Verfahren zur Herstellung einer luftdichten Verbindung zwischen zwei Oberflächen Die vorliegende Erfindung ,bezieht sich .auf ein Verfahren zur Herstellung einer luftdichten Verbin dung zwischen zwei Oberflächen, die aus einem Material mit höherem Schmelzpunkt als derjenige von Aluminium bestehen, welche Verbindung auch nach wiederholten brüsken Temperaturwechseln zwi schen -190 und 550 C luftdicht bleibt.
Luftdichte Metall-Metall-, Metall-Keramik- und Keramik-Keramik-Verbindungen sind unerlässliche Bestandteile für Hoch- und Ultrahochvakuum- sowie auch für Hochdruckanlagen. In vielen Fällen sind sie bedeutenden Wärmebeanspruchungen ausgesetzt, im Falle von Vakuumanlagen z. B. Temperaturerhöhun gen bis zu 500-550'C oder Temperatursenkungen bis zu -190 C oder noch mehr. Es ist im allgemeinen zu empfehlen, dass das Anlageninnere während der Her- stellung ,dieser Verbindungen keinen schädlichen Ein flüssen (wie z. B. Oxydation, Übererwärmung usw.) ausgesetzt sei.
Um Iden Zugang in das Anlageninnere zu :ermöglichen, sind :leicht zerlegbare Verbindungen nötig.
Die bekannten Lösungen für die Ausführung von luftdichten, sowohl für hohe ,als .auch für tiefe Tem peraturen widerstandsfähigen Verbindungen sind fol gende: 1. Verschweissen der Bestandteile.
2. Verflanschen der Bestandteile mit eingelegten metallischen Dichtungen.
3. Zusammenpressen der Bestandteile, ein Ver fahren, das zur Herstellung von Verbindungen zwi schen Metall- und Keramikrohren angewendet wird.
Die Herstellung der Metall-Metall-Verbindungen mittels Schweissen hat den Nachteil, dass die Ver bindung im allgemeinen nicht zerlegbar ist, da das Durchschneiden der Schweissung meistens zur Be schädigung der Bestandteile führt, und dass ihre Aus- führung, die zum Schutze des Anlageninneren im Vakuum oder in einer Schutzgasatmosphäre vorge nommen wird, die Benützung teurer Geräte und die Anwendung umständlicher Verfahren benötigt. Im Falle oder Metall-Keramik-Verbindungen ist der Schweissvorgang besonders kompliziert, da er für die Erzielung der Haftfestigkeit entweder das Auftragen mehrerer Schichten nacheinander oder die besondere Behandlung einer Hydratschicht eines aktiven Metalls (z.B. Titan) erfordert.
Das Schutzgas, in dem sich der Vorgang abespielt, muss bestimmten Bedingungen entsprechen (reduzierende, inerte oder oxydierende Atmosphäre); was wieder anspruchsvolle Anlagen nö tig macht.
In beiden Fällen erreicht die Temperatur der Bestandteile ungefähr 1000 C, also vielmehr als ich-. anfangs geforderte Arbeitstemperatur von 500-5:50 C, was ,für .gewöhnlich nicht wünschenswert ist.
Das bekannte Verfahrendes Pressem einer Dich tung zwischen zwei Flanschen wird sowohl bei Me tall-Metall- als auch bei Metall-Keramik-Verbindun gen verwendet. Wenn die Verbindung grossen Tem peraturänderungen standhalten soll, werden meist Flanschen mit Kupferdichtungen .benützt. Das ver- hältnismässig komplizierte Profil dieser Flanschen ( messerschneide -förmig im Falle der Metall-Me tall- und Metall-Keramik-Verbindungen,
treppen - oder kegelförmig im Falle der Metall-Metall-Ver bindung) erfordert eine anspruchsvolle Ausführung. Im Falle der Metall-Metall-Verbindungen benützt man auch ,ebene Flanschen, zwischen denen ,entweder Gold.- oder Aluminiumdichtungen gepr sst werden;
letztere werden durch Erwärmen bis auf 500 C an (die Pressflanschen @angeschweisst. Die besonders :grosse zum Pressen nötige Kraft, die ;auf idie metallischen Dichtungen ausgeübt werden muss, führt zum Bau von Flanschen unproportioniert grosser Ausmasse, die schwer, unhandlich und teuer sind und komplizierte Profile haben.
Für ihren Bau kann nicht jedes be liebige Metall, sondern im ,allgemeinen nur Stahl, vorzüglich rostfreier, (benützt wenden.
Die Herstellung mittels Pressen der Metall-Ke ramik-Verbindungen wird nur für Rohre angewendet und erfordert für (die Bestandteile strenge mecha- nische Bedingungen.
Mit der vorliegenden Erfindung kann man Metall- Metall-, Metall-Keramik- und Keramik-Keramik- Verbindungen mit Hilfe einer geschweissten Alumi- niumdichtung weitaus billiger als (bisher herstellen. Die Verbindungen können ohne besondere Erwär mung wieder zerlegt werden. Die Verbindung kann zwischen verschiedenen Metallen (deren Schmelz punkte über (demjenigen des Aluminiums, d. h.
über 600-700 C liegen), zwischen einem derartigen Me tall und einer verglasten Keramik der Porosität null, oder zwischen zwei verglasten Keramiken ausgeführt werden.
Das erfindungsgemässe Verfahren ist dadurch ge kennzeichnet, dass man eine Äluminiumdichtung zwi schen die beiden Oberflächen bringt, dass man die .beiden Oberflächen mit der ,dazwischenliegenden Alu miniumdichtung vorübergehend gegeneinander presst, und dass man die beiden Oberflächen mit der da- zwischenliegenden Aluminiumdichtung während (des Pressens auf eine Temperaturerhitzt,
(die unterhalb (des Schmelzpunktes von Aluminium liegt, (derart, dass die Oberflächen mit (der Aluminiumdichtung verschweisst werden.
Bei einer Ausführungsform -des Verfahrens nach der Erfindung zur Herstellung einer Verbindung zwi schen einer Keramik- und einer Metalloberfläche geht man wie folgt vor:
Die ungeschliffene oder nicht sehr feinkörnig geschliffene Oberfläche des Keramik teiles wird zuerst vorbereitet, indem mittels Pul verisieren, Bestreichen oder (einem anderen Verfah- ren seinedünne Schicht einer ,alkalischen Lösung, NaOH, Na20, Si02 usw.,
aufgetragen und bei 800 bis 1200 C in der Atmosphäre gebrannt wird. Die Güte der Metalloberfläche äst, wie.auch im Falle einer Metall-Metall-Verbindung, nicht kritisch. Das En semble Keramik-Metall oder z.B. Keramik-Keramik, zwischen (dessen Bestandteilen sich (die Aluminium dichtung befindet, wird gepresst mit einer von den Ausmassen der Dichtung ebhängenden Kraft der Grössenordnung 60-100 kg je Millimeter Dichtungs umfang. Das so gepresste Ensemble wird auf unge fähr 500 C erhitzt.
Nach Abkühlen wird die Presse entfernt; das Aluminium ist nun sowohl mit dem Metall als auch mit der Keramik bzw. mit den beiden Keramikteilen verschweisst.
An Hand der teilliegenden Zeichnung wind ein Ausführungsbeispiel der Erfindung näher erläutert. Fig. 1 zeigt im Schnitt die für (die Verbindung unerlässlichen Teile, nämlich die Aluminiumdichtung und (die Metallteile 2, 3, 4 und 5 mit ihnen Ober- flächen. Fig. 2 zeigt eine Stromdurchführung mit den Alu miniumdichtungen 3, Aden Metallteilen 1 und 2 und ,dem Keramikteil 4.
Eine Aluminiumdichtung von kreisförmigem, quadratischem, ,dreieckigem usw. Querschnitt des Flächeninhaltes 0,5-3 mm2 kann aus Blechgestanzt, aus .Stangen oder Rohren gedreht oder .aus gezogenem Draht gebogen werden.
Im letzteren Fall ist es nicht nötig, (die beiden Drahtenden miteinander zu ver schweissen, da dieses bei blossem Übereinanderlegen (der Drahtenden gleichzeitig mit dem Verschweissen (der Dichtung und (der Bestandteile der Verbindung er folgt.
Die Dichtung mit dreieckigem Querschnitt, empfehlenswert im Falle der Metall-Keramik-Verbin dung, irhält man durch Pressen einer Dichtung mit quadratischem Querschnitt, die dadurch noch härter wind. Im Falle der Verbindungen mit mindestens einem keramischen Teil ist es nicht zu empfehlen, die Dichtung vor (dein Pressen zu erweichen.
Den<B>ge-</B> wünschten, durch (die Form der Verbindung gegebe- nen Umriss (der Dichtung erhält man (durch Ver- formung.
Man kann die so hergestellte Metall-Metall-Ver- bindunug durch Einführen von Schrauben in einige in (einen der Bestandteile (der Verbindung ausserhalb des Dichtungsumrisses gebohrte, mit Gewinde ver sehene Löcher und durch Anziehen der Schrauben in einfacher Weise zerlegen.
Das beschriebene Verfahren kann entweder in der Atmosphäre durchgeführt werden, oder auch (wenn die inneren Bestandteile der Anlage geschützt werden müssen), nach dem Auspumpendes Innieren der Anlage oder indem man während (des Schweiss- vorganges (Erhitzung vorzugsweise ,auf 500 C) ein Schutzgas einführt, ohne dass hierfür eine besondere Anlage notwendig wäre.
Als Anwendungsbeispiele der Erfindung wurden vollkommen dichte Metall-Metall-Verbindungem mit Bestandteilen aus Stahl, rostfreiem Stahl, Titan, Kup fer usw. hergestellt, die Rohre .gleicher oder ver schiedener Durchmesser verbinden (Bild 1), Deckel für Vakuum-Hohlräume usw.
Als weiteres Anwendungsbeispiel der Erfindung wunden Metall - Keramik - Verbindungen ausgeführt, wie z. B. (die im Bild 2 @dangestellte luftdichte, sowohl bei hohen,als ,auch (bei niederen Temperaturen wider- @standsfähiige ,
Stromdurchführung. Die elektrische An schlussklemme 1 und die Wand der Anlage wurden ,aus rostfreiem Stahl, Titan, Kupfer usw. hergestellt.
Alle Verbindungstypen wunden wiederholt bis auf 530-550 C erhitzt und bis auf -190 C abgekühlt, wobei (sie jedesmal mit Hilfe eines Heliumlecksuchers auf ihre Dichtigkeit .geprüft wurden.