CH617722A5

CH617722A5 -

Info

Publication number: CH617722A5
Application number: CH1228975A
Authority: CH
Inventors: Lawrence Ronald Newkirk; Flavio Adenois Valencia
Original assignee: Us Energy
Priority date: 1974-09-23
Filing date: 1975-09-22
Publication date: 1980-06-13
Also published as: DE2542379A1; FR2285725B1; GB1470280A; CA1060729A; US4202931A; JPS5159779A; FR2285725A1

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung eines Überzuges aus NbsGe, der mit einem Metallsubstrat verbunden ist, und zwar speziell auf einen superleitenden NbîGe-Ûberzug mit einer hohen kritischen Temperatur sowie auf ein Verfahren zur Aufbringung eines derartigen Überzuges in fest anhaftender Weise auf ein Metallsubstrat, wobei sich die Erfindung insbesondere auf ein Verfahren bezieht, einen Massenüberzug aus NbsGe mit einem Kupfersubstrat zu verbinden.

Es gibt zahlreiche Anwendungsfälle für Gegenstände, bei welchen auf ein gewünschtes Metallsubstrat ein geeigneter superleitender Überzug fest aufgebracht ist. Beispielsweise sehen die gegenwärtigen Konzepte für eine Gleichstromleistungsübertragung mit Hilfe der Superleitfähigkeit die Verwendung von Leitern mit einer doppelten Fähigkeit vor, einmal dienen die Leiter dazu, das kryogene Kühlmittel zu enthalten, und zum anderen leiten sie den superleitenden Strom. Bei dieser Konstruktionsart umgibt eine Schicht aus superleitendem Material ein flüssiges Helium führendes Rohr. Das Rohr muss ein guter thermischer und elektrischer Leiter sein, um Stabilität für den superleitenden Überzug vorzusehen. Der Überzug seinerseits muss eine hohe kritische Temperatur (Tc) und einen kritischen Strom (Ic) aufweisen und einen guten Kontakt mit dem Rohr aufrechterhalten.

Dem Stand der Technik kann entnommen werden, dass das die höchste bekannte kritische Temperatur (Transitionstemperatur) aufweisende superleitende Material Niobgermanid (NbsGe) mit einer A-15-Struktur ist. Eine kritische Temperatur von 22,5 wurde gemessen, und zwar unter Verwendung von Abschnitten eines ausserordentlich dünnen Films oder einer Schicht (kleiner 0,1 Mikrometer) von NbsGe, welches unter Vakuumbedingungen durch Zerstäuben abgeschieden war. Soweit den Erfindern bekannt, ist bislang kein Verfahren angegeben worden, um ein Metallsubstrat mit einer stark anhaftenden Massenschicht aus NbsGe mit der A-15-Struktur zu überziehen.

Es wurde berichtet, dass einphasiges NbsGe mit einer kritischen Temperatur im Bereich von 17,5 bis 19 K durch die gemeinsame Reduktion (Koreduktion) von NbCls und GeCU in Anwesenheit von Wasserstoff hergestellt wurde. Zu diesem Zweck wurden zwei Arten von Reaktionsgefässen verwendet. In einem wurde das NbsGe einem erhitzten Molybdändraht abgeschieden, im anderen wurde es auf einem erhitzten Quarzrohr abgeschieden. In jedem Falle haftete die Abscheidung nicht fest am Substrat oder war nicht mit dem Substrat verbunden. Vergleiche dazu Valueva u.A. in «Préparation of Nb Germanides by Coreduction of the Higher Chlorides by Hydro-gen», Izvestiya Akademii Nau SSSR, Neorganicheskie Mate-rialy, Band 8, Nr. 12, Seiten 2083-2088 (Dezember 1972).

Die Erfinder haben erkannt, dass ein Massenüberzug aus NbsGe mit einer kritischen Temperatur von oberhalb 20 K fest mit einem geeigneten Metallsubstrat verbunden werden kann, und zwar durch ein verbessertes chemisches Dampfabschei-dungsverfahren. Ein kritisches Merkmal des erfindungsgemäs-sen Verfahrens ist die gleichförmige Dispersion und Verdampfung des NbCb-Pulvers in einer strömenden Mischung aus einem inerten Gas (beispielsweise Ar), GeCU und Wasserstoff. Die Verdampfung kann ohne weiteres bei einer Temperatur zwischen 400 und 600 °C stattfinden. Die erhitzte Gas-Dampf-Mischung lässt man dann über das Substrat strömen, wo es auf eine Temperatur erhitzt wird, bei welcher die gemeinsame Reduktion (Koreduktion des NbCls und GeCU durch den Was2

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serstoff eingeleitet wird. Das Molarverhältnis von Nb, Ge und H2 in der strömenden Gas-Dampf-Mischung wird derart gewählt, dass eine chemische Dampfabscheidung von NbsGe mit einer A-15-Struktur erzeugt wird, wenn die Koreduktion eingeleitet ist. Ein bevorzugtes Verhältnis von Nb : Ge für diesen Zweck liegt im Bereich von 2,3 bis 3,0:1 und eine bevorzugte Abscheidungstemperatur liegt im Bereich von ungefähr 890 bis 900 °C.

Zu den bevorzugten Metallsubstraten gehört Kupfer, Stahl und rostfreier Stahl. Wenn ein Substrat, wie beispielsweise Kupfer oder Stahl, verwendet wird, dessen Oberfläche oxydieren kann, so ist es zweckmässig, dass vor der chemischen Dampfabscheidung von NbsGe Wasserstoff über das Substrat geleitet wird, und zwar bei einer Temperatur und für eine Zeitdauer, die ausreicht, um jegliche auf dem Substrat vorhandene Oberflächenoxyde zu reduzieren.

Weitere Vorteile, Ziele und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung von Ausführungsbeispielen an Hand der Zeichnung; in der Zeichnung zeigt:

Fig. 1 ein Flussdiagramm des erfindungsgemässen Verfahrens;

Fig. 2 eine Photomikrographie eines Querschnitts von NbsGe, welches auf einem Kupfersubstrat abgeschieden ist.

Es seien nunmehr bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung beschrieben. Niobgermanid (NbsGe) kann ohne weiteres als ein stark anhaftender Massenüberzug verbunden mit einem Metallsubstrat gemäss dem Verfahren der Erfindung ausgebildet werden, wie dies im Flussdiagramm der Fig. 1 dargestellt ist. Das Grundverfahren besteht in der gemeinsamen Reduktion oder Koreduktion von NbCls und GeCU in geeignetem Molarverhältnis durch Wasserstoffgas auf einem heissen Metallsubstrat. Niobpentachloridpulver 1 wird in einer Strömung aus inertem Gas 2, vorzugsweise Argon, mit Hilfe einer Pulverspeisevorrichtung 3 mitgenommen. Für diesen Zweck ist eine Pulverspeisevorrichtung der Bauart geeignet, wie sie unter dem Handelsnamen «Plasmatron» durch die Firma Plasma-dyne Division von Geotel Inc. (USA) vertrieben wird. Um eine gleichförmige Zusammensetzung von NbsGe sicherzustellen, ist es wesentlich, dass das NbCls-Pulver gleichförmig in die Gasströmung mit einer vorbestimmten Geschwindigkeit eingegeben und mitgenommen wird, um so jegliche wesentliche Änderung des Molarverhältnisses von Nb zu Ge in der Gas-Dampf-Mischung zu vermeiden, die durch das heisse Wasserstoffgas reduziert wird. Dies kann ohne weiteres erreicht werden, wenn NbCls-Pulver 1 vor dem Einführen in die Pulverspeisevorrichtung 3 als erstes gesiebt wird, und zwar auf -100 mesh (U.S.-Siebnorm).

Vor dem Eintreten in die Verdampfungskammer 4 wird der das NbCls-Pulver mitführende inerte Gasstrom 5 mit einem Wasserstoffgasstrom 7 und einem zweiten GeCU-Dampf mitführenden inerten Gasstrom 8, wiederum vorzugsweise Argon, gemischt 6. Der Strom 8 wird dadurch gebildet, dass man Argon oder ein anderes inertes Gas 10 bei 0 °C durch eine Blasenkammer 9 leitet, die auf 0 °C in einem Eisbad gehaltenes flüssiges GeCU enthält, und wobei das Durchströmen mit einer derartigen Geschwindigkeit erfolgt, dass die gewünschte Menge an GeCU-Dampf vom Strom 8 aufgenommen wird.

Nach dem Mischvorgang 6 tritt der kombinierte Strom 11 bei oder nahe Raumtemperatur in die Verdampfungskammer 4 ein. Die Kammer 4 besteht typischerweise aus Nickel und enthält eine Anzahl von Nickelprallplatten, um zu verhindern, dass nicht verdampftes NbCls-Pulver in die Überzugskammer 12 mitgeführt wird. Diese Kammer wird auf ungefähr 500 °C gehalten, was mehr als ausreicht, um das NbCls zu verdampfen, aber nicht ausreicht, um eine signifikante Reduktion einzuleiten. Typischerweise kann die Temperatur im Bereich zwischen 400 und 600 °C liegen, vorzugsweise wird die Temperatur aber auf nahezu 500 °C oder höher gehalten, um so jegliches Abküh617722

len der Überzugskammer 12 durch die Gas-Dampf-Mischung 13 zu minimieren.

In der Überzugskammer strömt die erhitzte Gas-Dampf-Mischung 13 über ein Metallsubstrat, welches ausreichend erhitzt ist, um die folgende Reaktion zu betreiben:

3 NbCls + GeCU + 9,5 H2- NbsGe + 19 HCl

Wenn diese Reaktion nach rechts hin durchgeführt wird, so ergibt sich eine chemische Dampfabscheidung von NbsGe auf dem Substrat. Die optimale Temperatur für die Erzeugung von NbsGe mit der höchsten kritischen Temperatur scheint im Bereich von 890 bis 900 °C zu liegen. Es wurde jedoch auch NbsGe mit einer kritischen Temperatur oberhalb 18 K ohne weiteres bei 830 °C und auch bei 920 °C abgeschieden. Die Minimaltemperatur, bei der NbsGe gemäss dieser Reaktion hergestellt werden kann, liegt nahe 650 °C.

Ein bevorzugtes Metallsubstrat ist Kupfer, es sind aber auch Substrate wie beispielsweise Stahl und rostfreier Stahl geeignet. Zweckmässige Substrate sind solche, die ihre Integrität während des Überzugsverfahrens beibehalten, d. h. Substrate, die nicht schmelzen oder hydrieren. Bevorzugte Substrate sind diejenigen, die in der Lage sind, eine Diffusionsbindung mit dem NbsGe zu bilden.

Eine Überprüfung der Fig. 2, eine Photomikrographie eines Querschnitts eines NbsGe-Überzugs und Kupfersubstrats,

zeigt, dass die Grenzschicht zwischen dem NbsGe-Überzug und dem Cu-Substrat verhältnismässig gleichförmig und glatt ist. Es gibt unzureichend viele Unregelmässigkeiten, um das ausserordentlich gute Anhaften auf der Grundlage mechanischer Bindung zu erklären, was unmittelbar nahelegt, dass eine metallurgische oder eine Diffusionsbindung vorhanden sein muss. Dies wird ferner durch die Kenntnis gestützt, dass Cu ohne weiteres Ge in fester Lösung auflöst.

Eine Mischung 14 aus HCl, nicht reagiertem H2, NbCls und GeCU und inertes Gas fliesst von Kammer 12 durch eine Ölbla-senkammer 15 und in einen Abzug 16.

Wenn ein Metallsubstrat verwendet wird, welches Oxyde bilden kann, wie beispielsweise Kupfer oder Stahl, so ist es vorteilhaft, eine Mischung aus einem inerten Gas und Wasserstoff durch die heisse Überzugskammer zu leiten, und zwar für eine Zeitdauer, die ausreicht, um jegliche auf dem Substrat vorhandenen Oberflächenoxyde zu reduzieren. Dies liefert sodann eine sehr saubere Oberfläche für die chemische Dampfabscheidung von NbsGe und gestattet es, dass eine ausgezeichnete Bindung zwischen dem NbsGe-Überzug und dem Substrat gebildet wird. Beispielsweise kann somit die Oberfläche eines Kupfersubstrats ohne weiteres auf diese Weise gereinigt werden, und zwar unter Verwendung der gleichen Strömungs- und Tempe-ratur-Bedingungen, wie sie für das Überziehen verwendet werden, wobei aber jegliches NbCls und GeCU in der Gasmischung für eine Zeitdauer von 15 bis 30 Minuten vor Beginn der chemischen Dampfabscheidung nicht gestattet sind.

Der Optimalwert für das Molverhältnis von Nb : Ge in der in die Überzugskammer 12 eintretenden Gasmischung 13 steht in enger Beziehung zu den H2 : Salz und Ar : Salz-Molverhältnissen. Ein bevorzugtes Nb : Ge-Molverhältnis liegt im Bereich von 2,3 bis 3,0:1. Es ist zweckmässig, dass man den grössten Anteil an GeCU in der Gasmischung 13 hat, der mit der Abscheidung von NbsGe mit der A-15-Struktur konsistent ist. Wenn jedoch für einen gegebenen Satz von Bedingungen zuviel GeCU im Gasstrom vorhanden ist, so wird die nicht superleitende Verbindung NbsGe3 gebildet. Der Prozentsatz an GeCU, den die Gasmischung 13 bei einer gegebenen Überzugstemperatur enthalten kann, wobei immer noch A-15 NbsGe abgeschieden wird, wird durch das H2 : Salz-Molverhältnis und die Menge der Verdünnung mit Ar bestimmt, d. h. durch das Gas-zu-Salz-Molverhältnis. Allgemein gilt dass, je verdünnter

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das Salz ist, d. h. je höher das H2 : Salz-Molverhältnis ist, desto mehr GeCU kann in den Gasstrom eingeführt werden, ohne NbsGe3 zu erzeugen. Die gewünschte Verdünnung wird ohne weiteres dadurch erreicht, dass man die gesamte Salzzufuhr vermindert und den H2-Fluss erhöht.

Dies wird am besten wie folgt erläutert. Mit einem H2 : Ar : (NbCls + GeCL»)-Molverhältnis von ungefähr 20 :12 :1 entspricht die Maximalmenge an GeCU, das in die Gasströmung 13 eingeschlossen sein kann, einem Molverhältnis von Nb : Ge von ungefähr 5,5 :1. Dies ergibt ein Material mit einer kritischen Temperatur von weniger als 6 K. Bei einem Molverhältnis von H2 : Ar : (NbCls + GeCU) von ungefähr 85 :75 :1 entspricht die Maximalmenge an GeCU, die in der Gasströmung 13 enthalten sein kann, einem Molverhältnis von Nb : Ge von ungefähr 2,3 :1. Dies ergibt ein Material mit einer kritischen Temperatur oberhalb von 21 K.

Die folgenden Beispiele von Überzügen wurden gemäss dem Strömungsdiagramm der Fig. 1 erhalten, und zwar unter Verwendung der bei jedem Beispiel angegebenen Parameter. Für diese Beispiele bestand die Überzugskammer 12 aus einem Innenrohr aus Kupfer und einem Aussenrohr aus Nickel. Die Gasmischung 13 wurde durch das Kupferrohr geströmt und die chemische Dampfabscheidung erfolgte an der Innenwand des Rohrs. Das äussere Nickelrohr diente zum Schutz des Kupferrohrs vor direkter Freigabe gegenüber der Atmosphäre, lieferte Festigkeit für die Halterung des Kupferrohrs und erzeugte eine gleichförmigere Temperaturverteilung am Kupferrohr als dies der Fall gewesen wäre, wenn dieses direkt den Öfen ausgesetzt worden wäre. Die Temperatur des Kupferrohrs wurde mittels blanker Chromel-Alumel-Thermoelemente gemessen, die durch Öffnungen im Nickelrohr geführt waren und gegen die Aussenseite des Kupferröhrs gedrückt wird.

Beispiel 1

Länge des Versuchslaufs: 30 Minuten Substrat: Kupfer (22 mm Aussendurchmesser x 0,89 mm. Wandstärke, hartgezogen)

GeCU zugeführt: 7,8 Gramm NbCls zugeführt: 23 Gramm Wasserstoffströmung: 8 Liter/Minute Argonströmung: 7,75 Liter/Minute Substrattemperatur: 895 °C Verdampfertemperatur: 490 °C Gewicht dee abgeschiedenen Materials: 6,3 Gramm Maximale superleitende kritische Temperatur (induktiver Einsatz): 20,7 K

Kritische-T emperatur-Verteilung (induktiver Einsatz)

Abstand vom Einlassende (cm)

12,66:20 K 15,20:20,4 K

Stromdichte bei 15,2 cm gegenüber dem Einlassende: 50 000 A/cm218,2K

Gitterparameter entsprechend der maximalen kritischen Temperatur: 5,147 À

Beispiel 2

Länge des Versuchlaufs: 30 Minuten Substrat: Kupfer (22 mm, Aussendurchmesser x 0,89 mm, . Wandstärke, hartgezogen)

GeCU zugeführt: 6,7 Gramm NbCls zugeführt: 23 Gramm Wasserstoffströmung: 8 Liter/Minute Argonströmung: 7,7 Liter/Minute Substrattemperatur: 895 °C Verdampfertemperatur: 490 °C Gewicht des abgeschiedenen Materials: 5,5 g Maximale superleitende kritische Temperatur (induktiver Einsatz): 19,8 K

Kritische-Temperatur-Verteilung (induktiver Einsatz)

Abstand vom Einlassende (cm)

5 15,20:19,4 K 22,90:19,8 K 30,50:19,1 K

Stromdichte: nicht gemessen Gitterparameter entsprechend der 10 maximalen kritischen Temperatur : nicht gemessen

Beispiel 3

Länge des Versuchlaufs 30 Minuten Substrat: Kupfer (22 mm, Aussendurchmesser x 0,89 mm. 15 Wandstärke, hartgezogen)

GeCU zugeführt: 6,6 g NbCls zugeführt: 23 g Wasserstoffströmung: 5 Liter/Minute Argonströmung: 7,7 Liter/Minute 20 Substrattemperatur: 895 °C Verdampfertemperatur: 490 °C Gewicht des abgeschiedenen Materials: 4,9 g Maximale superleitende kritische Temperatur (induktiver Einsatz): 19,5 K 25 Kritische-Temperatur-Verteilung (induktiver Einsatz)

Abstand vom Einlassende (cm)

15,2:19,5 K 22,9:19,2 K 30 30,5:18,0 K 7,6:18,2 K

Stromdichte bei 15,2 cm vom Einlassende: 50 000 A/cm217 K

Gitterparameter entsprechend der maximalen kritischen Temperatur: nicht gemessen

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Beispiel 4

Länge des Versuchslaufs: 30 Minuten Substrat: Kupfer (22 mm. Aussendurchmesser x 0,89 mm. Wandstärke, hartgezogen)

40 GeCU zugeführt: 5,6 g NbCls zugeführt: 23 g Wasserstoffströmung: 5 Liter/Minute Argonströmung: 7,6 Liter/Minute Substrattemperatur: 890 °C "5 Verdampfertemperatur: 490 °C Gewicht des abgeschiedenen Materials: 4,0 g Maximale superleitende kritische Temperatur (induktiver Einsatz): 18,1 K Kritische-Temperatur-Verteilung 30 (induktiver Einsatz)

Abstand vom Einlassende (cm)

15,2:18,2 K 22,9:17,1 K 30,5:15,5 K 55 Stromdichte: nicht gemessen Gitterparameter entsprechend der maximalen kritischen Temperatur: nicht gemessen

Beispiel 5

60 Länge des Versuchslaufs: 36 Minuten Substrat: Kupfer (22 mm. Aussendurchmesser x 0,89 mm. Wandstärke, hartgezogen)

GeCU zugeführt: 5,7 g NbCls zugeführt: 71,5 g 65 Wasserstoffströmung: 5 Liter/Minute Argonströmung: 3,5 Liter/Minute Substrattemperatur: 800 °C am Einlassende 900 °C am Abzugende

Verdampfertemperatur: 500 °C Gewicht des abgeschiedenen Materials: 9,0 g Maximale superleitende kritische Temperato:

satz): 7,9 K

Kritische-Temperatur-Verteilung (induktiver Einsatz)

Abstand vom Einlassende (cm)

15,2:5,8 K 30,5:7,0 K 45,7:7,7 K 53,3:7,9 K

Stromdichte: nicht gemessen Gitterabstand: nicht gemessen

Beispiel 6

GeCU zugeführt: 3,3 g NbCls zugeführt: 66,5 g Wasserstoffströmung: 5 Liter/Minute Argonströmung: 3,4 Liter/Minute Substrattemperatur: 800 °C am Einlassende

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900 °C am Abzugende Verdampfertemperatur: 490 °C Gewicht des abgeschiedenen Materials: 7,7 g Maximale superleitende kritische 5 Temperatur (induktiver Einsatz): <4 K Kritische-Temperatur-Verteilung (induktiver Einsatz)

Abstand vom Einlassende (cm)

15,2: <4 K 10 30,5: <4 K 45,7: <4 K

Stromdichte: nicht gemessen Gitterparameter: nicht gemessen

15 Die chemische Dampfabscheidung des NbsGe-Überugs auf einem Metallsubstrat ist nicht auf die im Zusammenhang mit den vorstehenden Beispielen verwendete Form beschränkt. Alternativ kann der Überzug auf einem Substrat erfolgen, welches die Aüssenoberfläche eines Rohrs, die Oberfläche eines 20 Drahtes oder eine Anzahl von Drähten oder ein flaches Band von irgendeiner Breite bildet oder aber irgendeine unregelmässige geometrische Form besitzt, wie dies als Verbindungsstück, Gelienkstück oder Winkelstock, usw. verwendet wird.

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1 Blatt Zeichnungen

Claims

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PATENTANSPRÜCHE

1. Verfahren zur Herstellung eines Überzuges aus NbsGe, der mit einem Metallsubstrat verbunden ist, und das gekennzeichnet ist durch a) Vorsehen eines Pulvers aus NbCls und gleichförmiges Einbringen dieses Pulvers in einen inerten Gasstrom,

b) Ausbilden eines Stromes aus inertem Gas und GeCU-Dampf,

c) Vermischen der beiden Ströme miteinander und mit Wasserstoff in einem solchen Molarverhältnis, dass unter gemeinsamer Reduktion des NbCls und GeCU durch den Wasserstoff NbîGe erzeugt wird,

d) Erhitzen der strömenden Gasmischung, die das NbCls-Pulver mitführt, auf eine Temperatur, die ausreicht, um dieses Pulver zu verdampfen, wobei die Temperatur aber nicht ausreicht, um die gemeinsame Reduktion des NbCls und des G e CU durch den Wasserstoff einzuleiten,

e) Strömen der erhitzten Gas-Dampf-Mischung über das Metallsubstrat, und f) Erhitzen des Metallsubstrates und der erwähnten Gas-Dampf-Mischung auf eine Temperatur, die ausreicht, um die gemeinsame Reduktion des NbCls-Dampfes und des GeCU-Dampfes durch den Wasserstoff einzuleiten, und um das sich ergebende NbaGe auf dem Metallsubstrat abzuscheiden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das NbCls-Pulver eine Siebgrössen-Grösse von -100 mesh oder weniger besitzt.
3. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Verdampfungstemperatur im Bereich von 400 bis 600 °C liegt.
4. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Molarverhältnis von Nb : Ge in der Gasmischung im Bereich von 2,3 bis 3,0:1 liegt.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat und die strömende Gasmischung auf eine Temperatur im Bereich von 890 bis 900 °C erhitzt sind.
6. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat Kupfer, Stahl oder rostfreier Stahl ist.
7. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat Kupfer ist.
8. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass vor der gemeinsamen Reduktion Wasserstoff über das Substrat bei einer Temperatur und für eine Zeitdauer geleitet wird, die ausreichen, um jegliche auf dem Substrat vorhandene Oberflächenoxyde zu reduzieren.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Nb : Ge-Molarverhältnis in der Mischung aus NbCls-Dampf, GeCU-Dampf, Wasserstoff und Argon im Bereich von 2,3-3,0:1 liegt, und dass die chemische Dampf abscheidung bei einer Temperatur im Bereich von 890° bis 900 °C erfolgt.
10. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass das NbCls-Pulver auf—100 mesh oder weniger gesiebt ist und bei einer Temperatur von ungefähr 500 °C verdampft wird.
11. Superleiter hergestellt nach dem Verfahren gemäss Anspruch 1, gekennzeichnet durch mit einem Metallsubstrat verbundenes NbsGe.
12. Superleiter nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass das NbsGe die A-15-Struktur besitzt, und eine superleitende kritische Temperatur oberhalb 20 K besitzt
13. Superleiter nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Metallsubstrat Kupfer ist.
14. Superleiter nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Metallsubstrat Kupfer, Stahl oder rostfreier Stahl ist.
15. Superleiter nach einem der Ansprüche 11 bis 14,

dadurch gekennzeichnet, dass das NbsGe mit dem Kupfer diffu-sionsverbunden ist