 239000004568 cement Substances 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000004922 lacquer Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000002966 varnish Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/177—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator of the energy-trap type
-
- G—PHYSICS
- G04—HOROLOGY
- G04F—TIME-INTERVAL MEASURING
- G04F5/00—Apparatus for producing preselected time intervals for use as timing standards
- G04F5/04—Apparatus for producing preselected time intervals for use as timing standards using oscillators with electromechanical resonators producing electric oscillations or timing pulses
- G04F5/06—Apparatus for producing preselected time intervals for use as timing standards using oscillators with electromechanical resonators producing electric oscillations or timing pulses using piezoelectric resonators
- G04F5/063—Constructional details
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/0595—Holders; Supports the holder support and resonator being formed in one body
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/1035—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by two sealing substrates sandwiching the piezoelectric layer of the BAW device
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
L'invention est relative aux résonateurs piézoélectriques à haute fréquence. A partir de 1 MHz et au-delà, ces résonateurs comprennent en général un élément résonant en forme de plaquette circulaire oscillant en cisaillement d'épaisseur. Des éléments en forme de plaquettes rectangulaires, plus faciles à réaliser, sont également connus depuis quelque temps. Seuls ceux-ci sont considérés ici. Ces résonateurs, travaillant en cisaillement d'épaisseur, utilisent de préférence le phénomène du piégeage ou confinement d'énergie (energy trapping) qui concentre la vibration dans la région centrale de la plaquette piézoélectrique, ce qui permet de fixer celle-ci par ses bords ou extrémités à un support rendu solidaire d'un boîtier et ceci au prix d'une perte d'énergie minime, fixation se faisant au moyen d'une brasure ou d'une colle. Le boîtier se présente le plus souvent sous la forme d'une capsule ou ampoule de verre équipée de traversées métalliques ou d'une capsule de métal équipée elle aussi de traversées métalliques mais celles-ci étant alors isolées du reste de la capsule par des perles ou des liaisons céramique-métal.
Pour garantir de bonnes performances, les résonateurs de bonne qualité sont enfermés de façon hermétique dans leur capsule et en général sous vide, pour les mettre à l'abri de toute contamination et éliminer les pertes d'énergie dues à la présence de l'air. Dans ce cas, les traversées électriques doivent nécessairement être étanches, ce qui est à l'origine de nombreux problèmes.
Lorsque pour certaines applications il devient de la plus haute importance de réduire au maximum l'encombrement total du résonateur, les problèmes posés par la fixation de la plaquette rectangulaire à son support et par les traversées étanches deviennent prépondérants et des obstacles infranchissables apparaissent vite du fait des limites de la technique connue. En particulier pour les résonateurs devant fonctionner sous vide, le très petit volume intérieur n'impose pas seulement une étan-chéité presque absolue pour le maintien des performances pendant plusieurs années, mais rend aussi nécessaire un étuvage des composants avant la fermeture pour éviter tout dégazage ultérieur des surfaces se trouvant à l'intérieur de l'enceinte évacuée. Cet étuvage doit être effectué sous vide et à température assez élevée, et ce, pendant un temps d'autant moins long que la température est plus élevée. Or on se trouve évidemment très vite limité par la température maximale que peuvent supporter sans dommage les brasures et les colles utilisées pour l'assemblage.
La présente invention a pour objet de s'affranchir de tous ces inconvénients en proposant un résonateur piézoélectrique à plaquette ou barreau rectangulaire travaillant en cisaillement d'épaisseur, ne comportant qu'un minimum de composants distincts, pouvant être réalisé dans des dimensions très faibles et dont l'usinage comme le montage sont nettement plus simples que ceux que proposent les méthodes connues.
L'invention est définie dans la revendication 1 et exposée dans la description qui suit et pour l'intelligence de laquelle on se référera aux dessins, parmi lesquels:
les figures 1 et 2 représentent à deux stades différents de réalisation un élément résonant et son support selon la présente invention,
les figures 3 et 4 illustrent un autre mode de réalisation selon l'invention,
la figure 5 montre en coupe un élément résonant selon l'invention, mais encapsulé,
la figure 6 est une représentation du résonateur selon l'invention tel qu'il peut se présenter en tant que produit fini,
la figure 7 est une vue éclatée d'un résonateur selon une variante d'exécution de l'invention.
On voit sur la figure 1 un élément résonant selon l'invention. Il est réalisé par simple découpage dans une plaquette de matériau piézoélectrique. De forme gégéralement rectangulaire, il est formé de deux parties distinctes tout en ne constituant qu'une pièce unique et plane: une partie centrale en configuration de barreau 1 et qui est l'élément résonant proprement dit et une partie périphérique 2 formant un cadre entourant complètement le barreau 1 et séparé de ce dernier le long de ses bords longitudinaux par une découpure 3. La découpure 3 est telle que le barreau 1 reste relié sans aucune discontinuité physique ou mécanique au cadre 2 lui servant ainsi de support par ses extrémités 4. Dans les zones d'extrémité 4, le barreau 1 travaillant selon le mode de cisaillement d'épaisseur et utilisant le phénomène du confinement ou piègeage d'énergie n'est pas affecté par les vibrations. Ces zones 4 sont donc neutres et la liaison entre le barreau 1 et le cadre-support 2 n'affectera pas les performances du résonateur.
A un stade ultérieur représenté à la figure 2, un système d'électrodes bipolaires 5 est déposé sur les faces opposées du barreau 1 de manière classique, par exemple par évaporation sous vide. L'épaisseur de métallisation des électrodes 5 satisfait aux règles connues pour que le phénomène de confinement d'énergie soit obtenu de façon à satisfaire aux exigences imposées, c'est-à-dire de façon que la zone siège des vibrations soit rigoureusement localisée dans la partie située entre les électrodes 5 qui est la région médiane du barreau 1. Le cadre-support 2 est alors revêtu sur ses deux faces opposées d'une couche métallisée 7 parfaitement adhérente et reliée par une piste de contact 6 au pôle correspondant du système d'électrodes 5.
Dans une variante illustrée par les figures 3 et 4, la découpure 3 entoure le barreau 1 sur trois de ses côtés si bien qu'il se trouve en porte-à-faux, relié par une seule de ses extrémités 4 au cadre 2. Cette disposition peut être adoptée sans risque puisque les extrémités 4 du barreau 1 n'étant pas affectées par la vibration de cisaillement d'épaisseur confinée dans la région médiane du barreau 1, la liaison de celui-ci avec le cadre-sup5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
3
633 394
port 2 ne sert qu'à maintenir la gémétrie de l'ensemble et à permettre les connexions électriques, or une seule extrémité 4 solidaire du cadre-support 2 est alors suffisante.
Des couvercles 8, constitués par exemple de feuilles métalliques embouties en forme de cuvettes très plates, comme dans l'exemple de la figure 5, de manière à présenter une lèvre périphérique 9, viennent s'appliquer sur chaque couche métallisée 7 du cadre-support 2 et sur toute la périphérie de celui-ci sans pouvoir entrer en contact avec le barreau 1. La fixation des couvercles 8 sur le cadre-support 2 dans le cas où ceux-ci sont métalliques, comme dans le présent exemple, peut se faire par une brasure ou au moyen d'une colle conductrice ou d'un ciment conducteur. Lorsque la fixation se fait par brasage, la couche métallisée 7 peut au préalable être revêtue de l'alliage approprié par procédé galvanique ou sérigraphique. L'étuvage de l'ensemble pourra alors être fait sous vide à une température pouvant dépasser le point de fusion de l'alliage et l'assemblage des couvercles 8 au cadre 2 se fera sous vide ou atmosphère neutre par refonte de l'alliage et de façon parfaitement hermétique.
Les couvercles 8, toujours dans le cas où ils sont métalliques,
servent avantageusement de connexions hermétiques ou bornes de raccordement électrique au résonateur. Ainsi, comme le montre la figure 6 qui représente le produit fini que constitue le résonateur, les couvercles 8 peuvent être pourvus de pattes de 5 connexion 10 selon toute disposition adéquate, comme par exemple celle qui est représentée en pointillés. Le reste de l'encapsulage peut être protégé et isolé par une laque ou un vernis.
Un autre exemple de réalisation de l'invention est illustré io par la figure 7. Dans ce cas, on donne à la couche métallique 7 portée par le cadre-support 2 une bien plus grande épaisseur, de façon qu'il soit possible d'utiliser des couvercles 8 parfaitement plans sans qu'ils puissent pour autant entrer en contact avec le barreau 1. Ces couvercles 8 peuvent alors être soit métalliques 15 soit en matériau isolant tel que du verre, de la céramique ou même du quartz. Dans cette hypothèse, chaque couvercle 8 est revêtu sur une de ses faces d'une couche métallique 11 adhérente formant cadre. Cette couche «épaisse» sera, comme précédemment, porteuse de pattes de connexion 10 et l'assemblage 20 se fera comme dans le cas de couvercles métalliques.
C
1 feuille dessins
Claims (6)
1. Résonateur piézoélectrique à barreau travaillant en cisaillement d'épaisseur en utilisant le phénomène de confinement de l'énergie, caractérisé par le fait que l'élément résonant et son support sont découpés pour constituer une seule pièce plane dans une plaquette dont la partie centrale forme le barreau siège de la vibration et la partie périphérique forme un cadre-support, ces deux parties restant reliées entre elles par au moins une des extrémités du barreau et qu'un couvercle est disposé de chaque côté de l'élément résonant, les faces supérieure et inférieure du cadre-support servant de zones de fixations auxdits couvercles.
2. Résonateur piézoélectrique à barreau selon la revendication 1, caractérisé par le fait que les couvercles sont métalliques et sont soudés sur une couche métallisée déposée sur les faces supérieure et inférieure du cadre-support et servent de bornes de raccordement électrique au résonateur.
2
REVENDICATIONS
3. Résonateur piézoélectrique à barreau selon la revendication 2, caractérisé par le fait que la couche métallique est mince et que les couvercles sont en forme de cuvettes très plates.
4. Résonateur piézoélectrique à barreau selon la revendication 2, caractérisé par le fait que la couche métallique est épaisse et que les couvercles sont plans.
5. Résonateur piézoélectrique à barreau selon la revendication 1, caractérisé par le fait que les couvercles sont isolants et que le cadresupport porte sur ses faces supérieure et inférieure un revêtement métallique épais sur lequel les couvercles prennent appui, le revêtement présentant vers l'extérieur des oreilles servant de bornes de raccordement électrique au résonateur.
6. Résonateur piézoélectrique à barreau selon la revendication 5, caractérisé par le fait que les couvercles sont plans et exécutés en matériau tel que le verre, la céramique ou le quartz et revêtus sur une des faces d'une couche métallique adhérente formant cadre.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR7833350A FR2441960A1 (fr) | 1978-11-16 | 1978-11-16 | Resonateur piezoelectrique travaillant en cisaillement d'epaisseur |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CH633394A5 true CH633394A5 (fr) | 1982-11-30 |
Family
ID=9215348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CH961779A CH633394A5 (fr) | 1978-11-16 | 1979-10-26 | Resonateur piezoelectrique travaillant en cisaillement d'epaisseur. |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4451754A (fr) |
| JP (2) | JPS5568718A (fr) |
| CH (1) | CH633394A5 (fr) |
| DE (1) | DE2946162A1 (fr) |
| FR (1) | FR2441960A1 (fr) |
| GB (1) | GB2040561B (fr) |
Families Citing this family (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH626479A5 (fr) * | 1979-07-05 | 1981-11-13 | Suisse Horlogerie | |
| JPS5890698A (ja) * | 1981-11-25 | 1983-05-30 | 松下電器産業株式会社 | 発音装置 |
| GB2124021A (en) * | 1982-07-16 | 1984-02-08 | Philips Electronic Associated | Piezo-electric resonator or filter |
| EP0100501B1 (fr) * | 1982-07-28 | 1989-02-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Détecteur de vibrations |
| JPS59119911A (ja) * | 1982-12-25 | 1984-07-11 | Fujitsu Ltd | 圧電振動子 |
| JPS6146609A (ja) * | 1984-08-10 | 1986-03-06 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動子 |
| JPS6196812A (ja) * | 1984-10-17 | 1986-05-15 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品 |
| JPS62109420A (ja) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Alps Electric Co Ltd | 弾性表面波素子 |
| GB8906619D0 (en) * | 1989-03-22 | 1989-05-04 | Marconi Electronic Devices | Hermetic crystal packages |
| JPH033838U (fr) * | 1989-06-02 | 1991-01-16 | ||
| JPH083060Y2 (ja) * | 1989-06-02 | 1996-01-29 | 株式会社村田製作所 | 圧電共振子 |
| GB2242779A (en) * | 1990-04-03 | 1991-10-09 | British Aerospace | Dither spring assembly for laser gyroscope. |
| JPH042116U (fr) * | 1990-04-21 | 1992-01-09 | ||
| KR0158469B1 (ko) * | 1992-10-15 | 1999-03-20 | 모리시타 요이찌 | 발진자 |
| EP0596522A1 (fr) * | 1992-11-06 | 1994-05-11 | AVANCE TECHNOLOGY, Inc. | Résonateur à cristal à haute fréquence |
| JP3114461B2 (ja) * | 1993-10-21 | 2000-12-04 | 株式会社村田製作所 | エネルギー閉じ込め型圧電共振子 |
| GB2278721B (en) * | 1993-05-31 | 1996-12-18 | Murata Manufacturing Co | Chip-type piezoelectric resonance component |
| JPH07106905A (ja) * | 1993-10-06 | 1995-04-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 発振子 |
| US6590315B2 (en) * | 2000-05-26 | 2003-07-08 | William D. Beaver | Surface mount quartz crystal resonators and methods for making same |
| JP2005286992A (ja) * | 2004-03-02 | 2005-10-13 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片、圧電振動子および圧電発振器 |
| JP4536552B2 (ja) * | 2005-02-28 | 2010-09-01 | ケイ・アール・ディコーポレーション株式会社 | Ｉｃタグ |
| JP5078512B2 (ja) * | 2007-09-06 | 2012-11-21 | 日本電波工業株式会社 | 水晶デバイス |
Family Cites Families (26)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR911761A (fr) * | 1945-02-02 | 1946-07-19 | Thomson Houston Comp Francaise | Perfectionnements aux cristaux piézo-électriques |
| FR948592A (fr) * | 1947-06-27 | 1949-08-04 | Brush Dev Co | Perfectionnements aux cristaux piézo-électriques |
| FR953895A (fr) * | 1947-10-07 | 1949-12-14 | Procédé de fabrication de montures à cristal piézo-électrique | |
| FR1373536A (fr) * | 1963-11-04 | 1964-09-25 | Clevite Corp | Boîtier enveloppe pour circuit électrique |
| US3339091A (en) * | 1964-05-25 | 1967-08-29 | Hewlett Packard Co | Crystal resonators |
| US3453458A (en) * | 1965-04-19 | 1969-07-01 | Clevite Corp | Resonator supporting structure |
| US3617780A (en) * | 1967-10-26 | 1971-11-02 | Hewlett Packard Co | Piezoelectric transducer and method for mounting same |
| USRE26707E (en) * | 1969-02-11 | 1969-11-04 | Crystal resonators | |
| US3745385A (en) * | 1972-01-31 | 1973-07-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Piezoelectric ceramic resonator |
| SU513471A1 (ru) * | 1973-01-17 | 1976-05-05 | Предприятие П/Я Г-4149 | Кварцевый резонатор |
| JPS5023954A (fr) * | 1973-07-04 | 1975-03-14 | ||
| US3885173A (en) * | 1973-10-09 | 1975-05-20 | Magnavox Co | Apparatus and method for coupling an acoustical surface wave device to an electronic circuit |
| JPS5081491A (fr) * | 1973-11-20 | 1975-07-02 | ||
| CH578803A5 (fr) * | 1974-05-14 | 1976-08-13 | Suisse Horlogerie | |
| CH582957A5 (fr) * | 1974-08-20 | 1976-12-15 | Suisse Horlogerie | |
| JPS583602B2 (ja) * | 1974-11-09 | 1983-01-22 | セイコーエプソン株式会社 | スイシヨウシンドウシ |
| CH1212475A4 (fr) * | 1975-09-18 | 1977-07-29 | ||
| JPS5253690A (en) * | 1975-10-28 | 1977-04-30 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Thickness sliding crystal vibrator |
| JPS5279794A (en) * | 1975-12-26 | 1977-07-05 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Piezo-vibrator unit |
| FR2338607A1 (fr) * | 1976-01-16 | 1977-08-12 | France Etat | Resonateur a quartz a electrodes non adherentes au cristal |
| DE2703335A1 (de) * | 1976-01-29 | 1977-08-04 | Seiko Instr & Electronics | Piezoelektrischer schwinger mit dickenscherungsschwingung |
| JPS5291678A (en) * | 1976-01-29 | 1977-08-02 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Profile slide vibrator |
| JPS5291677A (en) * | 1976-01-29 | 1977-08-02 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Longitudinal vibration type piezoelectric vibrator |
| JPS5375892A (en) * | 1976-12-17 | 1978-07-05 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Crystal vibrator |
| JPS5398793A (en) * | 1977-02-09 | 1978-08-29 | Seiko Epson Corp | Piezo electric vibrator |
| US4216462A (en) * | 1978-03-06 | 1980-08-05 | General Electric Company | Patient monitoring and data processing system |
-
1978
- 1978-11-16 FR FR7833350A patent/FR2441960A1/fr active Granted
-
1979
- 1979-10-26 CH CH961779A patent/CH633394A5/fr not_active IP Right Cessation
- 1979-11-02 US US06/090,842 patent/US4451754A/en not_active Expired - Lifetime
- 1979-11-15 DE DE19792946162 patent/DE2946162A1/de active Granted
- 1979-11-15 GB GB7939630A patent/GB2040561B/en not_active Expired
- 1979-11-16 JP JP14788779A patent/JPS5568718A/ja active Pending
-
1986
- 1986-10-06 JP JP1986152611U patent/JPS6258923U/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4451754A (en) | 1984-05-29 |
| GB2040561A (en) | 1980-08-28 |
| DE2946162C2 (fr) | 1989-08-10 |
| GB2040561B (en) | 1982-10-27 |
| JPS6258923U (fr) | 1987-04-11 |
| JPS5568718A (en) | 1980-05-23 |
| DE2946162A1 (de) | 1980-06-04 |
| FR2441960B1 (fr) | 1982-03-12 |
| FR2441960A1 (fr) | 1980-06-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CH633394A5 (fr) | Resonateur piezoelectrique travaillant en cisaillement d'epaisseur. | |
| CH669865A5 (fr) | ||
| EP0156146B1 (fr) | Oscillateur piézo-électrique | |
| CA2321360C (fr) | Procede d'encapsulation de composants electroniques | |
| CH626479A5 (fr) | ||
| EP1692761B1 (fr) | Composant electronique ayant un element resonateur dans un boitier hermetiquement ferme | |
| FR2487602A1 (fr) | Ensemble oscillateur piezo-electrique de type aplati ferme hermetiquement | |
| FR2629660A1 (fr) | Capsule piezoelectrique a pinces de connection electrique laterales | |
| CH633921A5 (fr) | Resonateur piezoelectrique a diapason. | |
| EP0086739A1 (fr) | Résonateur piézoélectrique encastrable | |
| CH617794A5 (en) | Quartz crystal vibrator | |
| FR2769100A1 (fr) | Boitier pour dispositif photosemi-conducteur | |
| FR2684835A1 (fr) | Dispositif resonateur piezoelectrique a quartz. | |
| EP2782868B1 (fr) | Procédé de fabrication d'un dispositif d'encapsulage | |
| FR2743225A1 (fr) | Resonateur piezoelectrique | |
| FR2569318A1 (fr) | Dispositif de condensateur discoide | |
| FR2508233A1 (fr) | Procede de realisation d'un composant unitaire comportant une diode oscillatrice et une diode a capacite variable et emetteur accordable en frequence comprenant un tel composant unitaire | |
| FR2701340A1 (fr) | Procédé de réalisation d'un circuit de distribution de signaux électriques, circuit de distribution obtenu et moteur piézoélectrique comportant un tel circuit. | |
| FR2536586A1 (fr) | Module preadapte pour diode hyperfrequence a forte dissipation thermique | |
| CH678471A5 (fr) | ||
| CH620034A5 (fr) | ||
| EP1111778B1 (fr) | Résonateur piézo-électrique ultramince | |
| EP0117804A1 (fr) | Procédé de fabrication d'une cavité hyperfréquence, et cavité obtenue par ce procédé | |
| FR2556519A1 (fr) | Perfectionnement aux machines a aimants et notamment aux machines a aimants au rotor et procede de fabrication de pieces de ces machines | |
| FR2643771A1 (fr) | Capsule piezoelectrique a organes de maintien elastiques conducteurs |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PUE | Assignment |
Owner name: DRYAN-FORDAHL TECHNOLOGIES S.A. |
|
| PUE | Assignment |
Owner name: VIBRO-METER S.A. |
|
| PL | Patent ceased |